山东离子束刻蚀系统 电子工业专用生产设备招标采购公告（山东大学2022）

山东大学2022年11至12月政府采购意向-离子束刻蚀系统 详细情况

离子束刻蚀系统

项目所在采购意向：
山东大学2022年11至12月政府采购意向

采购单位：
山东大学

采购项目名称：
离子束刻蚀系统

预算金额：
500.000000万元(人民币)

采购品目：

电子工业专用生产设备

采购需求概况 ：

本采购项目是高能量离子束刻蚀与薄膜沉积系统的离子束刻蚀部分，主要用于微纳电子器件的刻蚀加工。本项目采购离子束刻蚀系统1套，需要配备无灯丝免维护离子源，可以对6英寸及以下的基片进行均匀刻蚀；样品台水冷，样品台可倾斜可自转；带自动终点检测装置。

预计采购时间：
2022-11

备注：

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

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投标 / 标书制作要点（原创）

本离子束刻蚀系统 电子工业专用生产设备涉及「招标采购公告」，投标方需重点关注：① 营业执照经营范围须含招标采购公告或对应服务类目；② 提供同类项目业绩证明；③ 报价方案与售后响应须明确；④ 紧盯投标截止与开标节点，建议提前完成标书制作与盖章。山东项目常要求本地化服务能力与快速响应，务必在投标文件中凸显。

标书制作联系冯经理：17551026086