集成电路封装测试研发及产业化 环境影响报告文件承诺制招标采购公告(2025)
现将铜陵碁明半导体技术有限公司集成电路封装测试研发及产业化项目(二期)承诺制审批情况公告如下:
文件名称:《关于铜陵碁明半导体技术有限公司集成电路封装测试研发及产业化项目(二期)环境影响报告表的批复》
审批文号:开安环〔2025〕11号
发文日期:2025年4月7日
公告期限:自本公告发布之日起7工作日届满。
行政复议与行政诉讼权利告知:依据《中华人民共和国行政复议法》和《中华人民共和国行政诉讼法》,公民、法人或者其他组织认为公告的建设项目环境影响评价文件审批决定或建设项目竣工环境保护验收决定侵犯其合法权益的,可以自公告期限届满之日起六十日内提起行政复议,也可以自公告期限届满之日起六个月内提起行政诉讼。
办理单位:铜陵经济技术开发区管理委员会
联系电话:0562-2819706
电子邮箱:tljkqahj@163.com
2025年4月7日
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开安环〔2025〕11号铜陵碁明半导体技术有限公司集成电路(二期)项目环评批复-报告表(承诺制).docx
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公示稿-铜陵碁明半导体技术有限公司二期项目.docx
开安环〔2025〕11号关于铜陵碁明半导体技术有限公司集成电路封装测试研发及产业化项目(二期)环境影响报告表的批复铜陵碁明半导体技术有限公司:你公司提交的《铜陵碁明半导体技术有限公司集成电路封装测试研发及产业化项目(二期)环境影响报告表》(以下简称《报告表》)及《建设项目环境影响评价文件报批承诺书》(以下简称“承诺书”)收悉。现批复如下:一、铜陵碁明半导体技术有限公司位于西湖一路1588号。2021年12月,铜陵经开区安环局批复你公司集成电路封装测试研发及产业化项目(一期)环境影响报告表(安环〔2021〕49号);2024年5月,该项目(一期)履行竣工环境保护自主验收手续,验收产能为年产45亿颗集成电路芯片。2022年8月,铜陵经开区安环局批复你公司集成电路包材项目环境影响报告表(安环〔2022〕58号);目前,该项目处于建设中。本次项目位于你公司现有厂区内,主要建设内容包括:一是在现有1#厂房内安装电镀槽、软化槽等设施设备,新建6条镀锡线;二是在厂区内空置地块新建4#厂房,并在该厂房内新建塑封区、磨划区、键合区等;三是配套建设或完善供水供电等公用工程,仓储间、化学品库等储运工程,纯水站等辅助工程,废气治理、废水治理、环境风险防控等环保工程。本次项目建成后,你公司可新增年产60亿颗集成电路芯片的生产能力。项目总投资5亿元,其中环保投资500万元,已通过经开区经济发展局备案。根据《关于统筹做好疫情防控和经济社会发展生态环保工作的指导意见》(环综合〔2020〕13号)、《安徽省生态环境厅关于强化生态环境保障和服务助力稳经济若干措施的通知》(皖环发〔2022〕34号)、《安徽省建设项目环评告知承诺制审批改革试点实施方案》(皖环发〔2020〕7号)等文件要求及你公司自愿申请,批准你公司《报告表》。二、该项目以“告知承诺制”方式进行审批,经开区管委会不对你公司《报告表》具体内容做实质审查,不承担法律法规中关于环评审批行政部门或单位审查环评的相关责任,由此造成的一切后果和责任由你单位和安徽科欣环保股份有限公司(环评编制单位)承担。三、经开区管委会将公开《报告表》和相关承诺书,在你公司及安徽科欣环保股份有限公司全面落实承诺书中承诺事项且项目全面落实《报告表》中提出的各项防治生态破坏和环境污染措施的前提下,经开区管委会原则同意报告表的结论。你公司应严格按照报告表中所列建设项目的性质、规模、工艺、地点和拟采取的环境保护措施建设和运行,以确保对环境的不利影响能够得到缓解和控制。如有违反,由相关部门依法查处,并纳入信用管理体系。四、严格落实生态环境保护和环保设备设施安全生产主体责任,建立健全各项环保管理责任制度,依法落实环境管理要求。做好建设项目安全预评价或安全条件综合性分析等安全管理工作。严格依法依规设计、建设和运行管理环保设备设施,确保环保设施安全稳定有效运行。安装使用的环保设施必须符合安全生产法律、法规标准规范的相关规定,要组织对重点环保设施进行安全风险评估和隐患排查治理。五、你公司应严格执行环保“三同时”制度,在项目产生污染物排放之前,履行排污许可手续。在实际建设和运营过程中,落实“雨污分流”要求,并严格按照国家、省有关规范、政策等相关要求,确保各项污染物排放稳定满足国家、省规定的标准等和总量控制指标。项目建成后应按规定开展环境保护验收工作,验收合格后,方可正式投入生产。若项目发生重大变更,你公司应依法重新履行相关审批手续。六、你单位作为建设项目环评信息公开的主体,在工程施工和运营过程中,应建立畅通的公众参与平台和渠道,及时解决公众担忧的环境问题,满足公众合理的环境诉求。七、充分考虑项目建设对周边环境敏感目标的影响,在项目设计和建设阶段持续优化平面布局,涉及废气、噪声等污染排放的生产设备、设施应远离环境敏感目标侧布置。八、对项目实施监管过程中,发现存在承诺内容与实际不一致、不符合告知承诺制审批条件、环评结论不可行、文本质量存在重大缺陷等问题的环评文件,经开区管委会将按程序依法撤销审批决定,因批复文件被撤销造成的所有法律责任和经济责任由建设单位和技术单位自行承担。依法撤销审批决定的项目不得再进行告知承诺制审批。九、如项目建设和运行依法需要其他行政许可的,你公司应按规定办理其他审批手续后方能开工建设或运行。十、请经开区安环局、市生态环境局开发区分局负责项目建设期及运营期的日常环境监管和承诺履行监督检查等工作。你公司应按规定主动接受各级环境主管部门的日常监督和检查,及时、主动报告项目建设、运营生产、污染防治和其他环保相关信息。此复。2025年4月7日抄送:铜陵经济技术开发区安全生产与生态环境局铜陵市生态环境局开发区分局安徽科欣环保股份有限公司铜陵经开区党政办公室2025年4月7日印发
建设项目环境影响报告表
(污染影响类)
项目名称:铜陵碁明半导体技术有限公司集成电路封装测试研发及产业化项目(二期)
建设单位(盖章): 铜陵碁明半导体技术有限公司
编制日期: 二〇二五年二月
中华人民共和国生态环境部
1、
一、建设项目基本情况
建设项目名称
铜陵碁明半导体技术有限公司集成电路封装测试研发及产业化项目(二期)
项目代码
2108-340706-04-01-729908
建设单位联系人
权万涛
联系方式
13356732838
建设地点
铜陵经济技术开发区西湖一路1588号
地理坐标
117°49' 27.526",30°59' 19.946"
国民经济
行业类别
C3973 集成电路制造
建设项目
行业类别
三十六、计算机、通信和其他电子设备制造业(39)-
80电子器件制造(397)
建设性质
新建(迁建)
改建
扩建
技术改造
建设项目
申报情形
首次申报项目
不予批准后再次申报项目
超五年重新审核项目
重大变动重新报批项目
项目审批(核准/备案)部门(选填)
铜陵经济技术开发区经济发展局
项目审批(核准/备案)文号(选填)
无
总投资(万元)
50000
环保投资(万元)
500
环保投资占比(%)
1.0
施工工期
6个月
是否开工建设
否
是
用地(用海)
面积(m2)
8818
专项评价设置情况
专项评价类别
设置原则
项目情况
设置与否
大气
排放废气含有毒有害污染物、二噁英、苯并[a]芘、氰化物、氯气且厂界外500米范围内有环境空气保护目标的建设项目
拟建项目排放的废气主要为颗粒物、碱雾、硫酸雾和非甲烷总烃,厂界外500米范围内没有环境空气保护目标。
否
地表水
新增工业废水直排建设项目(槽罐车外送污水处理厂的除外);新增废水直排的污水集中处理厂
生活污水经化粪池预处理后通过管网进城北污水处理厂处理,生产废水经厂内污水处理系统处理后达到接管标准进城北污水处理厂处理。
否
环境风险
有毒有害和易燃易爆危险物质存储量超过临界量的建设项目
本项目危险物质主要为银及其化合物、硫酸、丙酮、乙醇、硝酸、盐酸、甲基磺酸、铜及其化合物等,存储量未超过临界量
否
生态
取水口下游500米范围内有重要水生生物的自然产卵场、索饵场、越冬场和洄游通道的新增河道取水的污染类建设项目
项目用水依托厂区现有供水管网,不涉及直接取水口工程
否
海洋
直接向海排放污染物的海洋工程建设项目
不涉及
否
3
规划情况
规划名称:《铜陵市循环经济工业试验园总体发展规划(2022-2035)》
审批机关:/
审批文件名称及文号:/
规划环境影响评价情况
规划环境影响评价名称:《铜陵市循环经济工业试验园总体发展规划(2022-2035)环境影响报告书》
审批机关:铜陵市生态环境局
审查文件及文号:《关于铜陵市循环经济工业试验园总体发展规划(2022-2035)环境影响报告书审查意见的函》(铜环函〔2022〕450号)
规划及规划环境影响评价符合性分析
1、 规划相符性分析
铜陵市循环经济工业试验园于2006年1月由铜陵市人民政府批准同意设立(铜〔2005〕112号),2008年划归铜陵经济技术开发区管委会托管。2017年铜陵经济技术开发区管委会结合循环园调整情况,委托安徽中汇规划勘测设计研究院股份有限公司编制了《铜陵市循环经济工业试验园总体规划(修编)》。2017年5月25日原铜陵市环境保护局出具了《关于铜陵市循环经济工业试验园总体规划(修编)环境影响报告书审查意见的函》(铜环函〔2017〕2598号)
2022年铜陵经济技术开发区管委会结合“三区三线”方案对循环园规划范围进行了调整,调整后循环经济工业试验园规划面积为28.39平方公里,四至范围为东至泰山大道、黄山大道一线,南抵环天井湖地区,西至长江,北至钟仓河。2022年9月铜陵经济技术开发区管委会结合循环园规划范围调整情况,委托安徽中汇规划勘测设计研究院股份有限公司对铜陵市循环经济工业试验园总体规划进行了更新和修编,编制了《铜陵市循环经济工业试验园总体发展规划(2022-2035)》。
本项目选址位于铜陵经济技术开发区西湖一路1588号,位于铜陵市循环经济工业试验园内,根据铜陵市循环经济工业试验园总体发展用地规划图,本项目用地属于工业用地,符合园区土地利用规划。
“循环园”生产空间组织由港口物流园区和五大产业集群组成,五大产业集群包括铜冶炼及铜材延伸加工产业集群、绿色化工产业集群、电子机械及器材制造产业集群、装备制造业产业集群、服装制造产业集群。项目为集成电路封装测试研发及产业化项目,行业类别为C3973集成电路制造,属于计算机、通信和其他电子设备制造业,故本项目属于循环园五大产业集群中电子机械及器材制造产业集群。因此,本项目符合《铜陵市循环经济工业试验园总体发展规划(2022-2035)》的要求。拟建项目地理位置图见附图1,用地类型图见附图2。
二、规划环评及审查意见相符性分析
1、与《铜陵市循环经济工业试验园总体发展规划(2022-2035)环境影响报告书》符合性分析
本项目为《国民经济行业分类》(GB/T4754-2017)及(2019年修改单)中“C3973 集成电路制造”,属于计算机、通信和其他电子设备制造业,属于园区三大主导产业电子信息材料产业,与入园区建设项目基本要求的优先鼓励项目符合,故本项目符合《铜陵市循环经济工业试验园总体规划(修编)环境影响报告书》的要求。
2、与《铜陵市生态环境局关于铜陵市循环经济工业试验园总体发展规划(2022-2035)环境影响报告书审查意见的函》(铜环函【2022】450 号)符合性分析
表1-2 与规划环评审查意见符合性分析
批复要求
本项目情况
相符性
铜陵市循环经济工业试验园规划面积为28.39平方公里,四至范围为东至泰山大道、黄山大道一线,南抵环天井湖地区,西至长江,北至钟仓河。
本项目位于铜陵市循环经济工业试验园范围内,项目用地符合园区用地规划要求,项目建设符合产业要求,选址满足功能分区要求。
符合
循环经济工业试验园规划应坚持生态优先、高效集约发展,以生态环境质量改善、防范环境风险为核心,明确循环经济工业试验园存在的制约因素;加强《规划》与深入打好污染防治攻坚战等相关要求;按照生态环境管理要求统筹推进循环经济工业试验园整体发展和生态建设,合理控制开发利用强度,进一步提高土地利用效率。
项目租用铜陵市天元新能源科技有限公司原有厂区,二期在厂区东侧空地建设厂房,项目用地规模较小,满足高效集约发展要求,合理控制了开发利用强度,进一步提高了土地利用效率。
符合
根据国家和安徽省大气、水、土壤、固体废物污染防治相关要求,完善污染防控方案、污染物总量管控要求和现有环境问题整改方案,确保循环经济工业试验园建设项目污染物长期稳定达标排放,区域生态环境质量持续改善。
本项目运营期外排废气、废水、噪声经采取合理可行的污染治理措施治理后能够做到稳定达标排放,且废气、废水污染物排放实行总量控制制度。
符合
优化产业布局,加强生态空间保护。结合区域
生态环境承载力,以减污降碳协同增效为总抓
手,严格落实废水、废气主要污染物排放总量
管控,深入推进碳达峰行动,严禁不符合管控
要求的各类开发建设活动,关注循环经济工业
试验园发展与周边重点生态敏感区相协调。结
合循环经济工业试验园产业定位和区域主导
风向,合理规划不同功能区的环境保护空间。
做好循环经济工业试验园边界与周边环境敏
感区的管控。
本项目为C3973集成电路制造,属于计算机、通信和其他电子设备制造业,属于园区三大主导产业电子信息材料产业,项目建设符合园区相关管控要求。
符合
根据区域发展战略,结合区域生态环境质量现 状铜陵市“三线一单 ”成果等,严格落实《报告书》生态环境准入要求。严格执行国家产业政策,合理控制循环经济工业试验园开发规模与强度。循环经济工业试验园内长江干支流沿线1公里范围内区域严禁新建、扩建化工项目。
本项目位于循环园内不在铜陵市生态保护红线范围内,项目建设满足铜陵市“三线一单 ”相关管控要求。本项目为C3973集成电路制造,符合国家产业政策。本项目不属于化工项目,项目厂区距离长江干流4.81km、支流小汊江3.12km,不在长江干支流沿线1公里范围内。
符合
2、与《铜陵市循环经济工业试验园总体发展规划(2022-2035)环境影响报告书》中的生态环境准入清单符合性分析。
表1-3 铜陵市循环经济工业试验园生态环境准入清单
清单类型
准入内容
本项目内容
空间布局约束
禁止开发建设活动的要求
禁止新建、扩建法律法规和相关政策明令禁止的落后产能项目。禁止新建、扩建属于国家《产业结构调整指导目录》中淘汰类、限制类项目。
项目不属于落后产能项目;属于《产业结构调整指导目录》中鼓励类项目
禁止新建乙烯、对二甲苯(PX)、二苯基甲烷二异氰酸酯(MDI)石化项目;禁止新建煤制烯烃、煤制对二甲苯(PX)、煤制甲醇项目等煤化工项目。
本项目属于C3973 集成电路制造,不属于石化及煤化工项目
禁止新建不符合国家产业政策的小型造纸、制革、印染、燃料、炼焦、炼硫、炼砷、炼汞、炼油、电镀、农药、石棉、水泥、玻璃、钢铁、火电以及其他严重污染水环境的生产项目。
项目符合国家产业政策
限制开发建设活动的要求
长江干支流岸线1公里范围内,严禁新建、扩建化工园区和化工项目。
不属于
长江干流岸线5公里范围内,全面落实长江岸线功能定位要求,实施严格的化工项目市场准入制度,除提升安全、环保、节能水平,以及质量升级、结构调整的改扩建项目外,严控新建石油化工和煤化工等重化工、重污染项目。严禁新建布局重化工园区。
化工集中区内,严禁新批环境基础设施不完善或长期不能稳定运行的企业新建和扩建化工项目。
项目符合长江岸线功能定位要求,不属于化工项目
限制引入耗水量大、污水处理难度大、生产工艺落后、清洁水平低的工业项目。
项目用水量均在循环经济工业园承载能力内
不符合空间布局要求活动的退出要求
国家《产业结构调整指导目录》中属于限制类的现有生产能力,允许企业在一定期限内采取措施改造升级。
不属于《产业结构调整指导目录》中淘汰类、限制类项目
污染物排放管控
现有源提标升级改造
现有企业执行特别排放标准的行业限期实施提标升级改造。
不涉及
园区铜冶炼、PCB产业等涉重金属行业开展清洁生产审核,引导涉重企业集中生产、集中治污,推进重金属废水、废气深度处理,降低重金属污染物排放强度,将涉重金属重点行业纳入排污许可证管理。
项目涉及重金属锡、铜废水经厂区污水处理站处理后满足相应的标准;项目不属于重金属重点行业,排污许可属于简化管理
新增源等量或倍量替代
项目属于达标区,新增大气污染物(颗粒物、SO2、NOx和VOCs)的项目均要实施“等量替代”。
项目排放的颗粒物、VOCs均申请总量指标
循环园属于水环境敏感区域,严格控制高耗水、高污染行业发展,新建、改建、扩建重点行业建设项目实行主要污染物排放减量置换。
项目不属于高耗水、高污染行业
严格执行重金属污染物排放标准并落实总量控制指标,严禁新、改、扩建增加重金属污染治理排放项目。
项目涉及的重金属锡、铜,不属于总量管控的重金属
新增源排放标准限制
新建有行业排放标准的项目,其污染物排放应达到相应行业排放标准中的特别排放限值。
项目废水污染物排放执行半导体行业水污染物排放标准特别排放限值
环境风险防控
园区环境风险防控要求
紧邻居住、科教、医院等环境敏感点的工业用地,禁止新建环境风险潜势等级高于Ⅲ级的项目;
不属于
现有化工企业和居民小区等敏感点之间设置生态隔离带,建设相应的防护工程;
不涉及
制定铜陵市循环经济工业试验园突发环境事件应急预案,并与铜陵市和铜陵市经开区突发环境事件应急预案衔接,加强环境风险防控,完善园区防控体系;
不涉及
建议在化工园区设置独立应急事故水池,配套建设控制闸阀、提升泵站;
不涉及
化工集中区需采用“一企一管,明管(专管)输送”收集方式,企业在分质预处理节点安装水量计量装置。园区需对污水管网进行改造,确保化工集中区内污水独立收集和处置,避免与化工集中区外废水混合。
化工集中区需根据化工园区建设要求,建设独立污水处理厂,污水处理厂的处理工艺应与化工集中区内产生的废水相匹配,具备处理化工污水中特殊污染物的能力
不涉及
雨水汇入长江、西湖、钟仓河、中央公园水体等处设置事故切断阀门和在线监测设置
不涉及
土壤污染重点监管单位应该严格控制有毒有害物质排放,并按年度向生态环境主管部门报告排放情况;建立土壤污染隐患排查制度,保证持续有效防止有毒有害物质渗漏、流失、扬散;制定、实施自行监测方案,并将监测数据报生态环境主管部门。并对监测数据的真实性和准确性负责。生态环境主管部门发现土壤污染重点监管单位监测数据异常,应当及时进行调查。
项目建成后按要求对土壤环境进行自行监测
生产、使用、贮存、运输、回收、处置、排放有毒有害物质的单位和个人,应当采取有效措施,防止有毒有害物质渗漏、流失、扬散,避免土壤受到污染。
项目设置化学品库和危废库,并要求进行重点防渗等措施
重点单位应当建立土壤和地下水污染隐患排查治理制度,定期对重点区域、重点设施开展隐患排查。发现污染隐患的,应当制定整改方案,及时采取技术、管理措施消除隐患。隐患排查、治理情况应当如实记录并建立档案。重点区域包括涉及有毒有害物质的生产区,原材料及固体废物的堆存区、储放区和转运区等;重点设施包括涉及有毒有害物质的地下储罐、地下管线,以及污染治理设施等。
项目建成后按要求对土壤及地下水自行监测等;定期进行隐患排查等
重点单位突发环境事件造成或者可能造成土壤和地下水污染的,应当采取应急措施避免或者减少土壤和地下水污染;应急处置结束后,应当立即组织开展环境影响和损害评估工作,评估认为需要开展治理与修复的,应当制定并落实污染土壤和地下水治理与修复方案。
项目厂区分区防渗,建设应急事故池等应急措施等;若发生突发环境事件,组织开展环境影响和损害评估工作等,必要时开展治理与修复等
污染地块未经治理与修复,或者经治理与修复但未达到相关规划用地土壤环境质量要求的,有关环境保护主管部门不予批准选址涉及该污染地块的建设项目环境影响报告书或者报告表。
不涉及
企业环境风险防控要求
生产、存储危险化学品及产生大量废水的企业,应配套有效措施,防止因渗漏污染地下水、土壤,以及因事故废水直接污染地表水体。
项目厂区分区防渗,建设应急事故池等应急措施等
产生、利用或处置固体废物(含危险废物)的企业,在贮存、转移、利用、处置固体废物(含危险废物)过程中,应配套防扬散、防流失、防渗漏及其他防止污染环境的措施
厂区建有危废库,按要求进行重点防渗和设计导流槽等措施
资源开发利用
水资源利用要求
区域水资源利用上限为0.59×108m³/a;单位工业增加值新鲜水耗低于8m3/万元;园区中水回用不低于20%。
不涉及
能源利用要求
禁止新建、改扩建采用高污染燃料的项目和设施,除工业特殊需求外,限制批准燃气锅炉建设。
不涉及
土地资源利用总量及效率要求
建设用地总量上限26.90km2,单位工业用地面积工业增加值≥9亿元/km2
本项目建设利用厂区空地,不新增用地
其他符合性分析
一、产业政策相符性分析
本项目为C3973 集成电路制造项目,对照《产业结构调整指导目录(2024年本)》,本项目属于鼓励类二十八项“信息产业”中第4条:“集成电路:集成电路线宽小于0.5微米(含)的化合物集成电路生产,和球栅阵列封装(BGA)、插针网格阵列封装(PGA)、芯片规模封装(CSP)、多芯片封装(MCM)、栅格阵列封装(LGA)、系统级封装(SIP)、倒装封装(FC)、晶圆级封装(WLP)、传感器封装(MEMS)、2.5D、3D等一种或多种技术集成的先进封装与测试,集成电路装备及关键零部件制造”项目。项目于2021年8月3日在铜陵经济技术开发区经济发展局进行了备案,并根据项目建设需要于2024年4月22日在铜陵经济技术开发区经济发展局重新进行备案。因此,本项目符合国家产业政策。
二、“三线一单”相符性分析
本次评价将拟建项目与区域生态保护红线、环境质量底线、资源利用上线和环境准入负面清单进行对照,作为开展环境影响评价工作的前提。
1、与生态保护红线相符性分析
本项目租用铜陵市天元新能源科技有限公司现有厂区(铜陵经济技术开发区西湖一路1588 号),位于铜陵循环经济工业试验园内,对照铜陵市生态保护红线区域分布图,项目不在生态保护红线范围内,且项目远离国家级和省级禁止开发区域以及其他有必要严格保护的各类保护地。本项目不涉及“水源涵养生态保护红线、水土保持生态保护红线、生物多样性保护生态保护红线”等生态保护红线区域,符合生态红线区域保护规划。项目生态红线图见附图3。
2、环境质量底线
a、根据铜陵市生态环境局发布的《2023年铜陵市环境状况公报》中的数据,铜陵市环境空气污染物六项基本项目,均满足《环境空气质量标准》(GB 3095-2012)中的浓度限值要求,项目所在地区判定为环境空气质量达标区。
项目营运期有组织废气主要为上芯烘干、塑封、电镀、打标、切筋、测编等工序产生的废气,主要污染物为VOC、颗粒物以及电镀线产生的碱雾、酸雾(主要污染物为硫酸雾和甲基磺酸雾);无组织废气主要为上芯烘干和塑封工序未被收集的VOC,以及电镀线未被收集的碱雾、硫酸雾和甲基磺酸雾,打标、切筋、测编等工序未被收集的颗粒物。镀锡线、上芯烘干、塑封、打标、切筋、测编等设备采取全密闭设置,并负压收集,减少废气无组织排放;上芯烘干和塑封废气均经“二级活性炭吸附”处理装置处理;打标、切筋、测编废气经“脉冲布袋除尘器”处理装置处理;电镀废气经酸雾喷淋塔处理;总体上不会降低评价区域大气环境质量现有功能级别。
b、根据《2023年铜陵市环境状况公报》,铜陵市地表水环境质量现状均能满足相关标准要求。本项目生活污水(经化粪池+隔油池预处理)、磨划片清洗废水、纯水制备废水、电镀废水(包括软化清洗、去氧化物漂洗、去氧化物槽液置换、中和漂洗、中和槽液置换产生的酸碱废水,镀锡漂洗、退镀漂洗产生的含锡废水,以及地面冲洗水、废气处理系统喷淋废水等其他废水)等各类废水经厂区废水处理装置处理达到城北污水处理厂接管标准后,排入城北污水处理厂进一步处理,不会改变区域地表水环境质量功能级别。
c、根据现状监测数据:厂区厂界声环境质量均满足《声环境质量标准》(GB3096-2008)中3类标准,声环境质量现状较好;本项目各设备噪声经隔声降噪和距离衰减后,厂界噪声不超标,对周围环境影响较小。
e、项目厂区设有一般固废库和危废库,一般固废由厂家回收利用或外售综合利用,暂存的危险废物定期交由有资质单位处理。项目危险废物收集、贮存均按照《危险废物贮存污染控制标准》(GB18697-2023)的规定要求执行。
综上所述,本项目各类污染物均能达标排放,各类固废均能合理处理处置,对所在区域的环境影响甚微,不会突破环境质量底线。
3、资源利用上线
本项目运营期间供水来自市政供水管网,用电来自市政供电系统;本项目建成后通过内部管理、设备选择、污染治理等多方面采取合理可行的防治措施,以“节能、降耗、减污”为目标,有效控制污染,项目的水、电等资源利用不会突破区域的资源利用上限要求。
4、环境准入清单
本项目为集成电路制造项目,对照《产业结构调整指导目录(2024年本)》,本项目属于鼓励类项目。项目于2021年8月3日在铜陵经济技术开发区经济发展局进行了备案,并根据项目建设需要于2024年4月22日在铜陵经济技术开发区经济发展局重新进行备案。因此,本项目符合国家产业政策。
根据推动长江经济带发展领导小组办公室2019年第89号文发布的《长江经 济带发展负面清单指南(试行)》一文,禁止在生态保护红线和永久基本农田范围内投资建设除国家重大战略资源勘查项目、生态保护修复和环境治理项目、重大基础设施项目、军事国防项目。禁止在长江干支流1公里范围内新建、扩建化工园区和化工项目。禁止在合规园区外新建、扩建钢铁、石化、化工、焦化、建材、有色等高污染项目。本项目距离长江4.81km、小汊江3.12km,不涉及生态保护红线和基本农田;因此本项目不属于长江经济带发展负面清单项目。
综上,本项目符合“三线一单”要求。
5、与“三线一单”管控要求的相符性
根据安徽省生态环境厅“安徽省“三线一单”公众服务平台”(网址:http://39.145.8.156:1509/ah/public/#/home),本项目所在区域在环境管控单元的位置及管控要求如下:
本项目厂区所在地属于其中的重点环境管控单元。本项目管控单元图见附图4,本项目与其管控要求的符合性见下表。
表1-4 拟建项目建设与生态环境分区管控要求符合性分析
环境管控单元 分类
区域管控要求
管控类别
管控要求
本项目情况
符合性
重点管控单元
沿江绿色生态
廊道区-重点管控单元24
空间布局约束
1. 长江干流及主要支流岸线1公里范围内,除必须实施的防洪护岸、河道治理、供水、航道整治、港口码头及集疏运通道、道路及跨江桥隧、公共管理、生态环境治理、国家重要基础设施等事关公共安全及公众利益的建设项目,以及长江岸线规划确定的城市建设区内非工业项目外,不得新批建设项目,不得布局新的工业园区。
2. 长江干流岸线5公里范围内严禁新建布局重化工园区。合规化工园区内,严禁新批环境基础设施不完善或长期不能稳定运行的企业新建和扩建化工项目。
3. 长江干流及主要支流岸线15公里范围内禁止建设没有环境容量和减排总量的项目。在岸线开发、河段利用、区域活动和产业发展等方面,全面执行国家长江经济带市场准入禁止限制目录。实施备案、环评、安评、能评等并联审批,未落实生态环保、安全生产、能源节约要求的,一律不得开工建设。
4. 禁止在饮用水水源一级保护区的岸线和河段范围内新建、改建、扩建与供水设施和保护水源无关的项目,以及网箱养殖、旅游等可能污染饮用水水体的投资建设项目。禁止在饮用水水源二级保护区的岸线和河段范围内新建、改建、扩建排放污染物的投资建设项目。
5. 禁止在生态保护红线和永久基本农田范围内投资建设除国家重大战略资源勘查项目、生态保护修复和环境治理项目、重大基础设施项目、军事国防项目以及农牧民基本生产生活等必要的民生项目以外的项目。
6. 禁止在长江干支流1公里范围内新建、扩建化工园区和化工项目。禁止在合规园区外新建、扩建钢铁、石化、化工、焦化、建材、有色等高污染项目。
7. 禁止新建、扩建法律法规和相关政策明令禁止的落后产能项目。
8. 禁止新建、扩建不符合国家产能置换要求的严重过剩产能,行业的项目。
9. 长江干流岸线15公里范围内新建工业项目原则上全部进园区,其中化工项目进化工园区或主导产业为化工的开发区。严把各类项目准入门槛,严格执行环境保护标准,把主要污染物和重点重金属排放总量控制目标作为新(改、扩)建项目环评审批的前置条件。
10. 在城市城区及其近郊禁止新建、扩建钢铁、有色、石化、水泥、化工等重污染企业。
11. 禁止新建燃料类煤气发生炉(园区现有企业统一建设的清洁煤制气中心除外)。
12. 严格执行国家关于“两高”产业准入目录和产能总量控制政策措施。严禁新增钢铁、焦化、电解铝、铸造、水泥和平板玻璃等产能;新、改、扩建涉及大宗物料运输的建设项目,原则上不得采用公路运输。
13. 禁止建设生产和使用高挥发性有机物含量涂料、油墨、胶粘剂、清洗剂等项目。
14. 加大工业涂装、包装印刷等行业低挥发性有机物含量原辅材料替代力度,严格执行涂料、油墨、胶粘剂、清洗剂挥发性有机物含量限值标准,确保生产、销售、进口、使用符合标准的产品。
15. 严格执行环境保护法律法规,对超过大气和水等污染物排放标准排污,以及超过重点污染物总量控制指标排污的企业,责令限制生产、停产整治等;情节严重的,报经有批准权的地**府批准,责令停业、关闭。依法打击违反固体废物管理法律法规行为。
16. 企业应当全面推进清洁生产,优先采用能源和原材料利用效率高、污染物排放量少的清洁生产技术、工艺和设备,淘汰严重污染大气环境质量的产品、落后工艺和落后设备,减少大气污染物的产生和排放。
17. 严格控制缺水地区、水污染严重地区和敏感区域高耗水、高 污染行业发展,鼓励推动高耗水企业向水资源条件允许的工业园区集中。
18. 严格水域岸线用途管制,土地开发利用应按照有关法律法规和技术标准要求,留足河道、湖泊的管理和保护范围,非法挤占的应限期退出。
19. 城市建成区排放污水的工业企业应依法持有排污许可证,并严格按证排污。排入城镇水体的工业污水应符合相关行业标准及地方标准要求,严禁任何企业、单位超标和超总量排污,对超标或超总量的排污单位一律限制生产或停产整顿。
20. 严肃执法监督,严格执行排污许可、排水许可制度,严禁生活污水和工业废水直排水体。严防道路冲洗污水、洗车冲洗污水、餐饮泔水、施工排水等污水进入雨水口。
1) 本项目位于铜陵循环经济工业试验园内,距离长江干流4.81km,支流小汊江3.12km,不属于1公里范围内;
2) 本项目为集成电路制造项目不属于化工项目;
3) 本项目不在长江经济带市场准入禁止限制目录内,项目需环评审批后再建设;
4) 不涉及;
5) 本项目位于铜陵循环经济工业试验园内,不在生态保护红线和永久基本农田范围内;
6) 本项目距离长江干流4.81km,支流小汊江3.12km,不属于化工及高污染项目;
7) 本项目不属于相关政策明令禁止的落后产能项目;
8) 本项目不属于严重过剩产能、行业的项目;
9) 本项目位于铜陵循环经济工业试验园内,项目排放的各类污染物均满足相应的环境保护标准,项目排放的颗粒物、非甲烷总烃等污染物均需按相关要求申请总量;
10) 不涉及;
11) 不涉及;
12) 本项目为集成电路制造项目,不属于“两高”类项目;
13) 本项目使用的导电胶(银浆),符合低挥发性有机物(非甲烷总烃)含量要求;
14) 本项目使用的银浆属于环氧树脂类本体型胶粘剂,VOCs含量符合《胶粘剂挥发性有机化合物限量》(GB33372-2020)中相应限值标准,项目用清洗剂属于溶剂型清洗剂,根据《清洗剂挥发性有机化合物含量限值》GB38508-2020)中明确:“本标准不适用于航空航天,核工业、军工、半导体(含集成电路)制造用清洗 剂。”本项目属于半导体(含集成电路)制造,故本项目使用的有机清洗剂不执行该标准;
15) 不涉及;
16) 项目满足清洁生产技术要求,使用的工艺和设备均属于行业先进水平;
17) 本项目不属于高耗水、高污染企业;
18) 不涉及;
19) 本项目生产废水排入城北污水处理厂处理,满足城北污水处理厂纳管限值要求,环评要求项目在取得批复后企业应在生产运营前按照要求更换排污许可证再进行排污;
20) 项目设计采用“清污分流、污污分流”原则,严格执行排污许可、排水许可制度,生活污水和工业废水经预处理后排入城北污水处理厂处理。
符合
污染物排放管 控
1. 深入推进包装印刷行业VOCs 综合治理。推广使用低(无)VOCs含量的绿色原辅材料和先进生产工艺、设备,加强无组织废气收集,优化烘干技术,配套建设末端治理措施,实现包装印刷行业VOCs 全过程控制。
2. 实行重点排放源排放浓度与去除效率双重控制。车间或生产设施收集排放的废气,VOCs初始排放速率大于等于2千克/小时的,应加大控制力度,除确保排放浓度稳定达标外,还应实行去除效率控制,去除效率不低于80%;采用的原辅材料符合国家有关低VOCs含量产品规定的除外,有行业排放标准的按其相关规定执行。
3. 使用粉末、水性、高固体分、辐射固化等低VOCs含量的涂料替代溶剂型涂料。电子产品制造推广使用粉末、水性、辐射固化等涂料。
4. 将控制挥发性有机物排放列入建设项目环境影响评价重要内容,严格环境准入,严控“两高”行业新增产能。建立VOCs排放总量控制制度。重点行业建设项目报批环评文件时应附VOCs等量替代的来源说明,并落实相应的有机废气治理措施。
5. 新建、改建、扩建排放重点大气污染物的项目不符合总量控制要求的,不得通过环境影响评价。
6. 全面推动挥发性有机物纳入排污许可管理。禁止建设生产和使用高挥发性有机物含量涂料、油墨、胶粘剂、清洗剂等项目。加快推进石化、化工、涂装、医药、包装印刷和油品储运销等重点行业挥发性有机物深度治理,全面提升废气收集率、治理设施同步运行率和去除率,提高水性、高固体分、无溶剂、粉末、辐射固化等低挥发性有机物含量产品的比重。加大工业涂装、包装印刷等行业低挥发性有机物含量原辅材料替代力度,严格执行涂料、油墨、胶粘剂、清洗剂挥发性有机物含量限值标准,确保生产、销售、进口、使用符合标准的产品。
7. 积极推进清洁生产审核,对焦化、有色金属、石化、化工、电镀、制革、石油开采、造纸、印染、农副食品加工等行业,全面推进清洁生产改造或清洁化改造。
8. 专项整治十大重点行业。制定造纸、焦化、氮肥、有色金属、印染、农副食品加工、原料药制造、制革、农药、电镀等行业专项治理方案,对重点行业企业实施清洁化改造。
9. 所有排污单位必须依法实现全面达标排放。逐一排查工业企业排污情况,达标企业应采取措施确保稳定达标;对超标和超总量的企业予以“黄牌”警示,一律限制生产或停产整治;对整治仍不能达到要求且情节严重的企业予以“红牌”处罚,一律停业、关闭。
1) 不涉及;
2) 本项目废气污染物满足相应标准限值要求,有机废气去除效率达到90%,采用的原辅材料符合国家有关低VOCs含量产品规定,本项目属于半导体(含集成电路)制造,项目使用的有机清洗剂不执行相应标准;
3) 项目使用银浆属环氧树脂类本体型胶粘剂;
4) 项目排放的挥发性有机物均通过“两级活性炭吸附”装置处理后达标排放;
5) 本项目属于扩建项目,项目排放的颗粒物、非甲烷总烃等污染物均需按相关要求申请总量;
6) 项目使用银浆不属于高挥发性有机物含量涂料,属于环氧树脂类本体型胶粘剂,VOCs含量符合《胶粘剂挥发性有机化合物限量》(GB33372-2020)中相应限值标准,项目有机废气去除效率达到90%;
7) 不涉及;
8) 不涉及;
9) 本项目产生的污染物均达标排放。
符合
资源开发效率 要求
1. 坚持集中式与分布式建设并举,因地制宜建设集中式光伏发电项目,推动整县(市、区 )屋顶分布式光伏发电试点工作。坚持集中式和分散式相结合,有序推进皖北平原连片风电项目建设,稳妥推进皖西南地区集中式风电项目建设,鼓励分散式风电商业模式创新。大力推进风光储一体化建设。加快建设一批抽水蓄能电站,打造千万千瓦级绿色储能基地。多元高效利用生物质能,推进农林生物质热电联产项目新建和供热改造,合理规划城镇生活垃圾焚烧发电项目,统筹布局生物燃料乙醇项目,适度发展先进生物质液体燃料。
2. 产生、收集、贮存、运输、利用、处置固体废物的单位和个人,应当采取措施,防止或者减少固体废物对环境的污染,对所造成的环境污染依法承担责任。
3. 城市建设用地规模应当符合国家规定的标准,充分利用现有建设用地,不占或者尽量少占农用地。
4. 禁止单位和个人在土地利用总体规划确定的禁止开垦区内从事土地开发活动。
5. 严格落实主体功能区规划,在生态脆弱、严重缺水和地下水超采地区,严格控制高耗水新建、改建、扩建项目,推进高耗水企业向水资源条件允许的工业园区集中。对采用列入淘汰目录工艺、技术和装备的项目,不予批准取水许可;未按期淘汰的,有关部门和地**府要依法严格查处。
6. 城市公共供水管网能够满足用水需要却通过自备取水设施取用地下水的,取水许可不予审批;地下水严重超采地区取用地下水的,取水许可不予审批。
7. 在城市公共供水管网覆盖的区域内,禁止新建地下水取水井用于餐饮、洗浴、洗车等服务业和小区、单位集中供水等。
1) 不涉及;
2) 项目产生的一般固废和危废分别暂存于厂内的一般固废库和危废暂存库,一般固废交由其他企业综合利用,危废定期交由有资质的单位处理处置;
3) 本项目位于铜陵循环经济工业试验园内,属于工业用地;
4) 不涉及;
5) 本项目不属于高耗水项目,项目工艺、技术和装备未列入淘汰目录;
6) 本项目用水通过市政供水管网供给,不取用地下水;
7) 不涉及。
符合
2、 与《中华人民共和国长江保护法》《长江经济带生态环境保护规划》《关于全面打造水清岸绿产业优美丽长江(安徽)经济带的实施意见(升级版)》《关于进一步加强重金属污染防控的意见》等相符性分析
表1-5 拟建项目建设与相关政策要求的符合性分析
政策名称
相关要求
本项目建设情况
相符性
《中华人民共和国长江保护法》
长江流域产业结构和布局应当与长江流域生态系统和资源环境承载能力相适应。禁止在长江流域重点生态功能区布局对生态系统有严重影响的产业;
本项目位于铜陵循环经济工业试验园内,距离长江干流4.81km,支流小汊江3.12km,选址不在长江干支流岸线一公里范围内;本项目为集成电路制造项目,不涉及尾库矿、化工项目的建设,且产生的固废均合理处置。
符合
禁止在长江干支流岸线一公里范围内新建、扩建化工园区和化工项目。
禁止在长江干流岸线三公里范围内和重要支流岸线一公里范围内新建、改建、扩建尾矿库;
禁止在长江流域河湖管理范围内倾倒、填埋、堆放、弃置、处理固体废物。
《安徽省人民政府关于全面打造水清岸绿产业优美丽长江(安徽)经济带的实施意见》(升级版)
严禁1公里范围内新建化工项目。长江干支流岸线1公里范围内,严禁新建、扩建化工园区和化工项目。已批未开工的项目,依法停止建设,支持重新选址。已开工建设的项目,严格进行检查评估,不符合岸线规划和环保、安全要求的,全部依法依规停建搬迁。
严控5公里范围内新建重化工重污染项目。长江干流岸线5公里范围内,全面落实长江岸线功能定位要求,实施严格的化工项目市场准入制度,除提升安全、环保、节能水平,以及质量升级、结构调整的改扩建项目外,严控新建石油化工和煤化工等重化工、重污染项目。严禁新建布局重化工园区。合规化工园区内,严禁新批环境基础设施不完善或长期不能稳定运行的企业新建和扩建化工项目。
本项目距离长江干流4.81km,支流小汊江3.12km,不在长江干流及主要支流1km范围内,符合要求;本项目不涉及化工等重污染项目;项目排放的各类污染物均满足相应的环境保护标准,项目排放的颗粒物、非甲烷总烃等污染物均需按相关要求申请总量,环评要求本项目在取得环评批复后才能开工建设。
符合
严管15公里范围内新建项目。长江干流岸线15公里范围内,严把各类项目准入门槛,严格执行环境保护标准,把主要污染物和重点重金属排放总量控制目标作为新(改、扩)建项目环评审批的前置条件,禁止建设没有环境容量和减排总量项目。在岸线开发、河段利用、区域活动和产业发展等方面,严格执行《长江经济带发展负面清单指南(试行)》《安徽省长江经济带发展负面清单实施细则(试行)》。实施备案、环评、安评、能评等并联审批,未落实生态环保、安全生产、能源节约要求的,一律不得开工建设。
符合
《长江经济带生态环境保护规划》
严格控制高耗水行业发展。以供给侧结构性改革为契机,倒逼钢铁、造纸、纺织、火电等高耗水行业化解过剩产能,严禁新增产能。加强高耗水行业用水定额管理,严格控制高耗水项目建设。
本项目为集成电路制造项目,不属于高耗水项目。
符合
实施有毒有害物质全过程监管。全面调查长江经济带危险废物产生、贮存、利用和处置情况,摸清危险废物底数和风险点位。开展专项整治行动,严厉打击危险废物非法转运。
本项目生产过程中涉及硫酸、甲基磺酸等有毒有害物质,实行全过程监管;企业建设危废暂存库,危险废物定期交由有资质单位处理。
符合
安徽省长江经济带发展负面清单实施细则(试行,2022年版)
禁止在长江干支流1公里范围内新建、扩建化工园区和化工项目。禁止在合规园区外新建、扩建钢铁、石化、化工、焦化、建材、有色等高污染项目。
禁止新建、扩建不符合国家石化、现代煤化工等产业布局规划的项目。
禁止新建、扩建法律法规和相关政策明令禁止的落后产能项目。
禁止新建、扩建不符合国家产能置换要求的严重过剩产能行业的项目。
拟建项目为集成电路制造项目,项目距离长江干流4.81km,支流小汊江3.12km,不在长江干支流1km范围内;不属于高污染项目、法律法规和相关政策明令禁止的落后产能项目,也不属于严重过剩产能行业。
符合
安徽省生态环境厅关于印发《安徽省“十四五”大气污染物防治规划》的通知(皖环发〔2022〕12号)
严控“两高”行业盲目发展。严格环境准入,坚决遏制高耗能、高排放即“两高”行业盲目发展。严格落实国家产业规划、产业政策、“三线一单”、规划环评,以及产能置换、煤炭消费减量替代、区域污染物削减等要求,坚决叫停不符合要求的“两高”项目。严禁新增钢铁、焦化、电解铝、铸造、水泥和平板玻璃等产能,严格执行钢铁、水泥、平板玻璃等行业产能置换实施办法,严控污染物排放总量。
拟建项目为集成电路制造项目,根据《关于印发安徽省“两高”项目管理目录(试行)的通知》,不属于安徽省“两高”项目管理目录(试行)中规定的“两高”项目。
符合
重点行业绿色转型。推动减污降碳协同增效,促进经济社会发展全面绿色转型,在推动结构性节能、助推非化石能源发展等方面同频共振。以钢铁、化工、有色金属、建材、印染、酿造等重点行业为典型,全面实施能效提升、清洁生产、深度治污、循环利用等工艺技术改造,推动重点行业绿色转型。
拟建项目为集成电路制造项目,属于非化石能源发展行业。
《重点行业挥发性有机物综合治理方案》(环大气〔2019〕53号)
含VOCs物料应储存于密闭容器、包装袋,高效密封储罐,封闭式储库、料仓等。含VOCs物料转移和输送,应采用密闭管道或密闭容器、罐车等。高VOCs含量废水的集输、储存和处理过程,应加盖密闭。含VOCs物料生产和使用过程,应采取有效收集措施或在密闭空间中操作。
拟建项目含VOCs物料均采用密闭包装袋或桶储存,含VOCs物料输送和转移采用密闭容器,不含高VOCs含量废水,项目有机废气经“两级活性炭吸附”装置处理后达标排放。
符合
企业新建治污设施或对现有治污设施实施改造,合理选择治理技术。鼓励企业采用多种技术的组合工艺,提高VOCs治理效率。非水溶性的VOCs废气禁止采用水或水溶液喷淋吸收处理。采用一次性活性炭纤维吸附技术的,应定期更换活性炭纤维,废旧活性炭纤维应再生或处理处置。
拟建项目有机废气经“两级活性炭吸附”装置处理,处理效率约90%,能够达标排放,废旧活性炭暂存危废库定期交由有资质单位处理。
安徽省生态环境厅、安徽省发展和改革委员会《安徽省“十四五”生态环境保护规划》皖环发〔2022〕8号
加快产业结构转型升级。以钢铁、水泥、石化、化工、玻璃、有色、印染等行业为重点,开展全流程清洁化、循环化、低碳化改造,促进传统产业绿色转型升级,在火电、钢铁、建材等行业开展减污降碳协同增效。
推动能源结构优化。强化能源消费总量和强度双控制度,严格控制能耗强度,有效控制能源消费增量,坚决遏制“两高”项目盲目发展。发挥市场配置资源作用,引导能源要素合理流动和高效配置。严格控制煤炭消费总量,大气污染防治重点区域内新、改、扩建用煤项目严格实施煤炭等量或减量替代。
拟建项目为集成电路制造项目,不属于安徽省“两高”项目管理目录(试行)中规定的“两高”项目,本项目不使用煤炭。
符合
安徽省《重点行业挥发性有机物治理环境管理技术规范 第17部分:电子工业》
(1)储存、转移和输送
VOCs物料应储存于密闭储罐或密闭容器中。盛装VOCs物料的容器应存放于储存室内,或存 放于设置有雨棚的专用场地。VOCs物料采用密闭管道输送。采用非管道输送方式转移VOCs物料时,应采用密闭容器。盛装VOCs物料的容器在非取用状态时应加盖保持密闭。
(2)过程控制
含VOCs产品的使用过程应密闭设备,或在密闭空间内进行,废气排至VOCs废气收集处理系统。不能密闭的,应采取局部气体收集处理措施。
(3)设备与管线组件泄漏
应对泵、压缩机、阀门、法兰及其他连接件等密封点进行泄漏检测,泄漏检测值(扣除环境本底值后的净值)大于等于2000μmol/mol 的泄漏点以及目视滴液的滴漏点进行标识并在15日内修复。应建立泄漏检测与修复制度,每季度对泵、压缩机、阀门、法兰及其他连接件等动静密封点进行泄漏检测。宜采用无泄漏型式的设备或管线组件,免于泄漏检测。
(4)废气收集处理系统要求
废气收集系统的输送管道宜保持负压状态;若处于正压状态,应按照设备与管线组件泄漏的 规定对输送管道的密封点进行泄漏检测。盛装VOCs废料(渣)的容器应密闭。列入《国家危险废物名录》的含VOCs的废料应密闭容器收集,并按危险废物进行贮存和处置。VOCs原料、辅料和产品的废包装容器应密闭,并按相关固体废物标准进行贮存和处置。
(1)拟建项目含VOCs物料均采用密闭包装袋或桶储存;盛装VOCs物料的容器或包装袋存于室内仓库,密闭储存;含VOCs物料转移和输送采用密闭容器。
(2)含VOCs产品在密闭空间内进行使用;项目有机废气经过管道收集后经“二级活性炭吸附”处理 装置处理后达标排放。
(3)企业定期对泵、阀门、法兰及其他连接件等密封点进行泄漏检测,如发生泄漏需在15日内修复。企业按要求建立泄漏检测与修复制度,尽量采用无泄漏型式的设备或管线组件,免于泄漏检测。
(4)废气采用负压管道收集;含VOCs废料(渣、液)以及VOCs物料废包装物等危险废物暂存危废库交由有资质单位处理;含VOCs原料、辅料和产品的废包装容器密闭暂存危废库并交由有资质单位处理。
符合
《安徽省低挥发性有机物含量原辅材料替代工作方案》皖环发〔2024〕1号
加强替代管理。工业涂装、包装印刷、竹木加工、家具制造、汽车修理与维护、鞋和皮革制品制造等重点行业企业,要按照《低挥发性有机物含量原辅材料源头替代技术指引(试 行)》(附件3)要求,开展低VOCs原辅材料和生产方式替代,优化管控台账及档案管理,持续提升环境管理水平。各地要根据《关于深入开展挥发性有机物污染治理工作的通知》(皖大气办 〔2021〕4号)要求,在认真梳理2021至2023年度VOCs源头削减治理项目清单基础上,对涉VOCs重点行业和使用溶剂型涂料、油墨、胶粘剂、清洗剂以及涉及有机化工生产的产业集群进行再排查,将含VOCs原辅材料使用企业全面纳入源头替代企业排查台账(附件2),对具备替代条件的,加强调度指导;对无法替代的,要开展论证核实,严格把关并逐一说明。
加强替代管理。工业涂装、包装印刷、竹木加工、家具制造、汽车修理与维护、鞋和皮革制品制造等重点行业企业,要按照《低挥发性有机物含量原辅材料源头替代技术指引(试行)》(附件3)要求,开展低VOCs 原辅材料和生产方式替代,优化管控台账及档案管理,持续提升环境管理水平。
严格项目准入。根据《低挥发性有机化合物含量涂料产品技术要求》(GB/T 38597-2020)要求,进一步完善VOCs排放管控地方标准建设,细化相关行业涂料种类及各项污染物指标限值,编制实施固定源挥发性有机物综合排放标准和制鞋、汽修、木材等行业大气污染物排放标准。禁止建设生产和使用高VOCs含量的溶剂型涂料、油墨、胶黏剂等项目,全省工业涂装、包装印刷等重点行业和涂料、油墨等生产企业的新(改、扩)建项目需满足低(无)VOCs 含量限值要求。省内市场上流通的水性涂料等低VOCs 含量涂料产品,执行《低挥发性有机化合物含量涂料产品技术要求》,应在包装标志或产品说明上标明符合标准的分类、产品类别及产品类型(或施涂方式)。
拟建项目属于集成电路制造项目,不属于重点行业企业,项目使用的银浆符合《低挥发性有机物含量原辅材料源头替代技术指引(试行)》(附件3)的要求,银浆VOCs含量限值符合《胶粘剂挥发性有机化合物限量》(GB33372-2020) 。项目用清洗剂属于溶剂型清洗剂,根据《清洗剂挥发性有机化合物含量限值》GB38508-2020)中明确:“本标准不适用于航空航天,核工业、军工、半导体(含集成电路)制造用清洗剂。”本项目属于半导体(含集成电路)制造,故本项目使用的清洗剂不执行该标准。
符合
《铜陵市低挥发性有机物含量原辅材料替代工作实施方案》铜环函〔2024〕29号
加强替代管理。工业涂装、包装印刷、竹木加工、家具制造、汽车修理与维护、鞋和皮革制品制造等重点行业企业,要按照《低VOCs含量原辅材料源头替代技术指引(试行)》(附件4)要求,开展低VOCs原辅材料和生产方式替代,优化管控台账及档案管理,持续提升环境管理水平。各县区(经开区)要根据《关于深入开展挥发性有机物污染治理工作的通知》(皖大气办〔2021〕4号)要求,在认真梳理2021至2023年度VOCs源头削减治理项目清单基础上,对涉VOCs重点行业和使用溶剂型涂料、油墨、胶粘剂、清洗剂以及涉及有机化工生产的工业园区(开发区)进行再排查,将含VOCs原辅材料使用企业全面纳入源头替代企业排查台账(附件3),对具备替代条件的,加强调度指导;对无法替代的,要开展论证核实,严格把关并逐一说明。
严格项目准入。根据《低挥发性有机化合物含量涂料产品技术要求》(GB/T 38597-2020)要求,进一步完善VOCs排放管控地方标准建设,细化相关行业涂料种类及各项污染物指标限值,严格执行固定源挥发性有机物综合排放标准和制鞋、汽修、木材等行业大气污染物排放标准。禁止建设生产和使用高VOCs含量的溶剂型涂料、油墨、胶黏剂等项目,全市工业涂装、包装印刷等重点行业和涂料、油墨等生产企业的新(改、扩)建项目需满足低(无)VOCs含量限值要求。全市市场上流通的水性涂料等低VOCs含量涂料产品,执行《低挥发性有机化合物含量涂料产品技术要求》,应在包装标志或产品说明上标明符合标准的分类、产品类别及产品类型(或施涂方式)。
拟建项目属于集成电路制造项目,不属于重点行业企业,项目使用的银浆符合《低挥发性有机物含量原辅材料源头替代技术指引(试行)》(附件3)的要求,银浆VOCs含量限值符合《胶粘剂挥发性有机化合物限量》(GB33372-2020) 。项目用清洗剂属于溶剂型清洗剂,根据《清洗剂挥发性有机化合物含量限值》GB38508-2020)中明确:“本标准不适用于航空航天,核工业、军工、半导体(含集成电路)制造用清洗剂。”本项目属于半导体(含集成电路)制造,故本项目使用的清洗剂不执行该标准。
符合
住房和城乡建设部、生态环境部 国家发展改革委、水利部关于印发《深入打好城市黑臭水体治理攻坚战实施方案的通知》建城〔2022〕29号
(六)强化工业企业污染控制。工业企业应加强节水技术改造,开展水效对标达标,提升废水循环利用水平。(工业和信息化部牵头,科技部参与)工业企业排水水质要符合国家或地方相关排放标准规定。工业集聚区要按规定配套建成工业污水集中处理设施并稳定运行,达到相应排放标准后方可排放。
新建冶金、电镀、化工、印染、原料药制造(有工业废水处理资质且出水达到国家标准的原料药制造企业除外)等工业企业排放的含重金属或难以生化降解废水以及有关工业企业排放的高盐废水,不得排入市政污水收集处理设施。对已经进入市政污水收集处理设施的工业企业进行排查、评估。经评估认定污染物不能被城镇污水处理厂有效处理或可能影响城镇污水处理厂出水稳定达标的,要限期退出市政管网,向园区集聚,避免污水资源化利用的环境和安全风险。
(十一)严格排污许可、排水许可管理。排放污水的工业企业应依法申领排污许可证或纳入排污登记,并严格持证排污、按证排污。全面落实企业治污责任,加强证后监管和处罚。(生态环境部牵头)到2025年,对城市黑臭水体沿线的餐饮、洗车、洗涤等排水户的排水许可核发管理实现全覆盖,城市重点排水户排水许可证应发尽发。(住房和城乡建设部牵头)强化城市建成区排污单位污水排放管理,特别是城市黑臭水体沿岸工业生产、餐饮、洗车、洗涤等单位的管理,严控违法排放、通过雨水管网直排入河。开展城市黑臭水体沿岸排污口排查整治。对污水未经处理直接排放或不达标排放导致水体黑臭的相关单位和工业集聚区严格执法,推动有关单位依法披露环境信息。(生态环境部、住房和城乡建设部按职责分工负责)
(1)本项目划片废水经处理后90%回用于生产,纯水制备浓水部分回用于去溢料工序;项目排放的废水经厂区污水处理系统处理后水质符合城北污水处理厂接管标准、《半导体行业水污染物排放标准》(DB34/4294-2022)、《锡、锑、汞工业污染物排放标准》(GB30770-2014)等标准。项目不属于新建冶金、电镀、化工、印染、原料药制造等工业企业,项目不排放高盐废水。
(2)企业已申领排污许可证,严格持证排污、按证排污;二期项目建成后企业将按照相关排污许可证申请与核发技术规范要求以及主管部门要求更新排污许可证。企业污水排放方式为间接排放,经园区管网排入城北污水处理厂处理。
符合
四、与《关于进一步加强重金属污染防控的意见》(环固体[2022]17号)相符性分析
表1-6 项目与《关于进一步加强重金属污染防控的意见》符合性
文件
本项目情况
符合性
一、防控重点
1
重点重金属污染物。重点防控的重金属污染物是铅、汞、镉、铬、砷、铊和锑,并对铅、汞、镉、铬和砷五种重点重金属污染物排放量实施总量控制
项目涉及重金属为锡、铜,不属于重点重金属污染物。
符合
四、分类管理,完善重金属污染物排放管理制度
2
推行企业重金属污染物排放总量控制制度。依法将重点行业企业纳入排污许可管理
项目涉及重金属为锡、铜,不属重点行业,排污许可为简化管理。
符合
3
对于实施排污许可重点管理的企业,排污许可证应当明确重金属污染物排放种类、许可排放浓度、许可排放量等
项目排污许可为简化管理
符合
五、严格准入,优化涉重金属产业结构和布局
4
严格重点行业企业准入管理。新、改、扩建重点行业建设项目应符合“三线一单”、产业政策、区域环评、规划环评和行业环境准入管控要求
本项目符合“三线一单”、产业政策、区域环评、规划环评和行业环境准入管控要求。
符合
5
建设单位在提交环境影响评价文件时应明确重点重金属污染物排放总量及来源。无明确具体总量来源的,各级生态环境部门不得批准相关环境影响评价文件
项目涉及重金属为锡、铜,不属于重点重金属污染物。
符合
6
优化重点行业企业布局。推动涉重金属产业集中优化发展,禁止低端落后产能向长江、黄河中上游地区转移
本项目属于集成电路制造,非低端落后产能。项目地址位于铜陵经济技术开发区循环经济产业园。
符合
7
新建、扩建的重有色金属冶炼、电镀、制革企业优先选择布设在依法合规设立并经规划环评的产业园区
项目地址位于铜陵经济技术开发区循环经济工业园,该产业园已进行规划环评
符合
六、突出重点,深化重点行业重金属污染治理
8
加强重点行业企业清洁生产改造。加强重点行业清洁生产工艺的开发和应用。重点行业企业“十四五”期间依法至少开展一轮强制性清洁生产审核。到2025年底,重点行业企业基本达到国内清洁生产先进水平
本项目属于集成电路制造,不属于重点行业企业,项目选用先进的生产线。
符合
9
推动重金属污染深度治理。自2023年起,重点区域铅锌冶炼和铜冶炼行业企业,执行颗粒物和重点重金属污染物特别排放限值。重有色金属冶炼企业应加强生产车间低空逸散烟气收集处理,有效减少无组织排放。重有色金属矿采选企业要按照规定完善废石堆场、排土场周边雨污分流设施,建设酸性废水收集与处理设施,处理达标后排放。开展电镀行业重金属污染综合整治,推进专业电镀园区、专业电镀企业重金属污染深度治理。排放汞及汞化合物的企业应当采用最佳可行技术和最佳环境实践,控制并减少汞及汞化合物的排放和释放。
本项目属于集成电路制造,不属于铅锌冶炼、铜冶炼行业、重有色金属冶炼企业、重有色金属矿采选企业、电镀行业。
不涉及
10
开展涉镉涉铊企业排查整治行动。
本项目涉及的重金属为铜、锡,不属于涉镉涉铊企业。
不涉及
11
加强涉重金属固体废物环境管理
本项目产生的涉重金属主要为锡、铜等固废,项目一般固废收集综合利用,危险废物经收集贮存后交由资质单位进行处理。
符合
五、与《电镀污染防治可行技术指南》(HJ1306-2023)相符性分析
本项目工艺涉及电镀工艺,对照《电镀污染防治可行技术指南》(HJ1306-2023)中,选取与本项目环评相关内容进行符合性分析,具体如下:
表1-7 拟建项目建设与(HJ1306-2023)符合性分析
项目
类别
HJ1306-2023
本项目内容
相符性
废水治理技术
一般原则
电镀废水分类收集、分质处理
本项目含铜废液单独收集进入含铜废液收集池,后定量进入锡化废水处理系统;碱性有机废水收集进入碱性有机废水处理系统,采取“芬顿法”工艺处理,后定量进入锡化废水处理系统;锡化废水采取“pH调节+重捕+絮凝沉淀” 工艺处理。处理后的废水进入中间水箱,与磨片、划片废水再经多介质过滤处理,处理后进城北污水处理厂。
符合
金属离子废水处理技术
1 化学沉淀;②离子交换
本项目锡化废水采取“pH调节+重捕+絮凝沉淀” 工艺处理,属于化学沉淀技术。
符合
电镀废水深度处理技术
①反渗透;②反渗透+离子交换;③超滤+电渗析+反渗透
本项目锡化废水采取“pH调节+重捕+絮凝沉淀” 工艺处理后进入中间水箱,与磨片、划片废水再经多介质过滤处理。
符合
废气污染治理技术
一般原则
①对产生的有毒有害气体进行收集处理,鼓励对电镀生产线进行封闭,并对收集的废气进行处理;②尝试酸雾的液面宜采用低毒/无毒酸雾抑制剂
本项目镀锡线采用封闭建设并负压收集等措施提高废气收集。
符合
酸性废气治理技术
盐酸、硫酸雾、氮氧化物等:碱液吸收法
本项目酸雾(硫酸雾、甲基磺酸雾等)采用碱液吸收法进行处理
符合
*政策内容较多,仅摘取部分要求内容,其余部分要求均可以符合政策要求。
二、建设项目工程分析
建设内容
2.1 工程概况
2.1.1项目建设背景及由来
我国集成电路市场增长的主要动力来自汽车电子、工业控制、消费电子以及通信设备等市场,在国内市场强劲需求的推动下,我国集成电路产业整体保持平稳较快增长,开始迎来发展的加速期。作为中国半导体产业的重要组成部分,半导体封装业在近几年同样保持了稳定快速发展的势头。在半导体行业,产业化分工基本分为:研发设计、晶圆流片、封装测试、销售等四大环节。而晶圆流片基本上是一些国际大公司在做,为了降低生产成本,国际半导体制造商以及封装测试代工企业纷纷将其封装产能转移至中国,从而直接拉动了中国半导体封装产业规模的迅速扩大。同时,中国芯片制造规模的不断扩大以及巨大且快速成长的终端电子应用市场也极大地推动了中国半导体封装产业的成长。封装测试业产值约占整个半导体产业的50%~60%,市场前景广阔。
铜陵碁明半导体技术有限公司(以下简称“碁明公司”)成立于2021年7月1日,2021年8月3日铜陵经济技术开发区经济发展局对铜陵碁明半导体技术有限公司集成电路封装测试研发及产业化项目进行了备案,项目代码为:2108-340760-04-01-729908;项目分三期建设,其中一期项目环境影响报告表已取得铜陵经济技术开发区安全生产和环境保护监督管理局的批复(安环(2021)49号),见附件5。因三期项目工程能容尚不确定,故本次只对备案表中的二期项目进行环境影响评价。2024年4月22日,因项目发展需要,碁明公司对备案表中的二期项目进行了调整并重新备案,二期建设内容及规模变更为“项目投资5亿元,其中固定资产投资不低于1.5亿元,利用厂区空置地块建设主体厂房一栋,危化品房一栋。建成SSOP10、ESSOP10、ESOP16、SSOP16、ESSOP16、TSSOP20、T0252、T0247、SOT89等多种形式的封测产线,项目达产后将新增封测产品约60亿颗/年,新增产值约6亿元/年。”
项目环评管理类别判定:根据《中华人民共和国环境影响评价法》《建设项目环境保护管理条例》的有关规定,建设项目需履行环境影响评价手续。根据《国民经济行业分类》(GB/T4754-2017)及(2019年修改单)内容,本项目属于C3973 集成电路制造,对照《建设项目环境影响评价分类管理名录(2021年版)》,属于“三十六、计算机、通信和其他电子设备制造业(39)-80电子器件制造(397):集成电路制造”需进行环境影响评价,编制环境影响报告表。内容如下:
表2.1.1-1 《建设项目环境影响评价分类管理名录(2021年版)》(摘录)
环评类别
项目类别
报告书
报告表
登记表
三十六、计算机、通信和其他电子设备制造业 39
80
电子器件制造 397
/
显示器件制造;集成电路制造;使用有机溶剂的;有酸洗的以上均不含仅分割、焊接、组装的
/
项目排污许可类别判定:根据《固定污染源排污许可分类管理名录》(2019年版),第六条 属于本名录第1至107类行业的排污单位,按照本名录第109至112类规定的锅炉、工业炉窑、表面处理、水处理等通用工序实施重点管理或者简化管理的,只需对其涉及的通用工序申请取得排污许可证,不需要对其他生产设施和相应的排放口等申请取得排污许可证。本项目属于“三十四、计算机、通信和其他电子设备制造业(39)-89电子器件制造(397)”中“其他”,属于登记管理;本项目涉及表面处理工序,企业未纳入重点排污单位名录,现有排污许可为简化管理,故属于其中的“五十一、通用工序(111)表面处理”中“有电镀工序的”,属于简化管理;经综合分析,本项目建成后排污许可实行简化管理。
表2.1.1-2 《固定污染源排污许可分类管理名录(2019年版)》(摘录)
管理类别
项目类别
重点管理
简化管理
登记管理
三十四、计算机、通信和其他电子设备制造业 39
89
电子器件制造 397
纳入重点排污单位名录的
除重点管理以外的年使用 10 吨及以
上溶剂型涂料(含稀释剂)的
其他
五十一、通用工序
111
表面处理
纳入重点排污单位名录的
除纳入重点排污单位名录的,有电镀工序、酸洗、抛光(电解抛光和化学抛光)、热浸镀(溶剂法)、淬火或者钝化等工序的、年使用10吨及以上有机溶剂的
其他
2.1.2建设内容
项目名称:铜陵碁明半导体技术有限公司集成电路封装测试研发及产业化项目(二期)
项目性质:扩建
建设单位:铜陵碁明半导体技术有限公司
建设地点:铜陵经济技术开发区西湖一路1588号
建设规模:项目占地总规模8818m2,项目主要是利用厂区空置地块新建4#厂房、化学品库、危废库、事故应急水池、消防水池及泵房等,并依托1#厂房新建6条电镀线;通过购置磨片机、划片机、装片机、焊线机、塑封机、表面镀锡设备、切筋分离系统等设备,建成SSOP10、ESSOP10、ESOP16、SSOP16、ESSOP16、TSSOP20、T0252、T0247、SOT89等多种形式的封测产线,配套建设6条镀锡生产线,项目达产后将新增封测产品约60亿颗/年。
工程投资:项目总投资50000万元,其中环保投资总额约500万元,占项目计划投资总额的1.0%。
劳动定员和劳动制度:项目劳动定员为600人,项目生产实行两班工作制,每班工作12小时,全年生产300天。
具体建设内容见下表:
表2.1.2-1 建设项目工程内容一览表
工程类别
建设工程
项目建设内容及规模
依托关系
主体工程
4#厂房
一层:布置塑封(面积约为2350m2)、磨划(面积约为940m2)、打标和切筋(面积约为940m2)工序设备;南侧布置磨划废水收集罐和备用间(面积约为200m2)。
二层:布置装片键合工序设备(面积约为6274m2)
三层:布置测编和其他工序设备(面积约为5174m2)
新建
1#厂房
一层:在原有电镀车间增加2条(5#、6#)全自动镀锡生产线(面积约为537.33m2)
厂房依托,生产线新建
二层:布置4条(7#~10#)全自动镀锡生产线(面积约为537.33m2)
辅助工程
办公区
位于4#厂房各层西侧,办公区域总面积为2080m2。
新建
配电房
三层东侧布置配电室(面积约为440m2)
新建
空压机站房
一层东南侧布置空压站房(面积约为400m2)
新建
纯水站
4#厂房一层东南角布置纯水站(面积约为300m2),配备2套30t/h,采用“反渗透+EDI”的纯水制备装置。
冷库
在4#厂房一层布置冷库(面积约为370m2),零下5℃冷藏保存塑封料。
消防水池
位于4#厂房南侧,面积为386m2,容积972m3。
制氮机房
位于4#厂房三层东南侧,建筑面积约为300m2,采用分子筛吸附压缩空气制氮,制氮机6台、纯化机4台,压力罐3个;氮气消耗量4500m3/h。
气瓶间
4#厂房三层东侧布置气瓶间(面积约为30m2)
氢气站
位于4#厂房南侧,占地面积为60m2,存放瓶装氢气、配比机。
储运工程
仓储车间
4#厂房四层为仓储区(面积约为7500m2),用于项目原料及产品的储存。
新建
化学品库
位于4#厂房南侧,占地面积为400m2,用于储存危险化学品。包括易制爆库房20m2,易制毒库房30m2,碱房50m2,酸房60m2。
公用工程
供水
依托厂区现有的供水管网
新建
排水
雨污分流;外排废水通过市政管网进城北污水处理厂处理,达标后排入小汊江,最终进入长江。
依托现有
供电
新建3台2500kVA变压器
依托现有
环保工程
废气
1、上芯烘干和塑封等设备全密闭,产生的废气负压收集后经“二级活性炭吸附”处理装置处理后通过26m高排气筒(DA012)排放。
新建
2、6条镀锡生产线均采用全封闭措施,高温软化、去氧化、预浸、电镀锡、退镀等工序产生的废气经吸风系统收集,5#、6#镀锡生产线废气通过1套酸雾吸收塔(2#)经碱液喷淋处理后通过15m高排气筒(DA008)排放,7#~10#镀锡生产线废气通过1套酸雾吸收塔(3#)经碱液喷淋处理后通过15m高排气筒(DA013)排放。
5#、6#镀锡生产线废气处理装置依托3#、4#镀锡生产线废气处理装置,7#~10#镀锡生产线废气处理装置新建
3、打标、切筋、测试等设备全密闭,产生的废气负压收集后经“脉冲布袋除尘器”处理装置处理后通过26m高排气筒(DA014)排放。
新建
4、危废库设置抽风系统,产生的废气负压收集后经“二级活性炭吸附”处理装置处理后通过15m 高排气筒(DA006)排放。
新建
废水
1、 依托厂区现有2个化粪池和1个隔油池,对办公生活污水预处理后进城北污水处理厂。
依托现有
2、碱性有机废水进入碱性有机废水处理系统(采取“芬顿法”)处理,再进电镀废水处理系统;酸性含铜废液收集至含铜废液收集池与锡化废水进电镀废水处理系统(采取“pH调节+重捕+絮凝沉淀”)处理,电镀废水处理系统处理后的废水再经多介质过滤进入终端水箱,经管网进城北污水处理厂。
电镀废水处理系统扩大处理能力至600m3/d
3、纯水制备浓水:103.68t/d回用于去溢料工序,307.8t/d进入终端水箱,经管网进城北污水处理厂。
新建
4、4#车间一层南侧布置2个8m3污水收集罐,收集暂存磨片、划片废水。划片废水进划片废水回用处理系统处理后10%回用于划片生产,80%用于空调冷却系统补水,10%进入磨片、划片废水处理系统;磨片废水直接进磨划废水处理系统(采取“pH调节+混凝沉淀+斜管沉淀”)处理,再经多介质过滤进入终端水箱,经管网进城北污水处理厂。
新建污水收集罐,磨划废水处理系统扩大处理能力至500m3/d
5、初期雨水:新建100m3初期雨水池,初期雨水经厂区电镀废水处理装置处理后进城北污水处理厂。
新建
噪声
墙体隔声、合理布局、设备基座减振、风机安装消声器等。
新建
固废
生活垃圾由环卫部门处理;不合格品和废次品由厂家回收利用;废导电胶、废针管(废包装物)、废机油、废活性炭等危险废物,收集后委托有资质单位处置;边角料、废包装材料外售综合利用;磨片划片废水处理污泥外运无害化处置。新建150m2危废库和80m2一般固废库。
新建
地下水、土壤
电镀车间、化学品库、危废暂存间、污水收集及处理设施区域、事故池、初期雨水池等区域采取重点防渗措施。其他生产车间、仓储区、纯水站、制氮机房、气瓶间、氢气站、消防水池、一般固废暂存间等区域采取一般防渗措施。
新建
环境风险
新建250m3事故池,100m3初期雨水池,编制环境风险应急预案等。
新建
2.1.6项目水平衡
本项目废水包括生产废水与生活污水两部分。其中生产废水包括减薄磨片和划片工序产生的废水、电镀生产线产生的电镀废水以及公用工程产生的废水。
(1)生活用水
本项目劳动定员为600人,职工生活用水按每人每天用水量80L计算,生活污水的产生量取用水量的85%,年工作日300天,则职工生活用水量为48m3/d,排水量为40.8m3/d。
(2)减薄磨片、划片用水
①减薄磨片用水
本项目减薄磨片使用2台晶圆减薄机,根据建设单位提供的相关设备操作参数,该设备研磨水压0.3~0.4MPa,水温比室温高2度;供水系统采用纯水,每台机器设计用水流量70L/min(研磨液与纯水混合使用,纯水与研磨液配比为2000:1,设计流量50L/min;主轴冷却为密闭循环系统,循环水不外排,设计流量20L/min),工作时间以24小时计,则研磨用水144t/d,循环用水57.6t/d,排污系数以0.8计,则废水产生量为115.2t/d,进磨片、划片废水处理系统(采取“ph调节+混凝沉淀+斜管沉淀”处理工艺)处理后进电镀废水处理系统中间水箱进一步处理,经市政管网进城北污水处理厂。
②划片用水
本项目划片使用40台划片机,设备型号为DAD3350,根据建设单位提供的相关设备操作参数,该设备切割水压0.2~0.4MPa,水温比室温高2度;供水系统采用纯水,每台机器设计用水流量7L/min(研磨液与纯水混合使用,纯水与研磨液配比为2000:1,设计流量5L/min;主轴冷却为密闭循环系统,循环水不外排,设计流量2.0L/min),日工作时间以24小时计,则研磨用水288t/d,循环用水115.2t/d。研磨用水288t/d,排污系数以0.8计则废水产生量为230.4t/d。企业新建划片废水回用处理系统,处理后23.04t/d(10%)回用于划片生产,184.32t/d(80%)用于空调冷却系统补水,23.04t/d(10%)进入磨片、划片废水处理系统处理后进中间水箱,再由中间水箱经多介质过滤进入终端水箱,经市政管网进城北污水处理厂。
(3)电镀生产线用水
电镀生产线废水主要包括电镀线清洗废水和其他废水。电镀其他生产废水包括去氧化(活化)置换液、中和置换液、地面清洗废水、酸雾吸收废水等。
①电镀线清洗用水
电镀线清洗废水包括软化、去溢料、去氧化(活化)、电镀锡、中和及退镀后的清洗废水; 由设备产能分析可知,电镀生产线生产能力能够满足项目设计产能需求,且不会出现产能过剩现象;因此,电镀线清洗废水用水量可以根据电镀线的设计用水参数进行计算。根据建设单位提供的数据,本项目电镀生产线清洗用水产生情况详见下表。
表2.1.6-1 电镀生产线清洗用水统计
清洗工段
每条电镀生产线清洗工艺设计用水量
本次电镀清洗用水量(m3/d)
产污系数
每条电镀线清洗废水产生量(t/d)
本次电镀清洗废水产生量(t/d)
设计用水流量(L/min)
日用量(m3/d)
自来水
纯水
浓水
自来水
纯水
浓水
合计
软化清洗
5
/
/
7.2
/
/
7.2
43.2
0.9
6.48
38.88
去溢料
/
/
12
/
/
17.28
17.28
103.68
15.55
93.31
去氧化清洗
2
4
/
2.88
5.76
/
8.64
51.84
7.78
46.66
上锡水洗
2
8
/
2.88
11.52
/
14.40
86.4
12.96
77.76
中和清洗
/
12
/
/
17.28
/
17.28
103.68
15.55
93.31
退镀后清洗
2
/
/
2.88
/
/
2.88
17.28
2.59
15.55
合计
/
/
/
15.84
34.56
17.28
67.68
406.08
60.91
365.47
注:电镀车间共6条电镀生产线;考虑到废水的蒸发,排污系数以0.9计。
②电镀其他用水
电镀其他生产用水包括去氧化(活化)置换液、预浸换液、中和置换液、地面清洗用水和酸雾吸收用水等。
本项目依托2#酸雾吸收塔,新建3#酸雾吸收塔。2#、3#酸雾废气吸收塔其气液比分别为0.8L/m3、1.0L/m3,则循环水量分别为20.0m3/h、30.0m3/h,损耗量按循环水量的0.1%计,则损耗量分别为0.48m3/d、0.72m3/d。根据设计方案,本项目酸雾废气吸收塔水量为10t,更换频次约为15d/次,则废水产生量均为0.67m3/d,用水量分别为1.15m3/d、1.39m3/d。
废槽液更换量根据槽液量与更换频率计算。具体见下表。
表2.1.6-2 电镀生产线其他用水统计
槽液
每条电镀生产线其他用水产生情况
本次电镀其他用水量(m3/d)
槽液量(L)
更换频率
用水量(m3/a)
废水量(t/a)
去氧化槽(1)液
175
1次/5天
11.67
10.5
0.23
去氧化槽(2)液
175
1次/5天
11.67
10.5
0.23
预浸槽槽液
150
1次/7天
3.57
3.21
0.07
电镀槽液
1250
1次/2年
0.69
0.63(废槽液)
/
中和槽(1)液
150
1次/7天
7.14
6.43
0.14
中和槽(2)液
150
1次/14天
3.57
3.21
0.07
退镀槽液
250
1次/60天
1.67
1.5(废槽液)
/
地面清洗用水
产污系数以1.2L/m2*d计,电镀车间面积约537.33m2
214.93
193.44
0.72
酸雾吸收用水
依托2#酸雾吸收塔,新建3#酸雾吸收塔
760
400
2.53
合计
3.99
注:本次新建6条电镀生产线
(4)公用工程用水
①纯水制备用水
本项目磨片、划片以及电镀生产过程中使用纯水,本项目配备2套处理规模为 30t/h,处理工艺为“反渗透+EDI”的纯水制备装置。该设备设计纯水产生率60%,浓水产生量为40%,则本项目制备纯水消耗量为617.22t/d,则所需自来水用量约为1028.69t/d,浓水产生量约411.48t/d。浓水贮存于水箱内,其中103.68t/d回用于去溢料工序,307.8t/d进厂内污水处理站终端水箱。
②冷却水
本项目车间配套的空调系统及空压机均需使用间接冷却水。冷却水循环使用,定期补充和排放。本项目使用4套规格为150t/h和3套规格为800t/h的冷却水循环系统。总设计循环量为3000t/h,实际使用每小时循环用水量以80%计,即2400t/h。
根据《工业循环冷却水处理设计规范》(GB/T 50050-2017)第5.0.6章节,开式系统的补充水量计算公式如下:
Qm =Qe + Qb + Qw
Qm =Qe·N/(N-1)
Qe =k·△t·Qr
式中:Qe ——蒸发水量(m3/h);
Qr ——循环冷却水量(m3/h);
Qb ——排污水量(m3/h);
Qw ——风吹损失水量(m3/h),风水损失量以循环冷却水量0.1%计;
Qm ——补充水量(m3/h);
N ——设计浓缩倍数,4倍;
△t ——循环冷却水进、出冷却塔温差5(°C)
k ——蒸发损失系数,本项目k取值0.0012。
蒸发损失水量=2400×0.0012×5=14.4m3/h,补充水量=14.4m3/h×4/(4-1)=19.2m3/h,风吹损失量=2400×0.1%=2.4m3/h,排水水量=19.2-14.4-2.4=2.4m3/h;则项目每天补水460.8m3/d,每天排水57.6m3/d。
③实验室用水
根据建设单位介绍,厂区内设置实验室,实验室内设置废水收集池用于收集实验产生的废酸及废水;实验室用硝酸、盐酸进行实验,实验产生的废酸及废水经收集池收集后进电镀废水处理系统锡化废水处理装置处理。根据建设单位提供资料实验室用水量为0.1t/d,排污系数以0.9计,则废水产生量为0.09t/d。
项目水平衡见下图所示:
图2.1.6-1 项目水平衡图 单位m3/d
2.1.7劳动定员
本项目新增劳动人员600人,提供食宿,实行两班制,每班工作12小时,年工作300天,共计7200h。
2.1.8厂区平面布置
二期项目占地总规模8818m2,项目主要是利用厂区空置地块新建4#厂房、化学品库、危废库、事故应急水池、消防水池、泵房等,并依托1#厂房新建6条电镀线。厂区西部为1#、2#、3#号厂房,本次新建4#厂房位于厂区东部。4#厂房一层新建塑封、磨划、打标和切筋车间,并设置空压机站房、纯水站、冷库;二层新建装片键合车间;三层新建测编和其他工序车间;四层为仓储区;每层均配备相应的办公区。二期6条电镀线车间于1#厂房一层布置2条电镀线和二层布置4条电镀线;化学品库、事故应急水池、危废库、消防水池位于4#厂房南侧,为厂区最低处。
厂区平面布置图见附图5。
工艺流程和产排污环节
2.2项目生产工艺
2.2.1工艺流程和产排污环节
本项目主要是将待封装的芯片通过封装、镀锡、测试等工序建成封测产线,生产多种规格的封测产品。
一、项目工艺流程简述如下:
1、来料质检
收到晶圆后先进行信息核对和外包装完整检验,晶圆批号、芯片型号、片数是否与委工单一致。
产污分析:来料质检工序产生的不合格品S1,经收集后由厂家回收利用。
2、磨片
磨片前先将胶膜贴敷于晶圆正面(有电路面)再进行磨片,在磨片工序中起到保护作用;目测圆片与胶膜间有无异物、目测贴膜有无气泡、目测圆片有无裂片损伤、目测贴膜正反是否正确。
晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片,由于其形状为圆形,故称为晶圆。本项目所用的主流硅片为8或12英寸,由于硅片尺寸直径不断增大,为了增加其机械强度,厚度也相应地增加,这就给后续的芯片切割带来了困难,所以在封装之前一定要对晶圆圆片进行减薄处理。
硅片上电路层的有效厚度一般为300um,为了保证其功能,有一定的衬底支持厚度,因此硅片的一般厚度为900um。衬底材料是为了进行背面减薄,使其达到所需要的厚度,然后再对硅片进行切割加工,形成一个个减薄的裸芯片。本项目硅片背面减薄是利用纯水和微量研磨液为介质,纯水和研磨液通过计量泵总动混合泵入研磨轮中,纯水与研磨液混合比例为2000:1,在研磨轮的作用下进行的一种减薄工艺,该减薄工艺为一种物理过程。对磨片后晶圆片再进行质检(检查有无裂片、崩片、异物、气泡,测量厚度)和揭膜。
产污分析:磨片工序产生磨片废水W1。
3、贴片
将晶圆片粘贴到蓝色胶膜上以铁环固定,形成后续工序芯片切割的载体。贴蓝膜时将晶圆正面向下,在晶圆的背面贴上蓝膜,使晶圆和钢圈连接起来,同时避免切割后的单个芯片散落。
4、划片
将晶圆片按照晶粒大小和布局由划片机切割成各自独立小芯片,便于封装取片和后续封装单。划片机根据工艺要求对晶圆片进行切割,同时使用纯水和微量研磨液为介质进行冲洗,以降低圆片温度,并冲走划片过程会产生的少量硅屑。纯水和研磨液通过计量泵总动混合泵入研磨轮中,纯水与研磨液混合比例为2000:1。划片后再对芯片进行质检,检查其划痕是否合格,合格后入氮气柜等待包装。
产污分析:划片工序产生的划片废水W2。
5、上芯
将胶膜上的单个的芯片吸提起来,并通过导电胶(银浆)黏贴在引线框架上。该工序将银浆点涂到引线框架(基片)上,再将芯片的被焊面与银浆接触压实,此过程由装片机自行控制。再将装有芯片的引线框架放入烘箱中在氮气(氮氢混合气)的保护下进行固化处理,同时消除芯片残留的剪切应力。烘箱用电加热,固化条件一般为170~300°C。在还原性气氛条件下进行固化处理是为了防止固化过程中引线框内腿铜表面发生氧化。银浆在固化过程中受热形成白色银层,将芯片牢固地固定在基座上,固化产生少量有机废气。上芯工序使用的引线框需保存在氮气柜中;导电胶需保存在冰箱中。
烘干过程在无氧条件下进行,项目采用动力房中PSA吸附制氮机制备氮气,以压缩空气为原料,以碳分子筛为吸附剂,采用变压吸附流程,在常温低压下,利用空气中的氧气和氮气在碳分子筛中的扩散速率不同,把氮气和氧气加以分离而获得高纯度的氮气作为烘干工序的保护气。同时,在纯化装置中使用氢气作还原剂,将氮气中残存的氧还原掉,以获得99.999%的纯氮。
产污分析:上芯烘干工序产生的有机废气G1,经密闭管道收集后,送至“二级活性炭吸附”装置处理后,通过26m高排气筒(DA012)排放;上芯工序产生少量的废导电胶S2,经收集后委托有资质的单位进行处理。
6、键合
以二十到五十微米直径的金线、铜线或合金线为引线,通过热超声键合技术连接芯片电极和引线框架的内引线,构成电回路,完成集成电路内部线路对外的信号传输链接。
热超声键合为热压键合与超声波键合的混合技术。首先将引线穿过高温耐火材料所制成的毛细管状的金属线末端键合工具(也称为瓷嘴或焊针),用高压放电形式将金线熔融成球,金属表面张力效应使线的末端灼烧成球(其直径为金属线直径的2~3倍),再使用超声波脉冲进行金属线与金属基板(引线框架)进行结合,基板维持在200°C。保护气体采用氮气和6%氢气,用于防止焊接过程中的金属氧化,并对表面的部分氧化进行还原。热超声键合是将工件加热并加压到足以产生宏观变形的一种固态焊,因此不会产生焊接废气。焊线过程要在无氧条件下进行,项目采用自制的高纯度的氮气作为焊线工序的保护气。氮气与氢气混合气主要防止氧化和进行氧化还原反应。
产污分析:键合工序使用的氮气为厂内自制,氢气为外购,氮气钢瓶、氢气钢瓶均循环使用。
7、塑封
塑封是通过密闭的塑封机将固态塑封料加热成175-180℃熔融态后,注入每个引线框架芯片位中,并将其封装起来以保护芯片,塑封机用电加热。塑料封装使用的材料为热固性聚合物,主要为环氧树脂、硅微粉填料等组成。该工艺将已贴装芯片并完成引线键合的框架置于模具中,在塑封机活塞的压力下,塑封料被压机顶杆挤压到浇道中,并经过浇口注入模具成型。本工序会产生多余的塑封料渣。
在塑封的生产过程中,因部分塑封料渣残留在模具内,需要对模具进行清洁。清洁过程使用清模胶条和润模胶辅助材料。清洁模具一般进行四次,依次将不同型号(主要成分一致,仅各成分的百分比有区别)的清模胶条和润模胶排放在需要清洁的高温模具上,通过合模挤压将其延展开铺满整个模面,起到清洁整个模具作用。在固化时间结束后形成废弃的压模胶(简称废压模胶)。
产污分析:塑封工序产生的有机废气G2,经密闭管道收集后,送至“二级活性炭吸附”装置处理后,通过26m高排气筒(DA012)排放;产生的废塑封料渣S4和废压模胶S5,属于一般固废,经收集后外售综合利用。
8、热老化(后固化)
塑封料在模具中保压几分钟后,模块硬化成型达标并被顶出,由于材料的固化程度严重影响材料的玻璃化温度及热应力,所以塑封后需要在烘箱进行热老化处理,以消除材料内部热应力,使材料稳定性提高,以提高元器件的可靠性。热老化温度100-120°C,塑封料未达到熔融态,产生少量有机废气,少量烘箱热风收集后屋顶排放。
产污分析:后固化工序产生的有机废气G3,经密闭管道收集后,送至“二级活性炭吸附”装置处理后,通过26m高排气筒(DA012)排放。
9、电镀锡
对包封过后裸露的引线框架进行电镀镀锡处理,以防止氧化、提高可焊性。采用全自动半导体引线框架高速镀锡设备,该设备采用连续处理、自动上下料,完成化学浸料—喷淋全自动一体化整套工艺,可自动转入电镀高速线自动进料,上下料系统采用计算机控制。整条电镀线化学浸料采用透明视窗全封闭。具体生产工艺说明如下:
(1)热煮软化
框架在热煮软化液中以90℃,50min工艺条件处理后,框架塑封体边缘的溢料被软化,通过三级自来水水洗(全部为翻滚水洗)和甩干后再进行高压去溢料工序;软化液呈碱性,主要组分为二乙基乙醇胺;每班补充软化过程中损耗的药液;置换的软化槽液委托有资质的危废处置单位处置。
产污分析:热煮软化工序产生的废气G4-1,主要污染物为碱雾,经密闭管道收集后进入酸雾吸收塔参与酸雾中和处理,反应后通过15m高排气筒(DA009、DA013)排放;三级水洗和甩干产生的废水W3-1,经芬顿处理后进电镀废水处理系统锡化废水处理装置进一步处理;置换的软化槽液S5-1,经收集后委托有资质的单位进行处理。
(2)高压水去溢料
框架经软化和漂洗后,通过高压水去溢料工艺槽,用350-450bar高压水冲洗框架,去除已软化或松动毛刺或飞边;去掉的溢料经过滤装置收集在高压水去溢料槽中,作为一般固废。
产污分析:去溢料工序产生的废水W3-2,不含药液,经收集后进中间水箱;过滤收集溢料产生的废溢料和废过滤滤芯S5-2,属于一般固废,外售综合利用。
(3)去氧化
本项目经过两次去氧化。去氧化就是通过将工件放入5%~15%左右的混酸中(去氧化1主要是过硫酸钾,稀硫酸;去氧化2主要是过硫酸钠、过氧化氢组成)1分钟,温度控制在30℃,以去除其表面的氧化膜,从而露出活泼的金属界面,以保证后续电镀时镀层与基体的结合力。稀硫酸,过氧化氢平时补充,槽液循环使用,定期补充,5天完全更换一次。去氧化后采用自来水洗和纯水洗两道淋洗工序,洗掉工件表面附着的酸液。
产污分析:去氧化1工序产生的废气G4-2,主要污染物为硫酸雾,经密闭管道收集后通过酸雾吸收塔处理后通过15m高排气筒(DA009、DA013)排放;去氧化1工序置换的槽液W3-3和去氧化2工序置换的槽液W3-4以及两级水洗产生的废水W3-5,进电镀废水处理系统锡化废水处理装置处理。
(4)预浸
预浸就是通过将工件放入5%左右的甲基磺酸溶液中经0.3~1分钟浸渍,不经清洗,直接下槽电沉积,温度控制在30℃。预浸可以提高后续电镀加工过程中镀层结合力。预浸液过滤后循环使用,定期补充,槽液半个月清理1次。
产污分析:预浸工序产生的废气G4-3,主要污染物为甲基磺酸雾,经管道收集通过酸雾吸收塔处理后通过15m高排气筒(DA009、DA013)排放;产生的槽液W3-6,进电镀废水处理系统锡化废水处理装置处理;过滤产生的废过滤滤芯及槽渣S5-3,收集后委托有资质的单位进行处理。
(5)电镀锡
电镀锡采用高速连续镀锡工艺。将工件放入电镀液中,通过电化学反应,在工件表面形成均匀、致密、结合良好的金属沉积层。电镀液由甲基磺酸、甲基磺酸亚锡、镀锡添加剂(十二烷基硫酸钠、苯磺酸钠等)与水配置而成,电镀液温度为40~45℃。电镀时,锡球作为阳极,工件作为阴极,阳极发生氧化反应,锡氧化成锡离子进入电解液,同时析出少量氧气,阴极发生还原反应,锡离子还原为锡沉积于工件表面,同时析出少量氢气。具体反应式如下:
阳极:Sn+2e=Sn2+;阳极:Sn2+=Sn+2e
电镀液过滤后循环使用,定期补充药剂,镀槽配套回收槽对工件带出液进行回收再利用,电镀过滤槽渣30天更换1次,每次约12.5kg。电镀后采用一级循环纯水喷淋、一级自来水漂洗、两级纯水喷淋,洗掉工件表面附着的电镀液。
产污分析:电镀工序产生的废气G4-4,主要污染物为甲基磺酸雾,经管道收集通过酸雾吸收塔处理后通过15m高排气筒(DA009、DA013)排放;四级水洗产生的废水W3-7,进电镀废水处理系统锡化废水处理装置处理;电镀槽液过滤滤芯和槽渣(液)S5-4,收集后委托有资质的单位进行处理。
(6)中和
本项目进行两次中和。第一次使用中和粉(碳酸钠)中和被镀件上酸液;该工序将中和粉与纯水配比,浓度控制在2%~4%,温度45~55℃;中和液循环使用,定期补充,7天更换1次;中和后采用一级循环纯水喷淋、两级纯水喷淋。第二次使用锡保护剂,浓度控制在40%~80%,温度30℃左右;中和液循环使用,定期补充,14天更换1次;中和后采用一级循环纯水喷淋、两级纯水喷淋;再采用超声波清洗(采用纯水进行最后的超声波清洗,清洗温度为50℃)。中和水洗后采用电吹干和烘干,合格品下料,不合格品进行退镀处理。
产污分析:中和1工序置换的槽液W3-8和三级水洗产生的废水W3-9,中和2工序置换的槽液W3-10和三级水洗产生的废水W3-11,以及超声波清洗产生的废水W3-12均进电镀废水处理系统锡化废水处理装置处理。
(7)退镀
因导电需要,电镀线传送装置钢带的下沿和夹具夹头在电镀加工过程中浸没于电镀液中而不可避免上镀,电镀加工完成后要对钢带和夹具进行退镀。退镀使用10%的甲基磺酸溶液。退镀液过滤后循环使用,定期补充药剂,退镀液6个月更换一次,过滤槽渣30天更换1次,每次约12.5kg。此时,钢带为阳极,退锡板为阴极,经过电处理后锡被镀至退锡板上,钢带退镀完后经过自来水一级漂洗。
电镀锡过程中约有0.1‰~0.2‰的不合格品产生,也需要进行退镀处理。本项目采用产品退镀液线下退镀,退镀液主要为甲基磺酸,浓度150g/L~250g/L。
产污分析:退镀工序产生的废气G4-5,主要污染物为甲基磺酸雾,经管道收集通过酸雾吸收塔处理后通过15m高排气筒(DA009、DA013)排放;一级水洗产生的废水W3-13,进电镀废水处理系统锡化废水处理装置处理;退镀过滤滤芯和槽渣(液)S5-5,收集后委托有资质的单位进行处理。
10、激光打标
激光打标机处于密闭环境,使用激光在塑封体表面,激光打印出文字印记,以标明产品型号。
产污分析:激光打标工序产生的打标废气G5,主要污染物为颗粒物,经管道收集通过脉冲布袋除尘器处理后通过26m高排气筒(DA014)排放。
11、切筋成型
该工序主要是将产品从引线框架上分离出来。切筋、成型是两道工序,但通常同时完成。切筋工艺是指切除引线框架上连接引脚的横筋以及边框。成型工艺则是将引脚弯成一定的形状,以适合装配的需要。
产污分析:切筋成型工序产生的切筋废气G6,主要污染物为颗粒物,经管道收集通过脉冲布袋除尘器处理后通过26m高排气筒(DA014)排放。切筋成型工序产生的边角料S6,经收集后外售综合利用。
12、测试
通过自动测试仪表,对每一个集成电路进行电信号的测量,以判断产品能否正常使用,加工过程中,要同时使用分选机即handler,将良品和不良品区别摆放。为保证测试过程中产品表面的清洁,测试机台自带抽风装置 以收集测试过程中及来自车间环境中的少量粉尘。
产污分析:测试工序产生的测试废气G7,主要污染物为颗粒物,经管道收集通过脉冲布袋除尘器处理后通过26m高排气筒(DA014)排放。测试工序产生的废次品S7,经收集后由厂家回收利用。
13、编带
将产品放入载带中并封盖完成。
产污分析:编带工序产生的废包装S8,经收集后外售综合利用。
图2.2.1-1 项目生产工艺流程及产污节点图
图2.2.1-2 电镀锡生产工艺流程及产污节点图
二、试验室工艺流程及产污环节
根据建设单位介绍,厂区内已设置实验室。实验室内主要进行电镀工艺的镀液测试、分析以及芯片失效分析等实验,实验室内配置一个废水池(收集实验废水)。对镀液进行测试、分析时需使用硝酸;芯片失效分析时需分析内部的芯片、打线、组件时,因封装胶体阻挡观察,需开盖、去胶,使封装体内包覆的对象裸露出来,以便后续相关实验处理、观察。芯片开封使用盐酸进行湿式蚀刻用于去除封装胶体。
根据建设单位提供数据,实验室硝酸、盐酸年用量均为500L,硝酸和盐酸使用过程中产生酸雾废气。实验室内设置有洗眼器,分析台上设置吸风罩。
产污分析:实验室产生的废气主要污染物为硝酸雾、氯化氢,经集气罩收集后通过酸雾吸收塔处理后通过15m高排气筒(DA003)排放;实验用废酸与废水收集至废水池中定期进电镀废水处理系统锡化废水处理装置处理。
三、制氮工艺流程及产污环节
本项目配套6台制氮机,采用 PSA 制氮(变压吸附)工艺生产封装工艺过程中需要的氮气。
PSA制氮气总体工艺流程为:环境空气经压缩机压缩净化,进入由两个装填有碳分子筛的吸附塔组成的变压吸附装置。压缩空气由下至上流经吸附塔,其间氧分子在碳分子筛表面吸附,氮气由吸附塔上端流出,连续产出的氮气送至氮气缓冲罐,经调压阀将压力调至额定压力,再通过流量计计量,氮气分析仪分析检测,合格的氮气备用,不合格氮气放空(刚开制氮机时)。
经过一段时间后,吸附塔中碳分子筛被吸附的氧饱和,需进行再生。再生是通过停止吸附步骤,降低吸附塔压力来实现的,吸附塔交替进行吸附和再生,从而确保氮气的连续输出。PSA吸附塔中碳分子筛每两年更换一次。
产污分析:制氮工艺过程中分子筛吸附工序产生废碳分子筛,经收集后定期交由厂家回收利用。
项目主要产污环节:
本项目运营期产生的污染物包括废气、废水、噪声和固体废物等影响因素。
根据本项目的工艺流程分析,本项目产生的污染物如下:
表2.2.1-1 主要产污工序及污染因子表
污染物类型
编号
生产工序
主要污染因子
处理措施
废水
W1
减薄磨片废水
COD 、SS
磨划废水处理系统(采取“pH调节+混凝沉淀+斜管沉淀”)处理,再经多介质过滤进入终端水箱
W2
划片废水
COD 、SS
W3- 1
软化后清洗废水
pH、COD、铜、磷酸盐、石油类
经芬顿处理后进电镀废水处理系统锡化废水处理装置进一步处理
W3-2
去溢料废水
COD、SS
经收集后进中间水箱,再经多介质过滤进入终端水箱
W3-3
去氧化1槽液
pH 、COD 、铜、磷酸盐
进含铜废液收集池,经电镀废水处理系统锡化废水处理装置处理
W3-4
去氧化2槽液
pH 、COD、铜、磷酸盐
W3-5
去氧化清洗废水
pH 、COD 、铜、磷酸盐
进电镀废水处理系统锡化废水处理装置处理
W3-6
预浸槽液
pH 、COD 、铜
W3-7
电镀清洗废水
pH 、COD 、铜、锡
W3-8
中和1槽液
pH、COD、铜、磷酸盐、锡
W3-9
中和1清洗废水
pH 、COD 、铜、磷酸盐
W3-10
中和2槽液
pH、COD、铜、磷酸盐、锡
进含铜废液收集池,经电镀废水处理系统锡化废水处理装置处理
W3-11
中和1清洗废水
pH 、COD 、铜、磷酸盐
进电镀废水处理系统锡化废水处理装置处理
W3-12
超声波水洗
pH 、COD 、铜、磷酸盐
W3-13
退镀后清洗废水
pH 、COD 、铜、锡
/
实验室废水
pH 、盐分、总氮
/
车间地面冲废水
pH 、COD 、SS
/
酸雾吸收废水
pH 、COD 、SS、盐
/
纯水制备浓水
SS、盐
进终端水箱,经管网进城北污水处理厂
/
办公生活废水
COD 、BOD 、SS、氨氮
化粪池预处理
/
冷却水
COD
经管网进城北污水处理厂
废气
G1
上芯烘干
非甲烷总烃
经密闭管道收集后,送至“二级活性炭吸附”装置处理后,通过26m高排气筒(DA012)排放
G2、G3
塑封、固化
非甲烷总烃
G4-1
热煮软化
碱雾
经密闭管道收集后通过酸雾吸收塔处理后通过15m高排气筒(DA009、DA013)排放
G4-2
去氧化
硫酸雾
G4-3
预浸
甲基磺酸
G4-4
镀锡
甲基磺酸
G4-5
退镀
甲基磺酸
G5
激光达标
颗粒物
经管道收集通过脉冲布袋除尘器处理后通过26m高排气筒(DA014)排放
G6
切筋
颗粒物
G7
测试
颗粒物
/
实验室
氯化氢、硝酸雾
经集气罩收集后通过酸雾吸收塔处理后通过15m高排气筒(DA003)排放
/
危废库
非甲烷总烃
经密闭管道收集后,送至“二级活性炭吸附”装置处理后,通过15m高排气筒(DA006)排放
固废
S1
检验测试
不合格品
厂家回收利用
S2
上芯固化
废导电胶
委托有资质的单位处理
S3
塑封
废塑封料渣
外售综合利用
S4
塑封
废压膜胶
外售综合利用
S5- 1
热煮软化
软化槽液
委托有资质的单位处理
S5-2
高压水去溢料
废溢料和废过滤滤芯
外售综合利用
S5-3
预浸
废过滤滤芯及槽渣
委托有资质的单位处理
S5-4
电镀锡
废过滤滤芯和槽渣(液)
S5-5
退镀
废过滤滤芯和槽渣(液)
S6
切筋成型
金属边角料
外售综合利用
S7
测试、打标
废次品
厂家回收利用
S8
编带、包装
废包装
外售综合利用
/
制氮工艺
废碳分子筛
厂家回收利用
/
磨划片废水处理
一般污泥
外售综合利用
/
电镀废水处理
电镀污泥
委托有资质的单位处理
/
上芯、塑封废气处理装置
废活性炭
/
职工生活
生活垃圾
环卫部门统一收集
2.3物料平衡
根据项目表面处理方案,本项目镀锡工序电镀方案见下表。
表2.3-1 本项目镀锡线电镀方案及镀件中锡的质量
生产线
镀件面积(万m2/a)
镀锡总厚度(μm)
锡的质量(t/a)
镀锡线
90
15
98.3745
注:锡的密度为7.287t/m2。
根据原辅材料消耗情况,原辅料中锡的质量如下表。
表2.3-2 原辅材料中锡的质量
名称
型号
主要组分
使用量(t/a)
锡含量(t/a)
甲基磺酸亚锡
/
/
2
0.769
锡球
Sn99.99a,13mm整球
含锡99.99%
100
99.99
小计
100.759
注:锡原子量为118.71,甲基磺酸亚锡分子量为308.6。
表2.3-3 锡元素物料平衡表
投入
产出
序号
物料名称
锡含量(t/a)
序号
类别
锡含量(t/a)
1
甲基磺酸亚锡
0.769
1
形成镀锡层
98.3745
2
锡球
99.99
2
通过废水外排环境
0.006
/
/
/
3
含锡废渣(液)
1.7075
/
/
/
4
含锡污泥
0.671
合计
100.759
合计
100.759
图2.3-1 锡元素平衡图(t/a)
与项目有关的原有环境污染问题
2.4 现有项目
2.4.1现有项目环保手续履行情况
碁明公司于2021年12月委托合肥市绿晟环保科技有限公司编制完成《铜陵碁明半导体技术有限公司集成电路封装测试研发及产业化项目(一期)环境影响报告表》,并于2021年12月31日获得铜陵经济技术开发区安全生产和环境保护监督管理局的批复(安环(2021)49号),见附件5。碁明公司于2022年8月委托合肥市绿晟环保科技有限公司编制完成《铜陵碁明半导体技术有限公司集成电路包材项目环境影响报告表》,并于2022年8月29日获得铜陵经济技术开发区安全生产和环境保护监督管理局的批复(安环(2022)58号),见附件6。
企业于2022年3月4日申请取得排污许可证,编号:91340700MA8MY9NWX4001U,有效期:2022年3月4日至2027年3月3日,见附件7。
2024年5月碁明公司委托安徽世标检测技术有限公司开展了竣工环保验收监测工作,编制完成了《铜陵碁明半导体技术有限公司集成电路封装测试研发及产业化项目(一期)竣工环境保护验收监测报告表》,并通过验收组评审。碁明半公司集成电路包材项目目前正在建设。
企业于 2024年 5月10日制定企业事业单位突发环境事件应急预案并完成备案工作,预案风险等级为一般,备案编号:340700-2024-026-2,见附件8。
现有项目审批及验收情况具体情况见下表。
表2.4.1-1 现有项目审批及验收情况
项目名称
审批情况
验收情况
排污许可证情况
应急预案
备注
《铜陵碁明半导体技术有限公司集成电路封装测试研发及产业化项目(一期)环境影响报告表》
安环(2021)49号
2024年5月企业完成自主竣工环保验收;验收监测工况稳定,环保设施正常运行,满足生产工况要求;项目废气、噪声、污水等主要污染物达标排放。
91340700MA8MY9NWX4001U,有效期:2022年3月4日至2025年3月3日
备案编号:340700-2024-026-2
正常生产
《铜陵碁明半导体技术有限公司集成电路包材项目环境影响报告表》
安环(2022)58号
在建
在建
2.4.2现有工程概况
厂区现有主体工程包括:集成电路封装测试研发及产业化项目(一期)已建设完成,集成电路包材项目正在建设。
2.4.2.1已建集成电路封装测试研发及产业化项目(一期)
一、已建项目组成及建设内容
根据现场勘查结果,已建项目一期建设内容见下表。
表2.4.2-1 已建一期工程组成及建设内容一览表
类别
单项工程
一期工程已建内容
与原环评的变动情况
主体工程
1#厂房
2F,占地面积约3416.3m2,位于厂区西北侧,1F内有电镀车间(布置4条全自动镀锡生产线),塑封老化区,软化区,镀锡生产线软化设备需密闭,塑封装置为封闭式箱体结构。
未变动
2#厂房
2F,位于厂区西侧,1F设置装片、键合、磨片划片、塑封烘干、打标、切筋等车间;2F设置成品检测区,用于成品 芯片检测、包装。
原环评2#厂房空置,实际3#厂房中部分设备搬至 2#厂房内
3#厂房
2F,位于厂区西南侧;占地 3416.3m2,1F设置装片及键合车间,磨片划片车间,装片烘箱房,塑封车间,打标及切筋车间。装片(上芯)烘箱为全封闭装置;2F设置测试编带包装车间。
1F未变动,2F原环评设置有烘烤室,实际未建设
辅助工程
办公区
依托厂区原有办公楼,占地面积1120m2
未变动
纯水站
位于3#厂房北侧,配备1套16t/h,采用“双级反渗透+EDI”的纯水制备装置
未变动
冷库
分别位于2#、3#厂房(1F、2F),冷藏塑封料
2#厂房同时设置
维修室
位于3#厂房(1F),2间维修室,分别为12m2和20.1m2
未变动
离心机房
位于3#厂房西北侧,布置离心式空压机
未变动
制氮机房
位于3#厂房东北侧,采用分子筛吸附压缩空气制氮
未变动
混合气站
单独设置在厂区东南侧,3#厂房外东侧,占地218m2,储存氢气
原环评设置于3#厂房东南侧,占地100m2
消防水池
位于1#厂房,容积308m3
原环评设置容积为100m3
公用工程
供水
由铜陵循环经济工业试验园给水管网提供
未变动
排水
项目重新完善了租赁厂区雨污管网;生活污水经化粪池和隔油池预处理后进城北污水处理厂处理;生产废水经厂区污水处理系统处理后进城北污水处理厂处理。
未变动
供电
由市政供电电网提供,原有的1台1000kW 变压器暂停使用,新增1台4540kW变压器,实际年用电量约2353万kW·h
原环评设置新增1台1600kW变压器
储运工程
化学品库
位于1#厂房,占地 55.65m2
未变动
晶圆室
位于 3#厂房(2F), 占地 66.6m2
原环评设置位于1#厂房
辅材室
位于 3#厂房(2F),存放辅材
原环评3#厂房1F、2F均设置辅材室
包材室
位于 1#厂房(1F、2F),存放包装材料
原环评设置位于3#厂房1F、2F
线边仓
位于 3#厂房(1F),存放框架线材
未变动
半成品仓库
位于 3#厂房(2F),存放待测芯片
未变动
成品库
位于 1#厂房北侧,800m2
原环评设置位于 3#厂房(2F), 441.29m2
环保工程
废气
①镀锡线、上芯烘干、塑封、激光打标等设备全密闭,并负压收集。
②3#、2#厂房上芯烘干废气及塑封废气经“二级活性炭吸附”处理装置处理后分别通过15m高排气筒(DA001、DA002)排放。
③1#、2#电镀线废气通过酸雾吸收塔(1#)经碱液喷淋处理后通过15m高排气筒(DA003)排放。
④3#、2#厂房激光打标废气经“脉冲布袋除尘器”处理后分别通过15m高排气筒(DA004、DA005)排放。
⑤危废暂存库单独设置,危废库内设置负压收集装置,有机废气经“二级活性炭吸附”处理装置处理后通过15m高排气筒(DA006)排放。
⑥3#、4#电镀线废气通过酸雾吸收塔(2#)经碱液喷淋处理后通过15m高排气筒(DA008)排放。
⑦塑封后固化废气经“二级活性炭吸附”处理装置处理后通过15m高排气筒(DA009)排放。
⑧1#厂房激光打标废气经“脉冲布袋除尘器”处理后通过15m高排气筒(DA010)排放。
⑨2#厂房测试废气经“脉冲布袋除尘器”处理后通过15m高排气筒(DA011)排放。
上芯烘干、塑封、危废暂存库有机废气由原环评设计的经“一级活性炭纤维吸附+一级活性炭吸附”处理变更为“二级活性炭吸附”处理;激光打标、测试过程
产生的颗粒物由原环评设计的无组织排放变更为经“脉冲布袋除尘器”处理后有组织排放。
废水
①依托厂区现有化粪池(5t/d),并建设了1个50t/d化粪池和1个55t/d隔油池,对办公生活污水预处理后进城北污水处理厂。
未变动
②磨片、划片废水:建设处理规模300t/d的磨片、划片废水处理系统(采取“pH调节+混凝沉淀+斜管沉淀”处理工艺),废水经处理后进中间水箱再经多介质过滤进一步处理后,进终端水箱,经管网排入城北污水处理厂。
未变动
③电镀废水:建设处理规模500t/d的电镀废水处理系统;电镀废水分类收集、分质处理;去氧化槽液、中和二槽液单独进入含铜废液收集池,软化清洗废水排入有机废水处理系统,采取“芬顿法”工艺处理后,再同去氧化清洗废水、镀锡清洗废水、中和一槽液、中和清洗废水、退锡清洗废水、地面清洗废水、废气喷淋废水等废水进入锡化废水处理系统,采取“pH调节+重捕+絮凝沉淀”工艺处理。处理后的废水进入中间水箱,与磨片、划片废水再经多介质过滤处理后进终端水箱,经管网排入城北污水处理厂;去溢料废水直接进入终端水箱,经管网排入城北污水处理厂。
有机废水处理系统由原环评设置的“芬顿法+絮凝沉淀”变更为“芬顿法”;去氧化槽液、中和二槽液由原环评设置排入有机废水处理系统变更为进入含铜废液收集池,锡化废水处理装置未设置活性炭过滤工序;去溢料废水由原环评的进入锡化废水处理系统处理后进终端水箱变更为直接进入终端水箱。
④纯水制备废水:约30%回用于去溢料工序,约70%进城北污水处理厂。
未变动
⑤初期雨水:经电镀废水处理系统处理后进城北污水处理厂。设1个210m3初期雨水池。
未变动
⑥建设6m3污水收集池,收集电镀废水;建设6m3污水收集池,收集磨划片废水。
未变动
⑦污水采用明管专管输送,设置污水排放水池,污水流入排放水池,经检测合格后通过泵打入市政污水管道,雨水排放前设置排放水池,检测合格后排入市政雨水管道。
未变动
固废
①一般固废仓库:已建1座占地面积约50m2一般固废暂存区;
②危废库:已建1座占地面积约为100m2危废库,已按要求进行防腐防渗等措施。
未变动
噪声
项目采用厂房隔声、减振、降噪、加强绿化等措施达标 排放
未变动
风险
①在厂区西北侧建立320m3事故池;危废仓库、污水处理各水池、污水收集池、生产车间、化学品库、事故池、初期雨水池、废水收集沟渠(管线)等区域进行重点防渗,基础底部夯实,上面铺装环氧树脂防腐防渗层,等效黏土防渗层厚度6m,渗透系数 ≤10-10cm/s。②危废库有设置导流地沟和集液井。③编制应急预案。
未变动
二 、已建项目产品方案
已建工程主要产品方案汇总见下表。
表2.4.2-2 已建项目实际产品方案一览表
项目
产品名称
产品规格/设备名称
设计产能
现有实际产能
原环评镀件面积
集成电路封装测试研发及产业化(一期)项目
集成电路芯片
QSOP24、SOP16、ESOP8、SOP8、QFN等系列产品
45亿颗/年
45亿颗/年
67.5万m2
三、已建项目污染防治措施及达标可行性
现有项目主要是将待封装的芯片通过封装、镀锡、测试等工序建成封测产线,生产工艺与本次二期项目基本一致,具体工艺介绍在2.2本项目生产工艺章节,此处不再赘述。
(一)废气
(1)废气处理措施
铜陵碁明半导体技术有限公司针对不同车间各生产线的废气产生情况,分别采取了相应的废气治理措施,厂内目前现有项目废气治理方案对照现有工程环评及批复中的要求,实际建成情况及变动原因汇总见下表。
表2.4.2-3 废气治理方案汇总一览表
污染源
污染物
处理措施
排气筒编号
上芯烘干、塑封废气
非甲烷总烃
二级活性炭吸附
DA001、DA002
电镀线酸雾废气
硫酸雾
酸雾吸收塔(碱液喷淋)
DA003、DA008
激光打标粉尘
颗粒物
脉冲袋式除尘器
DA004、DA005、DA010
危废库废气
非甲烷总烃
二级活性炭吸附
DA006
塑封后固化废气
非甲烷总烃
二级活性炭吸附
DA009
测试废气
颗粒物
脉冲袋式除尘器
DA011
(2)废气污染源达标分析
1)有组织废气
本次评价收集了安徽世标检测技术有限公司于2023年7月3日-4日、10月30日-31日、2024年3月25日-26日对项目已建排气筒的监测数据。
现有已建工程废气达标排放情况分析见下表。
表2.4.2-4 有组织废气监测结果汇总表
采样日期
检测点位
检测项目
检测频次
废气流量
(Nm3/h)
实测浓度
(mg/m3)
排放速率
(kg/h)
2024.3.25
1#上芯、塑封废气排放口(DA001)
非甲烷总烃
第一次
10221
0.99
0.010
第二次
10501
1.03
0.011
第三次
10373
0.92
0.010
标准限值
/
70
3.0
达标情况
/
达标
达标
2024.3.26
非甲烷总烃
第一次
10515
0.95
0.010
第二次
10377
0.94
0.010
第三次
10545
0.94
0.010
标准限值
/
70
3.0
达标情况
/
达标
达标
2024.3.25
2#上芯、塑封废气排放口(DA002)
非甲烷总烃
第一次
13995
1.04
0.015
第二次
14022
1.06
0.015
第三次
13896
1.07
0.015
标准限值
/
70
3.0
达标情况
/
达标
达标
2024.3.26
非甲烷总烃
第一次
13420
1.05
0.014
第二次
13704
1.00
0.014
第三次
13788
1.00
0.014
标准限值
/
70
3.0
达标情况
/
达标
达标
2023.7.3
电镀废气排放口(DA003)
硫酸雾
第一次
16008
0.32
5.12×10-3
第二次
15894
0.35
5.56×10-3
第三次
15711
0.35
5.50×10-3
标准限值
/
5.0
1.1
达标情况
/
达标
达标
2023.7.4
硫酸雾
第一次
15541
0.35
5.44×10-3
第二次
15869
0.34
5.40×10-3
第三次
15842
0.37
5.86×10-3
标准限值
/
5.0
1.1
达标情况
/
达标
达标
2023.7.3
1#打标废气排放口(DA004)
烟(粉)尘
第一次
1041
<20
<0.021
第二次
1018
<20
<0.020
低浓度颗粒物
第三次
1037
1.5
1.56×10-3
标准限值
/
30
1.5
达标情况
/
达标
达标
2023.7.4
烟(粉)尘
第一次
992
<20
<0.020
第二次
967
<20
<0.019
低浓度颗粒物
第三次
965
1.4
1.35×10-3
标准限值
/
30
1.5
达标情况
/
达标
达标
2023.7.3
2#打标废气排放口(DA005)
烟(粉)尘
第一次
980
<20
<0.020
第二次
980
<20
<0.020
低浓度颗粒物
第三次
981
1.4
1.37×10-3
标准限值
/
30
1.5
达标情况
/
达标
达标
2023.7.4
烟(粉)尘
第一次
987
<20
<0.020
第二次
989
<20
<0.020
低浓度颗粒物
第三次
940
1.5
1.41×10-3
标准限值
/
30
1.5
达标情况
/
达标
达标
2023.10.30
危废库废气排放口(DA006)
非甲烷总烃
第一次
6122
1.90
0.012
第二次
6126
1.89
0.012
第三次
6391
1.91
0.012
标准限值
/
70
3.0
达标情况
/
达标
达标
2023.10.31
非甲烷总烃
第一次
6126
1.65
0.010
第二次
6172
1.66
0.010
第三次
5999
1.59
0.010
标准限值
/
70
3.0
达标情况
/
达标
达标
表2.4.2-5 油烟废气检测结果表
采样日期
检测点位
检测项目
检测频次
废气流量
(Nm3/h)
实测浓度
(mg/m3)
排放浓度
(mg/m3)
2023.7.4
食堂油烟净化器排口
油烟
第一次
4638
<0.1
<0.04
第二次
4569
<0.1
第三次
4705
<0.1
第四次
4883
<0.1
第五次
4619
<0.1
标准限值
2.0
达标情况
达标
根据监测结果表明,监测期间项目各有组织废气排放口中颗粒物、硫酸雾、非甲烷总烃的最大排放浓度均小于标准限值,符合原环评执行的上海市地方标准《大气污染物综合排放标准》(DB31/933-2015)表1标准限值要求。
2)无组织废气
现有工程无组织废气达标排放情况分析见下表。
表2.4.2-6 现有厂界无组织废气监测一览表
监测项目
监测
时段
2023.7.3
监测
时段
2023.7.4
G1
G2
G3
G4
G1
G2
G3
G4
非甲烷
总烃
第一次
0.62
1.01
1.18
1.06
第一次
0.62
0.87
1.16
0.96
第二次
0.65
1.03
1.22
1.05
第二次
0.71
0.93
1.11
0.91
第三次
0.63
1.01
1.19
1.00
第三次
0.83
0.94
1.15
0.86
最大浓度值
1.22
最大浓度值
1.16
标准限值
4.0
标准限值
4.0
达标情况
达标
达标情况
达标
硫酸雾
第一次
<0.005
<0.005
<0.005
<0.005
第一次
<0.005
<0.005
<0.005
<0.005
第二次
<0.005
<0.005
<0.005
<0.005
第二次
<0.005
<0.005
<0.005
<0.005
第三次
<0.005
<0.005
<0.005
<0.005
第三次
<0.005
<0.005
<0.005
<0.005
最大浓度值
<0.005
最大浓度值
<0.005
标准限值
0.3
标准限值
0.3
达标情况
达标
达标情况
达标
总悬浮
颗粒物
(μg/m3)
第一次
210
246
246
232
第一次
217
243
250
243
第二次
220
244
240
252
第二次
201
250
242
250
第三次
209
251
238
249
第三次
210
242
237
242
最大浓度值
252
最大浓度值
250
标准限值
0.5(mg/m3)
标准限值
0.5(mg/m3)
达标情况
达标
达标情况
达标
表2.4.2-7 厂区内无组织废气监测结果汇总表(单位:mg/m3)
采样日期
检测项目
检测频次
检测点位
3#厂房门窗外1m处
2023.7.3
非甲烷总烃
第一次
1.40
第二次
1.37
第三次
1.33
2023.7.4
非甲烷总烃
第一次
1.24
第二次
1.31
第三次
1.25
最大浓度值
1.40
标准限值
6.0
达标情况
达标
无组织废气监测结果分析评价:现有项目在监测期间,无组织废气中颗粒物、硫酸雾、非甲烷总烃的最大排放浓度值均小于标准限值,符合原环评执行的上海市地方标准《大气污染物综合排放标准》(DB31/933-2015)表3厂界大气污染物监控点浓度限值要求。厂区内无组织排放的非甲烷总烃(NMHC)浓度符合原环评执行的《挥发性有机物无组织排放控制标准》(GB37822-2019)中特别排放限值。食堂油烟符合原环评执行的《饮食业油烟排放标准》(GB18483-2001)中的相关标准。
(二)废水
现有项目废水包括生产废水与生活污水两部分。其中生产废水包括减薄磨片和划片工序产生的废水、电镀生产线产生的废水以及公用工程产生的废水。
现有项目纯水制备浓水部分回用于去溢料工序,其余直排进城北污水处理厂;
冷却系统置换废水直排进城北污水处理厂。
本项目设置了磨划片废水处理系统(处理规模300t/d,工艺为“pH调节+混凝沉淀+斜管沉淀”)和电镀废水处理系统(处理规模500t/d,工艺为“pH调节+重捕+絮凝沉淀”处理工艺)。
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投标 / 标书制作要点(原创)
本集成电路封装测试研发及产业化 环境影响报告文件承诺制涉及「招标采购公告」,投标方需重点关注:① 营业执照经营范围须含招标采购公告或对应服务类目;② 提供同类项目业绩证明;③ 报价方案与售后响应须明确;④ 紧盯投标截止与开标节点,建议提前完成标书制作与盖章。当地项目常要求本地化服务能力与快速响应,务必在投标文件中凸显。
标书制作联系冯经理:17551026086
