化合物半导体原位生长及光谱光电多功能表征测试系统采购合同公告（厦门大学2025）
一、合同编号： 校合-2025-3210-AGZC-0084
二、合同名称： 化合物半导体原位生长及光谱光电多功能表征测试系统
三、项目编号： FJGCXM-ZY-G-2025-061
四、项目名称： 厦门大学物理科学与技术学院化合物半导体原位生长及光谱光电多功能表征测试系统
五、合同主体
采购人（甲方）： 厦门大学
地 址： 物理学院
联系方式： 13799283575
供应商（乙方）：费勉仪器科技(南京)有限公司
地 址：南京市江北新区智达路 6 号智 能制造产业园 3 号楼 4 层
联系方式：18751800826
六、合同主要信息
主要标的名称：化合物半导体原位生长及光谱光电多功能表征测试系统
规格型号（或服务要求）：/
主要标的数量：1
主要标的单价：11940000
合同金额： 1194.000000万元
履约期限、地点等简要信息：厦门
采购方式： 公开招标
七、合同签订日期： 2025-09-05
八、合同公告日期： 2025-09-05
九、其他补充事宜：
附件：
厦门大学物理科学与技术学院化合物半导体原位生长及光谱光电多功能表征测试系统.pdf
厦门大学物理科学与技术学院化合物半导体原位生长及光谱光电多功能表征测试系统.pdf
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厦门大学招标合同（货物）合同编号：校合-2025-3210-AGZC-0084追踪号：202505290022甲方(采购人)：厦门大学签订地点：福建省厦门市合同入口：政府采购（央采及100万(含)以上国产）乙方(中标人)：费勉仪器科技(南京)有限公司根据甲方化合物半导体原位生长及光谱光电多功能表征测试系统进行招标采购（招标编号：FJGCXM-ZY-G-2025-061）的招标结果，乙方为中标人，现依照招标文件、投标文件及有关法律、法规、规章规定的内容，双方达成如下协议：1、合同标的和合同价格（详细参数、质量要求见技术协议）产品名称规格型号生产厂家数量单价总价交货期1化合物半导体原位生长及光谱光电多功能表征测试系统费勉仪器111,940,000.0011,940,000.002026.2.28前交货至甲方指定地点合计：￥11,940,000.00大写：壹仟壹佰玖拾肆万元整该价格为本次货物安装调试完毕，经使用方验收小组验收合格并交付使用所有可能发生的费用，包括货物制造、运输、采购保管、产品检验检测、安装调试、施工配合费、税收以及售后服务等费用。2、质量与保修2.1乙方须保证提供的产品是由乙方制造、生产或乙方经合法方式取得的有经销权的产品，并保证乙方交付的所有协议产品（包括包装等）均符合产品说明书及国家相关标准的规定。2.2若采购的货物为家具，甲方有权在乙方提供产品的生产过程中到产品生产工厂跟踪生产进度，随机抽取一定数量板材、胶水、油漆等小样带回交由有资质的环保检测公司检验，乙方要给予积极配合。乙方也可留用相同批次、数量的小样以备甲方检测不合格后自行复检。检测费用由乙方承担。如果甲方带回的小样检测不合格，甲方有权要求乙方更换原材料，以保证供应给甲方的家具检测合格，乙方不得以此为由拖延工期，若由此给甲方造成延期交付、退换货物等直接、间接损失，由乙方赔偿。3、交货时间和交货地点1/263.1交货时间：所有货物在2026年2月28日前全部到货安装完毕并可试运行。如甲方暂无法提供交货场地或具备安装条件(水、电、通风管路位置)，则双方重新商定交货时间，甲方不另行承担仓储费及其他费用。3.2终验时间：所有货物在交货后30日内组织验收，经甲方终验合格后正式交付。终验不合格的，乙方应立即进行换货、补货，换货、补货期限计入终验时间之内。3.3交货地点：海韵园校区物理科学与技术大楼4、包装及供货清单4.1乙方提供的全部货物，均应采用相应的标准保护措施进行包装，使包装适应于远距离运输、防潮、防震、防锈和防粗暴装卸，确保货物安全无损运抵现场。由于包装不善所引起的货物锈蚀、损坏和损失均由乙方承担。（甲方对包装及运输有特别要求的，应作具体约定。）4.2供货清单：包括产品主机、随机备品备件、专用工具的名称及数量、用户手册、出厂质量检验合格证及其他必要的资料。5、安装调试、技术服务、人员培训及技术资料5.1乙方在现场安装时要注意保管未交付甲方的货物，同时注意安装地点及周围的环境卫生，严格进行文明施工，装卸、运输、安装时不得损坏办公地面和其他设施，如损坏需由乙方赔偿甲方全部维修费用。在安装过程中甲方将随机抽取一定数量的货物送国家认可的质量检测机构检测，检测费用由乙方承担，如果因检测对部分货物造成的破损，乙方应无偿在安装、调试完所有货物前给予修复。若达不到投标书中承诺及国家标准的品质及环保要求的，甲方有权要求乙方整改或退回不合格产品，由此造成的损失由乙方承担。5.2货物安装调试期间的现场管理由使用方负责。6、验收(按投标文件填写)甲乙双方需按照《厦门大学货物和服务验收管理办法》验收。验收可细分为初验、终验。初验为使用方到货时根据采购文件、合同清单对货物外包装、品牌型号、规格、数量等进行验收，并查验相关的合格证书及技术资料，并出具初验确认单。终验为货物完成安装且使用正常，对货物技术参数、性能等方面的质量验收。对于复杂货物需另行约定验收方式的，详见附件。使用方在收到乙方书面通知15个工作日内，应组织人员进行终验，验收结果经双方确认后，双方代表必须按规定的验收交接单上的项目对照本合同填好验收结果并签名盖章。2/26验收不合格的，乙方须先进行整改，仍旧不合格的，甲方有权退货，甲方不退还履约保证金并要求乙方赔偿由此给使用方造成的损失。7、履约保证金合同签订前，乙方应向甲方缴纳人民币伍万元整（¥50,000.00）作为履约保证金。履约保证金可以支票、汇票、本票或者金融机构、担保机构出具的保函等非现金形式提交。在验收合格之后十五个工作日内予以退还。8、质保金无9、付款方式与条件预付款保函签订合同后乙方向甲方提供50%合同金额￥5,970,000.00的银行保函（保函期限为合同约定的到货日期再延长3个月）。甲、乙双方采用下列方式交货付款：合同签订后，甲方预付货款的50％（人民币大写）伍佰玖拾柒万元整（￥5,970,000.00），在全部货物终验合格且付款条件完备后30日内支付剩余货款（人民币大写）伍佰玖拾柒万元整（￥5,970,000.00）。若甲方付款时需要对应金额的发票，乙方应及时提供。10、售后服务(按投标文件填写)各合同包货物质保期要求均为货物经终验合格后12个月，在质量保证期内设备运行发生故障时，乙方在接到甲方故障通知后48小时内应委派专业技术人员到现场免费提供咨询、维修和更换零部件等服务，并及时填写维修报告（包括故障原因、处理情况及甲方意见等）报甲方备案，若48小时内无法排除故障，则应先提供同档次备用机供甲方使用。其间发生一切费用由乙方承担。质量保证期内乙方有责任对设备进行不定期的巡查检修（可根据乙方投标文件中提供的更优、更合理的维修服务承诺进行修改）。乙方对货物提供免费保修外，终身维修。质保期过后，甲方向乙方购置本合同购买货物的配套配件时，乙方应按配件原价__9__折（优惠_10__%）出售，配件原价以当年度厂家官网清单、销售彩页价格等最低官方报价为准。11、知识产权乙方须保障甲方在使用该货物或其任何一部分时不受到第三方关于侵犯专利权、商标权或工业设计权等知识产权的指控。任何第三方提出侵权指控与甲3/26方无关，乙方须与第三方交涉并承担可能发生的责任与一切费用。如甲方因此而遭受损失的，乙方应赔偿该损失。12、违约责任12.1未按期交货的违约责任如果乙方未按照合同规定的时间交货和完成验收，甲方可不退还履约保证金并从货款中扣除违约金，违约金应按合同总价的5‰/日计收。12.2未按时付款的违约责任如果甲方未按照合同规定的时间付款，违约金应按未支付金额的5‰/日计收，总违约金不超过合同总价的30%。12.3违反《厦门大学采购供应商管理办法（试行）》规定的责任乙方应当按照《厦门大学采购供应商管理办法（试行）》规定接受甲方管理，对违反《厦门大学采购供应商管理办法（试行）》规定的行为承担相应责任。13、终止合同乙方存在下述任何一种违约行为，甲方有权单方终止本合同，一切因乙方不履行合同或逾期履行合同所致之损失均由乙方承担：13.1乙方未能在合同规定的期限内或双方另行确定的延期交货时间内交付合同约定的货物。13.2乙方未能履行合同项下的任何其他义务。14、不可抗力因不可抗力造成违约的，遭受不可抗力一方应立即书面向对方通报不能履行或不能完全履行的理由，并在该事件发生15日内向另一方提供不可抗力发生以及持续期间的充分证据。基于以上行为，允许遭受不可抗力一方延期履行、部分履行或者不履行合同，并根据情况可部分或全部免于承担违约责任。受影响方应在不可抗力对其履行义务的影响结束后的24小时内就此通知另一方，并应立即恢复其义务的履行。如果不可抗力持续6个月以上，任何一方可以通过向另一方发出书面通知的形式终止本合同及因不可抗力的影响而未履行完毕的订单，本合同及因不可抗力的影响而未履行完毕的订单于该等通知送达另一方时终止，依据本款规定而发出终止通知并不构成违约。4/26本合同中的不可抗力指不能预见、不能避免并不能克服的客观情况。包括但不限于：自然灾害如地震、台风、洪水、火灾；政府行为、法律规定或其适用的变化或者其他任何无法预见、避免或者控制的事件。15、合同纠纷处理方式：合同履行过程中若发生争议，采取协商解决，若协商不成时向甲方所在地人民法院提起诉讼。16、其他约定16.1本采购项目的招标文件、中标人的投标文件以及相关的澄清确认函（如有）均为本合同不可分割的一部分，与本合同具有同等法律效力。16.2乙方应做好生产、运输、拆卸、安装、调试等安全管理工作，货物安装调试人员必须具备相关资质并按照规范流程操作，乙方应为相关人员、设备、车辆等购买保险，如果在全部货物调试完毕交付甲方使用之前发生任何安全责任事故，乙方须承担全部责任，与甲方无关。16.3本合同未尽事宜，双方另行补充。16.4本合同一式肆份，经双方授权代表签字并加盖公章后生效。使用方、乙方各执一份，送厦门大学资产与后勤事务管理处、财务处各备案一份，电子合同具有同等法律效力。甲方：厦门大学乙方：费勉仪器科技(南京)有限公司签约代表：签约代表：开户行：中国银行厦门市分行厦大支开户行：交通银行南京高新开发区支行账号: 428658381176行账号：320899991010003586656纳税人识别号：12100000B36952193C纳税人识别号：91320191MA1R9GJW91地址：思明区厦门大学嘉庚主楼711室地址：南京市江北新区智达路6号智能制造产业园3号楼4层电话：0592-2181874使用方：物理科学与技术学院电话：025-58883672使用方代表：高娜联系人：徐杨移动电话：13799283575移动电话：187518008265/26技术附件清单：1-1外延生长子系统-分子束外延生长系统一、产品图例MBE800plus互联分子束外延系统*系统设计示意图，最终图纸将根据客户实际需求确定。二、配置单序号单位数量产品描述1套1氮化物生长室（Growthchamber）1.1件1超高真空生长室腔体生长室腔体描述1.柱状竖直腔体结构，腔体直径≥650mm，材质为SS316不锈钢，符合超高真空要求的不同尺寸法兰口，可以连接现有配置的部件，也可连接扩展需求的部件。蒸发源安装于腔体底部，方便安装及维护，蒸发源之间设计隔板，防止交叉污染。2.专门优化的蒸发源和腔体布局，可以实现：薄膜在厚度、组分和掺杂等方面的优异性能；有效减少薄膜的缺陷；低液氮消耗，长使用周期满足小批量生产需求。3.全包裹式液氮冷屏设计，有效吸收蒸发源的热量，为生长1.1件1室提供超高真空环境。主要功能描述法兰端口配置如下：MBE顶盖法兰，WS650；泵腔法兰，DN250CF；传样法兰口，DN200CF；电离真空规安装口，DN40CF；增强皮拉尼真空计安装口，DN40CF离子泵安装口，DN150CF；冷凝泵安装口，DN300CF；钛升华泵安装口，DN40CF；蒸发源观察口，DN40CF；传样观察口，DN100CF；蒸发源安装口，DN100CF×12；蒸发源挡板安装口，DN100CF×12；BFM（束流测量仪）安装口，DN63CF；RGA（残余气体分析仪）安装口，DN63CF；RHEED（反射高能电子衍射仪）电子枪安装口，DN100CF；RHEED荧光屏安装口，DN100CF；红外测温仪安装口，DN40CF；生长室全金属角阀安装口，DN40CF；底部视窗安装口，DN100CF；腔体性能描述腔体200℃充分烘烤冷却后本底真空优于1×10-9Torr（液氮冷屏未通液氮），通液氮后系统极限真空优于5×10-10Torr。1.2套1超高真空抽气系统冷凝泵；水汽抽速为9000L/s；水冷压缩机；配置VATDN16CF全金属角阀×2；不锈钢氮气吹扫管；1.3套1液氮冷屏生长室冷屏从顶部法兰延伸到蒸发源的大面积液氮冷屏；其标准A5接口尺寸适配商用标准液氮循环系统，有助于降低用户运行成本。衬底加热器独立液氮冷屏，有效吸收衬底加热器的热量，为生长区提供满足苛刻材料生长要求的超高真空环境；1.3套1泵腔钛升华泵附近配置冷屏及防护罩，可有效的阻挡升华泵钛粉进入生长室，提升生长室的真空度。1.4套1超高真空测量系统PfeifferIMG400，Gaugecontroller真空规控制器，可与真空控制系统（PLC）集成，真空信号传输至控制系统并激活各真空保护开关；PfeifferIMG420离子规，Iongauge，测量范围：1×10-4Torr-2×10-11Torr，包含可烘烤控制线；PfeifferTPR280Pirani真空规，Piranigauge，5×10-4Torr-大气压，包含控制线。1.5套1残余气体分析仪SRSRGA-200；测量范围：1-200amu；包含电子放大器（ElectronMultiplier）模块；电源及控制分析软件；1.6套1超高真空视窗和法兰视窗描述生长室上法兰配备超高真空视窗及挡板：用户可通过视窗查看所有的蒸发源和挡板；用户可通过视窗查看衬底传至生长室样品台；用户可通过底部视窗查看衬底加热器状态。视窗配置视窗DN100CF×2个，配套视窗挡板；视窗DN63CF×4个，配套视窗挡板；剩余法兰口盲板密封。1.7套1SH800plus-SiC加热器分别满足单片6英寸衬底的分子束外延生长需求，同时也可以兼容处理单片4英寸或多片更小衬底；单温区SiC加热器，长期稳定最高温度800℃，最高使用温度1100℃；C型热偶，PID控制，温度稳定性：±0.2℃；600℃~800℃温度范围内，全片温度均匀性优于±3℃；正反连续旋转，最大旋转速度60RPM；可控制样品台旋转角度；1.8套1衬底加热器挡板1.8套1位于样品台下方；实现蒸发源束流的快速阻挡；可通过GUIDE软件控制开关，并显示开关状态。1.9套1蒸发源-HL175（适用Ga等材料）双温区独立加热，可实现热唇功能，满足材料生长需求；两组C型热偶，使用温度范围：300℃~1350℃；温度稳定性：±0.2℃；瓶状PBN坩埚，容量175cc；配套直流电源、耐烘烤电源线和热偶补偿线及蒸发源专用水冷套。1.10套1蒸发源-CL110（适用Al等材料）双温区独立加热，可实现冷唇功能，满足材料生长需求；两组C型热偶，使用温度范围：300℃~1350℃；PID控温，温度稳定性：±0.2℃；瓶状PBN坩埚，容量110cc；配套直流电源、耐烘烤电源线和热偶补偿线及蒸发源专用水冷套。1.11套2掺杂源-DP25（适用Si、Mg等材料）单温区加热；C型热偶，使用温度范围：300℃~1350℃；PID控温，温度稳定性：±0.2℃；锥形PBN坩埚，容量25cc；配套直流电源、耐烘烤电源线和热偶补偿线及蒸发源专用水冷套。1.12套1FERMI-RFPS-200射频等离子源（适用N2）高效等离子发生器，能够满足N2的等离子激发；PBN等离子发生管，集成高能离子抑制器；配套水冷冷却；配套全固态直流射频电源，高纯气体的精密控制气路，气体流量0.1sccm~10sccm，配套超高真空VCR接头；气路控制面板，可通过软件控制阀门通断；射频功率≥500W1.13套5蒸发源挡板系统蒸发源挡板可以完全阻挡束流通量，也可以完全打开束流通量；可靠性好的快门材料和优异的快门设计，降低快门上沉1.13套5积物对外延片的污染，快门寿命可达100万次；挡板开关可被设备控制软件控制，并且显示开关状态，可对生长程序进行编程控制，快门开关时间不超过1000ms，不同快门同步开关时间差异不超过200ms；快门自带反馈，当快门开关异常时会报错；优化结构设计，降低开启瞬间束流过冲幅度。1.14套1Staib15KVRHEED系统能量范围：500eV-15keV；电子束流：30μA；电子束斑尺寸：100μm-150mm；具有X、Y、Rocking和Beamblanking功能；包含电子源电源控制器及高压电源线和控制线；远程控制模块；包含荧光屏，DN100CF法兰接口，配套荧光屏挡板。图形分析系统CCD系统；配套图像分析软件；标准接口安装法兰及支架。1.15套1束流测量仪（带有线性移动装置）线性驱动最大250mm行程;能自动定位于测试位置和收回位置；显示精度不低于3位（10-9Torr及以上）。1.16套1VATeasycloseDN40CF全金属角阀，用于腔体抽粗真空1.17套1VATeasycloseDN16CF全金属角阀，用于vent系统1.18套1DN300CF超高真空气动闸板阀，用于泵腔和冷凝泵之间1.19套1DN200CF超高真空手动闸板阀，用于生长室和预处理室之间1.20套1分子束外延控制软件（GUIDE）MBE系统控制软件和工艺控制软件，含配套PC及硬件；可实现从样品传递到外延生长的全流程控制；强大、全面的不间断数据记录功能，便于追溯硬件及工艺数据；高效的生长工艺程序编写功能有助于提升工艺人员的工作效率；可以执行生长工艺程序控制挡板运动，裂解源阀门开关大小，蒸发源温度，衬底加热器温度，衬底旋转速度和方向，束流测量仪移动等硬件操作；10/26CIMControFrameworkOperatorlnterface口X-EquipmentStates2023-02-16CumentScreenSessionModeFERMIProcessingStateManual17:57:08Operations.GrowthSystemlocalhostViewLogoutEritUersysadminOCommStaeConnectingsysadminGroupAdministatorControlControlStateoffine10:58:21.170OIServerVariablenamelightTowerBluenotfoundinmodel10:58:21.170OIenerVariablenameLightTowerBuzzer1notfoundinmodelSessionConnectedEnglsh（Unitedstates）VarisblenamelightTowerDuer2notfoundinmodelModeExluiveO10:58:21.170OiSenerVarisblenamelightTowerDuer2notfoundinmodelOMainGrowthPrepareTeminalServicesHostMBEStateMBERecipeAYAC7000OFFCrackerAlmAutPVWSPWOAutoSPSetOPSmtOPUL5etOPDLSetRecipeNameConductanceOAlamAutoP2314.0WSPWOFAutoSPSetOPSetOPULSetOPDLSetBukAlamOAutoPVWSPWOPAutoSP5etOPsmOPULetOPDL5tvaleeValveOpeningFnSopIlPeueeumSbycC2000orrCrakerOAlammAutopv292.PCWSPWOAutoSPConductanceOAlamOAutoPv264.70wspWoFAutosPSetSetOPOPSetOPULSetOPDLSmtOPULSetOPDL[50]StStartTimeRemainingEndtimeRunStateSbepsBukAlmOAuto144.56WSPWoPAutoSPSetOPValveValveOpeningset|OpeningSetpoinClosesnopSetOPULSetOPDL国AIICL550orrTopAlamAutoPVECWSP0.00WOPAutoSPSetoPBottomOAlmOAutoPV248.产0wsP0.0CwoP71AtoSPSetOPSetOPULSetOPDL国[50SetOPULSetOPDLGa1HL1100OFFTopOAlamOAutopvWSPWOPAutoSPBottomOAlamOAutowspWOP6.47AatosPSetOPSetOPSetOPULSetSetOPULSetOPDLOPDLsInTHL1100orrTapAlamAutoWSPWOPAutosp[BottomOAlammOAutoPVWSPWOFAutoSPSetoPSetOPStOPULSetOPDLOPDL[3SetOPULSetSDP65OFFHeaterAlmOAutoWSPWOPAutoSPSetOPSetOPULSetOPDLSetSH1000-Ta-CrowOFFlnnerAlmAutoWSPWOPAutoSPSetOPSetOPULSetOPDLCmGaTeDP65OFHeaterAlmOAuto0.00AutoSPSetOPSetOPULSetOPDL[setP.VPCS000OFFCrckerAlmOAutoWSPWorAutoSPSetSPOPSetOPsetOPSetOPULSetOPULOPDLOPDLOPDLRPAlmAutoPVWSPWOPAutoSetSetSWPAlamOAutoPvWSFWOFAutoSPsetOPULSetsetlosopIn2HL1100OFFTopAlamAutgPV2314.0WSPWOPAutoSPBottomAlamAutov2314.00wsp0.00WOPAutosPseOPOPSetOPULSetOPDL5园SetSatOPULSetOPDLBeDP55OFFHeaterAlmOAuto2314.0wsp0.0WOPAutosP|SetOPSetOPULSetOPDLA2C1550orrTapOAlamAutopvwsp0.0WOPBottomOAlamAutoPVwsPwoPAtoAutospsetOPOPSetOPULSetOPDL国SPSetSetOPUL5etOPDL[SetGa2HL1100OFFTopAlamOAutoPvWSPWOPAutoSPSetOPSetOPULSetOPDLSetstBottomOAlamOAutoVWspWOFAutosPSetOPSetOPULSetOPDLBFMSatePessureFiamento回A4OperetionsServiceRecipesDaComfigurationf中2023//1617:57*展示示意图1.21套1工业MBE专用温控系统EurothermT2750PAC温控系统用于衬底加热器及蒸发源控温，大幅节约机柜空间，所有蒸发源和衬底加热器温度都可以在GUIDE软件上查看，操作方便EurothermT2750PAC温控系统，保障电源高精度输出，同时具有安全保护功能。2套1氧化物生长室（Growthchamber）2.1件1MBE800plus超高真空生长室生长室腔体描述1.柱状竖直腔体结构，腔体直径≥650mm，材质为SS316不锈钢，符合超高真空要求的不同尺寸法兰口，可以连接现有配置的部件，也可连接扩展需求的部件。蒸发源安装于腔体底部，方便安装及维护，蒸发源之间设计隔板，防止交叉污染。2.专门优化的蒸发源和腔体布局，可以实现：薄膜在厚度、组分和掺杂等方面的优异性能；有效减少薄膜的缺陷；低液氮消耗，长使用周期满足小批量生产需求。3.全包裹式液氮冷屏设计，有效吸收蒸发源的热量，为生长室提供超高真空环境。衬底加热器附近独立冷屏设计，有效吸收衬底加热器的热量，在生长区提供满足苛刻材料生长要求的超高真空环境。主要功能描述法兰端口配置如下：2.1件1MBE顶盖法兰，WS650；泵腔法兰，DN250CF；传样法兰口，DN200CF；电离真空规安装口，DN40CF；增强皮拉尼真空计安装口，DN40CF；分子泵安装口，DN250CF；蒸发源观察口，DN40CF；传样观察口，DN100CF；蒸发源安装口，DN100CF×12；蒸发源挡板安装口，DN100CF×12；BFM（束流测量仪）安装口，DN63CF；RGA（残余气体分析仪）安装口，DN100CF；RHEED（反射高能电子衍射仪）电子枪安装口，DN100CF；RHEED荧光屏安装口，DN100CF；红外测温仪安装口，DN40CF；腔体性能描述腔体200℃充分烘烤冷却后本底真空优于1×10-9Torr。2.2套1超高真空抽气系统Hipace2300分子泵，氮气抽速1900L/s，DN250CF法兰接口，配套控制器和电源线；Acp28干泵，抽速28m3/h，配套抽气管路。2.3套1超高真空测量系统PfeifferIMG400，Gaugecontroller真空规控制器，可与真空控制系统（PLC）集成，真空信号传输至控制系统并激活各真空保护开关；PfeifferIMG420离子规，Iongauge，测量范围：1×10-4Torr-2×10-11Torr，包含可烘烤控制线；PfeifferTPR280Pirani真空规，Piranigauge，5×10-4Torr-大气压，包含控制线。2.4套1冷屏生长室配置一个从顶部法兰延伸到蒸发源的大面积液氮冷阱。馈通采用全金属设计，可通水冷；衬底加热器独立液氮冷屏，有效吸收衬底加热器的热量，为生长区提供满足苛刻材料生长要求的超高真空环境；2.5套1残余气体分析仪2.5套1RGA-200；测量范围：1-200amu；包含电子放大器（ElectronMultiplier）模块；电源及控制分析软件；2.6套1超高真空视窗和法兰视窗描述生长室上法兰配备超高真空视窗及挡板：用户可通过视窗查看所有的蒸发源和挡板；用户可通过视窗查看衬底传至生长室样品台；用户可通过底部视窗查看衬底加热器状态。视窗配置视窗DN100CF×1个，配套视窗挡板；视窗DN40CF×4个，配套视窗挡板；剩余法兰口盲板密封。2.7套1SH800plus-SiC加热器分别满足单片6英寸衬底的分子束外延生长需求，同时也可以兼容处理单片4英寸或多片更小衬底；单温区SiC加热器，长期稳定最高温度800℃，最高使用温度1100℃；C型热偶，PID控制，温度稳定性：±0.2℃；600℃~800℃温度范围内，全片温度均匀性优于±3℃；正反连续旋转，最大旋转速度60RPM；可控制样品台旋转角度；配套直流电源、耐烘烤电源线和热偶补偿线。2.8套1衬底加热器挡板位于样品台下方；实现蒸发源束流的快速阻挡；可通过GUIDE软件控制开关，并显示开关状态。2.9套1蒸发源-HL175（适用Ga等材料）双温区独立加热，可实现热唇功能，满足材料生长需求；两组C型热偶，使用温度范围：300℃~1350℃；温度稳定性：±0.2℃；瓶状PBN坩埚，容量175cc；配套直流电源、耐烘烤电源线和热偶补偿线。2.10套1FERMI-RFPS-200射频等离子源2.10套1高效等离子发生器，能够满足O2的等离子激发；石英等离子发生管，集成高能离子抑制器；配套水冷冷却；配套全固态直流射频电源，高纯气体的精密控制气路，气体流量0.1sccm~10sccm，配套超高真空VCR接头；气路控制面板，可通过软件控制阀门通断；射频功率≥500W2.11套2蒸发源挡板系统蒸发源挡板可以完全阻挡束流通量，也可以完全打开束流通量；可靠性好的快门材料和优异的快门设计，降低快门上沉积物对外延片的污染，快门寿命可达100万次；挡板开关可被设备控制软件控制，并且显示开关状态，可对生长程序进行编程控制，快门开关时间不超过1000ms，不同快门同步开关时间差异不超过200ms；快门自带反馈，当快门开关异常时会报错；优化结构设计，降低开启瞬间束流过冲幅度。2.12套1Staib15KVRHEED系统能量范围：500eV-15keV；电子束流：30μA；电子束斑尺寸：100μm-150mm；具有X、Y、Rocking和Beamblanking功能；包含电子源电源控制器及高压电源线和控制线；远程控制模块；配套Hipace80分子泵和EdwardsnXDS10i无油涡旋机械泵，避免灯丝氧化；包含荧光屏，DN100CF法兰接口，配套荧光屏挡板。图形分析系统CCD系统；配套图像分析软件；标准接口安装法兰及支架。2.13套1束流测量仪（带有线性移动装置）线性驱动最大200mm行程；自动定位于测试位置和收回位置，显示精度不低于3位（10-9Torr及以上）。2.14套1DN250CF超高真空气动闸板阀，用于泵腔和分子泵之间14/26SPAAC7600CreckeOAamOAatoPWSFWOFOPCdeWSWOPOPSOPOLOPDLOPOPOLSBukOAanOAatoPWOFOPwwweveoenig5etOPLSetOPDLFaetSiC2000OlCxkeOAamOAataPWOSP国oeCadteneOAamOAutwSMOFSOPSOPUOPOFDLsaorOLOPDL8kOAmoAatnOPVchOpenins口PVeeAnCL550oTap中OPomateSPSoPOP18oPDiOPCCPD国GatH1000Teu8nemAutoAutm-op[5OPROFDL回国OPSaOPE国aOPDLHHHLT100oTagoromAtoAutoOPPOPOEOPUOODIOPDSOP6SomHeeeAutoSP5OPSOPOFDL国SH00-T-cQ开Irneruto国OPOPOLOPOLsGaT.65OHneterOAamoP图OPou国OPDLLF-VPC50000CkeOAamOAaA5OP[SatOPE国OPD国国国In2HL110004Top8m国oSP5oP司OPU国OPDLOPu国ooBeDPSS0HeeerOAimoAutoSPOP5OPOPDLACL5530年TapBomOAamaitoMuto园0sOPOPOPUEOODL国OPDL回回Ga2HL11000TeoBolomAuto部5OPAutn5OP5oOPEOPOL国OPUTOPOLHMStatePeanentot2.15套1DN200CF超高真空手动闸板阀，用于生长室和预处理室之间2.16套1分子束外延控制软件（GUIDE）独立的MBE系统控制软件和工艺控制软件，含配套PC及硬件；包括生长工艺程序编写、自动生长控制、不间断数据记录等功能；可以执行生长工艺程序控制挡板运动，蒸发源温度，衬底加热器温度，衬底旋转速度和方向，束流测量仪移动等操作；系统控制软件可以同时显示所有腔室的真空度；控制软件包括温度曲线，真空压力曲线，电源输出功率曲线等工艺需求功能；图形化界面，便于使用和程序编写。*展示示意图2.17套1工业MBE专用温控系统EurothermT2750PAC温控系统用于衬底加热器及蒸发源控温，大幅节约机柜空间，所有蒸发源和衬底加热器温度都可以在GUIDE软件上查看，操作方便；T2750温控系统带有安全保护程序，保护系统安全。3套1氮化物预处理室（Preparechamber）3.1件1预处理室腔体腔体描述1、符合超高真空标准的腔体，材质为SS316不锈钢，给预处理室提供超高真空环境；2、符合超高真空要求的不同尺寸法兰口，可以连接现有配置AAC7600CreckeOAanOAatoWSPWOFOPOLOPDLOPLOPOLOPLSetOFDLSFttCdaWSEwOPOPBukOAamOAatgPOP5etSi0C2000OIECxkeOAamOaatnPWOSPoeCadateneeOAamOAtPWSWOFSopSOPUOPODLsaorOLLa8kOAimoAataDPVeveelOpenin5OPOPDLAnC550OTap中图opBmateP;ap|国OPt18oPDlOPOPD国GatHLD00TouBnemAutoSAutm:CopBOPUOPDLoPOP国aOPDLHL1100oTegSomomAatouto5OP部OPSOPOPOODL国OPD国SOP6orHeeutoSSOPSOPOFDLSH00--Q开Iner/utoSOPOerauteOPSub5eeHeMoveFeeHghRoUnilemStopOP0OPOLCOPLCDLSoeMovesubsaeRoeMamsGaT.2065OHneterOAamoPP图OPo国OPDLL]P-VPC5000oCkeOAamOAtAOPSatOPE国OFO国国国In2HL110004TopP国o[司OPoP国OPDL国orot国8m-oPQBeDPSS0HeeerOAimmoAuSPOPOPOPDLACCL5530TapBommGAamJitoMuto园00smoPOPKOPLLDoDl国OPDL回回Ga2HL15000TepBanomAute5OP5OPu5OPOL[3m国AutnS50PoPuTOPOLHMStatePeaneno口回D回Seie0ConlguaSerlu0Conlg15/26的部件，也可连接将来扩展需求的部件；3、配备衬底预处理加热器，可对单片6inch衬底托盘进行加热除气；4、集成样品传递功能；主要功能描述法兰端口配置如下：预处理室与生长室连接口，DN200CF;预处理室与进样室连接口，DN250CF;预处理室衬底加热器安装口，DN300CF;超高真空视窗安装口，DN100CF；水平传样口，DN200CF；离子泵安装口，DN150CF；电离真空规安装口，DN40CF；增强皮拉尼真空计安装口，DN40CF腔体性能描述腔体充分烘烤冷却后本底真空优于1×10-9Torr。3.2套1超高真空抽气系统抽速400L/s离子泵；3.3套1超高真空测量系统PfeifferIMG400，Gaugecontroller真空规控制器，可与真空控制系统（PLC）集成，真空信号传输至控制系统并激活各真空保护开关；PfeifferIMG420离子规，Iongauge，测量范围：1×10-4Torr-2×10-11Torr，包含可烘烤控制线；PfeifferTPR280Pirani真空规，Piranigauge，5×10-4Torr-大气压，包含控制线。3.4套1预处理衬底加热器可以载入单片6inch衬底，兼容3×3inch衬底或更小尺寸衬底，可对衬底进行均匀、稳定的加热除气；加热温度不低于800℃。3.5套1水平直线传样杆水平传样杆，用于在预处理腔和生长腔之间传递样品；安装法兰：DN63CF；移动行程：1150mm；提供在垂直方向上高达50mm的移动行程。3.6套1超高真空视窗和法兰预处理视窗描述预处理室上法兰配备超高真空视窗，用户可以通过视窗查看衬底传至预处理室样品台；视窗配置包含1个DN100CF视窗；剩余法兰口均使用符合超高真空标准的盲板法兰密封。3.7套1DN200CF超高真空手动闸板阀，用于预处理室和快速进样室之间3.8套1VATeasycloseDN40CF全金属角阀，用于腔体抽粗真空和粗抽真空3.9套1DN250CF超高真空手动闸板阀，用于预处理室和快速进样室之间4套1氧化物预处理室（preparechamber）4.1套1预处理室腔体预处理腔体描述1、符合超高真空标准的腔体，材质为SS316不锈钢；2、集成样品传递功能。主要配置描述至少包含如下法兰：预处理室与生长室连接口，DN200CF；预处理室与进样室连接口，DN250CF；预处理室全金属角阀安装口，DN40CF；电离真空规安装口，DN40CF；增强皮拉尼真空计安装口，DN40CF;超高真空视窗安装口，DN100CF；预处理室与离子泵连接口，DN150CF；水平传样杆安装口，DN200CF；腔体性能描述腔体在150℃充分烘烤后基础真空优于1×10-9Torr。4.2套1超高真空抽气系统400L/s抽速离子泵。4.3套1超高真空测量系统PfeifferIMG400，Gaugecontroller真空规控制器，可与真空控制系统（PLC）集成，真空信号传输至控制系统并激活各真空保护开关；4.3套1PfeifferIMG420离子规，Iongauge，测量范围：1×10-4Torr-2×10-11Torr，包含可烘烤控制线；PfeifferTPR280Pirani真空规，Piranigauge，5×10-4Torr-大气压，包含控制线。4.4套1水平直线传样杆水平传样杆，用于在预处理腔和生长腔之间传递样品；安装法兰：DN63CF；移动行程：1150mm；提供在垂直方向上高达50mm的移动行程。4.5套1DN200CF超高真空手动闸板阀，预处理室和互联管道之间4.6套1DN250CF超高真空手动闸板阀，用于预处理室和快速进样室之间4.7套1VATeasycloseDN40CF全金属角阀，用于vent腔体和抽粗真空4.8套1超高真空视窗和法兰预处理视窗描述预处理室上法兰配备超高真空视窗及挡板，用户可以通过视窗查看衬底传至预处理室样品台；视窗配置包含1个DN100CF视窗；剩余法兰口均使用符合超高真空标准的盲板法兰密封。5套2快速进样室（LoadLock）5.1套2快速进样室腔体腔体描述1、符合超高真空标准的腔体，材质为SS316不锈钢；2、内置红外烘烤灯，可对衬底托盘进行烘烤除水汽；3、大面积快速进样门，可同时放入6个衬底托盘。主要配置描述至少包含如下法兰：快速进样门安装口，DN250CF；预处理室对接口，DN250CF；分子泵安装口，DN100CF；电离真空规安装口，DN40CF；增强皮拉尼真空计安装口，DN40CF;全金属角阀安装口，DN40CF；5.1套2腔体性能描述腔体在充分烘烤后基础真空优于5×10-8Torr。5.2套1超高真空抽气系统Hipace300分子泵，260L/s抽速；EdwardsnXDS10i无油涡旋机械泵，10m3/h抽速；气动角阀、抽气管路（SS304不锈钢波纹管）及控制线；5.3套1超高真空测量系统PfeifferIMG400，Gaugecontroller真空规控制器，可与真空控制系统（PLC）集成，真空信号传输至控制系统并激活各真空保护开关；PfeifferIMG420离子规，Iongauge，测量范围：1×10-4Torr-2×10-11Torr，包含可烘烤控制线；PfeifferTPR280Pirani真空规，Piranigauge，5×10-4Torr-大气压，包含控制线。5.4套1传样小车独立取放的衬底架；一次性可放置6个衬底托盘；可在快速进样室和预处理室之间传递衬底托盘。5.5套1红外烘烤灯最高温度可达200℃，正常长期使用温度100℃~150℃；5.6套1快速进样室vent系统气动vent阀门；真空信号传输至控制系统并激活各真空保护开关，连接到GUIDE软件。5.7套1快速进样门采用胶圈密封，方便快速取放样品；含传样观察视窗。5.8套1超高真空视窗和法兰可观察样品传送过程；剩余法兰口均使用符合超高真空的盲板法兰密封。5.5套1DN100CF超高真空气动闸板阀，用于快速进样室和分子泵之间6套2系统支架、烘烤设备及其他配件6.1套2支撑框架方钢支架，根据系统结构定制；大滚轮，便于移动；设备定位后，用固定支撑结构将系统支撑，以避免晃动，使系统更加牢固。6.2套2真空控制及安全保护系统（VMC）电气控制柜，用于放置相关控制器及电源；用电设备输入电标准：380VAC50Hz；集成真空泵保护、真空关联互锁、烘烤安全保护等互锁功能：大触摸屏，简洁清晰的用户界面，便于操作及维护；可与电脑通讯并记录数据。6.3套2烘烤系统（包含温度控制及电源）生长室采用整体式热风烘烤，由加热模块、耐高温防火帐篷、支撑架、温度控制模块等组成，根据腔体结构定制，拆装方便；最高烘烤温度：200℃；热风式加热，腔体受热更加均匀；功率输出控制，温度稳定性高；包含真空互锁保护；预处理室采用加热带烘烤，功率输出控制，温度稳定性高。6.4套2通信控制系统串口服务器一套，用于连接串口通信设备；控制电脑：主机和显示器，用于安装GUIDE软件；功能主机：安装RGA软件，RHEED图像分析软件等。6.5套2日常备件衬底托盘6个（规格可定制）；6.6套1设备设计安装/调试/培训及售后费勉仪器科技（南京）有限公司负责系统包装、运输及保险；仪器到货前，费勉仪器科技（南京）有限公司协助用户进6.6套1行安装前的准备工作，提供实地安装资料并做相应的指导。仪器到货后，费勉仪器科技（南京）有限公司安排资深工程师进行安装调试；保修期：安装验收后12个月，自设备验收合格之日起计算，免收一切调试、维护、维修费用。同时在质量保证期内发生因我方原因（如维修所需的零部件供货周期长等）导致维修时间较长的情况，将既定的质量保证期顺延。电话响应时间一个工作日内，Email响应时间2个工作日。选配7.1套1真空照明系统低功耗LED灯，可单独固定在视窗上，每路可单独控制亮度；M8/M6螺帽规格。7.2套1系统安装工具MBE系统专用工具一套。功能性验收标准1.示范样品传输过程，确保样品可以在各腔体之间全自动无障碍传输；2.示范整套系统烘烤过程，确保烘烤功能正常；3.演示整套系统的控制软件和互锁功能，确保软件和硬件之间的通信正常，可以正常控制，并确保互锁装置以及紧急停机等保护功能正常；4.系统正常烘烤之后，各腔室本底真空度需达到以下指标：快速进样室本底真空度优于1×10-9Torr；预处理室本底真空度优于1×10-9Torr；生长室本底真空度优于1×10-9Torr；5.加热各蒸发源，并演示如何调节PID参数设置，并演示其控温精度；6.示范如何利用束流测量仪来监测并调节各蒸发源的束流；7.演示如何利用软件进行工艺编程。21/261-2表征测试子系统-霍尔探针台及光电特性测试系统一、产品图例光电特性测试系统-MStarter100Ultrafast时间分辨光量子信号测量系统*最终图纸将根据客户实际需求确定。二、配置单序号单位数量产品描述1套1屏蔽电学测试平台：1.精密探针平台1.1整机尺寸:1100mm长*700mm宽*550mm高，重量200公斤左右；1.2探针台体整体移动行程X-Y：50mm-50mm，日本三丰精细微分头手轮2个（X/Y轴），微分头直径50mm，移动精度0.002毫米；预留探针台体电动控制及压电精密扫描安装空间；1.3样品台可以沿X,Y,R三轴移动，移动精度0.005毫米，样品台旋转角度：360度；样品台可以连接电压源或者接地，样品台可以快速抽出；1.4样品台采用中心吸附孔固定样品；开关控制是否吸附样品；真空泵；1.5光电屏蔽罩壳，减少测试环境没有杂散光干扰，并提高电性测试屏蔽效果，4个3同轴接口；空间自由光路安装面包板，可以兼容氙灯光路、空间耦合激光光路、线偏及圆偏光路等复杂测试。2套1金相显微系统：1可见物镜组：5个物镜安装位，95mm工作距离长工作距离物镜5,10倍各1个，物镜工作距离均大于20mm，保证旋转物镜过程中不会碰到探针；紫外专用物镜：40倍紫外物镜1个，40倍用于光谱测试；2白色LED照明：同轴照明系统，选用高亮度单颗1WLED，照明均匀；LED照明控制器，可调光；3白色LED照明滤光片：照明光源带5色滤光片，滤光后可用不同颜色光照明，辅助调节聚焦位置及样品成像识别，照明特征波长400,470,520,600,670nm；4显微相机：1200万像素高灵敏度CMOS传感器，曝光时间10ms~999ms，自动白平衡；提供显微相机操作软件；5显微粗微调支架，调节范围25mm，调节精度1um；6紫外辅助对焦模块，使用无色差光路将任意波长光聚焦于对焦相机传感器表面，监控显微镜系统对焦准确定；对焦专用传2套1感器，感光范围213-1064nm；三档切换器，分别为空档，反装反射镜，光束取样器，用于校准激光准直以及监控物镜聚焦情况；OD0-6共5档衰减片，调节激光进入探测器光强；7控制主机：i5处理器，1TB硬盘，16GB内存，23.8英寸高清显示器两台联用。3套1213nm深紫外激光器：进口213nm深紫外激光器波长：213nm；脉冲能量：>0.05µJ@15kHz峰值功率：>0.05kW@15kHz脉冲重复率：≤20kHz；脉宽，fwhm：≤1.0ns；功耗：15W（最大40W）；工作电压：12Vdc；光束发散：<2mrad；光束直径：400±200微米；4套1多路耦合光路模块：分束器转轮：18孔分束器转轮，可以安装最多可安装8个二向色镜，每个二向色镜可以分别安装带通和长波通滤光片各1片，每个二向色镜分辨角度两轴可调；2OD3拉杆式衰减片，覆盖紫外-近红外波段；3OD0.3-OD3衰减片组，一组5片，安装于六孔转盘中5套1深紫外荧光光谱测试模块1213nm荧光滤光片组，荧光测量范围235-1000nm；24轴可调激光耦合安装架；3拉杆式切换器，深紫外镀膜优化，内置反射镜用于光路切换，带OD3衰减片切换器，可以快速衰减激光光强；6套1自由空间耦合光谱测试模块：1.单色仪1.1焦距：大于150mm1.2孔径：F/4.11.3光栅配置，分别为150线500nm闪耀光栅，300线300nm闪耀光栅；1.4单出口配置，安装PMT探测器2、PMT探测器2.1使用波长：200-870nm2.2暗计数：小于2502.3时间分辨率：优于250ps2.4感光面积：8mm2.5带热电制冷功能，大幅度降低暗计数数值7套1TCSPC测试系统：TCSPC时间相关单光子测试系统通道宽度：最小16ps，最大33us7套1通道数：最大65536死时间：10ns触发信号：-2到+3V可调，上升/下降沿可选计数器通道：1输入端口：BNC数据传输：usb3.0带后脉冲消除功能一、产品图例霍尔探针台*最终图纸将根据客户实际需求确定。二、配置单序号单位数量产品描述1套1群石科技H6-QS霍尔探针台：主要技术指标：1）电压源：±10V，电流源：±3A2）探针漏电流：100fA3）电阻范围:0.1mΩ~100GΩ4）载流子浓度~1023cm-35）磁场范围：±0.5T可调6）样品最大兼容尺寸：6英寸24/26DM500电子束蒸发镀膜系统合肥聚盛真空科技有限公司1-3器件工艺子系统-超高真空电子束沉积一、产品图例电子束蒸镀系统-DM500*系统设计示意图，最终图纸将根据客户实际需求确定。二、配置单序号单位数量产品描述1套1电子束蒸发镀膜系统技术指标1、真空室：约500×500×700mm；2、极限真空：优于8E-6Pa；大气抽至5E-4Pa时间小于20分钟3、真空抽气系统：莱宝MAG2201分子泵（磁悬浮分子泵，抽速不小于2200L/s，分子泵转速36500转/分钟）+12L机械泵（抽速40立方每小时）4、电子枪：美国TELEMARK高真空6坩埚电子枪、电源ST-6;电压6~10KV可调、输出功率不小于6KW5、热蒸发源：2套，含2套独立数字式蒸发电源；电源输出功率不小于2.4KW6、旋转、升降样品台：水冷+升降+旋转，可放置样品尺寸：6寸；样品台表面温度可控，表面温度均匀，误差±1°内1套17、膜厚仪：SQC310含一套水冷探头，可自动驱动电子枪工作，实现镀膜自动化；探头采集精度优于0.01A8、控制系统：PLC+工控机自动控制。26/26
投标 / 标书制作要点（原创）
本化合物半导体原位生长及光谱光电多功能表征测试系统涉及「采购合同公告」，投标方需重点关注：① 营业执照经营范围须含采购合同公告或对应服务类目；② 提供同类项目业绩证明；③ 报价方案与售后响应须明确；④ 紧盯投标截止与开标节点，建议提前完成标书制作与盖章。当地项目常要求本地化服务能力与快速响应，务必在投标文件中凸显。
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