天津多气体等离子体聚焦离子束电子束双 多气体等离子体聚焦离子束电子束双束显微镜 多气体等离子体聚焦离子束电子束双束招标采购公告（天津工业大学2026）

天津工业大学政府采购意向公告-多气体等离子体聚焦离子束电子束双束显微镜 详细情况

多气体等离子体聚焦离子束电子束双束显微镜

项目所在采购意向：
天津工业大学政府采购意向公告

采购单位：
天津工业大学

采购项目名称：
多气体等离子体聚焦离子束电子束双束显微镜

预算金额：
500.000000万元(人民币)

采购品目：

采购需求概况 ：

“1.离子源种类四种，至少包含Xe+、O+、N+和Ar+； 2. 离子源可通过软件控制切换，切换时间不超过10 min； 3.离子束分辨率：20nm @ 30kV (多边法)，10nm @ 30kV (选边法) 4.离子束束流强度：2.5uA 5 .Xe+离子源寿命：4000小时，随机至少带1罐高纯Xe气. 6.具备束流测量装置。 7.配置铂沉积、钨沉积、Dx刻蚀等多种气体； 8.电子枪类型：带有单色器的肖特基场发射灯丝 9.分辨率：优于0.6nm @ 15kV；0.7nm @ 1kV； 10.束流强度0.8pA-100nA 11.样品室内径379mm 12.五轴马达驱动样品台，样品台移动范围：X/Y方向110mm，Z方向65mm，可绕Z轴旋转任意角度 (360度)，倾角-15至90度 13.最大样品直径122mm 14.最大样品高度：到偏心点的间隙85mm 15.具有样品室二次电子探测器、极靴内探测器，具有二次电子和背散射电子两种模式 、样品室红外CCD相机、样品室内样品导航相机等探测器 1.6具有主机软件集成原位样品全自动提出系统，用于制备好透射电镜样品后提出：漂移≤50nm/min；马达驱动360度无限制旋转； 17.具备微纳加工图像构建软件，不少于50个图层的加工控制 18.具有图像漂移校正和智能隔行扫描技术“

预计采购时间：
2026-05

备注：

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

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投标 / 标书制作要点（原创）

本多气体等离子体聚焦离子束电子束双 多气体等离子体聚焦离子束电子束双束显微镜 多气体等离子体聚焦离子束电子束双束涉及「招标采购公告」，投标方需重点关注：① 营业执照经营范围须含招标采购公告或对应服务类目；② 提供同类项目业绩证明；③ 报价方案与售后响应须明确；④ 紧盯投标截止与开标节点，建议提前完成标书制作与盖章。天津项目常要求本地化服务能力与快速响应，务必在投标文件中凸显。

标书制作联系冯经理：17551026086