云南太阳能电池及储能器件制备平台 可再生能源材料先进技术与制备采购合同公告（云南师范大学2023）
合同编号：
4530000HT202321472
合同名称：
云南师范大学能源与环境科学学院可再生能源材料先进技术与制备教育部重点实验——太阳能电池及储能器件制备平台采购项目（一标段：原子层沉积(ALD)系统）
项目编号：
4530000JH202323111
项目名称：
云南师范大学能源与环境科学学院可再生能源材料先进技术与制备教育部重点实验——太阳能电池及储能器件制备平台采购项目
采购人（甲方）：
云南师范大学
供应商（乙方）：
深圳市原速光电科技有限公司
所属行业：
工业自动控制系统装置制造
合同金额：
1098000（元）
合同签订日期：
2023-12-17
合同公告日期：
2023-12-25
代理机构：
云南晨晟招标咨询有限公司
进口产品审核前公示：
采购公告（或单一来源审核前公示）：
中标、成交公告：
合同附件：
1标段合同.pdf
标段2023/12/611:52sjyngp.com/contact_contact.do?method=piniCover.oract=-4668.18348be411-3c8mmodelcustomid3合同编号：4530000HT202321472合同自编号：招标编号：本合同须加盖甲乙双方骑缝章有效云南省省级政府采购（委托采购）合书签订地点：云南昆云南省财政厅制2023/12/611:52sjyngp.com/contract_contract.do?method=printCover&contract_id=-48668bc8.18c348be41f.-3c8r&modelcustom_id=13甲方（采购人公章）名称：云南师范大学地址：云南省兄的市宝员区聚贤街768号确王德强邮编：650500法定代表人或委托代理人：项目（技术）负责人：电话：13888912788签订日期：乙方（供应商公章）名称：深圳市原速光电科技有限公司地址.深圳市宝安区西乡街道蚝业社区大锌湾蓝色未来科技园=期2栋1层邮编：518066法定代表人或委托代理人经办人：李雪融电话：6755-23216544签订日期：2023年12月17日丙方（鉴证方公章）名称：云南晨晟招标咨询有限公司层承有到明市丰华区科普路目地尚城商务中心1座座24楼。南邮编：600o云法定代表人或委托代理人经办人电话：9871163139199甲方：云南师范大学乙方：深圳市原速光电科技有限公司甲乙双方根据项目编号为CS202310020788“云南师范大学能源与环境科学学院可再生能源材料先进技术与制备教育部重点实验—一太阳能电池及储能器件制备平台采购（一标段）”公开招标采购结果，就乙方向甲方提供本合同第一条约定设备（产品）的相关事宜，经双方协定达成一致，签订以下内容：一、设备（产品）名称、品牌、型号规格、技术参数和数量、单价、总价：设备名称国别品牌规格型号数量单位单价（元）总价原子层沉积（ALD）系统SUPERALDE200SP1台1.098,000.001.098,000.00台计人民币壹佰零玖万捌仟元整人民币壹佰零玖万捌仟元整人民币壹佰零玖万捌仟元整人民币壹佰零玖万捌仟元整人民币壹佰零玖万捌仟元整1098000.00元详细的设备明细附后，作为本合同附件。二、随机资料和配套附属设备要求三、产品使用要求产品使用符合行业标准、国家现行标准，并满足甲方技术要求。四、配套设备要求及长期供应优惠条件五、备品备件（含易损件）要求及长期供应优惠条件六、合同总价人民币大写：壹佰零玖万捌仟元整小写：￥198000.00元以上价格为甲方指定地点统一交货价并包含安装、运输、装卸、调试及培训、售后服务等的全部费用，合同总价外乙方不得再向甲方收取任何费用，甲方有权拒付合同总价外的任何费用。七、甲乙双方的权利和义务（一）甲方的权利和义务1、负责合同签订后的项目实施工作（如与乙方的具体联系和衔接，现场安装调试时配备人员进行监管控制等）：2、负责提供设备和项目安装调试所必须的场地和环境；3、负责对设备和项目进行验收，经验收合格的签署验收报告：4、按合同约定享有乙方提供的设备服务。（二）乙方的权利和义务1、乙方保证按本合同约定负责完成甲方项目，并保证提供的设备是全新（包括零部件）、符合谈判文件约定、具有国家有关部门注册并符合国家质量检测标准（进口产品具有国家有关部门完整手续）和产品出厂标准的设备，各项技术参数符合招标文件要求和乙方投标文件承诺：设备及主要配件质保期为验收合格之日起（15）个月，并保证设备正常使用，报废前正常运行。具体服务：质保期内，乙方对设备提供全免费保修或免费更换；质保期满后，收取维修成本费（自然灾害及人为故意损坏除外）：主设备乙方提供现场维修，维修人员在收到故障报告后保证（5）小时内到达现场，软件类故障保证由售后服务人员（或工程师）在（2）天内修复，硬件类故障保证由售后服务人员（或工程师）在（3）天内修复：乙方保证在甲方指定地点供应备品备件（含易损件）和配套消耗品：乙方对所提供的设备在质保期内实行（6）月时间免费定期进行保养（或维护、巡检）制度：乙方为甲方提供保证设备正常、持续使用的技术支持、系统升级等售后服务。2、保证甲方在合同设备（有配套软件的还包括软件产品）使用期间不受第三方提出侵犯其专利权、商标权、工业设计权和知识产权的起诉，否则乙方应承担甲方因此所遭受的一切损失。3、严格遵守商务谈判中标所承诺的一切规定和条款；4、严格遵守招标文件、投标文件及成交所承诺的一切规定和条款；5、参与甲方共同进行设备和项目的验收。八、以上内容与甲方采购确认和乙方中标承诺情况一致（或中标产品和设备的技术及服务保证甲方正常使用）。九、技术培训：乙方向甲方提供不少于3天的设备使用人员现场例行免费培训，培训内容包括设备的使用、一般的维修、维护及保养等；食宿自理（各自负责）：大型设备（或谈判文件有要求、或谈判申请文件有承诺的），乙方还将负责甲方L人专业技术人员（或工程师）国内培训并应获得技术证书，培训及取得技术证书相应产生的费用由乙方负责，具体时间为天、地点为，其他由甲乙双方协定。十，甲方在设备使用过程中发生技术质量问题，乙方应提供及时有效的技术支持。乙方技术支持电话：王惟臻，联系人：18028775741十一、整体项目完成时间（即设备送达甲方指定地点并按规范安装调试完毕时间）为合同签订生效之日起60日内。设备交验地点和方式：合同签订后60日内，乙方负责将完整配套的原封设备（含开机必要消耗品）送到甲方指定的地点（云南师范大学），由甲乙双方共同开箱初验，并由乙方按合同规范要求完成安装测试。交货时，乙方随货向甲方交付设备必需的合格证、保修卡，相关资料（如操作手册、使用指南、维修手册、安装调试说明书、服务手册等）及配备的用件、工具等。现场验货时如缺少产品必需的台格证，相关资料及配备的备件、工具等，乙方应在（5）日内补齐，逾期未补齐的，甲方有权按照本合同第十五条要求乙方承担违约责任。十二、验收及验收标准1、设备验收：设备到达甲方指定地点后甲方统一初验外观及数量是否符合合同要求：2、项目验收：乙方负责设备安装和调试，完工后，甲方测试是否合格并满足技术要求：3、实作性操作验收：设备是否正常运作一个月或120机时。设备经甲方实作性操作验收合格后，甲乙双方共同在《验收报告》上签字盖章，验收合格的结果仅视为货物在外观、数量、型号、规格上符合约定的证明，检验合格文件的签署不使甲方丧失因质量问题而向乙方索赔和求偿的权利，同时不免除乙方对于货物质量缺陷或瑕疵负有的相应责任。十三、合同价款结算该项目没有预付款，在设备安装、调试、使用、验收合格，乙方提交完整的财务资料以后，在30个工作日内，甲方向乙方支付合同总价的100%，即人民币￥1098.000.00元。甲方付款前，乙方应向甲方开具符合法律规定的发票。乙方未向甲方提供发票的，甲方有权拒绝付款且不视为甲方违约。十四、履约保证金：合同签订前乙方向甲方交纳合同总价2%即人民币￥21960.00元的履约保证金。设备验收之日起一年后，且稳定运行无质量问题，乙方未发生需扣除履约保证金的违约情况的，甲方一次性无息退还乙方履约保证金。履约保证金请汇入以下银行账户：账户名称：云南师范大学账号：24029301040014887开户行：中国农业银行昆明呈贡区支行联行号：103731002933十五、违约责任：1、除发生不可抗力因素外，乙方所交设备和安装调试与本合同、招标文件要求不相符合或者质量不合格的，甲方有权拒收设备并要求乙方立即换新交付，乙方无权请求返还履约保证金；换新后仍不符合合同、招标文件要求或乙方限期内没有换新以及拒绝换新的，甲方有权解除本合同，因此发生的一切损失，由乙方全部承担，并有权要求乙方支付本合同约定总价款20%作为违约金。2、乙方逾期交货的，每逾期一日，应向甲方支付合同总额千分之一的违约金。因乙方不能按期交付设备或完成安装调试和所交设备或安装调试与合同标准不符使甲方造成经济损失的，乙方应依法赔偿。逾期十五日的，甲方有权解除本合同，因此发生的一切损失，由乙方全部承担，并有权要求乙方支付本合同约定总价款20%作为违约金。3、乙方不履行本合同或招标文件约定的售后、保修等义务的，甲方有权另行委托其他机构进行保修等，由此产生的费用及损失由乙方全部承担。4、甲方无正当理由拒收设备的，甲方向乙方偿付合同款总价千分之一的违约金，总额不超过合同总价的5%。5、甲方逾期支付合同款的，每逾期一日，应向乙方支付欠款总额千分之一的违约金，违约金总额不超过合同总价的5%。6、因乙方上述违约行给甲方造成的损失，甲方有权直接从乙方交纳的履约保证金中予以扣除，给甲方造成的损失超过履约保证金数额的，乙方还应当对超过部分予以赔偿。7、因一方违约对另一方造成损失的，违约方除按照合同约定承担违约责任外，还应赔偿守约方因此遭受的全部损失以及为主张权利而支出的律师费、保全费、鉴定费、公证费、律师费、交通费等一切合理费用。十六、甲乙双方在履行合同过程中发生纠纷，应协商解决，协商不成的向甲方所在地人民法院提起诉讼。十七、本合同其他未尽事宜，按《中华人民共和国民法典》及《中华人民共和国政府采购法》有关规定处理。十八、本合同一式玖份，甲方执陆份（含国有资产和实验室管理办公室贰份），乙方执贰份，丙方执壹份。十九、本合同自乙方按照招标文件要求向甲方交纳履约保证金后，且甲、乙双方法定代表人或委托代理人签字并加盖公章之日起生效。二十、下列文件是本合同不可分割之部分，与本合同具有同等法律效力：1、招标文件；2、成交人谈判申请文件或投标文件及其附录（如果有）；3、二次报价表（如果有）；4、成交通知书；5、合同书附件。6、其他合同文件。在合同订立及履行过程中形成的与合同有关的文件均构成合同文件组成部分。上述各项合同文件包括合同当事人就该项合同文件所作出的补充和修改，属于同一类内容的文件，应以最新签署的为准。附件：设备的详细技术参数标段序号设备名称详细技术参数、需求数量计量单位一标段1原子层沉积（ALD系统工作条件1.1电源电压：AC3801±10%，50Hz，二相五线：1.2长时间连续工作（满足7×24,即每周7天、每天24小时运行）2.设备基础规格2.1适用于8英寸、6英寸：4英寸、3英寸、2英寸及破片加工2.2设备运行过程中，整机外壳温度均不高于60℃，以保证操作的安全性：2.3.1真空腔材质为不锈钢，腔体表面经过电解抛光处理；2.3.2样品台室温至500℃可控，尺寸不小于200mm，可放样品高度不小于10mm；2.3.3腔体进气方式：前驱体蒸汽通过喷淋头进入真空腔，蒸汽自上面下流经衬底：★2.3.1腔体开关方式：可通过界面操作系统自动开关腔门，配备安全互锁检测功能，确保腔门在安全状态下开关：耐腐蚀o-ring密封：★2.3.5腔体具备快速开关真空隔离装置，防止前驱体气体和等离子体活性自由基交叉污染，避免污染电感耦合等离子体反应装置：★2.3.6真空腔体上方具备独立的反应气扩散区域，配备活动式结构，腔体上方所有结构可完全打开，便于清洁：2.3.7反应腔体内部配备可更换式内衬，维护时便于更换，★2.4.1至少配备7路前驱体源管路：2路常温源、4路加热源（不低于150℃）、1路高温源（不低于200）其中常温源管路需加配耐腐蚀微调阀：★2.4.2每个前驱体源气路至少配备1个源瓶（W280ml.）和2个进口阀门：2.4.3阀门配备安全互锁检测功能，在真空腔门打开时处于强制关闭状态，防止前驱体暴露在空气中2.4.4配备3路反应物管路，反应物包含H20、NH3、D3.每路反应物管路分别配备1个进口阀门：2.4.5反应物管路需加配微调阀，其中NH3、03管路需配备耐腐蚀微调阀2.4.6反应物H20管路需配备1个经过电解抛光处理且体积不小于190ml的不锈钢源瓶：2.4.7前驱体管路配有载气（N2），我气管路前端需配备计量调压阀、气动阀等：2.4.8吹扫管路采用1个质量流量控制器和个进口阀门门最高耐温不小于150℃用于控制性气体：2.49管路及接头均采用EP级电解抛光不锈钢材料，所有气体管路连接处采用金属VCR密封2.5源瓶系统：室温至150C可控，控制精度：±1C★2.6加热箱：室温至150C可控，控制精度：士1C，要求所有管路放置在加热箱内实现一体式加热，加热箱内管路温度均匀性±5C2.7采用固态维电器用于控制加热，符合UL、CSA、ROHS标准2.8真空泵采用双级油封式旋片真空泵，抽速65m/h，噪音不大于62dB2.9真空测量：至少配备2个真空压力计，包含一个高真空压力计和一个大气真空压力计。2.10高真空压力计采用薄膜规，要求高精度，长寿命，必须付腐钟性介质具有极高的耐受性，可在工艺进行的同时进行压力监测，精度：±0.25%读数：响应时间：（20ms：分辨率：≤0.005%FS:符合CE,ROHS规范3设备软硬件规格3.1控制系统配备工控机和PLC，工控机配备SSD固态硬盘，安装正版操作系统：PLC可支持2ms扫描周期；3.2输入设备配备鼠标、键盘和触摸显示器，显示器尺寸不小于19inch，可360度自由旋转，可调视距、视角、自由悬停：.3界面操作系统支持历史数据、报警日志的存储和导入导出功能34界面操作系统需实时展示系统加热状态、所有阀门开关状态，腔室压力状态3.5界面操作系统具备配方编辑功能，可对工艺参数沉积温度，循环次数、脉冲时间等进行编辑：3.6用户可设定设备及工艺运行时的报警参数，包括但不限于温度，压力、流量等：3.7用户可设定设备及工艺运行时的提醒参数，包括前驱体源用量追踪及提醒功能：3.8界面操作系统具备用户权限管理功能，可根据用户级别设定使用权限，针对操作人员分级管理：3.9界面操作系统支持多个配方交替运行，实现单一和多层薄膜材料的制备：3.10界面操作系统可自动完成Therma1-ALD和PEALD的单或多层配方运行：3.11界面操作系统配备独立的维护界面，所有管路具备自动清洗功能，确保ALD阀门与真空腔之间的管路没有前驱体残留；3.12阀门配备电磁阀，电磁阀响应时间5ms，带过电压保护回路，带动作指示灯4等离子体系统1.1采用电感耦合（ICP）远程等离子体激发源★4.2配备射频电源，频率13.56MHz，功率不小于1000W.冷却方式为风冷，功率输出稳定度及功率调节精度不大于10W.功率转化效率不小于65%，杂散功率抑制不小于-60dBc，谐波抑制不小于-50dBe；4.3配备自动匹配器，可自动进行阻抗匹配，缩短匹配时间：4.4配备自动匹配器集成步进马达和驱动器，集成VI传感器传感器具备检测射频功率输出端参数功能，匹配时间不大于3S:4.5配备2路气体管路，包含N2和024.6每路气体管路配备1个进口阀门和1个质量流量控制器：4.7等离子体工艺启辉窗口，功率范围30-1000W，压力范围0.05-1.0Torr。5.臭氧系统5.1臭氧发生器输入端至少配备1个质量流量控制器和一个气动阀门，用于调节氧气的流量：5.2臭氧发生器输出端至少配备1个微调阀和1个进口阀门：5.3臭氧发生器产量不小于7g/h，产生臭氧浓度最低不小于44.5g/m3，最高不小于90g/m3:5.4臭氧发生器集成臭氧尾气处理器，具备处理残余臭氧功能。6.热阱加热器6.1设备配备热阱加热器用于处理反应残余气6.2热阱加热器内部阱芯可更换；6.3热阱加热器最高可加热温度不小于400，控温精度±IC7.工艺及服务7.1工艺验收标准：8英寸（200mm）单晶硅片基底上沉积30mA1203薄膜，薄膜的不均匀性2%（均匀九点）8.质保期8.1货物免费保修期15个月，时间自最终验收合格并交付使用之日起计算保修期内，中标人对设备维修不收取任何费用，包括但不限于以下费用：零配件成本费、人工费、维修费等相关费用。保修期过后，提供有偿维修服务。台中标通知书项目编号：CS202310020788-001深圳市原速光电科技有限公司（中标单位）：云南师范大学能源与环境科学学院可再生能源材料先进技术与制备教育部重点实验—一太阳能电池及储能器件制备平台采购（一标段）于2023年11月22日上午09时00分在云南省公共资源交易中心进行，公开招标后，经评标委员会评定，现确定你单位为中标单位。中标总价：1098000.00元；交付时间：合同签订后60天内完成交货；质量标准：承诺提供的设备是全新、符合采购需求、符合国家质量检测标准和产品出厂标准的设备：其他承诺：承诺提供及时、迅速、专业的售后服务。请你方在接到本通知书后的30日内与采购人联系签订合同。范S招标床：（盖章南期2023年二月日日招标代理机构：（盖章）7二日期：2023年11月298日
投标 / 标书制作要点（原创）
本太阳能电池及储能器件制备平台 可再生能源材料先进技术与制备涉及「采购合同公告」，投标方需重点关注：① 营业执照经营范围须含采购合同公告或对应服务类目；② 提供同类项目业绩证明；③ 报价方案与售后响应须明确；④ 紧盯投标截止与开标节点，建议提前完成标书制作与盖章。云南项目常要求本地化服务能力与快速响应，务必在投标文件中凸显。
标书制作联系冯经理：17551026086
