基础设施配套工程 集成电路探针卡生产基地招标采购公告（2025）
公示时间：报告书项目从即日起10个工作日，报告表项目从即日起5个工作日通信地址：南京市建邺区江东中路259号新城大厦联系人：南京市生态环境局联系电话/传真：025-68505125（政务大厅）/83630862
项目名字：浦口经济开发区产业园区基础设施配套工程一期工程环境影响报告表
建设地点：江苏省南京市浦口区桥林街道
建设单位：南京浦口经济开发区管理委员会
环评单位：南京绿创环境科技有限公司
附件1：
浦口经济开发区产业园区基础设施配套工程一期工程.pdf
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核技术利用建设项目南京云极芯半导体科技有限公司集成电路探针卡生产基地项目（辐射专项）环境影响报告表（公示版）南京云极芯半导体科技有限公司2025年6月750生态环境部监制核技术利用建设项目南京云极芯半导体科技有限公司集成电路探针卡生产基地项目（辐射专项）环境影响报告表（公示版）南京云极芯平导体科技有限公司2025年61生态环境部监制核技术利用建设项目南京云极芯半导体科技有限公司集成电路探针卡生产基地项目（辐射专项）环境影响报告表建设单位名称：南京云极芯半导体科技有限公司建设单位法人代表（签名或盖章）通讯地址：南京市浦口区浦口经济开发区百合路121号邮政编码联系人电子邮箱：联系电话：打印编号：1751334175000编制单位和编制人员情况表项目编号02z469建设项目名称南京云极芯半导体科技有限公司集成电路探针卡生产基地项目（辐射专项）建设项目类别55-172核技术利用建设项目环境影响评价文件类型报告表一、建设单位情况单位名称（盖章）南京云极芯半导体科技有限公司统一社会信用代码91320111MADBJIQQ5法定代表人（签章）陈刚主要负责人（签字）陈刚直接负责的主管人员（签字）滕茂海勝成海二、编制单位情况单位名称（盖章）南京瑞森辐射技术有限公司统一社会信用代码91320106694645355K三、编制人员情况1.编制主持人姓名职业资格证书管理号信用编号签字陈朝晖2014035320352013321405000117BH019830作朝2主要编制人员姓名主要编写内容信用编号签字郭文政表1项目基本情况表2放射源表3非密封放射性物质表4射线装置表5废弃物表6评价依据表7保护目标与评价标准表8环境质量与辐射现状BH051806部文欢陈朝晖表9项目工程分析与源项表10辐射安全与防护表11环境影响分析表12辐射安全管理表13结论与建议BH019830降钟第1968年12月1968年12月专业类别:专业类别:HP00014263HP00014263批准日期:批准日期:请使用官方江苏智慧人社APP扫描验证2014年05月2014年05月SignatureoftheBearerSignatureoftheBearer统一社会信用代码：91320106694645355K查询时间：202501-202506签发单位盖章：签发单位盖章IssuedbyIssuedby管理号:Issuedon管理号:Issuedon环评项目负责人职业资格证姓名:陈朝晖姓名:陈朝晖FullNameFullName性别:男性别:男江苏省社会保险权益记录单SexSex出生年月:出生年月:DateofBirthDateofBirthProfessionalTypeProfessionalTypeApprovalDateApprovalDate持证人签名:持证人签名：签发日期:年日09月04签发日期:年日月04201403532035201332140500011720142014035320352013321405000117201409FileNoFileNo（参保单位）参保单位全称：南京瑞森辐射技术有限公司现参保地：玄武区共1页，第1页单位参保险种养老保险工伤保险失业保险缴费总人数343434序号姓名公民身份号码（社会保障号）缴费起止年月缴费月数1郭文政202501-20250662陈朝晖202501-2025066说明：1.本权益单涉及单位及参保职工个人信息，单位应妥善保管。2.本权益单为打印时参保情况。3.本权益单已签具电子印章，不再加盖鲜章。4.本权益单记录单出具后有效期内（6个月），如需核对真伪，请使用江苏智慧人社APP，扫描右上方二维码进行验证（可多次验证）。：印时间：2025年6月23F目录表1项目基本情况............................................................................................................-1-表2放射源........................................................................................................................-5-表3非密封放射性物质....................................................................................................-5-表4射线装置....................................................................................................................-6-表5废弃物（重点是放射性废弃物）............................................................................-7-表6评价依据....................................................................................................................-8-表7保护目标与评价标准..............................................................................................-11-表8环境质量和辐射现状..............................................................................................-14-表9项目工程分析与源项..............................................................................................-19-表10辐射安全与防护....................................................................................................-24-表11环境影响分析........................................................................................................-33-表12辐射安全管理........................................................................................................-43-表13结论与建议............................................................................................................-48-表14审批........................................................................................................................-54-附图1南京云极芯半导体科技有限公司集成电路探针卡生产基地项目（辐射专项）地理位置示意图...................................................................................................................-55-附图2南京云极芯半导体科技有限公司所在园区平面布置及周围环境示意图.......-56-附图3南京云极芯半导体科技有限公司QC区域平面布置及周围环境示意图........-57-附图4紫峰研创中心C区园区A3栋厂房一楼平面布置及周围环境示意图............-58-附图5紫峰研创中心C区园区A3栋厂房二楼平面布置及周围环境示意图............-59-附图6紫峰研创中心C区园区A3栋厂房地下一楼平面布置及周围环境示意图....-60-附件1公司营业执照及项目委托书...............................................................................-61-附件2射线装置使用承诺书...........................................................................................-63-附件3厂房租赁框架协议...............................................................................................-64-附件4本项目投资备案证...............................................................................................-70-附件5本项目工业X射线CT装置相关参数信息........................................................-82-附件6本项目辐射环境现状监测报告...........................................................................-85-附件7监测单位检验检测机构资质认定证书...............................................................-90-附件8江苏省生态环境分区管控综合查询报告书.......................................................-93-表1项目基本情况建设项目名称南京云极芯半导体科技有限公司集成电路探针卡生产基地项目（辐射专项）建设单位南京云极芯半导体科技有限公司（统一社会信用代码法人代表姓名联系人联系电话注册地址南京市浦口区浦口经济开发区百合路121号项目建设地点南京市浦口区百合路161号A3栋厂房一楼立项审批部门南京市浦口区政务服务管理办公室批准文号建设项目总投资（万元）项目环保总投资（万元）投资比例（环保投资/总投资）项目性质新建□改建□扩建□其他占地面积（m2）/应用类型放射源□销售□Ⅰ类□Ⅱ类□Ⅲ类□Ⅳ类□Ⅴ类使用Ⅰ类（医疗使用）□Ⅱ类Ⅲ类□Ⅳ类□Ⅴ类非密封放射性物质□生产□制备PET用放射性药物□销售/使用□乙丙射线装置□生产□Ⅱ类□Ⅲ类□销售□Ⅱ类□Ⅲ类使用Ⅱ类Ⅲ类其他/项目概述：一、建设单位基本情况、项目建设规模及由来南京云极芯半导体科技有限公司成立于2024年2月，位于南京市浦口区浦口经济开发区百合路121号。公司主要经营范围：半导体器件专用设备制造；半导体器件专用设备销售；电子专用设备制造；电子专用设备销售；集成电路制造；集成电路销售；集成电路芯片及产品制造；集成电路芯片设计及服务；集成电路设计等。-1-为了扩展公司产线，提高产能，规范生产流程，南京云极芯半导体科技有限公司拟在南京市浦口区百合路161号紫峰研创中心C区园区租赁A3栋厂房（一楼、二楼及地下室）及A6栋楼（A3栋为厂房生产车间，A6栋为库房），并将A3栋厂房租赁场地改造成生产厂房及相关动力辅助用房，从事集成电路探针卡生产活动。南京云极芯半导体科技有限公司《集成电路探针卡生产基地项目环境影响报告表》已于2024年9月25日获得了南京市浦口区政务服务管理办公室核准的投资备案证，备案证号：浦政服备〔2024〕326号，项目代码为2402-320111-89-01-883125；于2025年1月22日取得南京市生态环境局的批复文件，文号为：宁环（浦）建[2025]5号。项目立项文件、一般项目环评相关内容及批复文件见附件4。本次评价内容为集成电路探针卡生产基地项目中的辐射专项，即南京云极芯半导体科技有限公司拟在A3栋厂房一楼生产车间QC区域检测间内配备1台工业X射线CT装置（型号：X-eyeSF160FCT型，最大管电压为160kV，最大管电流0.2mA），该检测装置以160kVX射线管为射线源，本项目工业X射线CT装置产品说明书见附件5。本项目工业X射线CT装置具有制式型号，属于具备计算机断层扫描（CT）功能的自屏蔽式X射线探伤装置，根据《射线装置分类》，界定为“工业用X射线计算机断层扫描（CT）装置”，II类射线装置。为保护环境和公众利益，防止辐射污染，根据《中华人民共和国环境影响评价法》《中华人民共和国放射性污染防治法》《建设项目环境保护管理条例》《放射性同位素与射线装置安全和防护条例》《放射性同位素与射线装置安全许可管理办法》等法律法规的规定，南京云极芯半导体科技有限公司集成电路探针卡生产基地项目（辐射专项）需进行环境影响评价。受南京云极芯半导体科技有限公司的委托，南京瑞森辐射技术有限公司承担了该单位集成电路探针卡生产基地项目（辐射专项）的环境影响评价工作。依照《建设项目环境影响评价分类管理名录》（生态环境部令第16号，2021年版），本项目为新增1台工业X射线CT装置，属于“172核技术利用建设项目”中的“使用Ⅱ类射线装置的”项目，确定为编制环境影响报告表。南京瑞森辐射技术有限公司在资料调研、项目工程分析、现场勘察及现场监测等工作的基础上，编制了该项目环境影响报告表。南京云极芯半导体科技有限公司集成电路探针卡生产基地项目（辐射专项）情况见下表：-2-表1本次核技术应用情况一览表射线装置射线装置名称型号数量最大管电压（kV）最大管电流（mA）射线装置类别工作场所名称活动种类环评手续履行情况备注工业X射线CT装置（X-eyeSF160FCT）11600.2mAⅡ类A3栋厂房一楼生产车间QC区域检测间内使用本次环评/人员配置：本项目拟配置辐射工作人员2人，为新增辐射工作人员。工作制度：本项目投入运行后预计每天出束时间不超过2h，每周不超过10h，年检测总时间不超过500h。二、项目选址情况南京云极芯半导体科技有限公司集成电路探针卡生产基地项目位于南京市浦口区百合路161号紫峰研创中心C区园区内A3栋厂房（由于紫峰研创中心C区园区非正东西方向布局，为便于描述，文中涉及方位描述时均以百合路为正东西走向进行描述），紫峰研创中心C区东侧为紫峰研创中心2期，南侧为南京高端交通装备新技术研究院、南京研华智能科技有限公司及南京斌荣建设工程有限公司，西侧为听莺路及南京恒坤砼预制品有限公司，北侧为百合路。本项目地理位置示意见附图1。紫峰研创中心C区园区内A3栋厂房，为地上五层、地下一层建筑。A3栋厂房东侧为园区道路及A4栋厂房，南侧和西侧均为园区道路及园区边界围墙，北侧为园区道路及A1栋综合楼。紫峰研创中心C区园区周围环境示意图见附图2。本次新增1台工业X射线CT装置位于A3栋厂房一楼生产车间QC区域检测间内，QC区域东侧为易燃气体间，南侧为回风夹道及洁净物流通道，西侧为生产车间CMP1区域，北侧为回风夹道、仓库（warehouse）及缓冲区，楼上为装配/测试车间（Assy/Test），楼下为消防水泵房。本项目选址合理。A3栋厂房一楼生产车间、楼上及楼下平面布置示意图见附图3至图附图6。本次新增1台工业X射线CT装置周围50m评价范围均位于园区范围内，无学校、居民区等环境敏感目标，项目运行后的环境保护目标主要为本项目辐射工作人员、A1栋综合楼、A3栋厂房、A4栋厂房及园区内道路其他工作人员及周围公众等。三、实践正当性分析南京云极芯半导体科技有限公司本次于A3栋厂房一楼生产车间QC区域检测间内新增的1台X-eyeSF160FCT型工业X射线CT装置，能够为公司交付给客户高质-3-量的产品提供了保障，在业界能为公司带来良好的口碑和经济效益。本项目的运行，经辐射防护屏蔽和安全管理后，其建设和运行对受照个人或社会所带来的利益能够弥补其可能引起的辐射危害，符合《电离辐射防护与辐射源安全基本标准》（GB18871-2002）“实践的正当性”的原则。四、原有核技术利用项目许可情况南京云极芯半导体科技有限公司尚未开展过核技术利用项目，未取得辐射安全许可证。本项目属于新建项目，是公司首次开展核技术利用项目。-4-表2放射源序号核素名称总活度（Bq）/活度（Bq）×枚数类别活度种类用途使用场所贮存方式与地点备注//////////注：放射源包括放射性中子源，对其要说明是何种核素以及产生的中子流强度（n/s）表3非密封放射性物质序号核素名称理化性质活动种类实际日最大操作量（Bq）日等效最大操作量（Bq）年最大用量（Bq）用途操作方式使用场所贮存方式与地点///////////注：日等效最大操作量和操作方式见《电离辐射防护与辐射源安全基本标准》（GB18871-2002）。-5-表4射线装置（一）加速器：包括医用、工农业、科研、教学等用途的各种类型加速器序号名称类别数量型号加速粒子最大能量（MeV）额定电流（mA）/剂量率（Gy/h）用途工作场所备注///////////（二）X射线机，包括工业探伤、医用诊断和治疗、分析等用途序号名称类别数量型号最大管电压（kV）最大管电流（mA）用途工作场所备注1工业X射线CT装置Ⅱ类1X-eyeSF160FCT型1600.2mA无损检测A3栋厂房一楼生产车间QC区域检测间内///////////（三）中子发生器，包括中子管，但不包括放射性中子源序号名称类别数量型号最大管电压（kV）最大靶电流（μA）中子强度（n/s）用途工作场所氚靶情况备注活度（Bq）贮存方式数量//////////////-6-表5废弃物（重点是放射性废弃物）名称状态核素名称活度月排放量年排放总量排放口浓度暂存情况最终去向臭氧和氮氧化物气态//微量微量/不暂存通过检测装置开关工件门排到检测装置所在车间内，再通过车间的新风系统进入大气，臭氧在常温下约50min左右可自行分解为氧气，对环境影响较小。/////////注：1.常规废弃物排放浓度，对于液态单位为mg/L，固体为mg/kg，气态为mg/m3；年排放总量用kg。2.含有放射性的废物要注明，其排放浓度、年排放总量分别用比活度（Bq/L或Bq/kg或Bq/m3）和活度（Bq）。-7-表6评价依据法规文件（1）《中华人民共和国环境保护法》（修订版），2015年1月1日起实施；（2）《中华人民共和国环境影响评价法》（2018年修正版），2018年12月29日发布施行；（3）《中华人民共和国放射性污染防治法》，2003年10月1日起实施；（4）《放射性同位素与射线装置安全和防护条例》，国务院令第449号，2005年12月1日起施行；2019年修改，国务院令第709号，2019年3月2日施行；（5）《建设项目环境保护管理条例》（修订版），国务院令第682号，2017年10月1日发布施行；（6）《放射性同位素与射线装置安全许可管理办法》（2021年修正本），生态环境部令第20号，2021年1月4日起施行；（7）《建设项目环境影响评价分类管理名录》（2021年版），生态环境部令第16号，2021年1月1日起施行；（8）《放射性同位素与射线装置安全和防护管理办法》，环保部令第18号，2011年5月1日起施行；（9）《关于发布〈射线装置分类〉的公告》，环境保护部、国家卫生和计划生育委员会，公告2017年第66号，2017年12月5日起施行；（10）《江苏省辐射污染防治条例》（2018年修正本），江苏省第十三届人民代表大会常务委员会第二次会议，2018年5月1日起实施；（11）《关于建立放射性同位素与射线装置事故分级处理报告制度的通知》，国家环保总局，环发[2006]145号，2006年9月26日起施行；（12）《关于发布配套文件的公告》，生态环境部公告2019年第38号，2019年10月25日发布；（13）《关于启用环境影响评价信用平台的公告》，生态环境部公告2019年第39号，2019年10月25日发布；（14）《关于核技术利用辐射安全与防护培训和考核有关事项的公告》，生态环境部公告2019年第57号，2019年12月24日发布，2020年1月1日起施法规文件行；（15）《建设项目环境影响报告书（表）编制监督管理办法》，生态环境部令第9号，2019年11月1日起施行；（16）《省政府关于印发江苏省国家级生态保护红线规划的通知》，苏政发〔2018〕74号，2018年6月9日发布；（17）《省政府关于印发江苏省生态空间管控区域规划的通知》，苏政发〔2020〕1号，2020年1月8日发布；（18）《江苏省2023年度生态环境分区管控动态更新成果公告》（江苏省生态环境厅2024年6月13日发布）；（19）《江苏省自然资源厅关于南京市浦口区2023年度生态空间管控区域调整方案的复函》（苏自然资函〔2023〕1003号）；（20）《省生态环境厅关于进一步做好建设项目环境影响报告书（表）编制单位监管工作的通知》，苏环办〔2021〕187号，2021年5月28日发布；（21）《江苏省辐射事故应急预案》（2020年修订版），苏政办函〔2020〕26号，2020年2月19日发布。技术标准（1）《电离辐射防护与辐射源安全基本标准》（GB18871-2002）；（2）《电离辐射监测质量保证通用要求》（GB8999-2021）；（3）《工业探伤放射防护标准》（GBZ117-2022）（参考）；（4）《工业X射线探伤室辐射屏蔽规范》（GBZ/T250-2014）及其1号修改单；（5）《职业性外照射个人监测规范》（GBZ128-2019）；（6）《辐射环境保护管理导则核技术利用建设项目环境影响评价文件的内容和格式》（HJ10.1-2016）；（7）《建设项目环境影响评价技术导则总纲》（HJ2.1-2016）；（8）《辐射环境监测技术规范》（HJ61-2021）；（9）《环境γ辐射剂量率测量技术规范》（HJ1157-2021）。其他附图：（1）南京云极芯半导体科技有限公司集成电路探针卡生产基地项目（辐射专项）地理位置示意图；其他（2）南京云极芯半导体科技有限公司所在园区平面布置及周围环境示意图；（3）南京云极芯半导体科技有限公司QC区域平面布置及周围环境示意图；（4）紫峰研创中心C区园区A3栋厂房一楼平面布置及周围环境示意图：（5）紫峰研创中心C区园区A3栋厂房二楼平面布置及周围环境示意图；（6）紫峰研创中心C区园区A3栋厂房地下一楼平面布置及周围环境示意图。附件：（1）公司营业执照及项目委托书；（2）射线装置使用承诺书；（3）厂房租赁框架协议；（4）本项目投资备案证（5）本项目工业X射线CT装置相关参数信息；（6）本项目辐射环境现状监测报告；（7）监测单位检验监测机构资质认定证书；（8）江苏省生态环境分区管控综合查询报告书。-10-表7保护目标与评价标准评价范围根据《辐射环境保护管理导则核技术利用建设项目环境影响评价文件的内容和格式》（HJ10.1-2016）中“放射源和射线装置应用项目的评价范围，通常取装置所在场所实体屏蔽物边界外50m的范围”的规定，结合本项目的特点，确定本项目评价范围为本次新增1台工业X射线CT装置屏蔽体外周围50m范围内区域，评价范围详见附图2。保护目标本项目评价范围内不涉及国家公园、自然保护区、风景名胜区、世界文化和自然遗产地、海洋特别保护区、饮用水水源保护区等环境敏感区。根据《自然资源部生态环境部国家林业和草原局关于加强生态保护红线管理的通知（试行）》（自然资发〔2022〕142号）、《生态环境分区管控管理暂行规定》（环环评〔2024〕41号）和《江苏省2023年度生态环境分区管控动态更新成果公告》（江苏省生态环境厅2024年6月13日发布）要求，经江苏省生态环境厅江苏省生态环境分区管控综合服务系统查询，本项目所在地块位于南京浦口经济开发区重点管控单元（编码：ZH32011120196）内，不在南京市生态保护红线内，评价范围内也不涉及优先保护单元和一般管控单元。对照《环境影响评价技术导则生态影响》（HJ19-2022），本项目评价范围内不涉及受影响的重要物种、生态敏感区以及其他需要保护的物种、种群、生物群落及生态空间等生态保护目标。本项目拟建址周围50m评价范围均位于园区范围内，无学校、居民区等环境敏感目标，项目运行后的环境保护目标主要为本项目辐射工作人员、A1栋综合楼、A3栋厂房、A4栋厂房及园区内道路其他工作人员及周围公众等。详见表7-1。表7-1本项目保护目标一览表保护对象类型场所方位/位置距本项目最近距离人口规模环境保护要求辐射工作人员A3栋厂房一楼质检车间工业X射线CT装置屏蔽体外操作台紧邻2人职业人员剂量约束值5mSv/a评价范围内公众公司其他工作人员A3栋厂房一楼（生产车间）CT装置四周约1m15人公众人员剂量约束值0.1mSv/aA3栋厂房地下一楼CT装置所在楼约5m流动人员-11-（废水站、纯水站、软水制备区域等）层下方A3栋厂房二楼（生产车间）CT装置所在楼层上方约7m20人园区内公众A3栋厂房地下一楼（其他公众区域）约5m流动人员A3栋厂房三楼（闲置楼层）约14m20人A3栋厂房四楼（闲置楼层）约21m15人A3栋厂房五楼（闲置楼层）约28m15人园区道路A3栋厂房东侧约10m流动人员A4栋厂房约25m20人园区道路A3栋厂房南侧约30m流动人员园区道路A3栋厂房北侧约20m流动人员A1栋综合楼约35m30人本项目的建设符合江苏省“三线一单”生态环境分区管控要求。评价标准一、《电离辐射防护与辐射源安全基本标准》（GB18871-2002）：工作人员职业照射和公众照射剂量限值对象要求应对任何工作人员的职业照射水平进行控制，使之不超过下述限值：①由审管部门决定的连续5年的年平均有效剂量，20mSv②任何一年中的有效剂量，50mSv③眼晶体的年当量剂量，150mSv④四肢（手和足）或皮肤的年当量剂量，500mSv实践使公众有关关键人群组的成员所受的平均剂量估计值不应超过下述限值：①年有效剂量，lmSv；②特殊情况下，如果5个连续年的年平均剂量不超过lmSv，则某一单一年份的有效剂量可提高到5mSv。剂量约束值通常应在公众照射剂量限值10%～30%（即0.1mSv/a～0.3mSv/a）的范围之内，但剂量约束值得使用不应该取代最优化要求，剂量约束值只能作为最优化值得上限。二、《工业探伤放射防护标准》（GBZ117-2022）：6.1.3探伤室墙体和门的辐射屏蔽应同时满足：a)关注点的周围剂量当量参考控制水平，对放射工作场所，其值应不大于100μSv/周，对公众场所，其值应不大于5μSv/周；b)屏蔽体外30cm处周围剂量当量率参考控制水平应不大于2.5μSv/h。6.1.4探伤室顶的辐射屏蔽应满足：a)探伤室上方已建、拟建建筑物或探伤室旁邻近建筑物在自辐射源点到探伤室顶内表面边缘所张立体角区域内时，探伤室顶的辐射屏蔽要求同6.1.3；b)对没有人员到达的探伤室顶，探伤室顶外表面30cm处的周围剂量当量率参考控制水平通常可职业照射剂量限值公众照射剂量限值-12-取100μSv/h。三、辐射评价标准限值（一）综合考虑《电离辐射防护与辐射源安全基本标准》（GB18871-2002）和《工业探伤放射防护标准》（GBZ117-2022）确定本项目剂量约束值为：职业人员年有效剂量为5mSv，公众年有效剂量为0.1mSv。（二）关注点的周围剂量当量参考控制水平，对放射工作场所，其值应不大于100μSv/周，对公众场所，其值应不大于5μSv/周；（三）屏蔽体外30cm处周围剂量当量率参考控制水平应不大于2.5μSv/h（由于本项目检测装置位于厂房一楼，且该厂房为地上五层建筑，故根据GBZ117-2022中6.1.4a）条款，对检测装置屏蔽顶部外30cm处周围剂量当量率目标控制水平保守取2.5μSv/h）。四、参考资料：（一）《辐射防护导论》，方杰主编。（二）《江苏省环境天然贯穿辐射水平调查研究》（辐射防护第13卷第2期，1993年3月），江苏省环境监测站。江苏省环境天然γ辐射（空气吸收）剂量率（单位：nGy/h）原野剂量率道路剂量率室内剂量率测量范围33.1~72.618.1~102.350.7~129.4均值50.447.189.2标准差（s）7.012.314.0注：测量值已扣除宇宙射线响应值，评价时采用“测值范围”作为辐射现状评价的参考数值。-13-表8环境质量和辐射现状环境质量和辐射现状一、项目位置、布局和周边环境本次新增1台工业X射线CT装置位于A3栋厂房一楼生产车间QC区域检测间内，厂房改造完成后：QC区域东侧为易燃气体间，南侧为回风夹道及洁净物流通道，西侧为生产车间CMP1区域，北侧为回风夹道、仓库（warehouse）及缓冲区，楼上为装配/测试车间（Assy/Test），楼下为消防水泵房。本次新增1台工业X射线CT装置周围50m评价范围均位于园区范围内，无学校、居民区等环境敏感目标，项目运行后的环境保护目标主要为本项目辐射工作人员、A1栋综合楼、A3栋厂房、A4栋厂房及园区内道路其他工作人员及周围公众等。项目选址合理可行。本项目拟建址周边环境现状见图8-1～图8-4。图8-1本项目拟建址及周围环境（A3栋厂房图8-2本项目拟建址及周围环境（A3栋厂房一楼）一楼）图8-3本项目拟建址上方环境（A3栋厂房二图8-4本项目拟建址下方环境（A3栋厂房地楼）下一楼）-14-二、辐射环境现状调查根据《环境γ辐射剂量率测量技术规范》（HJ1157-2021）相关方法和要求，在进行环境现场调查时，于本次新增1台工业X射线CT装置拟建址周围进行布点，测量本底辐射剂量率。监测结果见表8-1，监测点位示意图见图8-5。监测单位：南京瑞森辐射技术有限公司检测仪器：6150AD6/H+6150AD-b/H型X-γ辐射监测仪（设备编号：NJRS-126，检定有效期：2024年10月28日～2025年10月27日，检定单位：江苏省计量科学研究院，检定证书编号：Y2024-0107802）能量范围：20keV～7MeV测量范围：1nSv/h～99.9µSv/h监测日期：2025年2月26日天气：晴温度：15℃湿度：41%RH监测布点：根据《辐射环境监测技术规范》（HJ61-2021）有关布点原则进行布点。质量控制：本项目监测单位南京瑞森辐射技术有限公司已通过检验检测机构资质认定（见附件7），具备有相应的检测资质和检测能力，监测按照南京瑞森辐射技术有限公司《质量管理手册》和《辐射环境监测技术规范》（HJ61-2021）的要求，实施全过程质量控制。数据记录及处理：开机预热，手持仪器。保持仪器探头中心距离地面（基础面）为1m。仪器读数稳定后，每个点位读取10个数据，读取间隔不小于10s。每组数据计算每个点位的平均值并计算标准差。环境γ辐射剂量率测量结果按照《辐射环•••D=C（EX−μXc\'）境监测技术规范》（HJ61-2021）中公式ffcc计算，其中，Cf为仪器•量程检定/校准因子；Ef为仪器检验源效率因子；X为现场监测时仪器n次读数的平μ均值（n≥10）；c为建筑物对宇宙射线带电粒子和光子的屏蔽因子，楼房取0.8，原•野、道路取1；Xc\'为测点处仪器对宇宙射线的响应值，取25nGy/h。-15-监测人员、监测仪器及监测结果：监测人员均经过考核，监测仪器经过计量部门检定，并在有效期内，监测仪器使用前经过检验，监测报告实行三级审核。评价方法：参照江苏省环境天然γ辐射水平调查研究结果，评价项目周围的辐射环境质量。表8-1新增工业X射线CT装置项目拟建址周围γ辐射剂量率测点编号测点描述测量结果（nGy/h）备注1新增工业X射线CT装置项目拟建址53室内（楼房）2新增工业X射线CT装置项目拟建址东侧54室内（楼房）3新增工业X射线CT装置项目拟建址南侧51室内（楼房）4新增工业X射线CT装置项目拟建址西侧51室内（楼房）5新增工业X射线CT装置项目拟建址北侧56室内（楼房）6新增工业X射线CT装置项目拟建址楼上65室内（楼房）7新增工业X射线CT装置项目拟建址楼下58室内（楼房）8A3栋厂房东侧（A4栋厂房旁道路）54道路9A3栋厂房南侧（园区道路）56道路10A3栋厂房西侧（园区道路）52道路11A3栋厂房北侧（A1栋综合楼旁道路）47道路注：1、测量数据已扣宇宙响应值；2、监测点位见图8-5。-16-火墙5理中区PVC快专3600X300BM28302气易燃气体间西类法净生产车间甲类）00千级）委火>3h8SMF1（千级）丙类洁净生产车间1新进洁净物流通道Y）3上方（03栋厂房二楼）6下方（03栋厂房地下一层）7图例.y辐射剂量率检测点位图例辐射剂量率检测点位图8-5新增1台工业X射线CT装置项目拟建址周围环境y辐射监测点位示意图-17由表8-1监测结果可知，南京云极芯半导体科技有限公司本次新增1台工业X射线CT装置项目室内（1#~7#点位）周围环境天然γ辐射剂量率在（51～65）nGy/h之间，属江苏省建筑物室内γ辐射（空气吸收）剂量率测值范围（50.7～129.4）nGy/h；室外道路（8#~11#点位）周围环境γ辐射剂量率分别为（47～56）nGy/h，属江苏省道路γ辐射（空气吸收）剂量率本底水平（18.1～102.3）nGy/h，本项目监测点位均位于江苏省环境天然γ辐射水平测值范围，属正常水平。-18-表9项目工程分析与源项工程设备与工艺分析一、工程设备因发展需要，南京云极芯半导体科技有限公司拟在A3栋厂房一楼生产车间QC区域检测间内配备1台工业X射线CT装置（型号：X-eyeSF160FCT型，最大管电压为160kV，最大管电流0.2mA），以便更好地控制产品质量，加强产品检验力度。公司拟配备的X-eyeSF160FCT型工业X射线CT装置主要由X射线源、X射线成像探测器、样品台、图像采集系统、显示器、操作台等组成，采用铅板以屏蔽体的方式进行辐射防护，装置外形尺寸为：1450mm（长）×1340mm（宽）×1660mm（高）。检测装置左右两侧面均设置有维修盖板（见图9-1），当设备出现故障时，可拆开维修盖板进行维护检修。为了清晰描述工业X射线CT装置各面情况，本项目将装置观察窗所在面定义为装置正面，面向装置正面，左手边为装置左面，以此类推。本项目新增X-eyeSF160FCT型工业X射线CT装置中X射线管位于装置内部中心偏下，并在X射线管上方安装有准直器，X射线初始夹角为140°，为避免线束散射线影响成像质量，故需安装准直器，经准直器后，X射线照射到样品的夹角为40°。X射线管安装固定后不可移动，其中X射线管距装置底部屏蔽体约760mm，距顶部屏蔽体约900mm，距左侧面和右侧面屏蔽体均约为670mm，距正面和背面屏蔽体均约为725mm。载物台可绕竖直轴旋转360°，载物台可前后左右方向平面移动，其中前后方向运动路径约为400mm，左右方向运动路径约为460mm。探测器可上下运动，运动路径约为200mm，且探测器可左右倾斜运动，最大倾角为70°。本项目拟新增工业X射线CT装置外观图见图9-1。-19-工件门显示器维修盖板观察窗显示器操作台维修盖板图9-1本项X-eyeSF160FCT型工业X射线CT装置外观图本项目检测装置CT功能通过CBCT成像方式实现：①将待检样品固定在CT旋转轴上；②在CT扫描过程中，检测样品绕水平轴竖直旋转360°并按照设定旋转角度捕捉2D图像；③根据获取的2D图像，通过三维重构算法，重构为三维立体信息。图9-2本项目X-eyeSF160FCT型工业X射线CT装置CT模式实现示意图南京云极芯半导体科技有限公司拟为本项目配备1名辐射安全管理人员和2名辐射工作人员，为公司新增辐射工作人员，参加辐射安全和防护专业知识及相关法律法规的学习及培训，且考核合格后上岗。根据公司目前生产状况及检测需求，投入运行后预计每天出束累计时间不超过2h，每周不超过10h，年检测总时间不超过500h。-20-二、工作原理及工作流程（一）工作原理工业X射线CT装置核心部件是X射线管。它是一个内真空的玻璃管，其中一端是作为电子源的阴极，另一端是嵌有靶材料的阳极。当两端加有高压时，阴极的灯丝热致发射电子。由于阴极和阳极两端存在电位差，电子向阳极运动，形成静电式加速，获取能量。具有一定动能的高速运动电子，撞击靶材料，产生X射线。灯丝阴极阳极图9-3X射线管示意图本项目工业X射线CT装置由X射线源、X射线成像探测器、样品台、图像采集系统、三维图像重建、显示器、操作台等部件组成。在X射线无损检测工程中，由于被检测工件内部结构密度不同，其对射线的阻挡能力也不一样，物质的密度越大，射线强度衰减越大。而当工件内部存在缺陷时，射线穿过有缺陷的路径比没有缺陷的路径透过的物质密度要小得多，其强度减弱较小，即穿透的射线强度较大，透射X射线被图像增强器所接收，图像增强器把不可见的X射线检测信息转换为电子图像并经增强后变成视频图像信号传输至控制台，在监视器上实时显示。通过移动工件来获得不同角度的投影，用复杂的计算层析技术，将获得的各个角度的投影进行重建，得到被测工件的三维立体结构图，就可以判定工件内部的缺陷和结构。（二）工作流程本项目拟配备的X-eyeSF160FCT型工业X射线CT装置属于Ⅱ类射线装置，非工作状态时不产生X射线，进行检测工作时接通设备高压，发射X射线。本项目辐射工作人员将待检测产品（本项目待检测产品为晶圆，直径约为8寸）放入检测装置，利用被检测材料对X射线吸收后在透射处成像的原理，采用X射线对待检测工件进行透照，并在设备外部连接的显示器上观察、分析被检测件的内部缺陷。工作流程如下：1、工作前检查（确认安全联锁设置、报警装置及警示装置均正常运行）；-21-2、打开主控开关，按下电源开关按钮，设备启动进入待检状态；3、辐射工作人员将待检工件放置在装置在载物台上；4、防护门关闭后进行开机出束检测（此环节产污：X射线、微量的O3和NOx）；5、停止出束，辐射工作人员通过显示器上的成像分析，给出检测结果；6、检测完成后，辐射工作人员取出检测工件。工业X射线CT装置工作流程及产污环节如图9-4中所示。工作前检查射线自动检受检工件放置（安全联锁、报警装X查装置开机在载物台上置及警示装置等）X射线；微量的防护门关闭后，开O3及NOx机出束检测取出检测工件停止出束，给出检测结果出束时，显示器实时成像图9-4工业X射线CT装置工作流程及产污环节示意图污染源项描述一、放射性污染本项目拟配备的工业X射线CT装置，型号为X-eyeSF160FCT型，最大管电压为160kV，最大管电流为0.2mA，最大功率为32W。由工业X射线CT装置工作原理可知，X射线管只有在开机并处于出束状态时（曝光状态）才会发出X射线，对装置周围的工作人员和公众产生一定外照射，因此X射线管在开机曝光期间，X射线是本项目主要污染物。本项目工业CT检测装置主射线和散射线距辐射源点（靶点）1m处输出量，取值参考《工业X射线探伤室辐射屏蔽规范》（GBZ/T250-2014）中的附录表B.1，根-22-据建设单位提供资料显示固有过滤片为2mm的铝，通过插值取得160kV时距辐射源点（靶点）1m处输出量约为20.38×6×104μSv·m2/（mA·h）。靶点1m处X射线管组装体的泄漏辐射剂量率，查《工业探伤放射防护标准》（GBZ117-2022）表1，取2.5×103µSv/h二、非放射性污染（一）废气：工业X射线CT装置在工作状态时，会使空气电离产生微量的臭氧（O3）和氮氧化物（NOx），少量臭氧和氮氧化物在装置工作时通过开关工件门进行换气，然后通过检测装置所在车间的新风系统进行通风，臭氧常温下约50min可自行分解为氧气，对周围环境空气质量影响较小。（二）废水：主要是工作人员产生的生活污水，将进入园区污水处理系统，处理达标后排入城市污水管网，对周围环境影响较小。（三）固体废物：主要是工作人员产生的生活垃圾，分类收集后，将交由城市环卫部门处理，对周围环境影响较小。-23-表10辐射安全与防护项目安全措施一、工作场所布局及分区南京云极芯半导体科技有限公司集成电路探针卡生产基地项目位于南京市浦口区百合路161号紫峰研创中心C区园区内A3栋厂房。本次新增1台工业X射线CT装置位于A3栋厂房一楼生产车间QC区域检测间内，X射线CT装置周围50m评价范围均位于园区范围内，无学校、居民区等环境敏感目标，项目运行后的环境保护目标主要为本项目辐射工作人员、A1栋综合楼、A3栋厂房、A4栋厂房及园区内道路其他工作人员及周围公众等。布局合理性：本项目工业X射线CT装置设有检测铅房和操作台，工业X射线CT装置有用线束向上，操作台设于检测铅房正面的外侧，检测铅房通过内嵌铅板及钢板对X射线进行屏蔽。仪器运行时，操作人员在检测室外的操作台对装置进行操作。生产车间QC区域及周围环境平面布置示意图见图10-1。本项目操作台避开有用线束照射方向并与检测铅房分开设置，满足《工业探伤放射防护标准》（GBZ117-2022）中关于操作室与探伤室分开设置的要求，本项目布局合理。辐射防护分区：本项目将检测铅房（壳体）实体范围内作为控制区，检测铅房外表面至检测间实体墙体范围作为监督区，监督区入口处设置监督区标牌（提示：无关人员禁止入内）。监督区范围除工作人员外，其他无关人员不得入内操作。两区划分示意图见图10-1。本项目辐射防护分区符合《电离辐射防护与辐射源安全基本标准》（GB18871-2002）中关于辐射工作场所的分区管理要求。-24-风来warehouse（千级)道中柱式不锈铜吉净螺旋钢梯丙类洁净生产车间参15J401专业厂家源化设计安装F11缓冲区PVC快速卷帘门3600X3000mm田丰疏散螺蜒梯OBM2830回风夹道耐火极限>3h提升机500kg回SFJM1315监督区氢气CMP1(千级)图10-1本项目生产车间QC区域平面布局及分区示意图易燃气体间丙类洁净生产车间甲类）丙类洁净生产车间中00板以屏蔽体的方式进行辐射防护，装置外形尺寸为：1450mm（长）×1340mm0C（千级）风委（宽）×1660mm（高），装置屏蔽措施设计示意图见图10-2，具体屏蔽设计参数见表盖来新增泄爆做法详见图集回凤央道防雨百洁净物流通道BM2524BM2524回星高台作操防火墙检测间控制区1m比例尺二、辐射防护屏蔽设计本项目拟配备的1台工业X射线CT装置，型号为X-eyeSF160FCT型，采用铅10-1。（屏蔽设计补充：①工件门与四周屏蔽主体的搭接处皆采用5mm铅板+4mm钢板作为补偿防护措施，门与屏蔽主体之间搭接距离大于2mm，间隙小于0.2mm，则门与屏蔽主体之间间隙与搭接比值小于1/10，可有效防止门缝处射线泄漏；②线缆穿孔位于装置右侧面下方，穿孔处覆盖L型铅防护罩，其材质为5mm铅板，与该侧面屏蔽厚度一致，可有效防止射线泄漏。-25-166FCT维修盖板设备前维修盖板主视图右视图设备顶部：m钢板+设备左侧面：5mmPb+4mm钢板设备前面维修盖板左视图穿线孔在装置铅房内设计图0摄铅房外侧装装置置芷背面面方方位位铅房内侧穿线孔设计示意图图10-2本项目工业X射线CT装置屏蔽措施设计示意图表10-1X-eyeSF160FCT型工业X射线CT装置屏蔽体设计参数-26序号防护参数*备注1装置前侧面屏蔽体（工件门）5mm铅板+4mm钢板/2观察窗5mmPb当量/3装置背侧面屏蔽体5mm铅板+4mm钢板/4装置左侧面屏蔽体5mm铅板+4mm钢板/5装置右侧面屏蔽体5mm铅板+4mm钢板/6装置底部屏蔽体5mm铅板+1.5mm钢板/7装置顶部屏蔽体5mm铅板+4mm钢板主射线方向注：*本项目将观察窗所在位置作为工业X射线CT装置前面；面对检测装置时，左手边为装置左面，右手边为装置右面。三、辐射安全和防护措施为确保辐射安全，保障工业X射线CT装置安全运行，南京云极芯半导体科技有限公司拟为该检测装置设计有相应的辐射安全装置和保护措施。主要有：（一）X射线管安装在屏蔽体的检测装置内部，辐射工作人员无法直接接触到X射线管。X射线管不能单独被打开，只有在连接到机器内部的线路上并通过配套的控制软件才能开启。（二）门-机联锁装置。X射线管与检测装置工件门之间安装有联锁装置，工件门关闭后X射线装置才能出束，运行期间强行打开防护门时X射线管将自动停止出束。（三）指示灯-机联锁装置。工业X射线CT装置正面设计安装工作状态指示灯和声音提示装置，并在醒目位置处粘贴对指示灯不同状态意义的说明。X射线管工作时，警示灯开启，警告无关人员勿靠近。（四）在工业X射线CT装置所在检测间内安装监视装置，可监视辐射工作人员活动及设备运行情况。（五）工业X射线CT装置操作位设有1个钥匙开关，只有在打开钥匙开关后，X射线管才能出束；钥匙开关只有被拧在关机或待机状态时才能拔出。钥匙由辐射安全管理人员保存，每次使用设备时，由辐射工作人员申请，并填写设备使用台账记录。-27-（六）工业X射线CT装置操作台位设有1个紧急停机按钮，紧急情况下可迅速停机，防止误照射（由于检测装置工件门设置位置和尺寸无法允许辐射工作人员进入装置内部，因此内部未设置急停按钮）。（七）拟在工业X射线CT装置表面设置有电离辐射警告标志及中文警示说明。（八）控制台显示器上集成有X射线管电压及高压接通或断开状态的显示，以及管电压、管电流和照射时间选取及设定值显示装置，同时在检测装置上设有辐射警告、出束指示和禁止非授权使用的警告等标识。（九）公司拟定期组织辐射工作人员进行健康体检，并将按相关要求建立辐射工作人员个人剂量监测档案和职业健康监护档案。本项目射线装置安装的辐射安全措施满足本项目辐射安全的需要，本项目辐射安全设施布设示意图见图10-3（a）和图10-3（b）。工作状态指示灯门机联锁设置电离辐射警告标志急钥匙开关操作台图10-3（a）本项目辐射安全设施布设示意图-28-风来warehouse（千级)道中柱式不锈铜吉净螺旋钢梯丙类洁净生产车间参15J401专业厂家源化设计安装F11缓冲区PVC快速卷帘门3600X3000mm田非疏散螺梯O工业X射线CT装置防火墙检测间BM2830回风夹道耐火极限>3h提升机500kg监控摄像头回SFJM1315CMP1(千级)根据《工业探伤放射防护标准》（GBZ117-2022）中对本项目的各项辐射安全与易燃气体间委盖6.1.1探伤室的设置应充分注意周围的辐射安检测装置自带屏蔽体，放置在独立来考虑源项大小、直射、散射、屏蔽物材料和操作台设在射线装置正面一侧，有做法详见图集回凤央道防雨百洁净物流通道BM2524BM2524回星高图10-3（b）本项目辐射安全设施布设示意图氢气防护措施、安全操作要求进行分析，对照分析表见表10-2。丙类洁净生产车间甲类）《工业探伤放射防护标准》丙类洁净生产车间中本项目辐射安全与防护实施计划00（GBZ117-2022）的防护安全要求0C（千级）风全，操作室应避开有用线束照射的方向并应的空间内（检测间）使用，充分考与探伤室分开。探伤室的屏蔽墙厚度应充分虑了周围的辐射安全。新增泄爆结构等各种因素。无迷路探伤室门的防护性用线束朝顶部照射，避开了有用线能应不小于同侧墙的防护性能。，束方向。建设单位你将检测装置实体屏蔽内6.1.2应对探伤工作场所实行分区管理，分区部区域划为控制区，将屏蔽体外整管理应符合GB18871的要求。个检测间划为监督区。-29-足：，测装置周围的辐射屏蔽同时满足人a)关注点的周围剂量当量参考控制水平，对员在关注点的周剂量控制要求和关放射工作场所，其值应不大于100μSv/周，注点周围剂量当量率的控制要求。对公众场所，其值应不大于5μSv/周；b)屏蔽体外30cm处周围剂量当量率参考控制水平应不大于2.5μSv/h。6.1.4探伤室顶的辐射屏蔽应满足：a)探伤室本项目屏蔽体顶部的辐射屏蔽要求上方已建、拟建建筑物或探伤室旁邻近建筑同上；物在自辐射源点到探伤室顶内表面边缘所立根据表11-2的理论计算，屏蔽体顶体角区域内时，探伤室顶的辐射屏蔽要求同部的辐射屏蔽同时满足人员在关注6.1.3；b)对没有人员到达的探伤室顶，探伤点的周剂量控制要求和关注点周围室顶外表面30cm处的周围剂量当量率参考剂量当量率控制要求。控制水平通常可取100μSv/h。本项目设有安全联锁系统，安全联锁设计要求要是开关闭合、急停按6.1.5探伤室应设置门-机联锁装置，应在门钮复位、工件门和检修门正常关（包括人员进出门和探伤工件进出门）关闭闭、警示装置正常的情况下射线装后才能进行探伤作业。门-机联锁装置的设置才能启动，才能正常出束。置应方便探伤室内部的人员在紧急情况下离X射线出束期间，打开工件门或检开探伤室。在探伤过程中，防护门被意外打修门X射线立即停止出束，此时关开时，应能立刻停止出束或回源。探伤室内闭工件门或检修门也将无法自动出有多台探伤装置时，每台装置均应与防护门束。本项目拟使用的射线专职内部联锁。空间狭小，人员无法进入装置内部。6.1.6探伤室门口和内部应同时设有显示“预本项目属于小型自屏蔽式射线装备”和“照射”状态的指示灯和声音提示装置，人员不需要进入屏蔽体内部操置，并与探伤机联锁。“预备”信号应持续作。足够长的时间，以确保探伤室内人员安全离射线装置自带有工作状态指示信开。“预备”信号和“照射”信号应有明显号，工作状态指示信号与射线装置-30-的区别，并且应与该工作场所内使用的其他联锁，且具有三种工作状态指示：报警信号有明显区别。在醒目的位置处应有绿灯（装置准备就绪，可以出束），对“照射”和“预备”信号意义的说明。黄灯（工件门未关标志），红灯（X射线正常出束）。建设单位拟在射线装置正面、操作台显眼位置张贴三种工作状态指示信号的意义说明。6.1.7探伤室内和探伤室出入口应安装监视装置，在控制室的操作台应有专用的监视器，建设单位拟在射线装置所在检测间可监视探伤室内人员的活动和探伤设备的运内安装监视装置。行情况。建设单位在购买和安装了该检测装置后，拟在检测装置生面张贴电离6.1.8探伤室防护门上应有符合GB18871要辐射警告标志，并在检测间门上张求的电离辐射警告标志和中文警示说明。贴电离辐射警告标志和工作警示牌。6.1.9探伤室内应安装紧急停机按钮或拉绳，本项目的射线装置在操作台上设有1确保出现紧急事故时，能立即停止照射。按个急停按钮，发生紧急事故时可以钮或拉绳的安装，应使人员处在探伤室内任迅速切断装置的多项部件的电源，何位置时都不需要穿过主射线束就能够使立即终止出束；急停按钮将表明功用。按钮或拉绳应带有标签，标明使用方能和使用方法。法。本项目属于小型自屏蔽式射线装6.1.10探伤室应设置机械通风装置，排风管置，人员不需要进入屏蔽体内部操道外口避免朝向人员活动密集区。每小时有作。X射线出束时产生的臭氧和氮效通风换气次数应不小于3次。氧化物对周围工作人员影响较小。建设单位拟在检测装置正面屏蔽体6.1.11探伤室应配置固定式场所辐射探测报工件门的上方安装固定式剂量报警警装置。仪。-31-综上所述，本项目拟采取的各项辐射安全与防护措施等满足《工业探伤放射防护标准》（GBZ117-2022）的要求。四、工业X射线检测装置设备退役措施根据《工业探伤放射防护标准》（GBZ117-2022）有关规定，当工业X射线检测装置不再使用时，应实施退役程序。射线装置在报废处置时，使用单位应当对射线装置内的高压射线管进行拆解和去功能化；X射线发生器应处置至无法使用，或经监管机构批准后，转移给其他已获许可机构；清除所有电离辐射警告标志和安全告知。五、监测仪器和防护用品南京云极芯半导体科技有限公司使用的工业X射线CT装置属于Ⅱ类射线装置，根据《放射性同位素与射线装置安全许可管理办法》要求，使用Ⅱ类射线装置的单位应配备与辐射类型和辐射水平相适应的防护用品和监测仪器，包括个人剂量测量报警、辐射监测等仪器。南京云极芯半导体科技有限公司拟为本项目配备辐射巡测仪1台和个人剂量报警仪2台。辐射工作人员工作时将佩带个人剂量计，以监测累积受照情况。三废的治理本项目工业X射线CT装置运行过程中，没有放射性废水、废气及固体废物产生，工业X射线CT装置在工作状态时，会使空气电离产生微量的臭氧（O3）和氮氧化物（NOx），少量臭氧和氮氧化物在装置工作时通过开关工件门排出检测装置，然后通过检测装置所在房间的新风系统进行通风，臭氧常温下约50min可自行分解为氧气，对周围环境空气质量影响较小。工作人员产生的生活污水，进入园区污水处理系统，处理达标后排入城市污水管网。工作人员产生的生活垃圾，分类收集后，将交由城市环卫部门处理。-32-表11环境影响分析建设阶段对环境的影响本项目拟配备的X-eyeSF160FCT型工业X射线CT装置位于南京云极芯半导体科技有限公司A3栋厂房一楼生产车间QC区域检测间内。本项目工业X射线CT装置是成套设备，由专业供应商直接运送安装到指定区域，设备调试过程中应加强对工作人员的辐射防护，在采取此措施后，对周围环境影响较小。运行阶段对环境的影响一、辐射环境影响分析南京云极芯半导体科技有限公司拟在A3栋厂房一楼生产车间QC区域检测间内配备1台工业X射线CT装置（型号：X-eyeSF160FCT型，最大管电压为160kV，最大管电流0.2mA，最大功率为32W），以便更好地控制产品质量，加强产品检验力度。在预测X-eyeSF160FCT型工业X射线CT装置壳体外各关注点的辐射水平时，按检测装置最大管电压和最大管电压时对应的最大管电流（根据设备厂商提供资料：最大管电压为160kV，最大管电流约为0.2mA）运行工况保守进行预测评价。本项目X-eyeSF160FCT型工业X射线CT装置的射线方向向上，X射线初始夹角为140°，为避免线束散射线影响成像质量，故需安装准直器，经准直器后，X射线照射到样品的夹角为40°。故本次拟将检测装置顶部按有用线束照射，其余各面均按照非有用线束照射进行估算（由出束角计算有用线束向上照射至装置顶部时，投射范围不涉及检测装置四周各面，见图11-1）。X-eyeSF160FCT型工业X射线CT装置设计示意图见图10-2。本项目依据《工业X射线探伤室辐射屏蔽规范》（GBZ/T250-2014）中推荐的计算模式及相关参数对X-eyeSF160FCT型工业X射线CT装置的辐射环境影响采取理论计算的方法进行分析与评价。（一）有用线束有用线束所致参考点辐射剂量率利用公式11-1计算：H=IH0B公式11-1R2-33-式中：I—X射线探伤装置最大管电流，0.2mA；H0—距辐射源点（靶点）1m处输出量，取值参考《工业X射线探伤室辐射屏蔽规范》（GBZ/T250-2014）中的附录表B.1，根据建设单位提供资料固有过滤片为2mm的铝，通过插值取得160kV时距辐射源点（靶点）1m处输出量约为20.38×6×104μSv·m2/（mA·h）；B—屏蔽透射因子，有用线束照射的检测装置四周及顶部为5mmPb+4mm钢板，观察窗为5mmPb当量的铅玻璃，可通过插值法从《工业X射线探伤室辐射屏蔽规范》GBZ/T250-2014表B.2中得到160kV条件下，铅的什值层厚度TVL为1.048mm；同时通过从《辐射防护手册（第三分册）》（李德平潘自强著）表3.5中拟合曲线得，160kV条件下，铁的什值层TVL取13.88mm。则通过公式11-2计算得：5mmPb+4mm钢板的屏蔽透射因子B为8.73×10-6；R—辐射源点（靶点）至关注点的距离，单位为米（m）。（二）非有用线束辐射屏蔽透射因子B按公式11-2计算：B=10−XTVL公式11-2式中：X—屏蔽物质厚度，与TVL取相同的单位；TVL—查《工业X射线探伤室辐射屏蔽规范》（GBZ/T250-2014）表2。1、泄漏辐射泄漏辐射所致参考点剂量率利用下列公式11-3计算：H=L公式11-3HLBR2式中：B—屏蔽透射因子，使用公式11-2计算得到；R—辐射源点（靶点）至关注点的距离，单位为米（m）；H—距靶点1m处X射线管组装体的泄漏辐射剂量率，单位为µSv/h，查L《工业X射线探伤室辐射屏蔽规范》（GBZ/T250-2014）表1，取2.5×103µSv/h。2、散射辐射散射辐射所致装置外剂量率利用公式11-4计算：IHBFH=0公式11-4R2R2s0-34-式中：B—屏蔽透射因子，查《工业X射线探伤室辐射屏蔽规范》（GBZ/T250-2014）表2，本项目X射线90°散射辐射最高能量按150kV取值，确定铅90°散射辐射的TVL为0.96mm，同时通过从《辐射防护手册（第三分册）》（李德平潘自强著）表3.5中得，150kV条件下，铁的什值层TVL取13mm。则通过公式11-2计算得：5mmPb+4mm钢板的透射因子为3.05×10-6，5mmPb+1.5mm钢板的透射因子为4.75×106，5mmPb当量铅璃的透射因子为6.19×10；Ho—距辐射源点（靶点）1m处输出量，选取160kV下输出量值，即为1.2228×10°uSvm2/（mA·h）；F-Ro处的辐射野面积，单位为平方米（m），按X射线装置圆锥束中心轴与圆锥边界的夹角为20°计算，公式11-4中的RF·a因子保守取值为50；Ro—探伤工件至各关注点的距离，单位为米（m）；a—散射因子，入射辐射被单位面积（1m）散射体散射到距其1m处的散射辐射剂量率与该面积上的入射辐射剂量率的比。与散射物质有关，在未获得相应物质的a值时，可以水的a值保守估计，见附录B表B.3；R—散射体至关注点的距离，单位为米（m）。1340m⑦顶台t5mmPp+4mm钢板1340mm左侧面右侧面5mmPb+4mmPb+4mm钢板E④⑤5mmPb线缆孔5mmPb+1.5mm钢板5mmPb底线缆孔正视图①俯视图②图11-1X-eyeSF160FCT型工业X射线CT装置辐射防护计算参考点为示意图（三）预测计算结果汇总及评价本项目X-eyeSF160FCT型工业X射线CT装置射线方向固定向上，辐射防护计算参数和计算结果见表11-1~表11-3。背面5mmPbt670mm牛4mm钢板670mm左侧面5mmPb+4mm钢板右侧面5mmPb+4mm钢板正面5mmPb+4mm钢板观察窗5mPb当量-35表11-1X-eyeSF160FCT型工业X射线CT装置球管距离屏蔽体外侧距离点位序号点位描述屏蔽材料及厚度源距外壁距离（m）剂量核算点位距离（m）需防护辐射源类型①装置正面（工件门）5mmPb+4mm钢板0.7251.025漏射线束、散射线束②观察窗5mmPb当量的铅玻璃0.7251.025漏射线束、散射线束③装置背面5mmPb+4mm钢板0.7251.025漏射线束、散射线束④装置左侧面5mmPb+4mm钢板0.670.97漏射线束、散射线束⑤装置右侧面5mmPb+4mm钢板0.670.97漏射线束、散射线束⑥装置底部5mmPb+1.5mm钢板0.760.86漏射线束、散射线束⑦装置顶部5mmPb+4mm钢板0.91.2有用线束⑧线缆孔（左、右侧面底部）5mmPb1.0131.313漏射线束、散射线束注：R前面=X光管至检测装置壳体距离0.725m+参考点0.3m=1.025m；R观察窗=X光管至检测装置壳体距离0.725m+参考点0.3m=1.025m；R背面=X光管至检测装置壳体距离0.725m+参考点0.3m=1.025m；R左侧面=X光管至检测装置壳体距离0.67m+参考点0.3m=0.97m；R右侧面=X光管至检测装置壳体距离0.67m+参考点0.3m=0.97m；R顶部=X光管至检测装置壳体最短距离0.9m+参考点0.3m=1.2m；R线缆孔=X光管至检测装置壳体最短距离1.013m+参考点0.3m=1.313m；R底部=X光管至检测装置壳体最短距离0.76m+参考点0.1m=0.86m（装置底部外表面距地面约10cm）。表11-2X-eyeSF160FCT型工业X射线CT装置铅房外有用线束辐射剂量率预测表点位描述屏蔽材质及厚度I（mA）屏蔽透射因子BH0（μSv·m2/(mA·h)R（m）H(μSv/h)剂量率参考控制水平（µSv/h）评价⑥装置顶部5mmPb+4mm钢板0.28.73×10-612228001.21.482.5满足表11-3工业X射线CT装置铅房外非有用线束辐射剂量率及剂量率汇总预测表关注点①正面②观察窗③背面④左侧⑤右侧⑥底部⑦顶部⑧穿线孔(工件门)面面（左右）屏蔽材质及厚度5mmPb+45mmPb+5mmPb+5mmPb+5mmPb+5mmPb4mm钢量mm钢4mm钢4mm钢1.5mm钢4mm钢B8.73×10-61.69×10-58.73×10-68.73×10-68.73×10-61.32×10-5/1.69×10-5泄漏HL(µSv/h)2500R（m）1.0251.0251.0250.970.970.86/1.313H(µSv/h)2.08×10-24.02×10-22.08×10-22.32×10-22.32×10-22.95×10-1/2.45×10-2对应的kV值150散射B3.05×10-66.19×10-63.05×10-63.05×10-63.05×10-64.75×10-6/6.19×10-60.2H0（μSv·m2/12228005mmPb+5mmPb当辐射辐射散射后能量I（mA）（mA·h）R（m）1.0251.0251.0250.970.970.93/1.313H(µSv/h)1.42×10-22.88×10-21.42×10-21.59×10-21.59×10-22.68×10-2/1.76×10-2有用辐射H(µSv/h)//////1..48/总剂量当量率（µSv/h）3.5×10-26.9×10-23.5×10-23.91×10-23.91×10-23.22×10-11.484.21×10-2剂量率参考控制水平（µSv/h）2.5评价满足满足满足满足满足满足满足满足注：在对检测装置底部散射线所致辐射进行估算时，载物台（散射体）至检测装置底部外表面最小距离约0.83m，则底部关注点距载物台最小距离为0.83m+0.1m=0.93m。由表11-3可知，X-eyeSF160FCT型工业X射线CT装置在最大工况（即管电压为160kV，管电流为0.2mA）运行时，周围距机体外壁30cm处剂量率最大为1.48µSv/h，满足《工业探伤放射防护标准》（GBZ117-2022）和《工业X射线探伤室辐射屏蔽规范》（GBZ/T250-2014）的标准要求及本项目“工业CT检测装置四周屏蔽体周围剂量当量率不大于2.5μSv/h”的管理目标限值要求。（四）反散射辐射影响分析根据《工业X射线探伤室辐射屏蔽规范》（GBZ/T250-2014）中“3.1.2b)1)穿过探伤室顶的辐射与室顶上方空气作用产生的散射辐射对探伤室外地面附近公众的照射。该项辐射和穿出探伤室墙的辐射在相应关注点的剂量率总和，应按3.1.1c)的剂量率参考控制水平Hc（μSv/h）加以控制。”根据表11-2可知，本项目X-eyeSF160FCT型工业X射线CT装置顶部外30cm处辐射剂量率为1.48μSv/h，经天空反射到达地面辐射剂量率远小于1.48μSv/h，能够满足《工业探伤放射防护标准》（GBZ117-2022）和《工业X射线探伤室辐射屏蔽规范》（GBZ/T250-2014）中辐射屏蔽剂量率参考控制水平要求。由于本项目工业X射线CT装置底部距地面约10cm，检测装置底部剂量率为0.322µSv/h，射线在底部经过几次反射后对装置四周影响远小于0.322µSv/h，能够满足《工业探伤放射防护标准》（GBZ117-2022）和《工业X射线探伤室辐射屏蔽规范》（GBZ/T250-2014）中辐射屏蔽剂量率参考控制水平要求。（五）本项目电缆孔及铅门缝的辐射影响分析本项目工业X射线CT装置拟设置有电缆孔，电缆孔位于装置左、右侧面下方，装置内射线朝上方工件照射时，对于穿线孔设计有L型补偿屏蔽（铅板），射线先经过-37-工件散射一次，再经过屏蔽罩中散射三次才能到达屏蔽体外，能够保证射线至少经屏蔽罩三次散射后穿出，本项目穿墙线管散射路径见图11-2。载物台X射线管线缆孔线缆孔装置正面拍摄图铅房外侧盖板铅房外铅房正面方位③①②装置背面方位）孔圆m长度约20cmc铅房内5径直（图11-2工业X射线CT装置穿线孔散射路径本项目工件门与四周屏蔽体的搭接处皆采用等效5mm铅板作为补偿防护措施，门与屏蔽主体之间搭接距离大于2mm，间隙小于0.2mm，则门与屏蔽主体之间间隙与搭接比值小于1/10，可推断防护门缝隙处的辐射剂量率能够满足标准要求。二、保护目标周剂量当量和年有效剂量评价（一）辐射工作人员有效剂量估算根据表表11-3中各关注点处辐射剂量率，结合工作时间，辐射工作人员停留概率，结合下列公式，对关注点人员的有效剂量进行估算。H=HtUTcc,d公式11-5式中：H－参考点的周剂量当量/年有效剂量水平，μSv/周，μSv/a；cH－参考点处剂量率，μSv/h；c,dt－探伤装置年照射时间，单位为h/周，h/a；U－探伤装置向关注点方向照射的使用因子；T－人员在相应关注点驻留的居留因子，可通过《工业X射线探伤室辐射屏蔽规范》（GBZ/T250-2014）中的附录表A.1得到。表11-4本项目辐射工作人员周剂量当量计算结果-38-点位Hc,d（µSv/h）UTt（h/周）Hc（µSv/周）周剂量当量控制水平（µSv）关注对象评价结果装置正面（工件门）3.5×10-211103.5×10-1100工作人员满足观察窗6.9×10-211106.9×10-1100工作人员满足装置背面3.5×10-211/4108.75×10-2100工作人员满足装置左侧面3.91×10-211/4109.78×10-2100工作人员满足装置右侧面3.91×10-211/4109.78×10-2100工作人员满足装置顶部1.4811/4103.7100工作人员满足表11-5本项目辐射工作人员及周围公众年有效剂量计算结果点位Hc,d（µSv/h）UTt（h/a）Hc（mSv/a）剂量约束限值（mSv/a）关注对象评价结果装置前面（工件门）3.5×10-2115001.75×10-25工作人员满足观察窗6.9×10-2115003.45×10-25工作人员满足装置背面3.5×10-211/45004.38×10-35工作人员满足装置左侧面3.91×10-211/45004.89×10-35工作人员满足装置右侧面3.91×10-211/45004.89×10-35工作人员满足装置顶部1.4811/45000.1855周围公众满足本项目投入运行后周工作时间按10小时进行估算，根据表11-4，本项目辐射工作人员周剂量当量最大为3.7μSv/周，满足本项目对职业人员周剂量当量要求（职业人员周剂量当量不超过100μSv）。本项目投入运行后年工作按500小时（周曝光约10小时×50周）进行估算，根据表11-5，本项目辐射工作人员年有效剂量最大为0.185mSv/a，满足《电离辐射防护与辐射源安全基本标准》（GB18871-2002）中对职业人员有效剂量限值要求以及本项目剂量约束值要求（职业人员年有效剂量不超过5mSv/a）。（二）周围公众有效剂量估算本项目周围公众有效剂量拟按照公众参考点处辐射剂量率取值计算。由表11-3中-39-可得各检测装置屏蔽体外辐射剂量率，根据剂量率与距离的平方反比公式（公式11-6）可得公众参考点处辐射剂量率，结合检测装置工作时间，再根据公式11-5，估算得周围公众的有效剂量。计算结果详见表11-6和表11-7。
投标 / 标书制作要点（原创）
本基础设施配套工程 集成电路探针卡生产基地涉及「招标采购公告」，投标方需重点关注：① 营业执照经营范围须含招标采购公告或对应服务类目；② 提供同类项目业绩证明；③ 报价方案与售后响应须明确；④ 紧盯投标截止与开标节点，建议提前完成标书制作与盖章。当地项目常要求本地化服务能力与快速响应，务必在投标文件中凸显。
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