锑化物感应耦合等离子体刻蚀系统 锑化物专用感应耦合等离子体刻蚀设备招标采购公告（中国科学院半导体研究所2025）

中国科学院半导体研究所2025年7月政府采购意向-锑化物感应耦合等离子体（ICP）刻蚀系统 详细情况

锑化物感应耦合等离子体（ICP）刻蚀系统

项目所在采购意向：
中国科学院半导体研究所2025年7月政府采购意向

采购单位：
中国科学院半导体研究所

采购项目名称：
锑化物感应耦合等离子体（ICP）刻蚀系统

预算金额：
318.000000万元(人民币)

采购品目：

A02330300

采购需求概况 ：

拟购置的锑化物专用感应耦合等离子体刻蚀设备，针对锑化物半导体材料特性设计配置设备，以获得高刻蚀速率、大的刻蚀选择比、高陡直度刻蚀、侧壁光滑以及良好的均匀性和重复性等结果，从而保证低损伤、高填充率的探测器台面刻蚀，满足锑化物半导体探测器芯片的高质量台面刻蚀要求。

预计采购时间：
2025-07

备注：

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

---

投标 / 标书制作要点（原创）

本锑化物感应耦合等离子体刻蚀系统 锑化物专用感应耦合等离子体刻蚀设备涉及「招标采购公告」，投标方需重点关注：① 营业执照经营范围须含招标采购公告或对应服务类目；② 提供同类项目业绩证明；③ 报价方案与售后响应须明确；④ 紧盯投标截止与开标节点，建议提前完成标书制作与盖章。当地项目常要求本地化服务能力与快速响应，务必在投标文件中凸显。

标书制作联系冯经理：17551026086