其他仪器仪表采购合同公告（贺兰山实验室2025）
贺兰山实验室半导体晶体与陶瓷材料研究所第一批科研项目所需设备采购项目政府采购合同-宁夏恒元创科公司
一、合同编号：20251022HT000013
二、合同名称：贺兰山实验室半导体晶体与陶瓷材料研究所第一批科研项目所需设备采购项目政府采购合同-宁夏恒元创科公司
三、项目编号：D640000-20250919180414737
四、项目名称：贺兰山实验室半导体晶体与陶瓷材料研究所第一批科研项目所需设备采购项目
五、合同主体
采购人（甲方）：贺兰山实验室
地址：宁夏银川市西夏区北方民族大学西校区
联系方式：0951-2066058
供应商（乙方）：宁夏恒元创科贸有限公司
地址：银川市西夏区北京西路建设巷120号金波小区32号楼综合1105室
联系方式：18995261016
六、合同主要信息
主要标的名称：其他仪器仪表
规格型号（或服务要求）：详见合同
主要标的数量：1
主要标的单价：1311.2
合同金额：1311.200000万元
履约期限、地点等简要信息：合同签订后90日内将货物交予甲方指定地点
采购方式：公开招标
七、合同签订日期：2025-10-20
八、合同公告日期：2025-10-22
九、其他补充事宜：
十、本合同对应的中标成交公告： 贺兰山实验室半导体晶体与陶瓷材料研究所第一批科研项目所需设备采购项目中标公告
十一、合同附件： 政府采购合同-宁夏恒元创科公司-新.pdf
十二、免责声明：本页面提供的政府采购合同是按照《中华人民共和国政府采购法实施条例》的要求由采购人发布的，本平台对其内容概不负责，亦不承担任何法律责任。
政府采购合同（货物）项目名称：贺兰山实验室半导体晶体与陶瓷材料研究所第一批科研项目所需设备采购项目项目编号：D6400000141100509甲方：贺兰山实验室住所地：宁夏银川市西夏区北方民族大学西校区乙方：宁夏恒元创科贸有限公司住所地：银川市西夏区北京西路建设巷120号金波小区32号楼综合1105室政府采购合同（货物）合同编号：项目名称：贺兰山实验室半导体晶体与陶瓷材料研究所第一批科研项目所需设备采购项目项目编号：D6400000141100509甲方：贺兰山实验室住所地：宁夏银川市西夏区北方民族大学西校区乙方：宁夏恒元创科贸有限公司住所地：银川市西夏区北京西路建设巷120号金波小区32号楼综合1105室乙方于2025年10月14日参加了由宁夏顺泰招标代理有限公司组织的“项目名称：贺兰山实验室半导体晶体与陶瓷材料研究所第一批科研项目所需设备采购项目及项目编号：D6400000141100509”政府采购活动，经评标委员会评审确定宁夏恒元创科贸有限公司为中标人，按照《中华人民共和国民法典》《中华人民共和国政府采购法》和相关的法律法规规定，以及招标文件规定，经甲乙双方协商一致，签订本政府采购合同。一、标的物采购内容详见本合同附件：《标的物明细表》。二、合同金额本合同金额为人民币￥13112000.00元（大写：壹仟叁佰壹拾壹万贰仟元整），为货物到达指定地点，安装、调试完成，达到本合同约定要求的全部费用，包括运输、包装、装卸、保险、安装、调1试、人工、税金等全部费用，非经双方协商一致，乙方不得要求甲方另外再向乙方支付费用。三、质量保证1.采购文件和投标文件作为本合同的一部分，其中甲方要求和乙方承诺的技术规格和参数要求等作为合同对产品技术要求的依据，乙方实际提供并交付货物时，须经甲方现场查验检测，若不符合招标技术规格和参数要求，甲方有权单方解除合同或要求退货、换货。甲方要求解除合同的，有权要求乙方退还已收取的全部款项，并有权向乙方收取合同金额20%的违约金。甲方申请退货、换货的，乙方应当按照退货、换货批次货物价值的10%支付违约金。2.乙方提供并交付货物的名称、规格、型号、数量、产地等应与投标文件一致，达到技术规格和参数要求，是未使用过的，全新的合格产品。3.乙方所提供的货物要安全可靠，在正常使用情况下，不对使用者及环境造成危害。如因产品质量或标示不明确造成损失的，由乙方负责，甲方有权向乙方追究因此造成的全部损失。4乙方应保证其货物在正确安装、使用和保养的条件下，其使用寿命期达到产品质量要求；并在货物最终验收后的质量保证期内，对因设计、工艺或材料的缺陷而发生的任何问题或故障负责，费用由乙方负担。5.进口设备采购涉及到的海关清关、免税等手续由乙方负责，产生的一切费用（含进口设备代理服务费及免税以外增加的关税等）均由乙方承担。6.在质量保证期内，乙方在接到甲方“产品质量问题书面通知”15个工作日内，免费维修或更换有问题的货物或部件。在规定时限2内，产品质量问题仍得不到乙方解决的，甲方有权单方采取补救措施，由此产生的一切费用由乙方全部承担。四、知识产权1.乙方应保证提供给甲方的货物的各项专利、知识产权等符合我国及国际有关法律要求。凡因上述问题与第三方发生任何纠纷与甲方无关。因此而产生的侵权或法律纠纷均由乙方承担。因此使得甲方遭到索赔等，甲方的全部损失（包括甲方为此支付的第三方赔偿款、补偿款、律师代理费、交通费、诉讼费等）由乙方承担。2.乙方为执行本合同而提供的技术资料或者其他相关资料、软件及相关知识产权等由甲方永久免费使用。五、包装要求及运输方式货物的包装和运输由乙方确定，所发生的一切费用由乙方负责。包装必须符合国际标准或行业要求，保证甲方收到的货物无任何损伤。否则，因此造成的损失由乙方承担。运输过程中，产生的一切人身或财产纠纷，由乙方负责。六、交货时限及安装乙方应于本合同签订之日起90天内将标的物交于甲方指定地点。在具备安装条件下，乙方于货到15日内完成货物的安装与调试工作。因甲方原因造成乙方无法按合同约定交货或安装的，交货期限顺延，乙方不承担违约责任，乙方有妥善保管的义务，至甲方延误事由消除。安装调试后，乙方必须按照甲方的通知组织设备使用培训，并保证参加人员能够熟练操作设备。七、货物验收1..乙方完成货物的安装并达到使用要求后，可向甲方提出货物3验收申请，甲方在5个工作日内组织验收。2.甲方组织验收小组负责验收工作。3.乙方应对提供的货物验收内容列出清单，作为甲方验收和使用的依据，清单应随提供的货物交给甲方。4.验收时，甲乙双方必须同时在场，如经甲方通知乙方未按时在场参与验收的，视为乙方认可甲方作出的验收结果。在验收过程中，乙方所提供的货物不符合合同或招标及投标文件内容规定的，甲方有权拒绝验收。乙方应及时按本合同内容规定和甲方要求免费进行更换，直至验收合格，方视为乙方按本合同规定完成交货。验收合格的，由双方共同签署《验收报告》。验收不合格的按照合同约定限期整改。因此导致乙方延期交货的，不免除乙方的违约责任。5.甲方的验收合格结论，不作为免除乙方产品质量责任的依据。甲方指定联系人：马波电话：17695135888乙方指定联系人：马存圆电话：18995261016甲方的联系人仅作为与乙方就货物标的接收事项、消息转达的联络人员，甲方联系人在本合同涉及的单证、票据上的签字，仅作为甲方对该事件情况的了解，不作为对该事件的确认或否认。除非甲方另有明确授权。八、履约保证金（一）提交时间乙方应在收到中标通知书后、签订合同前5自然（日历）日，向甲方提交履约保证金。乙方逾期未提交履约保证金的，视为自动放弃成交资格，甲方有权不予签订政府采购合同，并可按相关规定处理。（二）金额与形式41.履约保证金的金额为人民币（大写）陆拾伍万伍仟陆佰元整（小写：￥655600.00元）。2.履约保证金的提交形式：以支票、汇票、本票或者金融机构、担保机构出具的保函等非现金形式提交。以保函形式提交的，保函格式须符合甲方要求，且有效期应长于本合同约定的履约保证金有效期。保函正本提交给甲方。（三）有效期本履约保证金的有效期自本合同生效之日起，至本合同项下主要内容履行完毕止。（四）不予退还的情形在合同履行过程中，如发生下列情形之一的，甲方有权不予退还履约保证金，且乙方无权要求任何补偿：1.乙方单方面解除或终止合同的；2.乙方未能按合同约定的时间、质量、数量履行合同义务，经甲方书面催告后在15个工作日内仍未履行或采取补救措施的；3.乙方交付的产品、工程或服务存在严重质量问题，或提供假冒伪劣产品的；4.乙方未经甲方同意，擅自将合同转包或违法分包的5.乙方在合同履行过程中存在严重违约、违法行为，导致合同目的无法实现的；6.合同或相关法律、法规规定的其他不予退还履约保证金的情形。（五）退还时间及逾期退还的责任1.退还时间：在乙方完全履行合同义务后，甲方应在收到乙方提出的退还申请及相关证明材料后的15个工作日内，将履约保证金（无息）全额退还给乙方。52.逾期退还的违约责任：若甲方无正当理由，未能在上述第1款约定的15个工作日内退还履约保证金，则每逾期一日，甲方应按逾期退还金额的万分之三向乙方支付违约金，但违约金总额不超过逾期退还的履约保证金本金。因财政支付流程或不可抗力导致的延迟除外。九、付款条件（一）本合同双方之间的一切费用均以人民币结算及支付。根据实际情况，经双方协商一致，双方同意选择以下方式付款1.合同签订生效后，乙方凭《中标通知书》《合同》发票等相关资料办理付款事宜。乙方提交合同价30%金额的发票，甲方支付合同价30%的预付款，即￥3933600.00元（大写：叁佰玖拾叁万叁仟陆佰元整）。2.乙方将不低于合同80%的货物运至甲方指定地点，并经甲方初验签字确认后，乙方提供合同价40%金额的发票，甲方支付合同价40%，即￥5244800.00元（大写：伍佰贰拾肆万肆仟捌佰元整）。3.乙方按合同履约完成供货、安装、调试后，经甲方验收合格后，凭《验收单》等资料并提供合同价30%金额的发票，甲方支付合同价30%，即￥3933600.00元（大写：叁佰玖拾叁万叁仟陆佰元整）。（二）乙方账户信息开户名称：宁夏恒元创科贸有限公司开户行：中信银行股份有限公司银川分行账务中心账号：8112401053600137302（三）甲方开户信息纳税人名称：贺兰山实验室纳税人识别证号：12640000MB1R74639H6乙方开具的发票必须符合甲方的财务要求。十、保修及售后服务乙方所供货物，从验收合格并交付使用之日起，开始计算质保期，乙方承诺质保期为36个月，凡在质保期内，因货物质量或安装等原因出现的问题，由乙方负责维修，所发生的费用均由乙方承担，如乙方不履行保修义务，由此给甲方造成的损失由乙方给予赔偿；在所供货物质保到期前，由乙方负责对货物进行系统巡检，由甲方确认，确保其使用正常;超过质保期所发生的问题，乙方负责维修，费用由甲方承担，乙方终身提供有偿维修服务。十一、保密乙方在合同履行期间知悉甲方的工作秘密（包括相关业务信息）不得透露或以其他方式提供给合同双方以外的其他方（包括乙方内部与本合同无关的任何人员），乙方的保密责任不因本合同的终止而终止。乙方违反本合同所规定的保密义务，应按照本合同总金额的10%支付违约金。十二、不可坑力1.不可抗力是合同签字生效后发生的非有关方所能控制的，并非合同方过失的、无法中止的、不能预见、不能避免且不能克服的社会和自然事件，包括但不限于：严重的自然灾害（如台风、洪水、地震、火灾、爆炸等），战争（不论是否宣战）、叛乱、爆炸、动乱、正式罢工等等。合同双方的任何一方，由于不可抗力而影响合同义务执行时，则延迟履行合同义务的期限相当于不可抗力事件的时间，但是不能因为不可抗力的延迟而调整价格。2.签约双方中任何一方由于不可抗力影响合同执行时，发生不可抗力的一方应尽快将事故通知另一方。在此情况下，乙方仍然有7责任采取必要的措施供货，双方应通过友好协商尽快解决本合同的执行问题。十三、违约责任1.双方均应遵守上述条款，未按上述条款执行的，将被视为违约。2.合同生效后，非经双方协商一致，任何一方不得随意终止合同（不可抗力除外），如乙方擅自终止合同，则甲方有权要求乙方按合同总金额20%向甲方支付违约金，并要求乙方承担甲方因此产生的全部损失。3.如所交付的货物中有不满足投标文件中所承诺的货物型号、规格、技术要求或不是投标文件中货物的制造商，甲方可以选择以下任一一种或多种措施：（1）解除本合同，要求乙方退回已收取的全部款项，并要求乙方向甲方支付合同暂定总金额20%的违约金；（2）退换货，乙方应按甲方要求退货或换货，但时间不超过15天（免税进口设备另行约定），否则甲方有权解除本合同，且从超过之日起，甲方有权要求乙方按照合同暂定总金额每日按应换货物金额的万分之五的标准收取向甲方支付违约金。在设备正常使用过程中，如因产品质量问题给甲方造成损失的，乙方应承担由此给甲方造成的全部损失，并按甲方要求采取措施直至达到要求。4.如甲方未在合同约定时间内对标的物进行验收，则视为甲方验收通过；如乙方未在合同约定交货期内按时交货，则自逾期之日起，甲方有权要求乙方按未交付货物金额的每日千分之三违约金计算给甲方作出赔偿。向甲方支付违约金，逾期超过十五日，甲方有权单方解除本合同，并有权另行要求乙方支付合同总金额20%的违约金。85.因乙方违反合同约定，导致甲方涉诉的，乙方需承担甲方为挽损支付的律师代理费、交通费、诉讼费、鉴定费、保全费、保全保险费等全部支出。十四、争议解决方式在合同履行期间，甲乙双方应严格按照公平、公正的原则，维护甲乙双方的合法利益。在合同履行期间所发生的一切争端，甲乙双方应通过友好协商的办法加以解决。自协商之日开始的30天内仍得不到解决，双方可将争端提交甲方所在地人民法院起诉解决。十五、其他事项1.其他约定：无2.合同经甲乙双方法人或授权代表人签字并加盖公章后生效。3.甲方的采购文件、乙方的投标文件、承诺书为本合同不可分割部分。本合同一式6份（甲方合同签订部门4份、乙方2份）具有同等法律效力。甲方（盖章）：贺兰山实验室乙方（盖章）：夏恒元创科贸有限公司甲方法人（代表人）乙方法人（代表人）签字：(甲方地址：西夏区北方民族大学地址：银川市西夏区北京西路建设巷1201西校区号金波小区32号楼综合1105室电话：17695135888电话：18995261016合同签订日期2a年0月2日349合同附件：标的物明细表：序号货物名称品牌、型号单价（元）数量总价（元）技术参数原产地/制造商1循环水系统必利优、BXHS100A95000195000详见技术参数文件天津市/天津必利优科技发展有限公司2空压机必利优、BK100A95000195000详见技术参数文件天津市/天津必利优科技发展有限公司3熔制炉必利优、BRZ100A8600001860000详见技术参数文件天津市/天津必利优科技发展有限公司4石英砂辅助上料机必利优、BCQ100A2550001255000详见技术参数文件天津市/天津必利优科技发展有限公司5卧式球磨机新而立、WM-6083000183000详见技术参数文件无锡市/无锡新而立机械设备有限公司6氮化合成炉诺伯特、ZKL14608860001886000详见技术参数文件湖南省/湖南诺伯特高温设备股份有限公司7流化床对撞气流磨埃尔派、MQWO3T4460001446000详见技术参数文件山东省/山东埃尔派粉体科技股份有限公司8真空干燥箱科迪信、FZG-101230001123000详见技术参数文件南京市/南京科迪信机械设备有限公司9氧氮分析仪LECO、ON836153800011538000详见技术参数文件美国/LECOCORPORATION力可公司10水浸超声扫描显微镜和伍、HiwaveT400G8960001896000详见技术参数文件上海市/上海和伍精密仪器股份有限公司11激光打孔机（核心产品）德中、DirectLaserS3129800011298000详见技术参数文件天津市/德中（天津）技术发展股份有限公司12超高压力填孔机中国电科45所、TY-3606700001670000详见技术参数文件北京市/中国电子科技集团公司第四十五研究所13丝网印刷机中国电科45所、WY-3005850001585000详见技术参数文件北京市/中国电子科技集团公司第四十五研究所14温水等静压机鸿焼、WDJ300/500-3008360001836000详见技术参数文件山西省/山西鸿焼机械设备股份有限公司15热切机PTC、CT080047200001720000详见技术参数文件深圳市/深圳市宇宸科技有限公司16整平机中国电科45所、YP-2004000001400000详见技术参数文件北京市/中国电子科技集团公司第四十五研究所17锥板粘度机博勒飞、DVNXHBCBG1400001140000详见技术参数文件上海市/阿美特克商贸(上海)有限公司18三辊研磨机中毅、ZYTR-80EPlus1670001167000详见技术参数文件深圳市/深圳市中毅科技有限公司19非接触湿膜测厚仪易泛特、E-1005800001580000详见技术参数文件深圳市/易泛特技术（深圳)有限公司20影像测量仪邓工仪器、NVC-5441180001118000详见技术参数文件广西/广西邓工仪器科技有限公司21氢气烧结炉韬普斯、TLX-1-NH2800002560000详见技术参数文件合肥市/合肥韬普斯半导体科技有限公司22真空烧结炉韬普斯、TZVA2020-20NH6720001672000详见技术参数文件合肥市/合肥韬普斯半导体科技有限公司23氮气热风箱式炉韬普斯、TXF021-07N2400001240000详见技术参数文件合肥市/合肥韬普斯半导体科技有限公司24管式钎焊炉韬普斯、TGL005D-11NH2050001205000详见技术参数文件合肥市/合肥韬普斯半导体科技有限公司25链式钎焊炉韬普斯、TLSA2007-0611ZNH4000001400000详见技术参数文件合肥市/合肥韬普斯半导体科技有限公司26烘箱力辰、LC-DBH-4BE12000224000详见技术参数文件上海市/上海力辰邦西仪器科技有限公司27显微镜麦克奥迪、SMZ-168-BL12000672000详见技术参数文件厦门市/麦克奥迪实业集团有限公司28检漏仪皖仪、SFJ-2311480001148000详见技术参数文件安徽省/安徽皖仪科技股份有限公司合计金额（元）：（大写）壹仟叁佰壹拾壹万贰仟元整（小写）：￥13112000.00元13技术参数文件：1、循环水系统1.冷却塔+出水管道。2.储水罐W9立方。3.循环水流量压力W2.5KG、（循环水需求）温度（温升8℃~10℃）、水质采用RO水。2、空压机1.空压机的排气量为W3.3m/min+冷冻干燥机+精密过滤器W5道。2.储气罐W1立方3.不锈钢管道3、熔制炉满足生产坩埚尺寸：12~20寸，设备主要组成部分：1.模具摆角、旋转系统：旋转、摆角采用伺服控制，水套、中轴同轴性误差≤2mm（沿水套上沿测量）；2.电极开闭系统：电极开闭系统为伺服控制，电极开闭机构电机带有水冷套包裹，电机外壳温度≤100℃；3.电极升降系统：电极升降系统为伺服控制；4.遮热板系统：遮热板为耐温不锈钢板制作；5.排送风系统：炉内排选用耐高温风机，送风采用轴流风机，炉口排风：0~14000m/h连续控制可调；6.控制系统：熔制过程采用自动化控制，熔制过程电极走位参数化设置，自动控制，电极走位行程W900mm，误差≤3mm；电极开度参数化设置，自动控制误差≤5mm；开闭装置、升降装置操作控制与实际机构执行动作同步性时间≤1秒。144、石英砂辅助上料机1.规格12~20寸。2.辅助人工节拍时间10min~15min3.旋转头转速可调。4.下料管聚四氟材质，甩盘石英材质5.漏斗材质为不锈钢304材质，可装W15公斤料。6.由X轴、Z轴、R轴组成，定位精度不大于±3mm。5、卧式球磨机1.每台W20L浆料/批次进行球磨，并且球磨过程中不带入任何杂质。2.设备传动部分为封闭式结构，无灰尘污染。3.球磨桶总容积W60L，物料处理量W20L。4.电机功率W1.1kw，电压380V。5.球磨桶体转速0~60r/min，变频调速。6.磨料时间数码设定0~9999分钟，定时停机，计时可断电保持。7.电源：380V或220V，50Hz。8.电机为Y系列三相异步电动机，电压380V，电机功率1.1kw，采用“防爆”电机。9.球磨桶采用尼龙制作，并用A3钢筋作加固处理，尼龙厚度≥25mm。10.球磨桶中部装有进、出料口，进料口≤150mm，出料口≤32mm，出料网板孔径≤3mm，球磨桶一端端盖上安装进、排气阀。11.设备机架采用型钢制作，传动部分全封闭结构，无灰尘污染。12.桶体带任意角度定位功能，电动控制桶体角度。13.减速机采用摆线针轮减速机，电机和减速机采用采用直连式，传动部位全封闭结构，无粉尘污染。1514.桶体转速0~60r/min，变频调速，磨料时，设备运行稳定，动平衡良好，无明显振动，传动部分有防护罩，有可靠的漏电保护设计。15.球磨桶两端主轴保持绝对同心度16.球磨时间数码设定（0~9999分钟），定时停机，计时可断电保持。17.电控箱采用防爆箱，设备控制为随机操控。6、氮化合成炉1.1设备的型式及用途（1）型式：单室、卧式、手动及自动连锁控制。（2）用途：本设备用于金属材料、无机非金属材料在真空或保护气氛下进行烧结生产，也可以用于光学材料的焙烧与提纯工作。1.2主要技术参数（1）有效工作（坩埚内有效区）：W500mm（宽）×500mm（高）×1200mm（深）（2）额定装载量：W100Kg/炉（3）最高温度：W1850℃（4）工作温度：室温~1500℃（5）加热功率：160KW（6）总功率：川150KW（7）温度均匀性：±8℃（空炉真空恒温后，800℃~1500℃）（8）测温点：800℃、1000℃（6点测量，温差≤±5℃）（9）升温速度：川15℃/min(室温~1850℃）（最高速度手控）（10）加热元件材质：等静压石墨（11）加热元件分布：左右上下四面加热（12）温区数量：炉体1区（13）保温屏：石墨纤维毡（14）加热功率控制模式：SCR+变压器16（15）真空度：冷态极限真空度：川1Pa(空炉）压升率：川0.67Pa/h（清洁、干燥、脱气、常温和空载条件下）（16）工艺气体：氮气、氩气、氢气快冷气体：氮气工艺气体气源压力：川93.31KPa（相对压力）工艺气体纯度：W99.99%（17）外形尺寸：W5400mm（长）x4700mm（宽）x2200mm（高）（18）动力条件：冷却水水压：0.2~0.3MPa进水管口径：DN80排水管口径：≤DN80冷却水用量：≤15T/h水质要求：PH值：7~9固态杂质含量：≤100mg/L硬度≤10°DH氯离子含量：25mg/L1.3设备主要结构要求1.3.1机械部分本设备机械部分主要由真空室、热区、真空系统、气路系统、快冷系统、冷却水系统等部分组成。（1）真空室真空室采用双层水冷结构，由炉体、前炉门、后炉门组成。炉体和炉门之间采用氟橡胶密封圈密封，真空室内壁及电极接口为不锈钢材质，其余如法兰、外壁及管道等为碳钢。炉体由内外炉筒及连接法兰盘组焊而成，内壁材质均为304不锈钢，外壁及法兰为碳钢。17炉体上预留电极、热电偶、循环水、真空等接口，侧部开有红外温度探测器安装孔，双层夹壁之间通冷却水进行冷却。前后炉门均由双侧标准封头及法兰盘焊接而成，内封头材质均为304L不锈钢，外封头材质为碳钢，内外封头之间通冷却水进行冷却。炉体和炉门交接处均采用氟橡胶密封圈进行密封，密封圈放置在炉门法兰面的密封槽内，通过压紧密封面的方式实现真空密封。在真空室上设置安全阀，防止炉体工作时过压。前后炉门均与炉体之间采用铰链连接方式并采用手动锁环锁紧炉门。（2）热区加热室采用一区控温，包括石墨纤维毡隔热保温层，四周分布易拆卸的石墨加热元件，承重支架，连接固定杆和绝缘衬套等。加热器采用3组电极星形接法，电极接口处设置冷却水保护。加热元件采用管状结构，公共端固定在石墨材质的框架上，底部通过石墨材质的支撑杆和绝缘件支撑在炉体底部。内部石墨坩埚用于装载工件，石墨坩埚通过支撑横梁和立柱支撑在炉体底部，石墨坩埚采用等静压石墨产品。（3）真空系统真空系统主要由真空泵组、真空管路及相应的阀门组成。真空系统为罗茨泵——机械泵组成的两级真空泵系统，真空管道均为不锈钢材质，真空阀门为电控气动控制。为防止粉末在抽真空开始阶段飞扬，配置微抽阀，进行缓慢抽空。真空测量包括真空计和测量规管。真空测量由真空计多通道显示，真空规管具有抗氧化性强、不易污染的功能。真空获得可通过手动控制和自动控制来实现。（4）气路系统18用于往炉内充入保护气体，保证加热系统的正常工作。在设备进行工艺过程中，通过气体流量计向炉体内部的隔热屏外通入工艺气体（氮气)。工艺气体从下部进入，保证工件与工艺气体的充分接触。工艺气体从坩埚顶部经过排气阀排出炉外。工艺气体的流量调整采用人工调整。（5）快冷系统设备配有一套内循环快速冷却系统，用于工件降温过程中600℃以下的快速冷却。快冷系统主要由热交换器、风机等组成，安装于炉体后部。炉体内部设有快冷风道，形成一个封闭环路。当工件进行快冷时，先往炉体内充入用于快冷的气体，用于冷却工件的气体在快冷风机的作用下通过快冷风道往复循环。气体通过工件后带走工件热量，然后与热交换器进行热量交换后再由风机加压送回炉膛，继续带走工件热量，通过往复循环达到均匀、快速冷却的目的。热交换器采用铜制翅片式结构，热交换效率极高，可有效降低流经气体的温度，保证被处理工件的快速冷却要求。系统可从W600℃开始进行保护气体循环快冷，保护气体为氮气，由压力传感器检测炉内充气压力并且控制在工艺参数范围内，启动循环风机使气体在炉体与热交换器之间循环进行对工件的快速冷却。（6）冷却水系统设备的冷却水路为封闭式循环，炉门、炉体等所有夹层结构、电极、密封圈等部位均通过冷却水进行循环冷却冷却水系统在每路回水管路均设有流量传感器监测回水流量。冷却水系统在总回水管路设有温度传感器，用于实时监测水流温度。进水管、回水管采用不同颜色胶管。每个水路均设有手动阀，并有标记指19示牌，便于设备的排查、维修。1.3.2电气控制部分的组成电气控制系统主要由控制柜、电力调整器、变压器柜及外部配线组成。（1）控制柜：控制柜内装有不同规格的空气开关作为总电源开关及各部分电源开关，并对电路起保护作用。用交流接触器作为机械泵、罗茨泵和快冷风机的输出控制，用继电器作为各个阀门的输出控制。设备的操作及运行是通过可编程控制器和工控机来实现的。柜门上装有过温温控器、真空计等仪器仪表，对加热、抽真空的过程进行测量、显示并根据设定值输出控制信号送到PLC，实现自动控制。真空度及温度的显示记录在主控计算机内。控温曲线在温控器上设定，采用计算机软件自动记录并监测整个工作过程的温度、时间等相关的工艺曲线，具有不少于5年的存储量，记录的工艺曲线可查询，并能显示当时记录的各种参数。控制柜按功能组划分区域，控制柜上都采用风扇强制散热。柜门上有主开关控制手柄，设备装有电量测量模块（2）变压器柜：变压器柜提供加热功率。用电力调整器去控制变压器实现加热功率控制。（3）真空控制：本设备的真空测量用真空规管及真空计，真空计显示测量值并输出信号到PLC及工控机来对真空系统进行控制（4）温度控制：本控制系统采用可编程序控制器的测量、监测、控制等应用技术，需要具有以下功能：1）过程控制可视化（界面、颜色、文字、图形、动画、操作等）；202）元件建立标准化（数字窗口、图形窗口、条形图、按钮、指示灯等）3）系统设计组态化（选择元件、逻辑连接、程序连接、参数设置、数据来源、数据去向等）；4）本系统控制结构紧凑；节省系统空间；人机界面友好；监测操作方便；设计灵活性强；系统维护简便；应用范围广泛。①计算机系统：本系统采用的工控机，在正版操作系统环境下，运用工业控制软件，通过设计、组态为用户提供了一套功能强大、界面友好的监测窗口；可设定500个程序段，任意存储、调用。②可编程序控制系统，PLC控制系统，该系列应用方便，可在编程前组态，也可在编程后组态，拥有强大的编程软件。它的编程模块丰富，有继电器功能模块、数学运算功能模块、关系运算功能模块、制表功能模块、变换功能模块、控制功能模块等。可事先编写一些通用性强的子程序，以备调用，可简化系统程序。对真空、加热、冷却及各种报警连锁等进行综合控制。该PLC带有通讯接口。③温度控制:1个加热区。设有控温热电偶。测量信号引入混合控制系统的模拟量输入模块，在系统程序中进行组态编程，通过的PID调节模块，实现预先设定好的升温、保温或降温曲线分别独立控温。通过专业的上位组态软件，实现温控曲线的编制，调用、下载功能。基于正版操作系统的友好的操作界面，方便操作人员操作与使用。加热区通过控温偶反馈的PV值与设定温度SP值进行比较通过PID组态自动实现四区温度基本一致的控制曲线。温区的温度值PV，与设定值SP均在组态界面显示。超温报警偶的测量温度PV，即在面板的超温报警表上显示，同时也在组态界面显示。在上位机组态界面，可以实时查看各区的温度值。④过温控制器，独立的过温控制器可以在炉温偶然出现明显超出其设定值时对设备、用户工件及人员予以保护。在使用过程中，K型热电偶的温度21值通过独立的处理器进行处理，对于控制传感元件而言，K型热电偶是一个独立的传感器，如实际温度通过监测温度输入明显超过设定的临界点，动力输出将被切断并且声光报警。⑤真空控制，在机械泵主控制电路上装有空气开关对电路起保护作用，以及交流接触器作为控制输出。由一个低真空计测量真空室内的低真空度，由真空计显示测量值。本设备的加热控制方式在1150℃以下由C型铠装伸缩热偶检测炉温进行控制，到1150℃时，由光学高温计进行温度控制，到1250℃由伸缩气缸后进行钨铼热电偶的拔出，光学高温计进行炉温控制。（5）快冷控制：最高从400℃(可根据工艺需要设置快冷温度点)开始进行保护气体循环快冷，保护气体为氮气或氩气。由真空压力表检测炉内充氮压力并且控制在90KPa~100KPa范围内，启动循环风机使气体在炉体与热交换器之间循环进行快冷。（6）报警系统：本设备对于超温、炉缺水、机械泵缺水、罗茨泵缺水等异常情况进行声光报警，并执行相应的保护措施。但对于超温和缺水故障，给予一定的预警时间，若在预警时间内未能排除故障，设备就执行保护措施。7、流化床对撞气流磨一、技术指标1.原料条件原料名称：氮化硅原料粒度：D50:≤10μm2.产品要求产品粒度：D50≤2μm22产品产量：500~3000g/h（粒度不同，产量不同，物料投入量与产出量比值不低于90%）。3.环保标准废气排放标准：粉尘排放量≤20mg/m²4.系统能耗指标设备用电：380V，50Hz运行功率：喂料电机0.37Kw，分级电机0.75Kw，风机电机2.2Kw，空压机22Kw。二、设备配置1.喂料单元：（1）料仓：容积：W5L材质：304不锈钢（外亚光），内喷ETFE（厚度0.2~0.3mm）加料方式：人工投料（2）管式螺旋：螺杆材质：304不锈钢，喷涂WC（厚度0.15~0.2mm）；螺腔材质：304不锈钢（外亚光），内部喷涂WC（厚度0.15~0.2mm）电机功率：0.37kw/50Hz/380VAC（变频防爆电机），变频控制；2.主机单元：（1）上体壳体：304不锈钢（外亚光），内衬耐纳特橡胶；分级轮：氮化硅陶瓷，卧式安装，电机直连；电机：0.75kw/250Hz/380VAC（变频电机，独立风扇），变频控制；密封方式：气封；加料方式：双气动蝶阀（24VDC），带位置检测（机械）及开关异常报警；23阀板304不锈钢，喷涂碳化钨防护其它：无法衬陶瓷部位采用WC或碳化钨防护措施；（2）下体壳体：304不锈钢（外亚光），内衬耐纳特橡胶；喷嘴：超音速拉瓦尔喷嘴（氮化硅），数量W3个；其它：无法衬陶瓷部位采用WC或碳化钨防护措施；3.旋风单元：（1）旋风收集器壳体：304不锈钢（外亚光），内衬耐纳特橡胶防护。出料：手动蝶阀，阀板304不锈钢，表面喷涂WC（厚度0.15~0.2mm）。（2）收料罐容积：W5L材质：304不锈钢（外亚光），内喷ETFE（厚度0.2~0.3mm）4.除尘单元：（1）脉冲收尘器壳体：304不锈钢（外亚光），内衬耐纳特橡胶防护；清灰方式：脉冲式自动喷吹；过滤面积：W3m；滤筒：聚酯纤维覆膜；出料：手动蝶阀，阀板304不锈钢，表面喷涂WC（厚度0.15~0.2mm）。（2）收料罐容积：W5L材质：304不锈钢（外亚光），内喷ETFE（厚度0.2~0.3mm）（3）其它含必要功能部件：电磁脉冲阀、喷吹管、文氏管、花孔板、气包、脉冲喷24吹控制仪；5.风机单元：（1）涡流风机壳体：铝，带消音器电机：2.2kw/50Hz/380VAC（定频电机），变频控制风量：W420Nm3/h风压：W-17000Pa（2）其它非标定制，配套手动调风蝶阀（DN80）6.控制单元：（1）柜体：碳钢喷塑，RAL7035（2）人机界面：W10寸（3）PLC：在独立运行或网络连接中均能实现复杂控制功能，支持多种工业以太网通信协议，如PROFINET、TCP、UDP等（4）其它包括所有必要的变频器、控制器、保护器配套电器元件。含主电流、电压指示，对整个系统运行流程进行控制和监测其运行状态。包括自动化程序，具备手自动切换功能，自动报警功能，设备发生故障时自动报警，有效保护设备。维护时用于驱动器单机操作的手动操作位。采用三级权限管理保证系统安全可靠。7.平台及管道单元：（1）主机到旋风：304不锈钢，内喷WC（厚度0.15~0.2mm）（2）旋风到除尘：304不锈钢，内喷WC（厚度0.15~0.2mm）（3）主气路：304不锈钢（内外亚光）25（4）平台：304不锈钢（外亚光）（5）其它：系统必备的压力表、减压阀、球阀8.气源系统单元：（1）空压机类型：微油螺杆（过流部分304不锈钢）数量：1台流量：W3.5m3/min压力：0~0.85MPa功率：W22kw/50Hz/380VAC。（2）过滤器：304不锈钢材质，数量3支，处理气量W3.8m3/min,耐压W1.0MPa（3）干燥机类型：冷冻式（过流部分304不锈钢）数量：1台流量：W3.8m3/min压力：0~1.0MPa露点：2~10℃功率：W1kw/50Hz/220VAC。（4）储气罐材质：304不锈钢材质（内外亚光）数量：1台容积：W0.6m耐压：W1.0MPa其它：底部配套自动排水装置8、真空干燥箱26一、主要技术参数与要求1.工作温度：10~180℃；2.灵敏度：土5℃；3.配真空泵、冷凝器；4.配真空排气管、止回阀、不锈钢阀门。5.真空干燥箱下面安装排污阀一个。6.设备内部工作尺寸：W1000mm×750mmX900mm（深\宽\高）7.适用介质：易燃与非易燃介质。8.加热方式：电加热。二、主要配置1.主机：采用厚度W6mm304不锈钢钢板制作，外封采用SUS304不锈钢W1.2m制作。2.托盘：不锈钢储料盘，共16只，烘盘尺寸：W640mm×460mm×45mm。3.加热管：烘箱内部采用不锈钢管制作。4.冷凝器：采用SUS304不锈钢制作，共6.0m。5.收集器：采用304不锈钢制作。6.真空泵：W3KW水循环泵。7.加热功率：W15Kw。8.真空表、温度表：各一只。9.止回阀：DN50。10.密封：采用硅橡胶（耐腐蚀、耐高温）。11.视镜：三套。12.门铰链：采用SUS304不锈钢焊接制作。13.手轮：采用SUS304不锈钢焊接制作。14.电加热管：采用不锈钢制作，并作加固处理2715.5P冷水机一台。16.控制系统采用防爆控制箱、自动控温、恒温。9、氧氮分析仪1.主要用途及功能1.1主要用途用于钢铁，有色金属及无机材料中的氧、氮定量分析。1.2功能1）仪器组成：主机（含氮氧分析检测及电极脉冲炉单元）、外置控制主机、激光输出设备、电子天平（≤0.1mg）等。2）电极脉冲炉额定功率W7.5kW，可采取电流，功率程序控制。上下电极采用同时仪器标配的内循环冷却水和空冷方式，附加外循环冷却水方式冷却装置。3）检测方式：氧：非色散红外吸收法；氮：热导法。4）仪器校准：标样校准（单点、多点），线性校准，手动校准，气标校准。5）数据处理功能：动态显示工作参数及分析数据等。自动存储分析结果，实时显示并适时打印，具备试样分析结果，气体动态释放积分曲线绘图并有存储分析气体释放积分曲线功能6）具备自动诊断功能：仪器状态信息，气路及电路等硬件故障，自动多段检漏，实时仪器故障报警并提供报警内容，仪器环境（包括电子线路，电磁阀状态，各种温度，系统压力，各种电压指标）进行实时监测。具有时间计数器监测（试剂更换，清扫间隔等）。7）操作系统软件：正版操作系统，并具备中、英文可切换的操作界面和说明软件。8）仪器具备内置触摸显示屏或外置键盘操作显示屏方式。2.设备组成及技术参数282.1设备组成1）主机：氮氧分析仪检测及电极脉冲炉一体化单元2）外置控制主机一套；内置触摸显示屏或W23寸显示设备；仪器运行系统软件和应用软件备份。3）输出设备：1台4）电子天平（0.1mg）：1台5）15kVA电源稳压器：1台6）水冷机：1台7）压力表：2个2.2技术参数要求1）用于钢铁及有色金属中氧、氮元素含量分析。2）分析范围：（基于1g试样）氧：0.05ppm~5.0%@1克试样氮：0.05ppm~3.0%@1克试样3）精度：氧：0.025ppm或0.3%RSD（二者满足其一）氮：0.025ppm或0.3%RSD（二者满足其一）4）校正方式：可以用标气和标样进行单点或多点校正，标气气路为标准配置。单点：可根据应用需要任意选择校正点。多点：在全量程范围内进行任意多点的校正，并且可以选择一次、二次、三次曲线校正。可将任何一次分析结果作为校正依据。5）分析时间（包括冲洗，脱气，分析延迟时间）：氧：0~85秒氮：0~100秒296）检测方式：★氧：三个独立红外检测池，同时检测CO和C02，然后再转化为C02集中检测。氮：热导检测,原装的流量补偿控制系统，保持流量恒定。7）内置多方向旋转触摸屏显示器。8）加热炉：电极脉冲炉；额定功率W7.5kW；电流，功率程序可控；电极可采用风冷、循环冷却水同时冷却9）电极炉使用合金电极，坩埚对中方式采用下对中。10）所需气体：载气：氦气，W99.99%纯度。动力气：普通氮气，氩气或压缩空气（无油无水）。11）炉头需具备快速拆装的粉尘过滤装置。★12）仪器具备动态流量补偿（DFC）功能模块，能实时补偿系统流量变化，检测结果稳定。★13）红外光源采用电子调频技术，频率W1kHz，并且具备无漂移的电路设计。★14）红外检测池具有恒温绝热技术，独立控温，软件实时显示各检测器升温曲线及温度数据。15）仪器具备快速装卸微水微氧过滤器集成组件。2.3软件功能为用户提供正版操作系统环境下的软件，中英文操作界面。快速显示分析结果和分析曲线；分析结果、释放曲线自动存储；样品重量自动输入；高低含量自动切换；30仪器参数实时监测；发生错误时自动报警；分析结果多种校正模式；对数据进行筛选、求平均值、标准偏差、相对偏差等；新软件可存储若干个分析方法；存储个数不限；控制主机可以和主机、输出设备、电子天平等连接实现数据传输；可对分析时间、空白值进行调整；升级软件不需更换EPROM；软件操作不同级别控制；多点校正、线性化面向用户开放；软件内嵌数据交换接口；分析报告多种输出模式；软件内嵌多个计数器，实现仪器维护自动提醒。2.4运行条件1）电源：220V±10%，50Hz，单相电源；2）环境温度：15℃~30℃；3）相对湿度：80%；2.5不低于以下配置1）氧氮分析仪主机一台；2）万分之一天平一台；3）15kVA稳压电源一台；4）水冷机一台；5）压力表两个；6）输出设备一台；2.6主要技术文件31随设备提供以下完整的技术文件资料共一套，包括以下内容：1）装箱单、仪器中英文说明书等资料一套。2）提供设备安装准备条件资料一套。10、水浸超声扫描显微镜（一）主要性能指标要求1.扫描系统具备：X轴-直线电机模组；Y轴-丝杆模组；Z轴一丝杆模组2.超声发射、接收器：带宽W500MHz3.高速数据采集卡：采样频率W1.0GHz；4.超声探头：15MHz3.0in一颗；25MHz3.0in一颗；50MHz2.0in一颗；5.前置放大器：L型*1个；H型*1个；6.工控机：处理器，W32GB内存，W2T硬盘，USB及网络接口；7.显示设备：2个W27寸显示设备8.检测软件：超声无损检测软件：9.水槽尺寸：W690mm×570mm×650mm（具有凹槽结构设计，凹槽≤0200×400mm；可兼容带杆陶瓷盘的检测。）10.有效扫描范围：W450mm×450mm×100mm；11.最大扫描速度：W1000mm/s；12.图像推荐分辨率：0.5~4000um13.重复定位精度：≤±0.003mmY、Z≤±0.01mm14.主要扫描模式：主要扫描模式：A扫描模式、B扫描模式、C扫描模式、快速扫描、自动扫描等多种扫描模式：（1）A扫描：对某一定点接收到的超声信号，进行成像处理，横坐标为时间，纵坐标为超声信号，可以反映缺陷的位置、大小信息；（2）B扫描：对某一截面内的超声波信号，以灰度或彩色的形式显示在二维平面内，横坐标代表扫查机构的位移方向，纵坐标代表超声波传播的深32度方向，反映缺陷在样品内的相对深度信息；（3）C扫描：对某一深度的截面进行扫描，是X-Y二维平面内移动并选取A扫描特定深度的点的信号成像，显示的是水平截面的缺陷信息；（4）快速扫描：使用插值法扫描产品，比常规的扫描耗时减少W50%；（5）批量扫描：对放置于水槽中的一种或多种工件进行自动检测；（6）一次多层C扫：≤50层★15.一键自动校准：可自动对检测设备坐标偏移及检测系统能量变化，校准系统漂移，保证检测结果的准确性和稳定性；★16.不锈钢标准强度：系统自带满足GBT11259-2015《无损检测超声检测用钢参考试块的制作和控制方法》的不锈钢标准块。认定该不锈钢标准块的超声反射强度=100STSS（“STainlessSteelStandard”的缩写），其他所有材料的检测相对于STSS做换算；（二）检测能力1.标准块测量误差：测量机械加工的标准块，在软件进行强度校准的前提下，超声检测多次测量误差不大于±1%。2.工件测量误差：选取相同的样件，采用同一处方且检测量程不变的情况下进行检测，三次检测结果钎着率差值不大于±2%。3.厚度测量范围：按陶瓷声速7000m/s计算。其超声探头参数要求如下：序号推荐超声探头频率检测厚度范围150MHz探头0.3~4.0mm225MHz探头0.3~8.0mm315MHz探头1.0~6mm4按情况选配W8.0mm4.缺陷识别能力：在测量系统厚度能力范围内，被测材料声速在标准材料声速±5%以内的情况下，且超声入射表面为平面的被测产品的水平方向的33结合缺陷的识别能力≤0.15毫米（15MHz、25MHz探头）和≤0.22毫米（10MHz探头）。11、激光打孔机（一）主要技术指标：1.加工材料：实现≤8.0英寸以内生瓷片（氧化铝、氮化铝陶瓷）的自动激光打孔，并配备合适的夹具与清理装置，可用于陶瓷基板打孔、切割分板。2.设备采用双平台设计，左右各有独立加工平台。3.加工平台幅面：W350mmX520mm（单平台尺寸）4.可加工材料高度：W50mm5.可加工最细导线线宽/间距：20μm6.加工最小孔直径：川50μm7.LTCC/HTCC生瓷打孔&切割（1）LTCC/HTCC生瓷打孔，孔径及切割尺寸精度：≤15μm。（2）加工表面：无明显烧蚀、表面喇叭口或涂层损伤，通孔边缘应干净，无熔渣和烧黑现象；切割部位无明显炭化、烧黑现象。（3）孔圆度：厚度0.26mm带料的情况下，0.12mm通孔圆度W90%（最短边与最长边相除）。（4）孔锥度：厚度0.26mm带料的情况下，0.12mm通孔锥度W90%（反孔与正孔相除）。（5）最小孔径：厚度0.16mm带料情况下，50μm通孔圆度W90%（最短边与最长边相除），孔锥度W90%（反孔与正孔相除），在五十倍显微镜下检查，应无明显变形。（6）激光加工效率：在保证加工状态合格的条件下加工效率：W5000孔/分钟（单加工头，厚度0.195mm生瓷片，孔径0.1mm通孔、孔圆心间距：340.3mm）；W2000孔/分钟（单加工头，厚度0.26mm生瓷片，孔径0.15mm通孔、孔圆心间距：0.3mm）。（7）加工图形精度：生瓷片232*232mm范围内，通孔间距相对理论值精度≤10μm；通孔最远端相对理论精度≤10μm。（8）加工重复精度：重复加工，任意孔位置精度波动≤5μm。（9）识别加工位置精度：识别加工图形相对识别靶标位置精度（居中度）川5μm，通孔间距相对理论值精度≤±10μm，最远端图形相对位置精度≤15μm；CCD二次定位精度：川20μm。8.陶瓷基板加工厚度：川1mm以内打孔，异形切割和划片工艺。★9.焊料片切割：（1）主要切割材料：AuSn、SnAgCu、铅锡、金锡、铟铅等切割；（2）材料厚度：0.05mm≤厚度≤0.25mm，切割路径精度：在高精度数控工作台的辅助下，切割路径精度可以不大于±10μm。（3）切割部位无明显炭化、烧黑现象，轻微变色可清洗干净。（4）孔圆度：通孔圆度W90%（最短边与最长边相除）。孔锥度：通孔锥度W90%（反孔与正孔相除）。（5）切割尺寸精度：≤15μm（二）激光器参数：1.激光器（泵浦源）：半导体；2.激光器频率：0~500KHz★3.激光平均功率：W15W@50KHz，激光器出口功率在一年内衰减量≤10%，如质保期内两次出现衰减量大于10%更换激光器；4.激光单脉冲能量：W300μJ5.激光脉冲宽度：川15ns356.激光光束模式：TEM007.光斑质量：M≤1.28.激光器采用内循环水冷系统9.冷却方式采用水冷，流量需≥7L/min，确保适配的水冷机、激光器及水管接头不会降低其流量和制冷效果；（三）设备光路和结构参数★1.数字扫描振镜，单次扫描幅面：W45mm×45mm，最大扫描速度：W3000mm/s，最大跳转速度：W10000mm/s，扫描振镜分辨率：川1um，振镜调制种类：精度优先；★2.采用远心聚焦系统，聚焦距离：W100mm；★3.光栅尺：精度：≤0.5μm；采用闭环控制。4.配有立式机罩，全封闭式结构，对设备环境无污染；5.扩束镜：定倍；6.激光器出射端、扩束镜、反射镜之间必须完全密封，防止灰尘、蒸发物污染镜片导致激光功率下降；7.激光光路在万级无尘室组装完成，保证密封光路清洁无粉尘污染；8.X/Y轴采用直线电机闭环控制驱动系统，无反向间隙，通过高精度光栅尺闭环反馈，实现长期稳定高精度工作状态；9.采用飞行路径光路系统；10.X/Y轴配置直线电机及导轨，Z轴由伺服电机驱动；11.配置风幕保护；★12.配有激光头封闭保护罩，将材料气化物，蒸发物直接吸出排出；13.设备具有红光指引功能，可模拟演示激光加工运动轨迹；★14.激光保护罩利用可吸收激光能量的材料制作，防止激光散射造成危害；15.设备配备加工观察窗口，采用激光防护材料制作；3616.设备具有开罩急停防护措施；（四）加工平台精度：1.平台加工位置精度：≤15μm2.加工尺寸精度：10μm（0.2mm生瓷片打孔）3.重复定位精度：2μm4.振镜分辨率：川1μm5.X/Y轴移动分辨率：川0.5μm6.系统定位精度：≤5μm（五）辅助系统1.配备吸尘系统工业吸尘器用途：用于清理加工时产生的废渣、灰尘，同时也为设备平台提供负压；可由软件自动控制启停和延时吸尘。滤芯：PTFE滤筒+活性炭滤芯；过滤效率：W99.9%；最大风量：W400m/h；最大压力：W27,000Pa；噪音:≤68dB（A）；★2.配备吹气系统，该系统可由软件自动控制启停和延时吹气操作。3.吸尘效果：目视台面无明显粉尘及污染物。4.激光器配置防尘罩。5.特制风罩，独有吹风结构，保护镜片减少污染。（六）CCD系统1.配备摄像头，W130万像素，分辨率≤3.5μm，位置精度≤5μm；具备摄像头一键校准、一键对焦功能。★2.配备摄像头靶标定位功能，靶标学习功能，能够识别任意形状图形。373.配备摄像头及LED漫反射光源。（七）设备平台结构★1.设备基座采用大理石平台，热膨胀系数小，保证设备整体性、稳定性和精度。★2.具有激光防护功能：采用激光防护罩密闭激光加工区域，防护门装配磁性开关，门在打开状态下激光器不工作。防护罩门上装配保护玻璃，可用于观察加工过程。指示灯显示操作状态。3.设备配套完整，不附加零备件与其他材料的条件下，能够独立有效完成加工功能。4.设备采用龙门架结构，设备稳定，精度高（八）配套正版软件系统★1.具有独立知识产权的正版数据处理软件及设备操作控制软件，支持Windows7版本以上系统，提供软件著作权证书。2.数据处理软件，与设备操作软件不是同一个软件，运行数据处理和产品加工同时进行，终身免费升级。★3.输入数据格式：Gerber，GerberX，HP-GL，Excellon，Sieb&MeierDXF,Barco,ODB++；输出数据格式：Gerber,GerberX,LMD，HP-GL，Excellon★4.软件具有对位胀缩补偿设计功能，可输入、输出缩放系数；具有批量预定位功能，批量定位完成后再统一进行加工。★5.靶标定位具有自适应（学习）功能，可支持规则标图形和非规则图形。系统可自动识别不同尺寸，形态（圆孔、圆环、十字、方形、直角边等）靶标，通过计算调整加工图形的位置、角度，适应当前材料加工，无需人员手动控制操作，自动完成定位操作，提升加工效率和精度。6.设计规则检查（DRC）、具有加工预览功能，自动检查导线绝缘间隙的距离，并以图层方式标注出来；38★7.软件高阶功能：具有高级钻孔功能、脉冲自动跟随功能、高级振镜分区等。振镜扫描加工过程中会经历加速、匀速、减速过程，若激光器按固定频率触发脉冲会导致加工图元首尾能量集聚，进而影响加工线条的深度和宽度。脉冲自动跟随模块支持脉冲级别控制激光和扫描振镜的同步性，可使脉冲触发频率自适应跟随振镜扫描速度的变化。★8.预留MES模块或ERP连接端口MES模块基于工业4.0标准协议，支持的协议包括WebAPI、WebServiceSECS、CFX、MODBUS、IPC-SMEMA等。★9.具备打标功能，根据编码规则自动增加序号。★10.具备2D测量平面图形尺寸功能，支持手动模式测量，同时支持图像识别模式自动测量。也支持图像识别模式进行精准测量，还可以支持编程预设步骤进行自动测量。该功能模块可以集成到操控系统软件使用。★12.处理大型加工文件时，具reseat菜单项，软件卡时可以尝试一键释放。★13.功能权限灵活可配置提供多级权限角色，高权限角色可以给低权限用户定制分配软件部分或全部功能，客户可按需求对软件各级权限功能进行灵活配置。★14.过程数据可视化设备相关的过程数据，如精度、平整度、功率、配方、稼动率等数字化信息都能以直观的图表形式呈现，可以对设备进行实时动态监测，并对监测结果进行在线自动闭环调校。★15.具有导电图形激光直接成型技术，以独有的分条与剥离/Striping&Stripping技术，整个小块剥离，从而实现导电图形，不伤基材。39★16.具有二级刀具库，适合材料种类、规格较多加工。17.相机具有二次定位加工功能：已加工材料可根据靶标二次定位后进行再加工，返修等操作。18.多选处理与输出方式：可以根据实际工或虚拟工艺，自由选择物理层或虚拟层，分层设置参数，分层输出19.有摄像头自动对焦、激光自动对焦、摄像头偏移自动校准、振镜自动校准功能。20.加工界面实时显示加工时间、进度、激光参数等数据。21.具有实时显示加工状态和激光头实际位置的功能，以方便操作者判断当前加工状态及剩余时间。其中加工状态应至少包括加工图形中已加工的部分和未加工的部分并以颜色区分。具有加工预览功能，可以使设备模拟实际加工状态，可用红光指引模拟实际加工，也可以脱机模拟加工。★22.具有在线功率检测和功率在线闭环补偿，配置台面功率计。配置台面功率计，功率作为镭雕加工的核心参数，保证切割品质，具有在线测量补偿模块。加工过程中可以根据设定的周期进行在线实时监测，若功率波动量大于设定阈值，会自动调整功率系数使其稳定在阈值范围内，保障功率应用稳定性和镭雕良品率。（九）配置工业控制系统工控机不低于以下配置：工控机箱,W300W工业电源；工业级母板，板载USB*4/串口（RS-232*5RS-232/422/485*1）千兆网口*2/5PCI（1PCIE*11PCIE*41PCIE*16），处理器线程数不低于：4核/4线程，睿频W3.9GHz，集成显卡，W3.3GHz6M三级缓存，W16G内存，W1T硬盘，正版操作系统，DVD刻录光驱；显示器：W17寸（十）技术资料要求：操作使用说明书及保养说明、软件授权书、合格证、零部件清单、安装总40图、部件装配图、电气原理图。12、超高压力填孔机（1）适用基片尺寸：8寸生瓷片（2）适用基片总厚度：0~1mm（3）网印高度调整范围：0~10mm（4）填孔速度：1~200mm/sec（5）印刷压力：50~1500N（6）刮刀两侧调节：手动调节（7）工作台重复定位精度：1um（8）工作台表面与刮板架间的平行度：≤0.015mm（9）工作台表面与网框夹持器间的平行度：0.015mm（10）印刷工作台调节量：X、Y:川5mmθ：≤1.5°（11）工作台定位精度：2um（12）视觉对位精度：≤3um（13）重复填孔精度：5um（14）设备效率：W25s/片（填孔速度为70mm/s时，不包括手动上下料时间）（15）安全措施：急停、安全门（16）工作台填孔区域材质：多孔陶瓷（17）设备清洁功能：具备三级清洁粘尘机构（18）工作台对位后锁紧功能：具备对位后工作台自动锁紧功能13、丝网印刷机（1）适用基片尺寸：≤8寸生瓷片（2）适用基片总厚度：0~1mm41（3）网印高度调整范围：0~10mm（4）印刷速度：1~350mm/sec（5）印刷压力：30~200N（6）刮刀两侧调节：手动调节（7）工作台重复定位精度：≤1um（8）工作台表面与刮板架间的平行度：川0.015mm（9）工作台表面与网框夹持器间的平行度：≤0.015mm（10）印刷工作台调节量：X、Y：≤5mmθ：≤1.5°（11）工作台定位精度：≤2um（12）视觉对位精度：≤3um（13）重复印刷精度：4um（14）设备效率：W10s/片，（印刷、涂墨速度均为100mm/s，从工作台开始自动对位到印刷结束工作台回到初始位）（15）安全措施：急停、安全门（16）工作台印刷区域材质：多孔陶瓷（17）设备清洁功能：具备三级清洁粘尘机构（18）工作台对位后锁紧功能：具备对位后工作台自动锁紧功能14、温水等静压机一、技术规格和性能要求1.技术参数要求1.1高压腔最大静压：W300MPa1.2高压腔尺寸：W300×500mm1.3工作介质：去离子水1.4最高工作温度：W90℃1.5升温速度：RT--85℃时间≤90分钟421.60~300MPa空载加压时间：川4分钟（通过伺服电机的转速和力矩调整升压速度和压力）1.7气密性：250MPa保压5分钟，压降≤额定压力的3%。1.8保压、泄荷时间：连续可调1.9升压、泄压：可以分别设置多段1.10增压缸最大工作压力：W30MPa1.11增压方式：单缸增压1.12控制方式：PLC+触摸屏1.13安全防护：重安全保护：设计安全系数保护；程序最大设定压力限制防护：系统溢流阀压力限定保护：超压爆破阀保护。2.压机配套内容（不低于以下配置）2.1预应力钢丝缠绕固定机架1台2.2预应力钢丝缠绕工作腔1台2.3工作腔补液箱1台2.4主控液压站1台2.5预应力钢丝缠绕增压系统1套2.6电磁加热及温控系统1套2.7电控柜1台2.8高压管及配套线路等1套3.压机主要配置3.1机架3.1.1机架应采用预应力钢丝缠绕框架结构，框架采用固定结构3.1.2缠绕框架立柱应采用钢整体锻造后机械加工3.1.3缠绕框架上下半圆梁应采用钢整体锻造后机械加工3.1.4缠绕框架应采用高强度热处理弹簧钢丝缠绕433.1.5钢丝缠绕严格按照设计通过变张力缠绕，保证使用安全3.2工作缸3.2.1工作缸应由预应力钢丝缠绕筒体和上、下活塞端盖组成3.2.2工作缸应由芯筒及两端法兰组合后经预应力钢丝缠绕而成3.2.3芯筒应采用SUS630不锈钢材料整体锻造、机械加工3.2.4芯筒经热处理、超声波探伤无缺陷3.2.5工作缸上、下端盖应采用3Cr13不锈钢整体锻造、机械加工而成3.2.6工作缸上、下端盖经热处理、超声波探伤无缺陷3.2.7工作缸上端盖应采用液压油缸开闭3.2.8钢丝缠绕工作缸严格控制变张力和变形量，保证使用安全。3.3液压系统3.3.1液压系统主油路应采用25柱塞泵+伺服电机控制3.3.2加压及控制系统应采用1台25柱塞泵配1台伺服电机3.3.3系统设有水循环冷却装置3.4增压系统3.4.1加压系统由补液箱、循环泵、增压器、卸压及保护装置组成3.4.2补液箱提供加热后的加压介质，内设加热和测温、均温装置3.4.3增压器为液压式结构，由增压油缸推动，单缸增压3.4.4系统可分多级泄压，泄压速度可调3.4.5系统设有高压压力传感器，实时检测高压压力。3.4.6系统有安全阀3.5电控系统3.5.1系统主控制器应采用可编程序控制器3.5.2系统采用工控触摸屏3.5.3系统压力采用国产压力变送器实现压力数字显示及设定443.6加热及温控系统3.6.1采用电磁加热控制3.6.2由循环泵将加热介质循环通过电磁加热器往复循环加热3.6.3电气与加热介质完全隔离15、热切机1.操作模式：手动和CCD自动对位2.五轴可编程运动控制系统：Y，Z和θ轴各配备一台伺服电机，电机控制器及编码器。左、右摄像机各配备一台步进电机、电源及电机控制器。各轴配合运动，可对视频标记识别系统检测出的误差做精密调整。3.8寸切割刀具系统：切割刀具系统包括刀片夹持器、切割分离器和刀片加热器。刀片夹持器可固定切割刀片。分离器具有导向和防护功能。分离器的压力可通过调节弹簧压缩比设定。分离器的高度可手动调整。4.8寸标准真空切割台系统：自带真空发生器，真空切割台面上均匀分布真空透气微孔。可固定被切割部件在切割过程中不会产生位移。5.刀片、切割台加热控制系统：两个各自独立的温度控制器。分别采用PID方式精确控制切割刀片和工作台的温度。6.CCD对位系统：配备双CCD相机，视频采集，图像分频器。两台位置可调的CCD摄像机配合平移和旋转切割台实现表面或侧面切割标记的精确对位。相机配有LED照明光源系统，照明亮度、照射位置和角度均可调整。7.图像识别：十字线中分对准。可识别Mark标记的颜色：具有颜色反差的标记。8.加工信息记录加工信息记录功能：（切割计数、刀片使用寿命次数设定及警告、操作权限管理），且可编辑9.报错提示功能：机器工作状态及程序实时同步显示。运动超差、超时及视频检测故障等等影响加工进度的不利因素报错、报警提示功能。4510.工作台移动范围：Y方向W300mm、Z轴W30mm、转动角度W150°11.电机分辨率：Y轴≤0.0025mm；Z轴≤0.0025mm；θ轴≤0.00035°12.对位精度：Y轴≤0.005mm；Z轴≤0.005mm；θ轴≤0.001°。13.刀片尺寸：T（0.1mm~0.4mm）×H（22.4mm）×L（203mm）。14.工作温度：切割刀片的温度在室温~100℃范围内可调节、工作台温度在室温~100℃范围内可调节，温度均匀性≤3℃。15.最大切片厚度：W7mm。16.切割尺寸：100mm×100mm~203mm×203mm。17.重复定位精度：川0.005mm。18.切割精度：川0.02mm。19.Z向最大切割速度：W500mm/s，最大切割速度7刀/秒。16、整平机（1）基片面积：203±1mm×203±1mm（8寸生瓷片）（2）基片厚度：0.05~1mm（3）压平最大压力：W30ton，可设定（4）压力控制精度：川1%（5）上下模具温控范围：室温~100℃，且上下模具温度设定误差≤1℃（6）压平头行程：W50mm（7）压平头尺寸：210mm×210mm（8）保压时间：0~10Min可调（9）压平机上下两面平行度：≤0.01mm（10）上下压头单面平面度：≤0.005mm（11）安全措施：急停、安全门、安全光幕、保护支架（12）具有上下卷膜（13）上下卷膜可选择启用或停用，卷膜长度可设置4617、锥板粘度机1.核心测量参数（1）粘度范围：80~700Pa.s（lrpm）（2）测温范围：-20~100℃2.主机部分：（1）操作屏幕采用一体式设计，采用W7英寸全彩色屏，全触摸屏操作，无按键。实时显示粘度值，以及粘度趋势变化曲线。（2）传感器采用连续感应芯片实时感应。（3）转速范围：0.01~250RPM（4）精度：川1.0%FSR（5）重复性：≤0.2%FSR（6）测试过程显示信息包括：粘度、温度、剪切率/剪切力、扭矩、转速转子、实时粘度曲线等（7）单机操作可直接实现和显示Casson、Bingham、PowerLaw和Thixindex等数学模型计算功能、剪切率/剪切力曲线图等（8）主机可进行特性指标分析，如屈服应力（需有桨式转子）、流变曲线等，可控制恒温水浴和加热系统（9）主机上具有可直接设定时间功能，可设定到达指定扭矩的时间，或到达指定温度的时间，或停止测试的时间。（10）主机水平调节：数字式水平调节，自动测试机器水平。（11）网络连接方式：网口（12）操作语言：单机内置中文语言（13）主机接口：主机有不少于三个USB接口，可到处数据到U盘或与电脑通讯实现通讯控制，自动采集数据（14）主机内存：W150M47（15）转子连接方式：螺纹连接3.测量系统：（1）转子类型：锥板转子W1个，螺纹连接方式（2）粘度值范围：80~700Pa·s（1rpm）（3）样品量：≤0.5mL（4）转子不带任何电子元件，可直接浸入溶剂中超声清洗（5）样品杯带有集成温度探头，可精确监测样品控温情况（6）样品杯带有温度夹套，可实现精确外控温4.温控系统：（1）控温范围：-10~100℃（2）温度稳定型：川0.05℃（3）循环泵速：W10L/min（4）加热功率：W1000W（5）制冷量：W300W@20℃（6）外部控制：外循环对测量系统进行温度变化控制5.中国计量院标准品（100000cps@20℃）6.配置清单（不低于以下配置）6.1触摸屏锥板粘度计：1台6.2锥板转子：1个6.3样品杯（带探头）：1个6.4升降支架：1套6.5屏幕保护膜：1个6.6便携箱：1个6.7中国计量院标准品：1瓶6.8恒温水浴：1套4818、三辊研磨机（一）技术参数1.辊筒材质：氧化锆2.辊筒精度：同心度、直线度≤2μm，表面光洁度≤0.3μm3.调距精度：1μm4.调距范围：0~180μm过载或卡机，一键自动校准，无需拆机。5.辊筒尺寸：直径W80mm，长度W200mm6.转速比：不小于1：3:97.出料辊转速：0~500RPM可调8.产能：0.02~20L/hour9.操作界面：①可存储W20组配方（每组W10段），辊筒间距，辊筒转速可设定可调整；②具有独立程序运算解析功能，可以独立对设备控制参数，如压力、间隙、温度等实时过程数据分析；③可灵活增加二次开发应用功能。★10.浮动挡块：针对纳米粉浆料，单独配置专用浮动挡胶块。（二）核心配置1.陶瓷辊：采用氧化锆陶瓷粉2.控制系统：配置：可编程控制器，带转换模块。带一键校准0位功能，当间隙偏移或者辊筒加热冷却时，可以自动校准回0位。3.控制方式：采用人机交互界面。4.间隙调整结构：间隙模式下压力曲线功能（辅助分析分散过程及状态）：采用多点闭环驱动，等角度线性放大机构，参数化调整。调节精度≤1μm。5.界面功能：49
投标 / 标书制作要点（原创）
本其他仪器仪表涉及「采购合同公告」，投标方需重点关注：① 营业执照经营范围须含采购合同公告或对应服务类目；② 提供同类项目业绩证明；③ 报价方案与售后响应须明确；④ 紧盯投标截止与开标节点，建议提前完成标书制作与盖章。当地项目常要求本地化服务能力与快速响应，务必在投标文件中凸显。
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