氮化镓金属有机化合物气相沉积设备招标采购公告（季华实验室2026）

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公告标题： 季华实验室2026年06月至2026年07月政府采购意向

公告编号： 8a7e8bcb9eb59a30019eb5af8d7904f2

公告发布时间： 2026-06-17 08:45:06

公告性质： 正常公告

为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将本单位2026年06月至2026年07月采购意向公开如下：

序号
采购项目名称
采购需求概况
落实政府采购政策情况
预算金额(元)
预计采购时间
备注

1
季华实验室采购氮化镓金属有机化合物气相沉积设备项目

标的名称：氮化镓金属有机化合物气相沉积设备

标的数量：1

主要功能或目标：1、要求薄膜沉积速率可达2μm/h。 2、 要求片内膜层均匀性：9点厚度均匀性偏差小于3%。 3、可以进行蓝宝石衬底 GaN 晶体生长基础工艺，GaN双晶衍射（002）小于3500 arcsec，（102）小于4500 arcsec。

需满足的要求：316L不锈钢腔体、带水冷；装载量：12片4英寸；水平行星式石墨托盘，自动开关盖；极限真空度:5×10-2Torr；生长室压力控制范围：5-760Torr，工艺气体最大流量：140slm。设计温度1250℃，升温速率大于1℃/S；中频盘S式线圈感应加热。 9路有机源采用流量计压力计控制，所有气路均使用SUS316L EP级管路。含浓度计。

落实国家关于节能产品、环保标志产品、促进中小企业发展、残疾人福利性单位、监狱企业产品、贫困地区农副产品等政策
3,950,000.00
2026年07月

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
季华实验室
2026年06月17日

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投标 / 标书制作要点（原创）

本氮化镓金属有机化合物气相沉积设备涉及「招标采购公告」，投标方需重点关注：① 营业执照经营范围须含招标采购公告或对应服务类目；② 提供同类项目业绩证明；③ 报价方案与售后响应须明确；④ 紧盯投标截止与开标节点，建议提前完成标书制作与盖章。当地项目常要求本地化服务能力与快速响应，务必在投标文件中凸显。

标书制作联系冯经理：17551026086