方案设计及初步设计无掩膜光刻电子工业专用生产设备招标采购公告（华中科技大学采购与招标中心2022）

频道：采购意向｜地区：｜发布时间：2022-10-18 00:00:00

华中科技大学2022年11月政府采购意向公开（第二批）

为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将华中科技大学2022年11月政府采购意向公开（第二批）如下：

序号
采购项目名称
意向编号
采购品目
采购需求概况
预算金额(万元)
预计采购日期
备注

1
华中科技大学先进制造大楼二期项目方案设计及初步设计（含可行性研究报告编制）
YX202200190
C1003工程设计服务
项目选址于先进制造大楼东楼北侧地块，用地面积1.86万平方米，总建筑面积7万平方米，总投资3.85亿元
300
2022年11月

2
华中科技大学土木与环境学科大楼方案设计及初步设计（含可行性研究报告编制）
YX202200191
C1003工程设计服务
项目选址于西六楼南侧地块，总建筑面积5.2万平方米，总投资约2.6亿元
230
2022年11月

3
无掩膜光刻
YX202200192
A032103电子工业专用生产设备
最大样品尺寸：230 mm×230 mm×15 mm；直写分辨率：0.6 μm、1 μm、2 μm、5 μm；最大直写面积：195 mm × 195 mm。2023年6月到货，现场调试时间不小于一周，验收完成以后保修期3年。
200
2022年11月

4
掩膜对准光刻机
YX202200193
A032103电子工业专用生产设备
曝光面积：8英寸；分辨率：≤ 0.8 μm；特征尺寸：
380
2022年11月

5
电子束图形刻蚀系统
YX202200194
A032103电子工业专用生产设备
二次电子图象分辨率：0.6 nm(15 kV）、0.7 nm(1 kV)；放大倍数：× 300000，× 250000；加速电压：1 kV、15 kV；曝光最小线宽：50 nm；写场范围：500 nm ~ 2 mm。2023年6月到货，现场调试时间不小于一周，验收完成以后保修期3年。
450
2022年11月

6
反应离子刻蚀机
YX202200195
A02052402真空应用设备
晶圆尺寸：
300
2022年11月

7
感应耦合等离子体刻蚀机
YX202200196
A02052402真空应用设备
晶圆尺寸：
400
2022年11月

8
高真空多靶共聚焦溅射台
YX202200197
A02052402真空应用设备
溅射室真空度极限：1×10-6 Pa；进样室真空极限：≤ 1×10-1 Pa；样品台转速：0～15 转/分。2023年6月到货，现场调试时间不小于一周，验收完成以后保修期3年。
240
2022年11月

9
电子束蒸发
YX202200198
A02052402真空应用设备
同型号规格设备一批2台，可用于蒸镀半导体工艺中的金属膜真空室极限真空度≤6×10-5Pa；片内均匀性≤±5%，片间均匀性≤±5%，批次间均匀性≤±5%；蒸发速率0.1～25/s（铝）。2023年6月到货，现场调试时间不小于一周，验收完成以后保修期3年。
330
2022年11月

10
原子层沉积（ALD）
YX202200199
A02052402真空应用设备
同型号规格设备一批2台，满足最大直径200mm及其以下尺寸基底的镀膜要求。2023年6月到货，现场调试时间不小于一周，验收完成以后保修期3年。
520
2022年11月

11
感应耦合等离子化学气相沉积系统
YX202200200
A02052402真空应用设备
晶圆尺寸：
100
2022年11月

12
高精度贴片机（倒装焊）
YX202200201
A032103电子工业专用生产设备
芯片尺寸：0.2 mm × 0.2 mm ～ 15 mm × 15 mm；衬底尺寸：0.2 mm × 0.2 mm ～ 50 mm × 50 mm；工艺精度：
220
2022年11月

13
探针台
YX202200202
A02110204半导体器件参数测量仪
电压电流范围：最大10 kV / 600 A；晶圆厚度：最小 50 μm；温度量测范围：-60 ℃ ～ 300 ℃。2023年6月到货，现场调试时间不小于一周，验收完成以后保修期3年。
330
2022年11月

14
半导体器件特性测试仪
YX202200203
A02110204半导体器件参数测量仪
同型号规格设备一批2台，电压测量分辨率0.5μV；电压测量范围±100V；电流测量分辨率0.1 fA；电流测量范围±0.1A。2023年6月到货，现场调试时间不小于一周，验收完成以后保修期3年。
180
2022年11月

15
存储器芯片测试系统
YX202200204
A02110204半导体器件参数测量仪
4路同时输入、4路关联输出；能够实现亚ns级定制波形出发输入。2023年6月到货，现场调试时间不小于一周，验收完成以后保修期3年。
330
2022年11月

16
数模混合集成电路测试系统
YX202200205
A02110205集成电路参数测量仪
同型号规格设备一批2台，V～+15 V；器件电压源电压可覆盖-15 V～+15 V；数字通道数量≥32。2023年6月到货，现场调试时间不小于一周，验收完成以后保修期3年。
120
2022年11月

17
相变材料测试仪
YX202200206
A02120299其他热学计量标准器具
温度范围：RT-1200℃；程序升温重复性偏差：＜ 1.0%，速率偏差＜ 1.0%；相变温度测量精密度偏差：＜ 3.0%，正确度偏差＜3.0%；热膨胀系数测量精密度偏差：＜4.5%，正确度偏差＜ 15%。2023年6月到货，现场调试时间不小于一周，验收完成以后保修期3年。
100
2022年11月

18
金相显微镜
YX202200207
A02100304光学测试仪器
同型号规格设备一批5台，配置150x150mm载物台（6英寸）；光源：LED透射光/反射光照明，功耗最大10 w，光源连续可调,约10至8o0 mA；卤素灯12 V/100 w，无级调节，从约3至12 v；HBO 103 w/2汞蒸汽短弧灯，100W。带有手动载物台对焦的镜座：粗调步进，约4 mm/圈；精调步进，约0.4 mm/圈;约4 um刻度间隔；提升范围约25 mm；高度停止，机械调节；聚光镜0.9/1.25 H，带可选调制器盘，适合明场、暗场和相差,1、2、3或塑料 DIC，手动物镜、反射模块更换。2023年6月到货，现场调试时间不小于一周，验收完成以后保修期3年。
125
2022年11月

19
傅里叶变换红外光谱仪
YX202200208
A02100304光学测试仪器
光谱范围：可见光～ 25000 cm-1；最大成像区域：340 μm × 340 μm；最快扫描速度：16000/秒。2023年6月到货，现场调试时间不小于一周，验收完成以后保修期3年。
148
2022年11月

20
光刻机
YX202200209
A032103电子工业专用生产设备
光源：UV400、UV300、UV250；分辨率：0.6-3.0微米。2023年6月到货，现场调试时间不小于一周，验收完成以后保修期3年。
380
2022年11月

21
晶圆键合机
YX202200210
A032103电子工业专用生产设备
键合力：60、100 KN；温度：
410
2022年11月

22
深硅刻蚀机
YX202200211
A02052402真空应用设备
8英寸先进封装硅刻蚀。2023年6月到货，现场调试时间不小于一周，验收完成以后保修期3年。
370
2022年11月

23
反应离子刻蚀机
YX202200212
A02052402真空应用设备
III-V族材料的刻蚀工艺；硅Bosch和超低温刻蚀工艺。2023年6月到货，现场调试时间不小于一周，验收完成以后保修期3年。
300
2022年11月

24
自动有机清洗
YX202200213
A032103电子工业专用生产设备
硅、砷化镓、锗、碳化硅等晶片尺寸2"-8"。2023年6月到货，现场调试时间不小于一周，验收完成以后保修期3年。
100
2022年11月

25
溅射仪
YX202200214
A02052402真空应用设备
微机电系统领域的Ti、Ni、NiV、Ag、Al、Cr、TiW、SiO2、ITO等薄膜工艺。2023年6月到货，现场调试时间不小于一周，验收完成以后保修期3年。
240
2022年11月

26
电子束蒸发仪
YX202200215
A02052402真空应用设备
电子束蒸发可生长的材料包括：金属、电介质、氧化物、半导体及几种合金。2023年6月到货，现场调试时间不小于一周，验收完成以后保修期3年。
165
2022年11月

27
低压化学气相沉积系统
YX202200216
A02052402真空应用设备
沉积二氧化硅、氮化硅等多种薄膜。2023年6月到货，现场调试时间不小于一周，验收完成以后保修期3年。
100
2022年11月

28
感应耦合等离子化学气相沉积系统
YX202200217
A02052402真空应用设备
高质量薄膜，8寸晶片，具有小批量预制和试生产能力。2023年6月到货，现场调试时间不小于一周，验收完成以后保修期3年。
150
2022年11月

29
激光划片机
YX202200218
A032103电子工业专用生产设备
最大8"晶圆的激光切割。2023年6月到货，现场调试时间不小于一周，验收完成以后保修期3年。
400
2022年11月

30
激光植球机
YX202200219
A032103电子工业专用生产设备
焊球直径40-760微米。2023年6月到货，现场调试时间不小于一周，验收完成以后保修期3年。
380
2022年11月

31
激光共聚焦显微镜
YX202200220
A02100304光学测试仪器
高度分辨率10 nm。2023年6月到货，现场调试时间不小于一周，验收完成以后保修期3年。
300
2022年11月

32
分子束外延
YX202200221
A02052402真空应用设备
6-8英寸；12个源端口特殊的掺杂源，高效P/N掺杂。2023年6月到货，现场调试时间不小于一周，验收完成以后保修期3年。
400
2022年11月

33
高质量磁性薄膜溅射设备
YX202200222
A02052402真空应用设备
1、沉积均匀性 +/-2.5% @ 3" (75mm)基片；2、共焦沉积系统，可制备多层薄膜或合金薄膜工艺；3，至少5靶位。2023年6月到货，现场调试时间不小于一周，验收完成以后保修期3年。
450
2022年11月

34
高低温真空射频探针台
YX202200223
A02052402真空应用设备
高温或低温等相应组件，温度可达到1000℃，低温部分采用液氮或液氦冷却组件，温度可低至77K/10K，；真空系统可选机械泵或分子泵系统，真空度可达到10-3Torr或10-6Tor。可加载磁场。四端口设计。2023年6月到货，现场调试时间不小于一周，验收完成以后保修期3年。
150
2022年11月

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

华中科技大学采购与招标中心
2022年10月18日

投标 / 标书制作要点（原创）

本方案设计及初步设计无掩膜光刻电子工业专用生产设备涉及「招标采购公告」，投标方需重点关注：① 营业执照经营范围须含招标采购公告或对应服务类目；② 提供同类项目业绩证明；③ 报价方案与售后响应须明确；④ 紧盯投标截止与开标节点，建议提前完成标书制作与盖章。当地项目常要求本地化服务能力与快速响应，务必在投标文件中凸显。

标书制作联系冯经理：17551026086