真空应用设备 种子招标采购公告（深圳大学2026）

深圳大学种子层金属原子层沉积意向公开

采购单位:
深圳大学

项目名称:
种子层金属原子层沉积

预算金额（元）:
5,050,000.000

采购品目:
真空应用设备

采购需求概况:
拟采购种子层金属原子层沉积（ALD）设备一台，主要用于高深宽比微结构的金属种子层薄膜沉积。核心需求：具备优异的台阶覆盖率（≥95%）与极佳的成膜均匀性，实现原子级厚度精准控制；配备高稳定性的前驱体输送及温控系统，腔体需具备优异的颗粒污染控制能力；兼容SECS/GEM协议，供应商需提供长期的工艺指导及快速响应的维保服务。

预计采购时间:
2026-7

联系人:
刘老师

联系电话:
075589837623

备注:
无

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准

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投标 / 标书制作要点（原创）

本真空应用设备 种子涉及「招标采购公告」，投标方需重点关注：① 营业执照经营范围须含招标采购公告或对应服务类目；② 提供同类项目业绩证明；③ 报价方案与售后响应须明确；④ 紧盯投标截止与开标节点，建议提前完成标书制作与盖章。当地项目常要求本地化服务能力与快速响应，务必在投标文件中凸显。

标书制作联系冯经理：17551026086