广东原子力显微镜采购合同公告（广东中科半导体微纳制造技术研究院2025）
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采购项目名称： 广东中科半导体微纳制造技术研究院采购原子力显微镜项目
采购计划编号： 440605-2024-11145
公告性质： 正常公告
一、合同编号
GZGK24D916A1144Z
二、合同名称
广东中科半导体微纳制造技术研究院采购原子力显微镜项目
三、项目编号
GZGK24D916A1144Z
四、项目名称
广东中科半导体微纳制造技术研究院采购原子力显微镜项目
五、合同主体
采购人(甲方)：广东中科半导体微纳制造技术研究院
地址：广东省佛山市南海区狮山镇科教路1号
联系方式：0757-88591813
供应商(乙方)： 广州熠耀贸易有限公司
地址： 广州市天河区体育西路103号之一1105房C1室
联系方式：18312839024
六、合同主要信息
主要标的：
序号
名称
数量(单位)
单价(元)
总价(元)
1
原子力显微镜
1(套)
1,380,000.00
1,380,000.00
合同金额： 1,380,000.00元，大写金额：壹佰叁拾捌万元整
履约期限：2025年02月18日至2026年02月17日
履约地点：广东佛山
采购方式：公开招标
七、合同签订日期
2025年02月18日
八、合同公告日期
2025年03月27日
九、其他补充事宜
合同附件：
1.采购合同公告附件.pdf
广东中科半导体微纳制造技术研究院
2025年03月27日
1.采购合同公告附件.pdf
采购合同合同编号：ZCBA2502003甲方（采购人）：广东中科半导体微纳制造技术研究院乙方（中标人）：广州熠耀贸易有限公司丙方（进口外贸代理公司）：佛山市盈卓贸易有限公司丁方（中标人指定境外公司）：南方卓越國際有限公司根据《中华人民共和国政府采购法》、《中华人民共和国民法典》等相关法律法规及广南方卓有阳东中科半导体微纳制造技术研究院采购原子力显微镜项目招标文件（项目编号：HLOOSGZGK24D916A1144Z）的要求，经三方协商，本着平等互利和诚实信用的原则，一致同意签订本合同。一、货物内容序号商品名称（中英文）型号规格品牌制造商（全称）产地数量币种单价金额1AtomicForceMicroscope原子力显微镜DimensionEdgeBrukerBrukerNanoInc美国1人民币1,380,000.001,380,000.00海关免税总金额（￥1,380000.00）：(人民币壹佰叁拾捌万元整）注：货物名称内容必须与响应文件中货物名称内容一致。1、价格总价为指定交货地点的交货价。包括：DAP价和其他伴随服务费用。其他伴随服务费用包括但不限于以下费用：（1）货物从进口口岸至最终目的地的关境内运输、保险和其他当地发生的伴随费用。（2）安装与调试、初步及最终验收、检验、培训、技术文件的移交、质量保证期服务、技术服务、装货费及招标文件要求提供的其它服务。（3）按照采购需求中要求的除以上费用外的其他相关费用。2、货物进口所需办理的免税手续由乙方协助甲方办理，甲方支付丙方代理进口业务手续费，具体金额由甲方丙方之间签订的外贸代理服务协议另行约定。佛3、乙方授权丁方作为乙方指定的境外公司，与甲方就该项目签署并执行外贸合同，履行提供货物及售后服务的责任，对应合同号ZCBA2502002，总金额为海关免税价，F人民币1,380000.00元，从中国广州白云机场口岸入境。4、实际支付时，甲方以人民币向丙方支付中标金额，丙方以当日汇率向丁方支付外贸合同金额，甲方以中标金额为支付上限。对于由于汇率原因导致中标合同额不足支付乙方或丁方的全部费用时，乙方及丁方同意并承诺不再向甲方或丙方主张收款的权利。二、合同金额合同金额为：（币种：人民币）人民币壹佰叁拾捌万元整三、设备要求1、乙方提供的货物必须符合中华人民共和国“国家安全环保标准。”2、货物为原制造商制造的全新产品（含零部件、配件、随机工具等），整机无污染，无侵权行为、表面无划损、无任何缺陷隐患、无碰撞、配件齐全，完全符合国家有关质量标准，并附有产品质量检验合格证书，在中国境内可依常规安全合法使用。3、进口产品必须具备原产地证明和商检局的检验证明及合法进货渠道证明。4、货物为原厂商未启封全新包装，具出厂合格证，序列号、包装箱号与出厂批号一致，并可追溯查阅。5、乙方应将关键主机设备的用户手册、保修手册、有关单证资料及配备件、随机工具等交付给甲方，使用操作及安全须知等重要资料应附有中文说明。6、如果发现货物的质量和规格与合同规定不符或货物在质量保证期内被证明有缺陷，包括内在缺陷或使用不适当原材料，甲方将有权要求有关部门进行检验，并依据检验证书向乙方索赔。四、知识产权乙方保证合同项下提供的货物不侵犯任何第三方的专利权、商标权或其它知识产权。否则，乙方须承担对第三方的专利权、商标权或其它知识产权的侵权责任并承担因此而发生的所有费用及给甲方造成的损失。五、交货期、交货方式及交货地点1、交货期：自合同签订之日起120日（日历日）内交货2、交货方式：送货到现场3、交货地点：甲方指定地点，佛山市南海区狮山镇科教路1号六、付款方式由丙方开具信用证及付款给乙方指定的的境外公司即丁方，按以下期数和条件执行：1、预付款30%。合同签订生效后10个工作日内，以电汇（T/T）方式支付合同总额的30%。2、初步验收款60%。卖方发货后，凭发货通知买方向卖方开出合同剩余金额的信用证，卖方于10个工作日内凭货物出关发货单及经买卖双方盖章确认的初步验收报告（初步验收报告内容为设备外观验收情况、清单配置、参数确认合格）兑现合同总额的60%。3、尾款10%。设备完成安装调试后试运行1年稳定且检测分析数据准确组织最终稳定性验收，凭用户项目现场最终验收单卖方于10个工作日内完成合同总额10%的承兑。七、培训、质量保证期质量保证期及售后服务要求1、乙方负责甲方使用人员的使用操作技术及维护技术的培训。2、本合同的质量保证期（简称“质量保证期”）为壹年，自甲乙双方代表在货物安装调试完成之日起计算（以安装调试时双方签名确认单日期为准）。质量保证期内乙方对所供货物实行包修、包换、包退、包维护保养，期满后可同时提供终身有偿维修保养服务。3、质量保证期内，如设备或零部件因非人为因素出现故障而造成短期停用时，则质量保证期和维修期相应顺延（费用包含在报价内）。如停用时间累计超过60天则质量保证期重新计算。4、在质量保证期内，如货品非因甲方的人为原因而出现的问题由乙方负责保修、包换或包退，并承担修理、调换或退货的实际费用。5、质量保证期内，乙方负责对其提供的货物整机进行维修和系统维护，不再收取任何费用，但非乙方责任的人为因素、自然因素（如火灾、雷击等）造成的故障除外。6、对甲方的服务通知，乙方在接报后2小时内响应，24小时内到达现场，48小时内处理完毕。若在48小时内仍未能有效解决，乙方须提供同一档次的设备予甲方临时使用（费用包含在报价内）。7、质量保证期间，同一硬件一个月内连续2次出现同一故障，乙方须无偿更换同一档次货物。8、负责维修和提供技术支持的单位名称：布鲁克（北京）科技有限公司广州培训及服务中心地址：广州市海珠区新港东路618号南丰汇6楼A12号联系人：陈苇纲博士电话：13370119673手机：13370119673八、包装、到货检验、安装与调试：1、合同货物的包装：应使用崭新坚固的木箱，适合于空运、海运或者陆运等长途运输方式，货物的包装均应有良好的防湿、防锈、防潮、防雨、防腐及防碰撞的措施。包装内附装箱单。凡由于包装不良造成的损失和由此产生的费用均由乙方承担。2、到货检验（1）货物的到货初步验收包括：型号、规格、数量、外观质量及货物包装完整无破损，在货物抵达交货目的地后，甲乙双方就货物外观质量、规格和型号进行初步检验。货物为原厂商未启封全新包装，具出厂合格证，序列号、包装箱号与出厂批号一致，并可追溯查阅。所有随货物的附件必须齐全。如果发现到货的外观质量、规格和型号与合同不符，甲方有权拒收货物，并可向乙方索赔。（2）进口货物送到甲方指定场地后，甲、乙、丙三方同时在场时才能开封检验。3、合同货物的安装调试：（1）除非甲方另有通知，乙方应按照合同的要求以及合同执行计划的时间安排，派出足够的人员进行现场安装和负责调试工作，并在安装调试的同时对甲方工作人员进行现场培训。（2）乙方必须依照招标文件的要求和响应报价文件的承诺，将设备、系统安装并调试至正常运行的最佳状态。（3）合同项下的安装调试所发生费用及耗材由乙方承担。（4）乙方安装时须对各安装场地内的其它货物、设施有良好保护措施。九、验收1、设备到货后，甲方在收到乙方项目验收建议之日起10个工作日（如乙方属于中小企业【响应文件提交《中小企业声明函》作为判断的依据】，则验收时限调整为收到乙方项目验收建议之日起7个工作日内）内按照合同的约定对履约情况进行初步验收，对每一项技术、服务、安全标准的履约情况进行确认。初步验收指标按附件1、2、3提供的配置清单和参数进行初步验收，设备外观、配置清单和参数无误为合格。初步验收合格后，设备完成安装调试并经双方签名确认后试运行1年稳定且检测分析数据准确组织最终稳定性验收，按附件5验收标准进行验收，最终验收通过后甲乙双方签署最终验收单。2、交付验收标准依次序对照适用标准为：①符合中华人民共和国“国家安全质量标准、环保标准或行业标准；”②符合招标文件和响应承诺中甲方认可的合理最佳配置、参数及各项要求；③货物来源国官方标准。3、进口产品的必须具备原产地证明和商检局的检验证明及合法进货渠道证明。4、货物为原厂商未启封全新包装，具出厂合格证，序列号、包装箱号与出厂批号一致，并可追溯查阅。所有随设备的附件必须齐全。5、乙方将货物的用户手册、保修手册、有关单证资料及备品备件、随机工具等交付给甲方，使用操作及安全须知等重要资料应附有中文说明。6、货物验收所发生的检验费用由乙方负担。7、设备到货并经乙方技术人员安装后，甲方有权委托中国有资格的单位对上述设备进行校准或检验。8、甲方组成验收小组，按照采购合同规定的技术、服务、安全标准组织对乙方履约情况进行验收。因货物质量问题发生争议时，由甲方本地质量技术监督部门鉴定。货物符合质量技术标准的，鉴定费由甲方承担；否则鉴定费由乙方承担。9、当出现不合格产品时，乙方要无条件更换合格产品。除甲方认可，否则不接受任何形式的降格处理。十、违约责任与赔偿损失1、乙方交付的货物不符合招标文件、报价文件或本合同规定的，甲方有权拒收，并且乙方须向甲方支付本合同总价5%的违约金。2、乙方未能按本合同规定的交货时间交付货物的，从逾期之日起每日按本合同总价3‰的数额向甲方支付违约金；逾期半个月以上的，甲方有权终止合同，由此造成的甲方经济损失由乙方承担。3、甲方无正当理由拒收货物，甲方逾期未按政府采购支付流程办理付款申请手续的，则每日按本合同总价的3‰向乙方偿付违约金。4、乙方如没有按合同规定履行售后服务承诺，甲方可由第三方单位进行修复，其费用全部由乙方支付，否则，将追究乙方违约的法律责任。5、因甲方原因导致变更、中止或者终止政府采购合同的，甲方对乙方受到的损失予以赔偿或者补偿，赔偿或者补偿金额为：合同总价1%。6、其它违约责任按《中华人民共和国民法典》处理。十一、履约保证金无。十二、争议的解决合同执行过程中发生的任何争议，三方应通过友好协商解决，若经协商不能达成协议时，则向甲方有管辖权的所在地人民法院提起诉讼。诉讼期间，双方应继续执行合同其余部分。十三、不可抗力任何一方由于不可抗力原因不能履行合同时，应在不可抗力事件结束后1日内向其他两方通报，以减轻可能给其他两方造成的损失，在取得有关机构的不可抗力证明或双方谅解确认后，允许延期履行或修订合同，并根据情况可部分或全部免于承担违约责任。十四、其它1、本合同所有附件、招标文件、响应文件、成交通知书均为合同的有效组成部分，与本合同具有同等法律效力。2、在执行本合同的过程中，所有经甲乙丙三方签署确认的文件（包括会议纪要、补充协议、合同修改、往来信函）即成为本合同的有效组成部分。3、如一方地址、电话、传真号码有变更，应在变更当日内书面通知其他两方，否则，应承担相应责任。4、除甲方事先以书面形式确认同意外，乙方、丙方不得部分或全部转让其应履行的合同项下的义务。十五、合同生效：1、本合同在甲乙丙三方法人代表或其授权代表签字并盖章及乙方提交履约保证金后生效。如果不需要提交履约保证金的则甲乙丙三方法人代表或其授权代表签字并盖章后生效。2、合同壹式陆份。甲方执贰份，乙丙两方各执壹份，招标代理机构壹份，具同等法律效力。本合同附件包括：附件一:设备配置清单》；附件二：《设备主要参数》；附件三：《随配工具、备品和配件清单》；附件四：《技术培训》；附件五：《验收标准》。（以下无正文）Y【此页为签署页】甲方（盖章）：广东中科半导体微纳制造技术研究院乙方（盖章）：广州熠耀贸易有限公司地址：佛山市南海区狮山镇科教路一号地址：广州市天河区体育西路103号之一1105房C1室代表：一代表：佩劳签订日期：0挥02月18日签订日期：：年月日开户名称：广东中科半导体微纳制造技术研究院开户名称：广州熠耀贸易有限公司银行账号：392080100100202062银行账号：44052001040008828开户行：兴业银行股份有限公司佛山南海支行开户行：中国农业银行广州珠江帝景支行NTERNATIONAL丙方（盖章）：佛山市盈卓贸易有限公司丁方（盖章八；南方卓越國際有限公司SOUTHCHERRYINEERNATIONALCO:LTD地址：佛山市南海区桂城桂平中路65号鸿晖都市产业新城2栋701地址：香港湾仔骆克道348-350号恒发商业大厦8楼B室L00s米UNITB,8/F,HENFACOMMERCIALBLDG,348-350LOCKHARTWANCHAIHONGKONG代表：子代表：签订日期：年月日签订日期：年月日开户名称：佛山市盈卓贸易有限公司开户名称：SOUTHCHERRYINTERNATIONALCO.,LTD银行账号：14948000000233439银行账号：744-1-70542818（人民币账户）开户行：华夏银行佛山禅城支行开户行：CHINACITICBANKINTERNATIONALLIMITEDSwiftCode:KWHKHKHH签订地点：广东佛山附件1：设备配置清单：序号订单号描述数量1.EDGE-BASEDimensionEdgeClosedLoopScanningProbeMicroscopeDimensionEDGE闭环原子力微区测试测试系统DimensionEdge大样品探针扫描原子力显微镜几乎可以实现所有的AFM的功能，系统包括150mm全自动样品台，15mm的样品高度。样品台重复性（XY轴）：8um。样品台可编程，实现多点扫描。光学视频可从180um到1465um。12.DMEDGE-ControllerDimensionEdge控制器DimensionEdge控制器系设置了内置通道接口，可控制扫描探针显微镜，光学系统及自动样品台，包括PC部分及V8的软件系统，提供直接的模式切换。13.DMEDGE-ScannerDimensionEDGEXYZ闭环扫描头EDGEXYZ三方向闭环可与应用模块匹配的扫描头，XY方向扫描范围大于90umx90um，垂直方向扫描范围不小于10um。带有温度补偿传感器的闭环操作可用于精密成像，定位，缩放和纳米刻蚀14DMEDGE-150mm通用型150mm样品台样品尺寸可达直径200mm.数字马达控制，真空吸附。15.EDGEOptical5百万像素数字摄像头，观察范围：180um~1465um，自动缩放及聚焦16.PeakForcePeakForce峰值力模式最新的原子力显微镜技术，可有效的控制探针和样品之间的相互作用力，以小至20pN的力成像，在获得高分辨率数据的同时可以有效的保护探针和样品。特别适合测试凝胶、细胞、聚合物等软\\粘的样品。17.ScanAsyst智能扫描功能（ScanAsyst）用户只需要选择扫描速度及扫描范围，系统即可自动调整反馈，无需寻找共振峰，无需调整反馈参数gain值18.Probesandaccessories原配置包括两个探针支架（Model：DAFMCH，及一套标准工具备件19.VacuumChuckAirVacuumModuleKit真空吸附模块DimensionICON原子力显微镜系统的马达和真空吸附功能。110.EFMEFM表面电场显微镜111.MFMMFM磁力显微镜1易R12.ProgramMoveProgramMove多点自动测试功能高性能控制器配合全自动样品台，可自定义编程实现多测试位点的自动测试，实现自动移动样品、自动下针、自动测试、自动保存结果、自动抬针并移动到下一位点，直至测试结束。可大大提高设备的测试效率。113.AdhesionAdhesionForceMeasurement粘附力测试在测试形貌的同时，进行样品表面各处粘附力差异的测试，间接的区分不同材质，比如晶圆上的污染物颗粒。114.VT-102-2VibrationIsolationTableforDimensionDimension防震台1A附件2：设备主要参数配置功能列表2.1.智能扫描模式（ScanAsyst）2.2.接触式原子力模式（ContactAFM）2.3.轻敲模式（TappingMode）2.4.力曲线及力谱线2.5.相位成像（Phaseimaging）2.6.横向力/摩擦力显微镜（LFM）主要参数1.峰值力成像模式，利用针尖与样品的直接相互作用力作为反馈，可直接控制针尖与样品的相互作用力低至50pN，大大减少了针尖的磨损，提高了横向分辨率。2.XYZ三轴闭环扫描器，XY方向90微米，Z方向10微米，低热飘移的水平：0.2nm/Min要求可实现原子像测试要求。3要求具备全探针扫描技术的扫描器，扫描过程中由扫描器带动探针进行XYZ三个方向的移动，而样品为完全静止状态，以保证大样品以及液体环境测试的安全和稳定。4智能扫描功能（ScanAsyst），自动设定扫描，用户只需要选择扫描速度及扫描范围，系统即可自动调整反馈，无需寻找共振峰,无需调整反馈参数gain值（可直接液体环境成像)5.样品台：150mm移动范围全自动样品台（真空吸附样品台），可程序化控制，样品台可360度旋转。6.八通道实时采集数据7.至少5百万像素数字摄像头，自动缩放及聚焦，光学分辨率优于1.5um。8.防震：提供防震装置（需要防止低频共振），可实现闪耀光栅原子台阶测试要求。r附件3：随配工具、备品和配件清单序号名称规格型号数量单位1探针与设备配套使用，轻敲70KHZ2n/m100个2探针夹与设备配套使用2只3针座与设备配套使用1只4标准样品含云母、石墨、三维光栅、磁带等1套5随配工具包括专用镊子、磁力探针磁化器等1套附件4:技术培训本合同履行过程中，乙方应对甲方相关工作人员进行免费的技术指导与培训，完成对设备的基本结构、主要部件的构造，日常使用操作、保养与管理，常见故障的排除等方面的培训，培训要解决管理、使用、维护等人员的使用要求，以最终达到相关管理人员和使用人员能够熟练使用、维护设备为止。具体方案如下：序号类别培训内容培训对象计划时间培训地点1理论培训仪器的各硬件组成。仪器的工作原理。操作工程师1天客户指定地点2上机培训仪器的操作。仪器各功能的演示。仪器的校准。操作工程师1天客户指定地点3维护保养培训仪器的维护，常见故障分析与解决，操作安全与紧急事项处理。操作工程师半天客户指定地点4实操培训用户上机操作操作工程师1天客户指定地点E附件5：验收标准EdgeHead及样品台扫描管范围检测：XY:：_rm，应不小于85m（)；Z：m，应不小于9.5m（）系统噪音检测：_nmRMS，应小于0.05nm（）测试方法：关闭Z方向的闭环，扫描Onm范围，获取Height图像，测量图像的Rq值。扫描管z方向闭环噪音水平：nmRMS，应小于0.2nm（）测试方法：打开Z方向闭环，扫描Onm范围，获取Heightsensor图像，测量图像的Rq值。X方向的精确度：测试方法：扫描标准样品，确保测量的尺寸与标准尺寸的偏差在2%以内。Y方向的精确度：测试方法：扫描标准样品，确保测量的尺寸与标准尺寸的偏差在2%以内。z方向的精确度：测试方法：扫描标准样品，确保测量的尺寸与标准尺寸的偏差在2%以内。闭环扫描管的XY方向正交性：（90°±2°）。（（90°±2°）测试方法：扫描标准样品，测量所获得的光栅图像X边缘与边缘的角度，确保此角度在90°±2°范围内。样品台XY方向移动范围：X方向mm，应≥150mm(√）Y方向mm，应150mm(）扫描探针显微镜操作部分：演示ScanAsyst模式）以标准光栅样品为标准，获得清晰的光栅图像。演示Tapping模式）以标准光栅样品为标准，获得清晰的光栅图像。演示Contact模式）以标准光栅样品为标准，获得清晰的光栅图像。演示LFM模式）以标准光栅样品为标准，获得LFM图像。演示相位成像模式（）以聚合物样品为标准，获得清晰的相位图像。演示力曲线（）在标准样品表面获得力曲线。演示扫描管校准过程）除以上标准，还需满足：（1）以10um的光栅标样，校准XY方向的尺寸，精度在±2%以内。（2）以10um的光栅标样，校准Z方向的尺寸，精度在±2%以内。（3）在Si片上扫描一幅图像，测量此图像的粗糙度，测量值小于0.05nm。（4）接触模式的验收：用10um和1um的光栅标样进行扫描，得到边缘清晰的光栅图像。（5）轻敲模式的验收：用10um和1um的光栅标样进行扫描，得到边缘清晰的光栅图像。（6）纳米台阶测试：用采购人提供的表面粗糙度Rq0.1-1nm的GaN外延片作为样品，得到边缘清晰的2*2um、5*5um和20*20um扫描范围内的纳米台阶图像。如不符合以上验收标准，不予以验收。内海公工83采购合同合同编号：ZCBA2502003甲方（采购人）：广东中科半导体微纳制造技术研究院乙方（中标人）：广州熠耀贸易有限公司丙方（进口外贸代理公司）：佛山市盈卓贸易有限公司丁方（中标人指定境外公司）：南方卓越國際有限公司根据《中华人民共和国政府采购法》、《中华人民共和国民法典》等相关法律法规及广南方卓有阳东中科半导体微纳制造技术研究院采购原子力显微镜项目招标文件（项目编号：HLOOSGZGK24D916A1144Z）的要求，经三方协商，本着平等互利和诚实信用的原则，一致同意签订本合同。一、货物内容序号商品名称（中英文）型号规格品牌制造商（全称）产地数量币种单价金额1AtomicForceMicroscope原子力显微镜DimensionEdgeBrukerBrukerNanoInc美国1人民币1,380,000.001,380,000.00海关免税总金额（￥1,380000.00）：(人民币壹佰叁拾捌万元整）注：货物名称内容必须与响应文件中货物名称内容一致。1、价格总价为指定交货地点的交货价。包括：DAP价和其他伴随服务费用。其他伴随服务费用包括但不限于以下费用：（1）货物从进口口岸至最终目的地的关境内运输、保险和其他当地发生的伴随费用。（2）安装与调试、初步及最终验收、检验、培训、技术文件的移交、质量保证期服务、技术服务、装货费及招标文件要求提供的其它服务。（3）按照采购需求中要求的除以上费用外的其他相关费用。2、货物进口所需办理的免税手续由乙方协助甲方办理，甲方支付丙方代理进口业务手续费，具体金额由甲方丙方之间签订的外贸代理服务协议另行约定。佛3、乙方授权丁方作为乙方指定的境外公司，与甲方就该项目签署并执行外贸合同，履行提供货物及售后服务的责任，对应合同号ZCBA2502002，总金额为海关免税价，F人民币1,380000.00元，从中国广州白云机场口岸入境。4、实际支付时，甲方以人民币向丙方支付中标金额，丙方以当日汇率向丁方支付外贸合同金额，甲方以中标金额为支付上限。对于由于汇率原因导致中标合同额不足支付乙方或丁方的全部费用时，乙方及丁方同意并承诺不再向甲方或丙方主张收款的权利。二、合同金额合同金额为：（币种：人民币）人民币壹佰叁拾捌万元整三、设备要求1、乙方提供的货物必须符合中华人民共和国“国家安全环保标准。”2、货物为原制造商制造的全新产品（含零部件、配件、随机工具等），整机无污染，无侵权行为、表面无划损、无任何缺陷隐患、无碰撞、配件齐全，完全符合国家有关质量标准，并附有产品质量检验合格证书，在中国境内可依常规安全合法使用。3、进口产品必须具备原产地证明和商检局的检验证明及合法进货渠道证明。4、货物为原厂商未启封全新包装，具出厂合格证，序列号、包装箱号与出厂批号一致，并可追溯查阅。5、乙方应将关键主机设备的用户手册、保修手册、有关单证资料及配备件、随机工具等交付给甲方，使用操作及安全须知等重要资料应附有中文说明。6、如果发现货物的质量和规格与合同规定不符或货物在质量保证期内被证明有缺陷，包括内在缺陷或使用不适当原材料，甲方将有权要求有关部门进行检验，并依据检验证书向乙方索赔。四、知识产权乙方保证合同项下提供的货物不侵犯任何第三方的专利权、商标权或其它知识产权。否则，乙方须承担对第三方的专利权、商标权或其它知识产权的侵权责任并承担因此而发生的所有费用及给甲方造成的损失。五、交货期、交货方式及交货地点1、交货期：自合同签订之日起120日（日历日）内交货2、交货方式：送货到现场3、交货地点：甲方指定地点，佛山市南海区狮山镇科教路1号六、付款方式由丙方开具信用证及付款给乙方指定的的境外公司即丁方，按以下期数和条件执行：1、预付款30%。合同签订生效后10个工作日内，以电汇（T/T）方式支付合同总额的30%。2、初步验收款60%。卖方发货后，凭发货通知买方向卖方开出合同剩余金额的信用证，卖方于10个工作日内凭货物出关发货单及经买卖双方盖章确认的初步验收报告（初步验收报告内容为设备外观验收情况、清单配置、参数确认合格）兑现合同总额的60%。3、尾款10%。设备完成安装调试后试运行1年稳定且检测分析数据准确组织最终稳定性验收，凭用户项目现场最终验收单卖方于10个工作日内完成合同总额10%的承兑。七、培训、质量保证期质量保证期及售后服务要求1、乙方负责甲方使用人员的使用操作技术及维护技术的培训。2、本合同的质量保证期（简称“质量保证期”）为壹年，自甲乙双方代表在货物安装调试完成之日起计算（以安装调试时双方签名确认单日期为准）。质量保证期内乙方对所供货物实行包修、包换、包退、包维护保养，期满后可同时提供终身有偿维修保养服务。3、质量保证期内，如设备或零部件因非人为因素出现故障而造成短期停用时，则质量保证期和维修期相应顺延（费用包含在报价内）。如停用时间累计超过60天则质量保证期重新计算。4、在质量保证期内，如货品非因甲方的人为原因而出现的问题由乙方负责保修、包换或包退，并承担修理、调换或退货的实际费用。5、质量保证期内，乙方负责对其提供的货物整机进行维修和系统维护，不再收取任何费用，但非乙方责任的人为因素、自然因素（如火灾、雷击等）造成的故障除外。6、对甲方的服务通知，乙方在接报后2小时内响应，24小时内到达现场，48小时内处理完毕。若在48小时内仍未能有效解决，乙方须提供同一档次的设备予甲方临时使用（费用包含在报价内）。7、质量保证期间，同一硬件一个月内连续2次出现同一故障，乙方须无偿更换同一档次货物。8、负责维修和提供技术支持的单位名称：布鲁克（北京）科技有限公司广州培训及服务中心地址：广州市海珠区新港东路618号南丰汇6楼A12号联系人：陈苇纲博士电话：13370119673手机：13370119673八、包装、到货检验、安装与调试：1、合同货物的包装：应使用崭新坚固的木箱，适合于空运、海运或者陆运等长途运输方式，货物的包装均应有良好的防湿、防锈、防潮、防雨、防腐及防碰撞的措施。包装内附装箱单。凡由于包装不良造成的损失和由此产生的费用均由乙方承担。2、到货检验（1）货物的到货初步验收包括：型号、规格、数量、外观质量及货物包装完整无破损，在货物抵达交货目的地后，甲乙双方就货物外观质量、规格和型号进行初步检验。货物为原厂商未启封全新包装，具出厂合格证，序列号、包装箱号与出厂批号一致，并可追溯查阅。所有随货物的附件必须齐全。如果发现到货的外观质量、规格和型号与合同不符，甲方有权拒收货物，并可向乙方索赔。（2）进口货物送到甲方指定场地后，甲、乙、丙三方同时在场时才能开封检验。3、合同货物的安装调试：（1）除非甲方另有通知，乙方应按照合同的要求以及合同执行计划的时间安排，派出足够的人员进行现场安装和负责调试工作，并在安装调试的同时对甲方工作人员进行现场培训。（2）乙方必须依照招标文件的要求和响应报价文件的承诺，将设备、系统安装并调试至正常运行的最佳状态。（3）合同项下的安装调试所发生费用及耗材由乙方承担。（4）乙方安装时须对各安装场地内的其它货物、设施有良好保护措施。九、验收1、设备到货后，甲方在收到乙方项目验收建议之日起10个工作日（如乙方属于中小企业【响应文件提交《中小企业声明函》作为判断的依据】，则验收时限调整为收到乙方项目验收建议之日起7个工作日内）内按照合同的约定对履约情况进行初步验收，对每一项技术、服务、安全标准的履约情况进行确认。初步验收指标按附件1、2、3提供的配置清单和参数进行初步验收，设备外观、配置清单和参数无误为合格。初步验收合格后，设备完成安装调试并经双方签名确认后试运行1年稳定且检测分析数据准确组织最终稳定性验收，按附件5验收标准进行验收，最终验收通过后甲乙双方签署最终验收单。2、交付验收标准依次序对照适用标准为：①符合中华人民共和国“国家安全质量标准、环保标准或行业标准；”②符合招标文件和响应承诺中甲方认可的合理最佳配置、参数及各项要求；③货物来源国官方标准。3、进口产品的必须具备原产地证明和商检局的检验证明及合法进货渠道证明。4、货物为原厂商未启封全新包装，具出厂合格证，序列号、包装箱号与出厂批号一致，并可追溯查阅。所有随设备的附件必须齐全。5、乙方将货物的用户手册、保修手册、有关单证资料及备品备件、随机工具等交付给甲方，使用操作及安全须知等重要资料应附有中文说明。6、货物验收所发生的检验费用由乙方负担。7、设备到货并经乙方技术人员安装后，甲方有权委托中国有资格的单位对上述设备进行校准或检验。8、甲方组成验收小组，按照采购合同规定的技术、服务、安全标准组织对乙方履约情况进行验收。因货物质量问题发生争议时，由甲方本地质量技术监督部门鉴定。货物符合质量技术标准的，鉴定费由甲方承担；否则鉴定费由乙方承担。9、当出现不合格产品时，乙方要无条件更换合格产品。除甲方认可，否则不接受任何形式的降格处理。十、违约责任与赔偿损失1、乙方交付的货物不符合招标文件、报价文件或本合同规定的，甲方有权拒收，并且乙方须向甲方支付本合同总价5%的违约金。2、乙方未能按本合同规定的交货时间交付货物的，从逾期之日起每日按本合同总价3‰的数额向甲方支付违约金；逾期半个月以上的，甲方有权终止合同，由此造成的甲方经济损失由乙方承担。3、甲方无正当理由拒收货物，甲方逾期未按政府采购支付流程办理付款申请手续的，则每日按本合同总价的3‰向乙方偿付违约金。4、乙方如没有按合同规定履行售后服务承诺，甲方可由第三方单位进行修复，其费用全部由乙方支付，否则，将追究乙方违约的法律责任。5、因甲方原因导致变更、中止或者终止政府采购合同的，甲方对乙方受到的损失予以赔偿或者补偿，赔偿或者补偿金额为：合同总价1%。6、其它违约责任按《中华人民共和国民法典》处理。十一、履约保证金无。十二、争议的解决合同执行过程中发生的任何争议，三方应通过友好协商解决，若经协商不能达成协议时，则向甲方有管辖权的所在地人民法院提起诉讼。诉讼期间，双方应继续执行合同其余部分。十三、不可抗力任何一方由于不可抗力原因不能履行合同时，应在不可抗力事件结束后1日内向其他两方通报，以减轻可能给其他两方造成的损失，在取得有关机构的不可抗力证明或双方谅解确认后，允许延期履行或修订合同，并根据情况可部分或全部免于承担违约责任。十四、其它1、本合同所有附件、招标文件、响应文件、成交通知书均为合同的有效组成部分，与本合同具有同等法律效力。2、在执行本合同的过程中，所有经甲乙丙三方签署确认的文件（包括会议纪要、补充协议、合同修改、往来信函）即成为本合同的有效组成部分。3、如一方地址、电话、传真号码有变更，应在变更当日内书面通知其他两方，否则，应承担相应责任。4、除甲方事先以书面形式确认同意外，乙方、丙方不得部分或全部转让其应履行的合同项下的义务。十五、合同生效：1、本合同在甲乙丙三方法人代表或其授权代表签字并盖章及乙方提交履约保证金后生效。如果不需要提交履约保证金的则甲乙丙三方法人代表或其授权代表签字并盖章后生效。2、合同壹式陆份。甲方执贰份，乙丙两方各执壹份，招标代理机构壹份，具同等法律效力。本合同附件包括：附件一:设备配置清单》；附件二：《设备主要参数》；附件三：《随配工具、备品和配件清单》；附件四：《技术培训》；附件五：《验收标准》。（以下无正文）Y【此页为签署页】甲方（盖章）：广东中科半导体微纳制造技术研究院乙方（盖章）：广州熠耀贸易有限公司地址：佛山市南海区狮山镇科教路一号地址：广州市天河区体育西路103号之一1105房C1室代表：一代表：佩劳签订日期：0挥02月18日签订日期：：年月日开户名称：广东中科半导体微纳制造技术研究院开户名称：广州熠耀贸易有限公司银行账号：392080100100202062银行账号：44052001040008828开户行：兴业银行股份有限公司佛山南海支行开户行：中国农业银行广州珠江帝景支行NTERNATIONAL丙方（盖章）：佛山市盈卓贸易有限公司丁方（盖章八；南方卓越國際有限公司SOUTHCHERRYINEERNATIONALCO:LTD地址：佛山市南海区桂城桂平中路65号鸿晖都市产业新城2栋701地址：香港湾仔骆克道348-350号恒发商业大厦8楼B室L00s米UNITB,8/F,HENFACOMMERCIALBLDG,348-350LOCKHARTWANCHAIHONGKONG代表：子代表：签订日期：年月日签订日期：年月日开户名称：佛山市盈卓贸易有限公司开户名称：SOUTHCHERRYINTERNATIONALCO.,LTD银行账号：14948000000233439银行账号：744-1-70542818（人民币账户）开户行：华夏银行佛山禅城支行开户行：CHINACITICBANKINTERNATIONALLIMITEDSwiftCode:KWHKHKHH签订地点：广东佛山附件1：设备配置清单：序号订单号描述数量1.EDGE-BASEDimensionEdgeClosedLoopScanningProbeMicroscopeDimensionEDGE闭环原子力微区测试测试系统DimensionEdge大样品探针扫描原子力显微镜几乎可以实现所有的AFM的功能，系统包括150mm全自动样品台，15mm的样品高度。样品台重复性（XY轴）：8um。样品台可编程，实现多点扫描。光学视频可从180um到1465um。12.DMEDGE-ControllerDimensionEdge控制器DimensionEdge控制器系设置了内置通道接口，可控制扫描探针显微镜，光学系统及自动样品台，包括PC部分及V8的软件系统，提供直接的模式切换。13.DMEDGE-ScannerDimensionEDGEXYZ闭环扫描头EDGEXYZ三方向闭环可与应用模块匹配的扫描头，XY方向扫描范围大于90umx90um，垂直方向扫描范围不小于10um。带有温度补偿传感器的闭环操作可用于精密成像，定位，缩放和纳米刻蚀14DMEDGE-150mm通用型150mm样品台样品尺寸可达直径200mm.数字马达控制，真空吸附。15.EDGEOptical5百万像素数字摄像头，观察范围：180um~1465um，自动缩放及聚焦16.PeakForcePeakForce峰值力模式最新的原子力显微镜技术，可有效的控制探针和样品之间的相互作用力，以小至20pN的力成像，在获得高分辨率数据的同时可以有效的保护探针和样品。特别适合测试凝胶、细胞、聚合物等软\\粘的样品。17.ScanAsyst智能扫描功能（ScanAsyst）用户只需要选择扫描速度及扫描范围，系统即可自动调整反馈，无需寻找共振峰，无需调整反馈参数gain值18.Probesandaccessories原配置包括两个探针支架（Model：DAFMCH，及一套标准工具备件19.VacuumChuckAirVacuumModuleKit真空吸附模块DimensionICON原子力显微镜系统的马达和真空吸附功能。110.EFMEFM表面电场显微镜111.MFMMFM磁力显微镜1易R12.ProgramMoveProgramMove多点自动测试功能高性能控制器配合全自动样品台，可自定义编程实现多测试位点的自动测试，实现自动移动样品、自动下针、自动测试、自动保存结果、自动抬针并移动到下一位点，直至测试结束。可大大提高设备的测试效率。113.AdhesionAdhesionForceMeasurement粘附力测试在测试形貌的同时，进行样品表面各处粘附力差异的测试，间接的区分不同材质，比如晶圆上的污染物颗粒。114.VT-102-2VibrationIsolationTableforDimensionDimension防震台1A附件2：设备主要参数配置功能列表2.1.智能扫描模式（ScanAsyst）2.2.接触式原子力模式（ContactAFM）2.3.轻敲模式（TappingMode）2.4.力曲线及力谱线2.5.相位成像（Phaseimaging）2.6.横向力/摩擦力显微镜（LFM）主要参数1.峰值力成像模式，利用针尖与样品的直接相互作用力作为反馈，可直接控制针尖与样品的相互作用力低至50pN，大大减少了针尖的磨损，提高了横向分辨率。2.XYZ三轴闭环扫描器，XY方向90微米，Z方向10微米，低热飘移的水平：0.2nm/Min要求可实现原子像测试要求。3要求具备全探针扫描技术的扫描器，扫描过程中由扫描器带动探针进行XYZ三个方向的移动，而样品为完全静止状态，以保证大样品以及液体环境测试的安全和稳定。4智能扫描功能（ScanAsyst），自动设定扫描，用户只需要选择扫描速度及扫描范围，系统即可自动调整反馈，无需寻找共振峰,无需调整反馈参数gain值（可直接液体环境成像)5.样品台：150mm移动范围全自动样品台（真空吸附样品台），可程序化控制，样品台可360度旋转。6.八通道实时采集数据7.至少5百万像素数字摄像头，自动缩放及聚焦，光学分辨率优于1.5um。8.防震：提供防震装置（需要防止低频共振），可实现闪耀光栅原子台阶测试要求。r附件3：随配工具、备品和配件清单序号名称规格型号数量单位1探针与设备配套使用，轻敲70KHZ2n/m100个2探针夹与设备配套使用2只3针座与设备配套使用1只4标准样品含云母、石墨、三维光栅、磁带等1套5随配工具包括专用镊子、磁力探针磁化器等1套附件4:技术培训本合同履行过程中，乙方应对甲方相关工作人员进行免费的技术指导与培训，完成对设备的基本结构、主要部件的构造，日常使用操作、保养与管理，常见故障的排除等方面的培训，培训要解决管理、使用、维护等人员的使用要求，以最终达到相关管理人员和使用人员能够熟练使用、维护设备为止。具体方案如下：序号类别培训内容培训对象计划时间培训地点1理论培训仪器的各硬件组成。仪器的工作原理。操作工程师1天客户指定地点2上机培训仪器的操作。仪器各功能的演示。仪器的校准。操作工程师1天客户指定地点3维护保养培训仪器的维护，常见故障分析与解决，操作安全与紧急事项处理。操作工程师半天客户指定地点4实操培训用户上机操作操作工程师1天客户指定地点E附件5：验收标准EdgeHead及样品台扫描管范围检测：XY:：_rm，应不小于85m（)；Z：m，应不小于9.5m（）系统噪音检测：_nmRMS，应小于0.05nm（）测试方法：关闭Z方向的闭环，扫描Onm范围，获取Height图像，测量图像的Rq值。扫描管z方向闭环噪音水平：nmRMS，应小于0.2nm（）测试方法：打开Z方向闭环，扫描Onm范围，获取Heightsensor图像，测量图像的Rq值。X方向的精确度：测试方法：扫描标准样品，确保测量的尺寸与标准尺寸的偏差在2%以内。Y方向的精确度：测试方法：扫描标准样品，确保测量的尺寸与标准尺寸的偏差在2%以内。z方向的精确度：测试方法：扫描标准样品，确保测量的尺寸与标准尺寸的偏差在2%以内。闭环扫描管的XY方向正交性：（90°±2°）。（（90°±2°）测试方法：扫描标准样品，测量所获得的光栅图像X边缘与边缘的角度，确保此角度在90°±2°范围内。样品台XY方向移动范围：X方向mm，应≥150mm(√）Y方向mm，应150mm(）扫描探针显微镜操作部分：演示ScanAsyst模式）以标准光栅样品为标准，获得清晰的光栅图像。演示Tapping模式）以标准光栅样品为标准，获得清晰的光栅图像。演示Contact模式）以标准光栅样品为标准，获得清晰的光栅图像。演示LFM模式）以标准光栅样品为标准，获得LFM图像。演示相位成像模式（）以聚合物样品为标准，获得清晰的相位图像。演示力曲线（）在标准样品表面获得力曲线。演示扫描管校准过程）除以上标准，还需满足：（1）以10um的光栅标样，校准XY方向的尺寸，精度在±2%以内。（2）以10um的光栅标样，校准Z方向的尺寸，精度在±2%以内。（3）在Si片上扫描一幅图像，测量此图像的粗糙度，测量值小于0.05nm。（4）接触模式的验收：用10um和1um的光栅标样进行扫描，得到边缘清晰的光栅图像。（5）轻敲模式的验收：用10um和1um的光栅标样进行扫描，得到边缘清晰的光栅图像。（6）纳米台阶测试：用采购人提供的表面粗糙度Rq0.1-1nm的GaN外延片作为样品，得到边缘清晰的2*2um、5*5um和20*20um扫描范围内的纳米台阶图像。如不符合以上验收标准，不予以验收。内海公工83
投标 / 标书制作要点（原创）
本原子力显微镜涉及「采购合同公告」，投标方需重点关注：① 营业执照经营范围须含采购合同公告或对应服务类目；② 提供同类项目业绩证明；③ 报价方案与售后响应须明确；④ 紧盯投标截止与开标节点，建议提前完成标书制作与盖章。广东项目常要求本地化服务能力与快速响应，务必在投标文件中凸显。
标书制作联系冯经理：17551026086
