超高温加热装置 宽光谱可调谐飞秒激光器 宽光谱可调谐激光器 毫米波矢量网络分析仪 光芯片自动耦合升级的扫谱系统 单光子探测模块 超短脉冲激光源招标采购公告（中山大学2024）
8942万 中山大学仪器采购意向
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近日，中山大学发布多项仪器设备采购意向，预算总额约8942万元，涉及原子层沉积系统、激光器、透射电子显微镜等仪器设备，预计采购时间为2024年12月至2025年1月。
具体如下：
采购项目名称
采购需求概况
预算金额(万元)
预计采购日期
中山大学电子与信息工程学院高真空Cluster热蒸发系统超高温加热装置采购项目
超高温加热装置1套
80
2024年12月
中山大学电子与信息工程学院分子束外延MBE升级改造-源炉相关采购项目
Veeco 镓源炉1个；Veeco 铝源炉1个；反射高能电子衍射抢 1个；离子泵1个
199
2024年12月
中山大学电子与信息工程学院宽光谱可调谐飞秒激光器采购项目
宽光谱可调谐激光器
269
2024年12月
中山大学电子与信息工程学院毫米波矢量网络分析仪采购项目
毫米波矢量网络分析仪1台
420
2024年12月
中山大学电子与信息工程学院光芯片自动耦合升级的扫谱系统采购项目
光芯片自动耦合升级的扫谱系统1套
97
2024年12月
中山大学电子与信息工程学院单光子探测模块采购项目
单光子探测模块8套
43.5
2024年12月
中山大学电子与信息工程学院超短脉冲激光源采购项目
超短脉冲激光源1套
136.5
2024年12月
中山大学电子与信息工程学院透射电子显微镜专用相机采购项目
透射电子显微镜专用相机1台
250
2025年1月
中山大学电子与信息工程学院激光刻蚀加工系统采购项目
激光刻蚀加工系统1套
98
2025年1月
中山大学电子与信息工程学院CNT制备设备采购项目
CNT制备设备1套
198
2025年1月
中山大学电子与信息工程学院Firstnano碳纳米管生长系统采购项目
Firstnano碳纳米管生长系统1套
30
2025年1月
中山大学电子与信息工程学院电子束光刻机（升级改造）采购项目
电子束光刻机1套
199
2025年1月
中山大学电子与信息工程学院等离子体深硅刻蚀系统（ICP）采购项目
等离子体深硅刻蚀系统（ICP）1台
417
2025年1月
中山大学电子与信息工程学院等离子体增强化学气相沉积采购项目
等离子体增强化学气相沉积1台
260
2025年1月
中山大学电子与信息工程学院手动式曝光机采购项目
手动式曝光机1台
216
2025年1月
中山大学电子与信息工程学院无掩膜曝光机采购项目
无掩膜曝光机1台
275
2025年1月
中山大学电子与信息工程学院原子层沉积系统采购项目
原子层沉积系统1套
120.3
2025年1月
中山大学电子与信息工程学院电子束蒸发系统采购项目
电子束蒸发系统1套
174
2025年1月
中山大学电子与信息工程学院共溅射磁控溅射系统采购项目
共溅射磁控溅射系统1套
208
2025年1月
中山大学电子与信息工程学院中红外光谱分析仪采购项目
中红外光谱分析仪
165
2025年1月
中山大学电子与信息工程学院宽带宽示波器系统采购项目
宽带宽示波器系统
198
2025年1月
中山大学电子与信息工程学院无掩膜光刻机采购项目
无掩膜光刻机1台
600
2025年1月
中山大学电子与信息工程学院等离子体增强化学气相沉积-介质（SiO2&Si）采购项目
等离子体增强化学气相沉积-介质（SiO2&Si）2台
580
2025年1月
中山大学电子与信息工程学院电感耦合等离子体刻蚀系统（ICP）Ⅲ-Ⅴ采购项目
电感耦合等离子体刻蚀系统（ICP）Ⅲ-Ⅴ 2台
820
2025年1月
中山大学电子与信息工程学院电感耦合等离子体刻蚀系统 (ICP) LN采购项目
电感耦合等离子体刻蚀系统 (ICP) LN 1台
404
2025年1月
中山大学电子与信息工程学院硅通孔刻蚀机采购项目
硅通孔刻蚀机1台
480
2025年1月
中山大学电子与信息工程学院化学气相沉积系统采购项目
化学气相沉积系统1套
50
2025年1月
中山大学电子与信息工程学院化学机械抛光（CMP）采购项目
化学机械抛光（CMP）1套
350
2025年1月
中山大学电子与信息工程学院电感耦合等离子体刻蚀系统采购项目
电感耦合等离子体刻蚀系统1套
80
2025年1月
中山大学电子与信息工程学院6 英寸管式炉采购项目
6 英寸管式炉 1套
50
2025年1月
中山大学电子与信息工程学院磁控溅射薄膜沉积系统采购项目
磁控溅射薄膜沉积系统1套
100
2025年1月
中山大学电子与信息工程学院氮化硅沉积机采购项目
氮化硅沉积机1台
310
2025年1月
中山大学电子与信息工程学院电容耦合等离子体氧化硅刻蚀机采购项目
电容耦合等离子体1台
370
2025年1月
中山大学电子与信息工程学院场发射微显示系统高频探针测试平台采购项目
场发射微显示系统高频探针测试平台1套
100
2025年1月
中山大学电子与信息工程学院键合对准模块采购项目
晶圆键合对准模块1套
115
2025年1月
中山大学电子与信息工程学院定位贴片机采购项目
定位贴片机1套
199.5
2025年1月
中山大学电子与信息工程学院电化学CV测量仪器采购项目
电化学CV测量仪器1套
280
2025年1月
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投标 / 标书制作要点（原创）
本超高温加热装置 宽光谱可调谐飞秒激光器 宽光谱可调谐激光器 毫米波矢量网络分析仪 光芯片自动耦合升级的扫谱系统 单光子探测模块 超短脉冲激光源涉及「招标采购公告」，投标方需重点关注：① 营业执照经营范围须含招标采购公告或对应服务类目；② 提供同类项目业绩证明；③ 报价方案与售后响应须明确；④ 紧盯投标截止与开标节点，建议提前完成标书制作与盖章。当地项目常要求本地化服务能力与快速响应，务必在投标文件中凸显。
标书制作联系冯经理：17551026086
