共封装元件招标采购公告(2026)
我公司委托福建省华厦能源设计研究院有限公司完成了《高意G区共封装元件项目环境影响报告书(公示本)》的编制工作,根据《中华人民共和国环境影响评价法》和《环境影响评价公众参与办法》,现将本项目环评的初步结论向社会进行公示,广大公众可根据下列提供的网站下载环评报告书征求意见稿及公众意见表,并按以下途径发表对本项目环评的意见和建议。
一、建设项目基本情况
项目名称:高意G区共封装元件项目
建设地点:福建省福州市晋安区鼓山镇福兴大道37号
项目概况:项目拟新建PMLA(带棱镜的微透镜阵列)、FAU(光纤阵列单元)、FFK(全光纤套件)生产线,产品方案为年产PMLA产品2400万片、FAU产品400万件、FFK产品144万件。
二、环境影响报告表(公示本)全文的网络链接及查阅纸质报告书的方式和途径
①报告书征求意见稿下载网址
详见附件
查阅纸质报告书的方式和途径
在建设单位设有纸质版查阅场所,查阅场所地址:
福州市晋安区福新东路253号。
三、征求意见的公众范围
福州华伦中学晋安校区师生、宏捷·名仕雅居、樟林新苑居民等。
四、公众意见表的网络链接:
详见附件
五、公众提出意见的方式和途径
公众可通过电子邮件、信函等方式反馈公众意见,具体联系信息如下:
1.建设单位:建设单位:福州高意光学有限公司
联系人:潘经理
联系电话:0591-88050800-52003
电子邮箱:Youyu.Pan@coherent.com
2.环评单位:福建省华厦能源设计研究院有限公司
联系人:尹工
联系电话:0591-83316235
电子邮箱:260789762@qq.com
六、公众提出意见的起止时间
本次公示有效期:2026年8月19日起十个工作日
福州高意光学有限公司
2025年8月19日
附件下载
高意G区共封装元件项目(公示本).pdf
建设项目环境影响评价公众意见表.doc
建设项目环境影响报告表(公示本)项目名称:,高意G区共封装元件项目建设单位(盖章):,福州高意光学有限公司编制日期:,2026年8月中华人民共和国生态环境部制I目录一、建设项目基本情况1.1生态管控分区符合性分析1.2产业政策符合性分析1.3用地符合性分析1.4与相关生态环境保护法律法规政策符合性分析1.5清洁生产分析二、工程建设内容2.1项目由来2.2基本情况2.3项目概况2.3.1主要产品及产能2.3.2平面布置2.3.3主体工程2.3.4辅助工程2.3.5储运工程2.3.6公用工程2.3.7环保工程2.3.8主要生产设施及设施参数2.3.9主要原辅材料及燃料2.3.10劳动定员及工作制度2.4项目工程分析2.4.1水平衡2.4.2工艺流程及产污环节三、区域环境质量现状、环境保护目标及评价标准3.1区域环境质量现状3.1.1大气环境3.1.2地表水环境3.1.3声环境II3.2环境保护目标3.2.1大气环境3.2.2声环境3.2.3地下水环境3.2.4生态环境3.3污染物排放控制标准3.3.1废水3.3.2废气3.3.3噪声3.3.4固体废物3.4总量控制指标四、主要环境影响和保护措施4.1施工期环境影响和保护措施4.2运营期环境影响和保护措施4.2.1废气4.2.2废水4.2.3噪声4.2.4固体废物4.2.5地下水、土壤4.2.6环境风险五、环境保护措施监督检查清单六、结论附表III一、建设项目基本情况建设项目名称高意G区共封装元件项目项目代码建设单位联系人联系方式建设地点福建省福州市晋安区鼓山镇福兴大道37号。地理坐标国民经济行业类别电子器件制造C397电子和电工机械专用设备制造C356建设项目行业类别三十六、计算机、通信和其他电子设备制造业39-80电子器件制造397三十二、专用设备制造业35-电子和电工机械专用设备制造356建设性质☑新建(迁建)改建扩建技术改造建设项目申报情形首次申报项目□不予批准后再次申报项目超五年重新审核项目□重大变动重新报批项目项目审批(核准/备案)部门(选填)福州市晋安区发展和改革局项目审批(核准/备案)文号(选填)闽发改外备〔2026〕A0400**号总投资(万元)100000环保投资(万元)1560环保投资占比(%)1.56施工工期6个月是否开工建设否是:用地(用海)面积(m²)42733专项评价设置情况无,详见表1.0-1。规划情况《福州福兴经济开发区控制性详细规划》规划环境影响评价情况规划环评文件名称:《福州福兴经济开发区控制性详细规划环境影响报告书》;召集审查机关:原福建省环境保护厅(现福建省生态环境厅);审查文件名称及文号:《关于印发福州福兴经济开发区控制性详细规划环境影响报告书审查小组意见的通知》(闽环保评〔2017〕14号)。规划及规划环境影响评价符合性分析项目位于晋安区福兴大道37号,属于福州福兴经济开发区。根据《福州福兴经济开发区控制性详细规划》和《福州福兴经济开发区控制性详细规划环境影响报告书》,其产业定位重点发展十大类型产业,即五大类现代服务业和五大类高新技术产业,现代服务业包含:总部办公、现代物流、创意产业、科技研发、商贸金融;高新技术产业包含:新型光电子、软件、通讯与网络终端设备、汽车电子、精密仪器仪表。根据规划环评中表13.7-1开发区优先发展项目清单及禁止引入项目清单:电子器件制造为优先引入行业。本项目为新型光电子行业,属于福州福兴经济开发区优先发展的项目;根据规划环评中规划调整对策:“重点保留发展高意科技、闽东本田等高新技术企业”;本项目不涉及电镀、有机涂层及钝化工艺,项目与福州福兴经济开发区控制性详细规划、规划环评及其审查意见是相符的。表1.0-1专项评价设置情况判定一览表专项类别设置原则本项目情况设置与否大气排放废气含有毒有害污染物、二噁英、苯并[a]芘、氰化物、氯气且厂界外500米范围内有环境空气保护目标的建设项目。不涉及上述有毒有害污染物否地表水新增工业废水直排建设项目(槽罐车外送污水处理厂的除外);新增废水直排的污水集中处理厂。项目废水经预处理后依托市政管网排入洋里污水处理厂进一步处理否环境风险有毒有害和易燃易爆危险物质存储量超过临界量的建设项目。Q否生态取水口下游500米范围内有重要水生生物的自然产卵场、索饵场、越冬场和洄游通道的新增河道取水的污染类建设项目。项目位于福兴经济开发区,不涉及上述区域。否海洋直接向海排放污染物的海洋工程建设项目。项目位于福兴经济开发区,不属于排海项目。否1.1生态管控分区符合性分析根据《关于发布福州市2024年生态环境分区管控动态更新成果的通知》(榕环保综其〔2025〕1号),项目与福州市生态环境分区管控要求符合性分析如下:他符项目位于福州福兴经济开发区重点管控单元,属于大气环境高排放重点管控区、水合性环境工业污染重点管控区。根据榕环保综〔2025〕1号文件,对照福州福兴经济开发区分重点管控单元(ZH35011120001),其管控要求见表1.1-1、表1.1-2、表1.1-3。析1.2产业政策符合性分析项目主要产品为PMLA、FAU、FFK等光电子器件,对照中华人民共和国国家发展和改革委员会令第29号《产业结构调整指导目录(2024年本)》,项目属于“第一类鼓励类/二十八、信息产业/22、半导体、光电子器件、新型电子元器件(片式元器件、电力电子器件、光电子器件、敏感元器件及传感器、新型机电元件、高频微波印制电路板、高速通信电路板、柔性电路板、高性能覆铜板等)等电子产品用材料”类别。表1.1-1项目与《福建省人民政府关于实施“三线一单”生态环境分区管控的通知》的符合性分析适用范围准入要求本项目的符合性分析是否符合全省陆域空间布局约束1.石化、汽车、船舶、冶金、水泥、制浆造纸、印染等……2.严控钢铁、水泥、平板玻璃等……3.除列入国家规划的大型煤电……热电联产项目外……4.氟化工产业应……5.禁止在水环境质量不能稳定达标的区域内,建设新增相应不达标污染物指标排放量的工业项目。6.禁止在通风廊道和主导风向的上风向布局大气重污染企业,推进建成区大气重污染企业搬迁或升级改造、环境风险企业搬迁或关闭退出。7.新建、扩建的涉及重点重金属污染物的……项目属于电子器件制造行业,不属于上述行业;项目所在的晋安区不属于水环境质量不能稳定达标的区域;项目所在地不属于通风廊道和主导风向上风向;项目不涉及重金属污染物排放。符合污染物排放管控1.建设项目新增的主要污染物(含VOCs)排放量应按要求实行等量或倍量替代。重点行业建设项目新增的主要污染物排放量应同时满足《关于加强重点行业建设项目区域削减措施监督管理的通知》(环办环评〔2020〕36号)的要求。涉及新增总磷排放的建设项目应符合相关削减替代要求。新、改、扩建重点行业建设项目要符合“闽环保固体〔2022〕17号”文件要求。2.新改扩建钢铁、火电项目……3.近岸海域汇水区域、“六江两溪”流域以及排入湖泊、水库等封闭、半封闭水域的城镇污水处理设施执行不低于一级A排放标准。到2025年,省级及以上各类开发区、工业园区完成“污水零直排区”建设,混合处理工业污水和生活污水的污水处理厂达到一级A排放标准。4.优化调整货物运输方式,提升铁路货运比例,推进钢铁、电力、电解铝、焦化等重点工业企业和工业园区货物由公路运输转向铁路运输。5.加强石化、涂料、纺织印染、橡胶、医药等行业新污染物环境风险管控。项目属于新增VOCs排放的项目,项目投产前VOCs排放实行区域内倍量替代。项目产生的生产废水和生活污水均可接入洋里污水处理厂,符合要求。符合资源开发效率要求1.实施能源消耗总量和强度双控。2.强化产业园区单位土地面积投资强度和效用指标的刚性约束,提高土地利用效率。3……钢铁、火电、化工、制浆造纸、印染等项目……4……不再新建每小时35蒸吨以下燃煤锅炉……5.落实“闽环保大气〔2023〕5号”文件要求……项目属于电子器件制造行业,不涉及上述行业及锅炉建设符合表1.1-2与《福州市生态环境分区管控方案》——福州市陆域准入要求的符合性分析适用范围类别准入条件本项目是否符合福州市陆域空间布局约束一、优先保护单元中的生态保护红线……二、优先保护单元中的一般生态空间……。三、其它要求:1.福州市石化中上游项目……2.禁止在闽江马尾罗星塔以上流域范围……3.禁止在通风廊道和主导风向的上风向布局大气重污染企业,推进建成区大气重污染企业搬迁或升级改造、环境风险企业搬迁或关闭退出。4.禁止新、改、扩建生产高VOCs含量有机溶剂型涂料、油墨和胶黏剂的项目。5.持续加强闽清等地建陶产业的环境综合治理,……6.新建、扩建的涉及重点重金属污染物……7.禁止在流域上游新建、扩建重污染企业和项目。8.重要敏感水体及富营养化湖库……9.新、改、扩建煤电、钢铁、建材、石化、化工等“两高”项目……10.单元内涉及永久基本农田的……项目位于福兴经济开发区,项目不属于大气重污染企业,不涉及上述生态保护红线、基本农田、优先保护单元等区域,不涉及上述行业。符合污染物排放管控1.工业类新(改、扩)建项目新增主要污染物(水污染物化学需氧量、氨氮和大气污染物二氧化硫、氮氧化物)排放总量指标应符合区域环境质量和总量控制要求,立足于通过“以新带老”、削减存量,努力实现区域、企业自身总量平衡。总量指标来源、审核和监督管理按照“榕环保综〔2017〕90号”等相关文件执行。2.新、改、扩建涉VOCs排放项目,应从源头加强控制,使用低(无)VOCs含量的原辅材料,实施新建项目VOCs排放区域内1.2及以上倍量替代。3.严格控制……钢铁、水泥、平板玻璃、有色金属冶炼、化工等……4.氟化工、印染、电镀等……。5.新、改、扩建重点行业建设项目……6……燃煤锅炉……7.水泥行业……。8.化工园区……项目新增COD、氨氮等总量指标由海峡交易平台购买;VOCs排放实行VOCs总量控制,并按1.2倍调剂。符合表1.1-3与《福州市生态环境分区管控方案》——福州福兴经济开发区准入要求的符合性分析环境管控单元名称管控要求本项目符合性分析是否符合福州福兴经济开发区空间布局约束禁止新建高耗水、废气排放量大的建设项目。项目属于光学器件生产行业,不属于《水污染防治行动计划》(国发〔2015〕17号)中所列的电力、钢铁、纺织、造纸、石油石化、化工、食品发酵等高耗水行业,项目生产用水量为153900t/a,则单位产品耗水量为56.1t/万片,单位产品耗水量低于《行业用水定额》(DB35T772-2023)中表5中C3976光电子器件制造行业定额132.5t/万片。项目排放废气主要为有机废气,新增排放量为12.591t/a,各排放源最大占标率11.2%,对大气环境影响不大。综上,项目不属于高耗水、废气排放量大的建设项目。符合推进现有大气污染物排放量较大的企业搬迁或升级改造。项目各排气筒大气污染物均可达标排放。符合居住用地周边禁止布局潜在废气扰民的建设项目。项目位于福兴经济开发区福兴大道37号;项目使用的涉VOCs物料均为瓶装,密闭储存、运输,从源头控制VOCs的排放量;生产过程产生的VOCs经负压收集后采用沸石吸附+催化燃烧处理。根据大气影响分析,项目排放的非甲烷总烃对最近的敏感目标北侧华伦中学晋安校区处贡献值占标率为13.75%,对学校产生的影响不大。符合污染物排放管控落实新增VOCs排放总量控制要求。项目新增VOCs由福州市储备库内调剂,实行区域内倍量替代符合完善建设污水收集管网,保证园区内所有工业废水、生活污水纳入污水处理厂处理并达标排放。项目生产废水及生活污水经预处理后均排入洋里污水处理厂,符合要求。符合环境风险防控建立健全环境风险防控体系,制定环境风险应急预案,建设事故应急池,成立应急组织机构,防止在处理安全生产事故过程中产生的可能严重污染水体的消防废水、废液直接排入水体。建设单位在投产前按要求编制突发环境事件应急预案,并在福州市晋安生态环境局备案,符合要求;项目在厂区雨水排放口设切换阀,事故时消防废水暂存于应急池,事故结束后根据事故废水水质情况由槽罐车外运委托有资质单位处理。符合资源开发效率要求高污染燃料禁燃区内禁止燃用高污染燃料,禁止新建、扩建燃用高污染燃料的设施。已建的燃用高污染燃料设施,限期改用电、天然气、液化石油气等清洁能源。项目利用能源均为电能,符合要求。符合1.3用地符合性分析项目位于福州福兴经济开发区,项目占地租赁福州市晋安区国有资产投资发展集团有限公司厂房,用地性质为工业用地。根据《福州市国土空间规划(2021—2035年)》,项目不涉及生态保护红线和永久基本农田;福州福兴经济开发区已纳入《福州市国土空间规划(2021—2035年)》,用地范围均属于城镇开发边界,即项目符合《福州市国土空间规划(2021—2035年)》要求。1.4与相关生态环境保护法律法规政策符合性分析1.与《2025年度福州市蓝天碧水碧海净土保卫战行动计划》(榕环委办〔2025〕47号)符合性分析详见下表。表1.4-1与榕环委办〔2025〕47号文符合性分析一览表要求本项目情况1持续推进重点产业转型升级。稳妥有序推动碳达峰,聚焦钢铁、建材、石化等……。严格控制生产和使用高VOCs含量涂料、油墨、胶粘剂、清洗剂等建设项目,鼓励制鞋行业……。全市新建、改建、扩建工业涂装、包装印刷、制鞋项目应……。鼓励和引导现有涉VOCs企业向相应工业园区或产业聚集区集聚,市区三环以内原则上不再新增涉VOCs项目,如确需新上涉VOCs排放项目,需使用低VOCs原辅材料,无法全部使用低VOCs原辅材料的应根据工艺特点选择高效处理设施,不得使用单一低温等离子、光催化氧化等处理设施。新建涉VOCs项目应当进入工业园区。项目位于市区三环内,位于福州福兴经济开发区。项目属于电子器件制造行业,主要元器件为玻璃和硅片,如经水擦拭后,因水的溶解作用在其表面会产生微量污渍,影响光信号传输,因此目前光通讯行业采用乙醇、乙醚等对光学玻璃及硅片的清洗和擦拭工艺无替代工艺。项目采用沸石吸附+催化燃烧等高效处理设施处理VOCs,符合要求。2深化VOCs排查整治。对照《挥发性有机物治理突出问题排查整治工作要求》,针对简易低效VOCs治理设施,含VOCs物料储存、转移和输送、设备与管线组件、敞开液面以及工艺过程等环节无组织排放情况常态化开展排查整治,要求涉VOCs重点排污单位全覆盖,淘汰光催化、光解(光氧化)、低温等离子、单一水喷淋等落后低效VOCs处理装置。对完成整治的企业,指导企业进一步巩固提升整治成果;对达不到相关标准要求的企业,督促企业及时更换设备或实施升级改造,不断提高企业污染治理和环境管理水平。项目使用的乙醇、乙醚等涉VOCs物料均为瓶装,密闭储存、运输;清洗线内清洗槽均加盖以减少挥发;排放的VOCs经负压收集后采用沸石吸附+催化燃烧设施处理,符合要求。3规范VOCs在线监控安装,因VOCs排放量较大原因纳入福州市大气环境监管重点单位的企业,所有VOCs年排放量大于等于5吨的排气筒均要求安装VOCs在线监控设施并与生态环境部门联网,新改扩建涉VOCs排放建设项目参照执行。项目有机废气排气筒VOCs年排放量大于5t,需安装VOCs在线监控设备。2.与《福州市“十四五”空气质量持续改善计划》(榕环保综〔2023〕40号)符合性分析详见下表。表1.4-2与榕环保综〔2023〕40号文符合性分析一览表要求本项目情况1强化VOCs无组织排放整治。按照国家《关于加快解决当前挥发性有机物治理突出问题的通知》(环大气〔2021〕65号)、《臭氧污染防治攻坚行动方案》等要求,各县(市、区)全面排查含VOCs物料储存、转移和输送、设备与管线组件、敞开液面以及工艺过程等环节无组织排放情况,对达不到相关标准要求的开展整治。石化、现代煤化工、制药等行业……;焦化行业……;工业涂装、包装印刷等行业……。项目使用的乙醇、乙醚等涉VOCs物料均为瓶装,密闭储存、运输;清洗线内清洗槽均加盖以减少挥发;排放的VOCs经负压收集处理,符合要求。2持续深化VOCs综合治理。开展重点行业VOCs2.0深化治理,按照《关于开展福州市重点行业挥发性有机物综合治理工作(VOCs2.0)的通知》(榕环保综〔2021〕100号)要求,以石化、化工、工业涂装、包装印刷、制鞋、橡胶和塑料制品、油品储运销、涂料油墨胶黏剂清洗剂使用、农副食品加工、半导体、印染、合成革、钢铁等13个行业为重点,全面对标对表,落实综合治理,列入VOCs重点治理名单内的企业要开展自查、详查,编制挥发性有机物综合治理“一厂一策”(2.0),开展审核并组织专家对企业开展技术评估,确保企业治理措施的科学性、针对性和有效性,同时开展综合治理相关技术培训并跟踪重点行业企业挥发性有机物治理情况。到2025年,全面完成国家下达VOCs减排任务。项目建成后,建设单位按要求开展VOCs“一厂一策”(2.0)工作。3开展简易低效VOCs治理设施清理整治。全面梳理VOCs治理设施台账,分析治理技术、处理能力与VOCs废气排放特征、组分等匹配性,重点关注单一采用低温等离子、光氧化、光催化以及非水溶性VOCs废气采用单一喷淋吸收等治理技术且无法稳定达标的,加快推进升级改造,严把工程质量,确保达标排放。对采用活性炭吸附技术的企业,督促其足量添加、及时更换活性炭,确保达标排放。项目排放的VOCs经负压收集后采用沸石吸附+催化燃烧等设施处理,符合要求。4提升污染源在线监控能力。扩大工业污染源在线监控范围,将涉VOCs和氮氧化物的重点行业企业纳入重点排污单位名录,覆盖率不低于工业源VOCs、氮氧化物排放量的65%。重点排污单位应依法安装使用大气污染物排放自动监测设备,与国家联网。新建企业VOCs排放量5吨/年以上,需安装VOCs在线监控设施。项目VOCs年排放量大于5t,需安装VOCs在线监控设备;项目新增VOCs由福州市储备库内调剂,实行区域内倍量替代。3.与《福州市“十四五”生态环境保护规划》符合性分析根据《福州市“十四五”生态环境保护规划》,规划要求“持续开展挥发性有机物整治专项行动,推进福州市重点行业挥发性有机物综合治理工作(VOCs2.0),逐步推动重点企业编制挥发性有机物治理‘一厂一策’。实行挥发性有机物排放倍量替代。加大涉VOCs企业源头替代力度,推广使用低(无)VOCs原辅材料替代,禁止生产高VOCs含量有机溶剂型涂料、油墨和胶黏剂的新、改、扩建项目,推进重点企业‘油改水’治理,提高有机溶剂回收率。将低VOCs含量产品与使用低VOCs含量原辅材料的产品纳入政府采购名录。全面提升治理设施‘三率’,强化无组织排放管控和精细化管理。组织企业对现有VOCs废气收集率、治理设施同步运行率和去除率开展自查,对达不到要求的VOCs收集、治理设施进行更换或升级改造,确保实现达标排放。”项目产品为PMLA、FAU、FFK等光电子器件,主要元器件为玻璃和硅片,如经水擦拭后,因水的溶解作用在其表面会产生微量污渍,影响光信号传输,因此,目前电子器件制造行业采用乙醇、乙醚等对光学玻璃及硅片的清洗和擦拭工艺无替代工艺。项目排放的VOCs经负压收集后采用沸石吸附+催化燃烧设施处理,符合要求。收集率不低于90%,符合要求。4.与《福建省主体功能区划》符合性分析根据闽政〔2012〕61号《福建省主体功能区规划》,按开发方式将福建省的国土空间分为优化开发区域、重点开发区域、限制开发区域和禁止开发区域。项目所在区福州市晋安区属优化开发区域。优化开发区域要加快转变经济发展方式,调整优化经济结构,着力提高自主创新能力,提升参与全球、全国分工与竞争的层次,建设成为带动全省经济社会发展的龙头,全省重要的创新区域,全省人口与经济密集的区域。其优化产业结构:推动产业结构向高端、高效、高附加值转变,增强战略性新兴产业、他符高新技术产业、现代服务业对经济增长的带动作用。稳定粮食生产,发展都市型农业、合节水农业和绿色有机农业;积极发展节能、节地、环保的先进制造业,大力发展拥有自性分主知识产权的高新技术产业,加快发展现代服务业,尽快形成服务经济为主的产业结构。析积极发展科技含量和附加值高的海洋产业。项目位于福兴投资区,占地为工业用地,项目产品为PMLA、FAU、FFK等光电子器件,属于节能、节地、环保的制造业,符合《福建省主体功能区规划》的优化开发区域产业结构要求。5.与《福州市生态功能区划》符合性分析根据《福州市生态功能区划》,项目所在地属于福州中心城城市生态功能小区(510110002),主导功能:城市生态环境;生态保育和建设方向:⑴重点:城市基础设施建设,包括污水处理厂(51101、51102)及配套管网建设。合理规划城市布局及功能,建设生态城区和生态工业小区。⑵其他相关任务:古城区(16501)历史文化保护(包括三坊七巷改造工程),地热资源保护,城区绿地建设,池塘水面保护,工业污染源搬迁。项目位于福兴经济开发区,占地为工业用地,符合建设生态城区和生态工业小区的建设方向。6.与《福州市大气污染防治行动计划实施细则》(榕政综〔2014〕27号)符合性分析详见下表。表1.4-3与榕政综〔2014〕27号符合性分析一览表要求本项目情况推进挥发性有机物综合治理。按照国家部署,在包装印刷、表面涂装、石化、有机化工等行业实施挥发性有机物综合整治。鼓励生产、销售和使用低毒、低挥发性有机溶剂。项目不属于上述行业,排放的VOCs经负压收集后采用沸石吸附+催化燃烧设施处理,符合要求。7.与《臭氧污染防治攻坚行动方案》符合性分析详见下表。表1.4-4与臭氧污染防治攻坚行动方案符合性分析一览表要求本项目情况1加快实施低VOCs含量原辅材料替代。各地对溶剂型涂料、油墨、胶粘剂、清洗剂使用企业制定低VOCs含量原辅材料替代计划。项目属于电子器件制造行业,主要元器件为玻璃和硅片,经水擦拭后,因水的溶解作用在其表面会产生微量污渍,影响光信号传输,因此目前电子器件制造行业光学玻璃及硅片的清洗和擦拭工艺无替代工艺。2开展简易低效VOCs治理设施清理整治。各地全面梳理VOCs治理设施台账,分析治理技术、处理能力与VOCs废气排放特征、组分等匹配性,对采用单一低温等离子、光氧化、光催化以及非水溶性VOCs废气采用单一喷淋吸收等治理技术且无法稳定达标的,加快推进升级改造,严把工程质量,确保达标排放。项目采用沸石吸附+催化燃烧设施处理VOCs,符合要求。3强化VOCs无组织排放整治。各地全面排查含VOCs物料储存、转移和输送、设备与管线组件、敞开液面以及工艺过程等环节无组织排放情况,对达不到相关标准要求的开展整治。石化、现代煤化工、制药、农药行业……项目使用的乙醇、乙醚等涉VOCs物料均为瓶装,密闭储存、运输;清洗线内清洗槽均加盖以减少挥发。8.与《福建省空气质量持续改善实施方案》符合性分析详见下表。表1.4-5与《福建省空气质量持续改善实施方案》符合性分析一览表要求本项目情况(四)优化含VOCs原辅材料和产品结构:严格控制生产和使用高VOCs含量涂料、油墨、胶粘剂、清洗剂等建设项目。加大工业涂装、包装印刷和电子行业低(无)VOCs含量原辅材料替代力度。鼓励制鞋行业……。项目属于电子器件制造行业,主要元器件为玻璃和硅片,经水擦拭后,因水的溶解作用在其表面会产生微量污渍,影响光信号传输,因此目前电子器件制造行业采用乙醇、乙醚等对光学玻璃及硅片的清洗和擦拭工艺无替代工艺。9.项目涉及全氟化合物、氢氟碳化物管控要求①项目涉及的全氟化合物、氢氟化合物包括四氟化碳、三氟甲烷、八氟环丁烷、六氟化硫、三氟化氮等,均不在《重点管控新污染物清单(2023年版)》内,但均属于《〈联合国气候变化框架公约〉京都议定书》中受管控温室气体;我国属于发展中国家,无强制减排指标。②根据《关于严格控制氢氟碳化物化工生产建设项目的通知》,本项目使用的三氟甲烷属于第二批控制的氢氟碳化物。根据通知要求:“各地不得新建、扩建附件1所列用作制冷剂、发泡剂等受控用途的HFCs化工生产设施(不含生产过程中附带产生HFCs的化工生产设施,即副产设施),本通知执行之日前环境影响报告书(表)已通过审批的除外。”本项目属于电子行业,三氟甲烷用于蚀刻工序,不在《关于严格控制氢氟碳化物化工生产建设项目的通知》管控范围。③根据《关于进一步加强消耗臭氧层物质和氢氟碳化物管理的通知》:“为贯彻落实《消耗臭氧层物质管理条例》,进一步加强消耗臭氧层物质和氢氟碳化物(列入《中国受控消耗臭氧层物质清单》的化学品,以下简称管控物质)全链条监管,现就有关事项通知如下。”“使用含管控物质及其混合物的复配后溶剂(除尘剂)、已提纯实验室分其析试剂和电子特气的单位,无需备案。”他符项目使用的三氟甲烷属于《中国受控消耗臭氧层物质清单》中化学品,主要用途为合蚀刻工序的电子特气,根据《关于进一步加强消耗臭氧层物质和氢氟碳化物管理的通性分知》,使用该电子特气的单位无需备案。析1.5清洁生产分析目前,国内尚未发布针对该行业清洁生产标准,本项目采用国内外先进水平的蚀刻设备、自动化清洗设备;其中清洗工序以水基清洗为主。项目使用的四氟化碳、三氟甲烷、八氟环丁烷、六氟化硫、三氟化氮等蚀刻气体采用高温等离子+喷淋塔处理工艺,臭氧层消耗物质破坏技术去除率达到95%以上。项目使用乙醇、乙醚等作为擦拭、清洗工序的原料,属于国内外同行业通用工艺及原料。本项目采用毒性最低的全氟化合物,符合清洁生产要求。项目生产产品不含重金属,包装采用可回收纸质/环保塑料,不使用含氟发泡剂,符合清洁生产要求。项目属于光学器件生产行业,不属于《水污染防治行动计划》(国发〔2015〕17号)中所列的电力、钢铁、纺织、造纸、石油石化、化工、食品发酵等高耗水行业,项目生产用水量为153900t/a,则单位产品耗水量为56.1t/万片,单位产品耗水量低于《行业用水定额》(DB35T772-2023)中表5中C3976光电子器件制造行业定额132.5t/万片。项目产生的生产废水和生活污水分别经污水站和化粪池处理后纳入洋里污水处理厂,对洋里污水处理厂不会造成冲击。项目产生的一般固废采用包装袋包装后贮存于仓库内,定期外运综合利用;产生的危险废物集中收集后,临时贮存于危废间,定期委托有资质的单位处置。项目产生的有机废气经负压收集、沸石吸附+催化燃烧设施处理后,非甲烷总烃有组织排放可达到《工业企业挥发性有机物排放标准》(DB35/1782-2018)表1限值要求,无组织排放均可达到《工业企业挥发性有机物排放标准》(DB35/1782-2018)表2标准限值及《挥发性有机物无组织排放控制标准》(GB37822-2019)中附录A表A.1标准特别排放限值;蚀刻废气经高温等离子+喷淋塔处理后,氟化物可达到《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)表2中二级排放限值。显影废气经酸洗塔处理后,氨、臭气浓度可达到《恶臭污染物排放标准》(GB14554-93)表1二级标准限值。综上所述,项目采用的是国际上成熟的技术,先进的设备,项目使用的原料、生产的产品、污染物排放等方面均符合清洁生产要求。其他符合性分析二、工程建设内容2.1项目由来福州高意光学有限公司成立于2002年5月,是一家致力于开发、制造和提供无机非金属材料及制品(人工晶体、特种玻璃),新型电子元器件(光电子器件、新型机电元件)的大型跨国性高新技术企业。在全球数字经济浪潮与AI算力需求爆发的双重驱动下,建设单位拟新建高意G区共封装元件项目,该项目既是顺应产业技术变革的战略选择,也是公司深耕光通信领域、巩固行业领先地位的关键布局。高意G区共封装元件项目拟新建PMLA(带棱镜的微透镜阵列)、FAU(光纤阵列单元)、FFK(全光纤套件)生产线,产品方案为年产PMLA产品2400万片、FAU产品400万件、FFK产品144万件。根据《建设项目环境影响评价分类管理名录》(2021年版)有关规定,项目PMLA、FAU、FFK生产属“三十六、计算机、通信和其他电子设备制造业39-80电子器件制造397”中的“使用有机溶剂的”,应编制环境影响报告表;装配台生产属“三十二、专用设备制造业35-电子和电工机械专用设备制造356中的仅组装”的项目,无需编制环境影建响报告。项目建设内容涉及名录中两个及以上项目类别的建设项目,其环境影响评价类设内别按照其中单项等级最高的确定,项目应编制环境影响报告表。容为此,建设单位于2026年5月25日委托我公司开展项目环境影响评价工作。我公司接受委托后,立即组织技术人员进行现场勘查,在对项目开展环境现状调查、资料收集和调研的基础上,按照《建设项目环境影响报告表编制技术指南(污染影响类)》、环境影响评价有关技术规范和要求,编制了本项目环境影响报告表,供建设单位上报生态环境主管部门审批。2.2基本情况高意G区共封装元件项目位于晋安区福兴大道37号,租赁福州市晋安区国有资产投资发展集团有限公司48777.25m²厂房,拟改造为数据中心用微光学器件生产线。项目基本情况见下表。表2.2-1项目基本情况表项目项目基本情况备注项目名称高意G区共封装元件项目建设单位福州高意光学有限公司建设地点福建省福州市晋安区鼓山镇福兴大道37号项目性质新建总投资100000万元建设内容PMLA、FAU、FFK及装配台生产线,产品方案为年产PMLA产品2400万片、FAU产品400万件、FFK产品144万件、装配台100台2.3项目概况2.3.1主要产品及产能项目主要产品及产能详见下表。表2.3-1主要产品及产能一览表主要产品名称主要产品产量备注PMLA产品2400万片PMLA中文名:带棱镜的微透镜阵列,英文名:PrismwithMicroLensArrayFAU产品400万件FAU中文名:光纤阵列单元英文名:FiberArrayUnitFFK产品144万件FFK中文名:全光纤套件英文名:FullFiberKit装配台100台装配台均为自用,不外售2.3.2平面布置项目租用的厂区包括G1至G9共9栋建筑物,总占地面积约42733m²,总建筑面积48777.25m²。厂区出入口正对面为G1生产厂房;出入口南侧为G3食堂,北侧为G4原料检测楼和G2办公楼;厂区北侧由西向东布置G5控制室、G6发电机房、机修室、G7化学品库、危废间、G8泵房、G9仓库等。项目区G1生产厂房共四层,呈“回”字形布置,其中一层自东北侧顺时针分别布置激光切割区、过程检测区、湿法刻蚀区、清洗线、上下盘区、抛光区、光刻、涂胶、曝光、显影、热熔、配电室、镀膜区。二层自东北侧顺时针分别布置前道检测、PMLA装配与检测、FFK进料清洗、FFK装配与检测、成品库、材料库等。三层均为PMLA装配与检测车间。四层主要为FAU生产线,北侧由西向东分别布置MT点胶、MT并带、MT定长、装金属套、MT组装、MT烘烤、MT检测工位。车间西侧和南侧由北向南分别为MT保偏调芯、MT制线、MT清洗线、FA成品检测、过程检测、补胶、FA组装、FA保偏调芯、FA制线、绕线、MT研磨、上下盘、上胶内检、检测、烘烤房等。四层东侧布置装配台组装线,布置自动化装配车间。2.3.3主体工程项目主体工程主要为各生产车间,详见下表。表2.3-2主体工程组成情况表车间名称建设内容G1F1建筑面积约9587m²,设置激光切割区、过程检测区、湿法刻蚀区、清洗线、上下盘区、抛光区、光刻、涂胶、曝光、显影、热熔、配电室、镀膜区。G1F2建筑面积约8933m²,设二层自东北侧顺时针分别布置前道检测、PMLA装配与检测、FFK进料清洗、FFK装配与检测、成品库、材料库等。G1F3建筑面积约8933m²,均为PMLA装配与检测车间。G1F4建筑面积约8933m²,为FAU生产线和装配台组装线;其中,FAU生产线布置MT点胶、并带、定长、装金属套、组装、烘烤、检测、保偏调芯、制线、清洗线、研磨、上下盘、上胶内检等工位;FA成品检测、过程检测、补胶、组装、保偏调芯、制线、绕线等工位;自动化装配车间布置在厂房东侧。2.3.4辅助工程项目辅助工程主要包括办公区等,详见下表。表2.3-3辅助工程组成情况表车间名称建设内容G2办公区设在厂房西侧办公楼,面积约520m²。G3食堂设在厂房西侧,面积约2200m²,均为就餐区,餐食由外部餐厅配送。G4原料检测楼设在厂区出入口东北侧,面积约800m²,为各种元器件进场前的性能检测,无污染物排放。2.3.5储运工程项目储运工程主要包括仓库、运输道路等,详见下表。表2.3-4储运工程组成情况表车间名称建设内容仓库化学品仓库位于G1北侧,主要存储化学品,面积约400m²材料及产品仓库项目G1F2设材料库、成品库,面积约1957m²。运输项目东侧与福兴大道相邻。2.3.6公用工程项目公用工程主要包括给排水、供电、供冷等,详见下表。表2.3-5公用工程组成情况表项目项目公用工程建设内容备注给水由市政给水管网供给,厂区北侧设蓄水池和泵房(G8)为厂区二次供水,包括DI水制备用水、清洗用水、水冷机组补水、生活用水等。DI水G1F1厂房中部设DI水机房,DI水制备能力为15t/h,制得率约60%~70%;项目DI水制备水源为自来水。DI水制备流程:采用预处理+两级反渗透+EDI+精滤系统制备DI水,预处理和一级反渗透作为预脱盐装置,脱除水中大部分的溶解盐类、颗粒、硬度、活性硅,二级反渗透和EDI作为精脱盐装置,进一步脱除水中微量的溶解盐类、硬度和SiO2,使整个系统的出水水质达到DI水出水水质要求。排水项目排水采用雨污分流的排水系统,雨水由雨水管道直接排入市政雨水管网,生产废水包括各类清洗废水等,均经废水站内清洗废水处理系统处理后通过市政污水管网接至洋里污水处理厂集中处理;DI水制备过程产生的浓水、水冷机组产生的冷凝水等直接排入市政污水管网接至洋里污水处理厂集中处理。生活污水经化粪池处理后排入市政污水管网接至洋里污水处理厂集中处理。供电由市政供电系统供给,G1F1厂房设配电房,内设控制室、高低压配电房、变压器房等。生产车间洁净等级G1生产车间采用中央空调过滤系统,洁净度达百级至千级。空调新风区中新风空调箱把空气经过初效过滤、中效过滤、高效过滤等三段过滤系统,过滤掉大部分的颗粒之后,然后通过风机送入生产车间,最后经过生产车间内部的终端超高效过滤器除去最后的细微颗粒,达到洁净效果。生产车间内部的空气经过回风墙,然后通过超高效过滤往复过滤循环,达到洁净效果。回风生产厂房一层、三层各设回风机组1台,二层、四层各设回风机组5台。压缩空气生产厂房楼顶西北侧设无油变频螺杆式空压机组4台(6.9m³/min,1.0MPa);设不锈钢储气罐4个,配套高温型冷冻式干燥机HX-008GF,低露点微热吸附式干燥机JED-008L,含4套精密滤器、成套控制柜。永磁变频螺杆式空压机4台(5.4—13.6m³/min,0.8Mpa);配套阿米格冷冻式高温型干燥机AMG-100AC、阿米格微热吸附式干燥机AMG-100HP、申江不锈钢储气罐,含精密过滤器。真空泵站生产厂房一层东北角设ZF-3A真空泵3台,大抽气速率230m³/h×3=690m³/h;极限真空度-0.098Mpa,工作压力范围0~-0.09MPa供冷厂房一层东北角设冷水机组3套,每套机组制冷量3516kW(1000RT),输入功率=640.6KW,10000V,制冷剂R134a,冷却水;进水温度37℃,出水温度32℃,冷冻水进水12℃,出水7℃。冷却水流量603.8t/h。机修室G6,位于厂区西北侧,负责厂区设备的维修。2.3.7环保工程项目环保工程主要包括废水治理工程和废气治理工程等,详见下表。表2.3-6环保工程组成情况表名称建设位置治理内容污染源位置排放口编号废水清洗废水处理设施(TW001)G2北侧处理清洗废水G1DW001含氟废水处理设施(TW002)G2北侧处理含氟废水G1DW001G1区化粪池G1北侧生活污水G1-G4DW002废气有机废气处理设施(TA001)G1东北侧处理有机废气清洗、擦拭DA001蚀刻废气处理设施(TA002)G1东北侧处理蚀刻废气蚀刻区DA002显影废气处理设施(TA003)G1东北侧显影废气显影区DA003喷砂废气处理设施(TA004)G1北侧喷砂废气喷砂区DA004噪声声屏障G1南侧设备噪声G1/固废危废间厂区北侧临时贮存危废各车间危废/一般固废仓库G9厂区东北角一般固废各车间/续表2.3-6环保工程组成情况表名称处理工艺处理规模排气筒高度备注废水清洗废水处理设施(TW001)化学沉淀法100t/d/含氟废水处理设施(TW002)化学沉淀法10t/d/G1区化粪池厌氧100t/d/废气有机废气处理设施(TA001)沸石吸附+催化燃烧130000m³/h20m共2套蚀刻废气处理设施(TA002)等离子体+碱洗塔2000m³/h20m显影废气处理设施(TA003)喷淋塔1000m³/h20m喷砂废气处理设施(TA004)布袋除尘器1500m³/h20m噪声声屏障隔声///固废危废间/100t/a/一般固废仓库/200m²/2.3.8主要生产设施及设施参数项目主要生产设备详见下表。表2.3-7工程(G1F1)主要设备一览表序号名称数量功能所用工段1光刻工序234表2.3-8工程(G1F2/3)主要设备一览表序号设备名称数量功能所用工段备注1PMLA23表2.3-9工程(G1F4)主要设备一览表序号设备名称数量功能所用工段备注1FAU23表2.3-10工程公用工程、环保工程主要设备一览表公共设备名称型号数量功能2.3.9主要原辅材料及燃料⑴主要原辅材料及能源消耗情况项目不涉及燃料消耗,主要原辅材料消耗情况详见下表。表2.3-11工程(G1F1)主要原辅材料消耗情况一览表名称重要组分/规格/指标年用量用途表2.3-12工程(G1F2/3)主要原辅材料消耗情况一览表名称重要组分/规格/指标年用量用途备注表2.3-13工程(G1F4)主要原辅材料消耗情况一览表名称重要组分/规格/指标年用量用途备注⑵主要原辅材料存储方式项目生产过程中涉及化学品、清洗剂、有机溶液等均存放于化学品仓库,其主要存放物质、存储量、储存方式等详见下表。表2.3-14项目(G1)主要原辅材料储存方式一览表序号物质名称所属类别最大储存量储存方式存储位置1光刻胶易燃液体50L1加仑/瓶,瓶装化学品仓库2PGMEA有毒液体200L5L/瓶,瓶装化学品仓库3显影液有毒液体300L5L/瓶,瓶装化学品仓库4四氟化碳有毒气体235L47L/钢瓶,瓶装化学品仓库5三氟甲烷有毒气体94L47L/钢瓶,瓶装化学品仓库6八氟环丁烷有毒气体94L47L/钢瓶,瓶装化学品仓库7六氟化硫有毒气体94L47L/钢瓶,瓶装化学品仓库8三氟化氮有毒气体94L47L/钢瓶,瓶装化学品仓库9WIN-15清洗剂有毒液体100L25L/桶,桶装化学品仓库10JB-112清洗剂有毒液体350L25L/桶,桶装化学品仓库11AMS-2021清洗剂有毒液体500L25L/桶,桶装化学品仓库12乙醚易燃液体0.5t500ml/瓶,瓶装化学品仓库13乙醇易燃液体2.0t5L/桶,桶装化学品仓库14氢氧化钾有毒固体2.0t25kg/桶,桶装化学品仓库15盐酸有毒液体0.2t37%,桶装化学品仓库2.3.10劳动定员及工作制度项目共分为各区劳动定员及工作制度详见下表。表2.3-15劳动定员及工作制度情况表车间名称劳动定员(人)工作制度备注G14000全年工作天数为300天,两班制,每班工作10小时,全年生产4800h;蚀刻总生产时间为6000h,喷砂总生产时间1800h。/2.4项目工程分析2.4.1水平衡项目生产过程产生的废水包括各类清洗废水、喷砂废水、含氟废水、DI水制备浓水、冷凝水及生活污水等。⑴DI水制备浓水项目DI水制备用水量320t/d,其中浓水产生量约95.7t/d,DI水制造量为224.3t/d。⑵G1F1清洗用水项目采用清洗剂对硅片、玻璃片进行清洗后,采用DI水对其进行二次清洗,清洗过程中用水量60t/d,生产过程中蒸发消耗约5%,即3.0t/d,清洗废水产生量为57.0t/d。⑶G1F3清洗用水项目采用清洗剂对基板、MT进行清洗后,采用DI水对其进行二次冲洗,清洗过程中用水量140t/d,生产过程中蒸发消耗约5%,即7.0t/d,清洗废水产生量为133.0t/d。⑷显影液清洗用水项目采用显影液对硅片显影后,采用DI水对其进行清洗,清洗过程中用水量24.0t/d,生产过程中蒸发消耗约5%,即1.2t/d,清洗废水产生量为22.8/d。建⑸喷砂用水设内项目湿式喷砂过程,白刚玉与水一起对防污板上的镀层进行喷砂处理,用水量容4.0t/d,消耗0.8t/d,废水产生量约为3.2t/d。⑹间接冷却水项目镀膜机、光刻机等间接冷却水出水温度约37℃,经冷水机组处理后温度为35℃,循环用水量约20000t/d,该部分用水均为循环水,不外排;冷却水消耗量为25t/d。⑺抛光、研磨清洗用水项目对硅片、玻璃片抛光和研磨后需对设备和产品进行冲洗,清洗过程中用水量60t/d,生产过程中蒸发消耗约5%,即3.0t/d,抛光液带入水1.8t/d,废水产生量为58.8t/d。⑻垫片清洗用水项目对玻璃进行湿法腐蚀后,需对玻璃上残留的碱液进行清洗,清洗过程用水量30t/d,生产过程中蒸发消耗约5%,即1.5t/d,清洗废水产生量为28.5t/d。⑼蚀刻废气处理用水项目蚀刻产生的废气采用喷淋塔碱洗过程中用水量为10.0t/d,运行过程中蒸发消耗约10%,即1.0t/d,含氟废水产生量为9.0t/d。⑽夹具清洗项目对镀膜夹具采用脱模清洗剂清洗后,采用自来水清洗,用水量4.0t/d,蒸发消耗约5%,即0.2t/d,清洗废水产生量为3.8t/d。⑾生活污水项目拟新增职工4000人,均不在厂内住宿;项目食堂所需餐食均为外购,仅提供就餐场所。根据《建筑给水排水设计标准》(GB50015-2019),不住厂职工每人每天生活用水量按50L/人·d计,食堂每人每天生活用水量按10L/人·d计,排污系数按0.9计;则生活用水量为240t/d,经化粪池处理后排放量为216.0t/d。建设内容2.4.2工艺流程及产污环节项目生产PMLA、FAU、FFK等三款产品,其具体生产工艺如下:2.4.2.1PMLA生产工艺项目PMLA生产工艺流程由硅片生产、垫片生产、硅片与垫片耦合、耦合后产品与FAU装配等组成,晶圆经蚀刻、镀膜、抛光、切割等工序生产硅片组件;玻璃经湿法腐蚀、抛光、切割生产垫片组件;硅片组件和垫片组件经耦合、再与FAU装配后即为PMLA产品。2.4.2.2FAU生产工艺FAU生产工艺主要包括FA和MT生产段,其工艺主要包括制线、清洗、上下盘、研磨、保偏调芯、组装和检测等。2.4.2.3FFK生产工艺项目FFK生产工艺主要采用乙醇、乙醚等对元器件进行擦拭、采用乙醇对不锈钢、工铝、PA66等器件进行清洗,再采用胶水对其粘贴、耦合、组装、固化,最后经测试后即艺为成品。流程2.4.2.4装配台生产工艺和产项目装配台生产线主要对各种金属配件、桌面、其他配件等进行组装,组装过程不污产生废水、废气;仅产生少量废包装材料、废配件等。环节2.4.2.5产污环节汇总项目废水、废气、固体废物等产生环节详见下表。表2.4-1项目废气污染源产生环节汇总表车间名称废气名称主要产污工艺污染物处理设施排放口名称G1有机废气涂胶、固化、上盘、擦拭、清洗非甲烷总烃TA001DA001蚀刻废气光刻SiF₄、CF₄、C₄F₈TA002DA002显影废气显影氨、臭气浓度TA003DA003喷砂废气喷砂颗粒物TA004DA004表2.4-2项目废水新增污染源产生环节汇总表车间名称废水名称主要产污工艺污染物处理设施排放口名称G1喷砂废水喷砂SSTW001DW001抛光废水抛光、研磨SS显影液清洗废水显影pH、COD、氨氮清洗废水硅片、垫片、MT、FA清洗pH、LAS、COD、氨氮、总磷、总氮碱性废水湿法腐蚀pHDI水制备浓水DI水制备COD、SS水冷机组冷凝水水冷机组/含氟废水蚀刻SS、氟化物研磨废水研磨SS清洗废水夹具清洗pH、SS生活污水办公、生活COD、SS、氨氮、BOD₅化粪池DW002表2.4-3项目固体废物产生环节汇总表车间名称固体废物名称主要产污工艺主要成分固废类别编号G1废硅片、玻璃检测、切割二氧化硅一般固废S1废显影液显影四甲基氢氧化铵危险废物S2废白刚玉喷砂白刚玉一般固废S3污水处理污泥清洗废水处理三氧化二铝、二氧化硅一般固废S4废胶下盘树脂一般固废S5废有机溶剂清洗、擦拭乙醇、乙醚危险废物S6废胶水组装环氧树脂危险废物S7废有机溶剂包装物清洗、擦拭乙醇、乙醚危险废物S8废化学品容器全工序化学品危险废物S9废擦拭纸擦拭乙醇、乙醚危险废物S10废机油公用设备机油危险废物S11废碱湿法腐蚀氢氧化钾危险废物S12包装材料原料包装纸、塑料一般固废S13DI水处理树脂DI水处理树脂一般固废S14含氟污泥含氟废水处理氟化钙待鉴定S15废沸石废气治理挥发性有机物危险废物S16废催化剂废气治理铂、钯危险废物S17废配件装配台组装金属、塑料一般固废S18项目位于晋安区福兴大道37号,租赁福州市晋安区国有资产投资发展集团有限公司48777.25m²厂房,包括生产厂房、办公楼、食堂、化学品库、仓库等。该厂区原为福建富的乐运动用品有限公司所有,主要生产运动鞋和。2025年,该厂区被福州市晋安区国有资产投资发展集团有限公司收购,收购至今厂房均为闲置状态。根据现场调查,各厂房、化学品库、办公楼、食堂等建构筑物内原有设备、物料等均已拆除并清理;厂房及化学品库地面均设有环氧树脂涂层,未发现破损及机油等物料泄漏痕迹。与项目有关的原有环境污染问题三、区域环境质量现状、环境保护目标及评价标准3.1区域环境质量现状3.1.1大气环境3.1.1.1环境空气功能区划根据福州市人民政府批准实施的《福州市环境空气质量功能区划》(榕政综〔2014〕30号),项目所在区域环境空气功能规划为二类区;项目区环境空气质量执行《环境空气质量标准》(GB3095-2026)中二级标准;具体详见下表。表3.1-1环境空气质量执行标准一览表序号污染物平均时间过渡阶段浓度限值浓度限值单位标准来源一级二级一级二级1SO₂年平均20602020μg/m³《环境空气质量标准》(GB3095-2026)日平均5015050501小时平均1505001501502NO₂年平均40403030日平均808050501小时平均2002002002003CO日平均4444mg/m³1小时平均101010104O₃日最大8小时平均100160100160μg/m³1小时平均1602001602005PM₁₀年平均40602050日平均50120501006PM₂.₅年平均15301025日平均35602550非甲烷总烃参照执行《大气污染物综合排放标准详解》中一次值;TVOC等参照执行《环境评价技术导则大气环境》(HJ2.2-2018)附录D;氟化物执行《环境空气质量标准》(GB3095-2026)表A.1中浓度限值;具体详见下表。表3.1-2环境空气质量执行标准一览表序号污染物项目平均时间浓度限值单位标准来源1非甲烷总烃1小时平均2mg/m³《大气污染物综合排放标准详解》2F1小时平均20μg/m³《环境空气质量标准》(GB3095-2026)日平均7μg/m³3氨1小时平均200μg/m³《环境评价技术导则大气环境》(HJ2.2-2018)附录D3.1.1.2空气质量达标区判定项目位于福州市晋安区福兴投资区,根据福州市生态环境局发布的2025年福州市环境空气质量情况,项目区属于达标区,详见下表。表3.1-3环境空气质量监测数据汇总表(2025年)监测项目紫阳(二级)监测数据过渡阶段浓度限值浓度限值SO₂年均浓度5μg/m³≤60μg/m³≤20μg/m³NO₂年均浓度19μg/m³≤40μg/m³≤30μg/m³CO日平均第95百分位数0.4mg/m³≤4mg/m³≤4mg/m³O₃日8小时平均第90百分位数129μg/m³≤160μg/m³≤160μg/m³PM₂.₅年均浓度19μg/m³≤30μg/m³≤25μg/m³PM₁₀年均浓度39μg/m³≤60μg/m³≤50μg/m³3.1.1.3补充监测为了解项目所在区域空气环境质量现状,建设单位委托福建山水环境检测有限公司开展的环境空气现状监测结果。⑴监测点位具体监测点位设置、监测时间及监测因子详见下表。表3.1-4环境空气监测点位及监测项目一览表编号监测点名称监测点坐标相对厂址方位经度纬度1#高意A6西侧119°21′19.56″26°04′55.61″项目区西侧330m监测因子1小时平均氟化物、非甲烷总烃、氨、臭气浓度日均值TSP、氟化物⑶监测单位:福建山水环境检测有限公司(CMA)⑷监测时间及频率:2026年1月13—1月19日,每个监测点连续采样7天;监测1小时均值和日均值。监测同时记录气象要素。⑸采样时间及分析方法:按《环境空气质量标准》GB3095-2026中规定的时间进行,详见下表。表3.1-5项目大气环境现状监测方法一览表检测项目方法名称检出限氟化物环境空气氟化物的测定滤膜采样/氟离子选择电极法HJ955-2018小时值:5×10⁻⁴mg/m³日均值:6×10⁻⁵mg/m³非甲烷总烃环境空气总烃、甲烷和非甲烷总烃的测定直接进样-气相色谱法HJ604-20170.07mg/m³氨环境空气和废气氨的测定纳氏试剂分光光度法HJ533-20090.01mg/m³臭气浓度环境空气和废气臭气的测定三点比较式臭袋法HJ1262-202210(无量纲)TSP环境空气总悬浮颗粒物的测定重量法HJ1263-20220.168mg/m³⑹监测结果项目大气环境质量现状监测结果详见下表。表3.1-6大气环境质量现状监测结果统计表监测点位污染物平均时间评价标准(mg/m³)最大值(mg/m³)最大浓度占标率(%)超标率(%)达标情况高意A6西侧氟化物日均值0.0070达标TSP日均值0.30达标氟化物1小时平均0.0200达标非甲烷总烃1小时平均20达标氨1小时平均0.20达标臭气浓度(无量纲)1小时平均///从上表可知,项目所在区域的TSP、氟化物能达到《环境空气质量标准》(GB3095-2026)中浓度标准;非甲烷总烃小时平均浓度能达到《大气污染物综合排放标准详解》一次值限值,说明项目所在地大气环境质量良好。3.1.2地表水环境3.1.2.1水环境功能区划及执行标准项目生产废水和生活污水均排入城市污水管网,最终由洋里污水处理厂处理,污水处理厂尾水排入光明港;项目周边地表水为项目东侧20m外的磨洋河。根据《福州市水功能区划》(榕政综〔2019〕316号):光明港、磨洋河等内河水体主要功能为一般景观用水,水质执行《地表水环境质量标准》(GB3838-2002)中Ⅴ类水标准。3.1.2.2地表水环境质量现状根据福州市生态环境局网站公布的《2024年1—9月福州市水环境质量状况》:2024年1—9月,主要流域9个国控断面Ⅰ-Ⅲ类水质比例为100%,36个省控及以上断面Ⅰ-Ⅲ类水质比例为100%;小流域54个省控断面Ⅰ-Ⅲ类水质比例为100%。县级及以上集中式饮用水源地水质达标率为100%。因此,项目所在区域水质良好,满足水环境功能区划的要求。3.1.3声环境3.1.3.1声环境功能区划及执行标准项目位于福州市晋安区福兴投资区,根据《福州市城区声环境功能区划》(榕环保综〔2021〕77号),项目所在区域属于3类声环境功能区,声环境执行《声环境质量标准》(GB3096-2008)中3类标准;临福兴大道一侧属于4a类声环境功能区,声环境执行《声环境质量标准》(GB3096-2008)中4a类标准;详见下表。表3.1-7声环境质量标准(摘录)区标准类别适用区域等效声级Leq(dB(A))昼间夜间2以商业金融、集市贸易为主要功能,或者居住、商业、工业混杂,需要维护住宅安静的区域。≤60≤503以工业生产、仓储物流为主要功能,需要防止工业噪声对周围环境产生严重影响的区域。≤65≤554a高速公路、一级公路、二级公路、城市快速路、城市主干路、城市次干路、城市轨道交通(地面段)、内河航道两侧区域。≤70≤553.1.3.2声环境质量现状根据评价区域环境声学特征,福建中凯检测技术有限公司对项目厂界噪声进行调查监测,监测工况为:未施工、未生产。⑴监测点布设:在项目厂界共布置了4个噪声监测点,敏感点共布置了8个噪声监测点。⑵监测时间和频次:2026年5月29—30日、2026年7月14—15日,昼间(6:00~22:00),夜间(22:00~6:00)各测量一次。⑶监测结果:项目厂界和敏感点监测结果详见下表。表3.1-8项目厂界噪声监测结果统计表测点位置噪声排放值标准值达标情况单位2026.5.292026.5.30昼间夜间昼间夜间昼间夜间▲1厂界东侧外1m≤70≤55达标dB(A)▲2厂界北侧外1m≤65≤55▲3厂界西侧外1m▲4厂界南侧外1m表3.1-9项目敏感点噪声监测结果统计表测点位置噪声排放值标准值达标情况单位2026.7.142026.7.15昼间夜间昼间夜间昼间夜间△1#华伦中学宿舍楼1楼≤65≤55达标dB(A)△2#华伦中学宿舍楼3楼△3#华伦中学宿舍楼5楼△4#华伦中学宿舍楼6楼△5#华伦中学教学楼1楼△6#华伦中学教学楼3楼△7#华伦中学教学楼5楼△8#华伦中学教学楼6楼量现由监测结果可知,项目除福兴大道一侧昼、夜间厂界和敏感点噪声监测结果均满足状《声环境质量标准》(GB3096-2008)中的3类标准;项目东侧临福兴大道一侧昼、夜间厂界噪声监测结果均满足《声环境质量标准》(GB3096-2008)中的4类标准。3.2环境保护目标3.2.1大气环境项目厂界外500m范围内无自然保护区、风景名胜区等保护目标,其他居住区、文化区等人群较集中的保护目标详见下表。表3.2-1大气环境敏感目标一览表编号敏感目标相对方位及距离受影响对象基本情况环境功能区划及保护要求1华伦中学晋安校区南侧紧邻学校,600人环境空气满足《环境空气质量标准》(GB3095-2026)二类区环境功能2宏捷·名仕雅居南侧60m584户3樟林新苑西侧375m376户3.2.2声环境项目周围50m范围内声环境敏感目标详见下表。表3.2-2声环境敏感目标一览表编号敏感目标相对方位及距离受影响对象基本情况环境功能区划及保护要求1华伦中学晋安校区南侧紧邻学校,600人声环境满足《声环境质量标准》(GB3096-2008)中2类标准护目3.2.3地下水环境标项目周围500m范围内无地下水集中式饮用水水源和热水、矿泉水、温泉等特殊地下水资源。3.2.4生态环境项目位于福州福兴经济开发区,厂房均为租赁,无新增占地。3.3污染物排放控制标准3.3.1废水项目运营期产生的生产废水排放执行《电子工业水污染物排放标准》(GB39731-2020)中表1中间接排放标准,项目生活污水排放执行《污水综合排放标准》(GB8978-1996)表4中三级标准,其中氨氮、总磷、总氮执行《污水排入城镇下水道水质标准》(GB/T31962-2015)表1中A级排放限值;具体标准限值详见下表。表3.3-1水污染物排放标准排放标准GB39731-2020表1间接排放GB8978-1996表4中三级标准pH6-96-9SSCOD氨氮<45*1总氮<70*1总磷<8*1石油类<20LAS<20<20氟化物监控位置生产废水排放口生活污水排放口制注:*1氨氮、总磷、总氮执行《污水排入城镇下水道水质标准》(GB/T31962-2015)表1中A级排标放限值。*2建设单位承诺生产废水、生活污水排放口氟化物分别按照《电子工业水污染物排放标准》准(GB39731-2020)中表1中直接排放标准和《污水综合排放标准》(GB8978-1996)表4中一级排放标准控制。3.3.2废气项目产生的废气主要为有机废气、蚀刻废气、显影废气等。⑴有机废气根据《福建省生态环境厅关于国家和地方相关大气污染物排放标准执行有关事项的通知》(闽环保大气〔2019〕6号),非甲烷总烃有组织排放执行《工业企业挥发性有机物排放标准》(DB35/1782-2018)表1限值要求,无组织企业边界监控点浓度限值排放执行《工业企业挥发性有机物排放标准》(DB35/1782-2018)表2标准限值,厂区内监控点浓度执行《挥发性有机物无组织排放控制标准》(GB37822-2019)中附录A表A.1特别排放限值;详见下表。表3.3-2挥发性有机物有组织排放标准行业名称污染物最高允许排放浓度(mg/m³)排气筒高度(m)最高允许排放速率(kg/h)电子产品制造非甲烷总烃80151.8203.6309.64017.4执行标准《工业企业挥发性有机物排放标准》(DB35/1782-2018)表3.3-3挥发性有机物无组织排放标准污染物项目厂区内监控点浓度特别排放限值企业边界监控点浓度限值1h平均浓度值监控点处任意一次浓度值NMHC6202.0执行标准GB37822-2019DB35/1782-2018⑵其他废气项目蚀刻废气中的氟化物、二氧化硫,喷砂废气中的颗粒物等执行《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)表2中二级标准限值,非甲烷总烃有组织排放执行《工业企业挥发性有机物排放标准》(DB35/1782-2018)表1限值要求;项目蚀刻废气、喷砂废气排气筒高度不能达到“高出周围200m半径范围的建筑5m以上”的要求,氟化物、二氧化硫、颗粒物等污染物的排放速率标准值严格50%执行。显影废气中的氨、臭气浓度执行《恶臭污染物排放标准》(GB14554-93)表1二级标准,具体详见下表。表3.3-4其他废气中各污染物排放标准污染物最高允许排放浓度(mg/m³)最高允许排放速率(kg/h)无组织排放监控浓度限值排气筒高度(m)二级标准严格50%监控点浓度(mg/m³)氟化物9150.100.05周界外浓度最高点0.02200.170.085二氧化硫550152.61.30.4204.32.15颗粒物120153.51.751.0205.92.95NH3/154.9/0.02208.7/臭气浓度2000(无量纲)15//203.3.3噪声项目运营期厂界噪声执行《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)中3类标准,临福兴大道一侧厂界执行《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)中4类标准;建设单位承诺南侧临华伦中学一侧厂界噪声执行《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)中2类标准。具体标准详见下表。表3.3-5工业企业厂界环境噪声排放限值声环境功能区类别昼间夜间单位2类6050dB(A)3类65554类70553.3.4固体废物一般工业固体废物采用包装工具(包装袋等)贮存,其贮存过程应满足相应防渗漏、防雨淋、防扬尘及《中华人民共和国生态环境法典》中相关要求。危险废物在厂内贮存执行《危险废物贮存污染控制标准》(GB18597-2023)。污染物排放控制标准3.4总量控制指标根据国家“十四五”期间污染物总量控制要求及《福州市“十四五”生态环境保护规划》《福建省人民政府关于全面实施排污权有偿使用和交易工作的意见》(闽政〔2016〕54号)《福建省主要污染物排污权指标核定管理办法(试行)》(闽环发〔2014〕12号)《福建省环保厅关于进一步明确排污权工作有关问题的通知》(闽环保财〔2017〕22号)等有关文件要求,需进行排放总量控制的污染物为COD、NH₃-N、SO₂、NOₓ、VOCs。项目生产废水和生活污水分别经厂区污水处理设施和化粪池预处理后,分别接入市政污水管网,并纳入福州洋里污水处理厂统一处理。项目生产废水排放量为143730t/a,经污水处理厂处理后出水排放执行《城镇污水处理厂污染物排放标准》(GB18918-2002,含2006年、2025年修改单)表1中一级A标准(COD≤50mg/L、NH₃-N≤5mg/L)。项目废水污染物COD、NH₃-N按污水处理厂出水标准进行排污权总量核算。项目新增主要污染物排放总量为COD≤7.187t/a、NH₃-N≤0.719t/a、SO₂≤0.0006t/a、VOCs≤12.591t/a,详见表3.4-1。总,表3.4-1拟建项目总量控制一览表量项目名称水污染物大气污染物COD氨氮二氧化硫氮氧化物挥发性有机物拟建工程7.187t/a0.719t/a0.0006t/a/12.591t/a项目生产废水经处理后排入洋里污水处理厂,总量控制污染物主要为COD、NH₃-N,需通过海峡交易市场购买。大气污染物总量控制污染物主要为VOCs,由福州市储备库内调剂。项目蚀刻生产过程采用六氟化硫时,会排放少量二氧化硫,根据《福建省生态环境厅关于印发服务和促进民营经济发展九条措施的通知》(闽环保综合〔2025〕1号),在严格实施各项污染防治措施基础上,二氧化硫、氮氧化物、化学需氧量的单项新增年排放量小于0.1吨,氨氮小于0.01吨的建设项目,免购买排污权交易指标、提交总量来源说明。本项目二氧化硫排放量小于0.1吨,免于购买排污权交易指标,但需在排污许可证中申报和登记。四、主要环境影响和保护措施施4.1施工期环境影响和保护措施工期项目虽为新建项目,但其新增生产线均在现有厂房内安装设备后即可投入生产,根环境据建设单位提供资料,项目施工期主要为设备采购、安装、调试等时间,需6个月。项保目无土建、装修等施工期,因此施工期不会对周围环境产生影响。护措施4.2运营期环境影响和保护措施4.2.1废气4.2.1.1源强核算过程1.蚀刻废气项目蚀刻机的蚀刻和清洗过程中需使用四氟化碳、三氟甲烷、八氟环丁烷、六氟化硫、三氟化氮。目前主要蚀刻气体包括氟基气体、氯基气体、溴基气体、含碳卤代物等,其中含碳卤代物对臭氧层具有严重的破坏作用,氯基气体、溴基气体毒性较强(常见蚀刻气体毒性ClF₃>F₂>Cl₂>BF₃>HBr>BCl₃>WF₆>NF₃>C₄F₈>SF₆>CHF₃>CF₄);运本项目采用毒性最低的全氟化合物,对人体及环境影响最小。营根据建设单位提供资料,经蚀刻或清扫后约0%~10%的全氟化合物被消耗,生成四期环氟化硅气体,其余仍以全氟化合物气体状态排出。因四氟化硅气体极易与水反应生成氟境保化氢,为了保守估算污染物产排情况,本报告以蚀刻气体未反应的最不利情况计算污染护措物产排情况。项目拟采用等离子体净化设备处理全氟化合物,将其转化为氟化氢,根据施分解的难易程度,各全氟化合物去除率详见下表。表4.2-1等离子体对全氟化合物去除率一览表工序气体名称蚀刻时间气体使用量去除率工况设备参数本报告取值蚀刻四氟化碳5000h40L/h200000L/a95%~99%95%工况一三氟甲烷300h40L/h12000L/a99%~99.9%99%工况二八氟环丁烷400h40L/h16000L/a99%~99.9%99%工况三六氟化硫300h40L/h12000L/a96%~99%96%工况四清洗三氟化氮300h40L/h12000L/a99%~99.9%99%工况五蚀刻废气采用等离子体净化设备裂解后再通过二级喷淋塔碱洗,吸收氟化氢和氟化硅,喷淋塔碱洗过程吸收效率按98%计。项目蚀刻过程各工况情况下氟化物产排情况详见下表。表4.2-2项目蚀刻废气F元素平衡表工况含氟物料全氟化合物用量原料氟含量氟化物排放量*kg/hkg/akg/hkg/ag/hkg/a工况一四氟化碳0.1439719.40.1243621.328.5742.87工况二三氟甲烷0.114534.340.093227.962.770.83工况三八氟环丁烷0.327130.810.248599.417.402.96工况四六氟化硫0.238871.630.186455.9211.033.31工况五三氟化氮0.116134.830.093227.962.770.83合计/991.01/832.57/50.81注:*废气排放量=氟化物用量×(1-全氟化合物去除率)+氟化物用量×全氟化合物去除率×(1-碱洗塔吸收率)。除以上氟化物外,项目使用的三氟化氮经等离子体裂解后,N元素以氮气形式排放;六氟化硫中的硫元素以二氧化硫形式排放。工况四情况下,按最不利情况,硫元素全部转化为二氧化硫;经计算,二氧化硫产生量为0.1058kg/h,年生产300h,则年产生量为31.38kg。二氧化硫经碱洗塔吸收后排放速率和排放量分别为2.12g/h、0.63kg/a。项目蚀刻废气中各污染物产排情况详见下表。表4.2-3项目蚀刻废气源强核算表废气名称工况污染物名称废气量(m³/h)污染物产生情况处理效率(%)污染物排放情况排放时间浓度(mg/m³)速率(kg/h)浓度(mg/m³)速率(g/h)蚀刻废气工况一氟化物200062.20.124393.14.38.575000h非甲烷总烃200072.00.1439953.67.20工况二氟化物200046.60.0932971.42.77300h非甲烷总烃200057.30.1145990.61.15工况三氟化物2000124.30.2485973.77.40400h非甲烷总烃2000163.50.327991.63.27工况四氟化物200093.20.186494.15.511.03300h二氧化硫200052.90.1058981.12.12工况五氟化物200046.60.0932971.42.77300h2.显影废气项目显影过程使用的显影液主要成分为四甲基氢氧化铵,年使用量约164.22kg,该物质属于强碱,在常温下具有一定的挥发性,会缓慢释放氨味。为减少该显影废气对操作人员和环境的影响,建设单位拟将显影机设置在通风橱内,显影废气采取负压收集后经酸洗塔酸洗后由15m高排气筒排放。项目显影过程所用的四甲基氢氧化铵使用量较小,其挥发量极少,显影废气内主要污染物为氨和臭气浓度,经酸洗后排放,对大气环境影响不大。3.有机废气项目产生有机废气的工艺主要有光刻、清洗、擦拭、上盘、胶合、固化等工序,各车间有机废气产生及排放情况如下:⑴光刻工序项目光刻工序中使用的光刻胶主要成分为丙二醇甲醚醋酸酯、酚醛树脂、感光剂等,在涂胶和烘烤过程中丙二醇甲醚醋酸酯挥发会产生有机废气,本评价以非甲烷总烃计,挥发量按使用量的85%计,则光刻工序有机废气挥发量为765.0kg/a。光刻工序在无尘室内进行,该工序产生的挥发性有机物经无尘室回风通道内负压收集后由沸石吸附+催化燃烧处理后排放。运营,表4.2-4拟建项目光刻工序废气产排情况一览表(kg/a)期序号生产工段光刻计算过程/物料光刻胶/产生位置G1F1/①原料量900/②VOCs挥发比例85%/③VOCs挥发量765.0①×②④VOCs无组织排放量76.5③×(1-⑧)⑤VOCs有组织产生量688.5③×⑧⑥VOCs削减量619.7⑤×⑨⑦VOCs有组织排放量68.9⑤×(1-⑨)⑧VOCs收集率90%/⑨VOCs处理率90%/⑵清洗工序废气项目采用水基清洗剂的清洗过程中不会产生挥发性有机物;采用溶剂型清洗剂、乙醚、乙醇进行清洗过程均采用超声波清洗器进行,其间挥发一定的有机废气,污染物以非甲烷总烃计。根据福州高意光学有限公司、福州高意通讯有限公司对光学器件产品技术提升改造及扩建项目、光通讯器件扩建和光学显示元器件产品技术提升改造项目等已建工程运行时清洗物料用量和危险废物产生量统计情况,采用乙醇和溶剂型清洗剂进行清洗过程清洗器为加盖池体,乙醇较易挥发,溶剂型清洗剂不易挥发,乙醇挥发量一般在10%—15%之间;溶剂型清洗剂挥发量一般在5%以内;本项目按最大挥发量考虑,分别按15%和5%计算。清洗工序非甲烷总烃产生量详见下表。清洗工序在通风橱内进行,挥发性有机物分别收集后经管道输送至废气处理设施(沸石+催化燃烧)处理后排放。表4.2-5拟建项目G1清洗工序废气产排情况一览表(kg/a)序号生产工段清洗清洗清洗清洗合计计算过程/物料乙醇清洗剂乙醇乙醇/产生位置G1F1G1F1G1F2G1F4//①原料量10251.612063.724270.024270.070855.4/②VOCs挥发比例15%5%15%15%//③VOCs挥发量1537.7603.23640.53640.59421.9①×②④VOCs无组织排放量76.930.2182.0182.0471.1③×(1-⑧)⑤VOCs有组织产生量1460.9573.03458.53458.58950.8③×⑧⑥VOCs削减量1314.8515.73112.63112.68055.8⑤×⑨⑦VOCs有组织排放量146.157.3345.8345.8895.1⑤×(1-⑨)⑧VOCs收集率95%95%95%95%//⑨VOCs处理率90%90%90%90%//⑶项进行,层正压集气管日约剩部挥发机物经擦拭工序废气目在生产过程中需采用乙各车间需设置成正压的,、外层采取微负压的双层道收集车间内排放无组织余5%,总量约1165.1kg,以非甲烷总烃计,擦拭无尘室回风通道内负压收表4.2-6拟建项醇、乙醚等有车间内无法对整体密闭收集有机废气,收,经统一收集至工序非甲烷总集后由沸石吸目G1擦拭工序机溶剂进行擦工位采用负压空间,在车间集率取90%危废间后委托烃产生量详见附+催化燃烧废气产排情况拭。擦拭收集,因外的回风;有机溶剂有资质的下表。该处理后排放一览表(过程均在无此建设单位廊道泄压阀使用后溶剂单位处置。工序产生挥。kg/a尘室内拟对内处安装瓶内每其他全发性有)序号生产工段擦拭擦拭擦拭擦拭合计计算过程/产生位置G1F1G1F2G1F3G1F4/①原料量18264.018264.012176.012176.060880.0/②VOCs挥发比例95%95%95%95%//③VOCs挥发量17350.817350.811567.211567.257836.0/④VOCs无组织排放量1735.11735.11156.71156.75783.6①×②⑤VOCs有组织产生量15615.715615.710410.510410.552052.4③×(1-⑧)⑥VOCs削减量14054.114054.19369.49369.446847.2③×⑧⑦VOCs有组织排放量1561.61561.61041.01041.05205.2⑤×⑨⑧VOCs收集率90%90%90%90%/⑤×(1-⑨)⑨VOCs处理率90%90%90%90%//⑷项的有机部挥发该工序上盘、固化、粘贴工序废目在上盘、固化、粘贴等废气,以非甲烷总烃计,(按最大20%计)考虑,产生挥发性有机物经通道表4.2-7拟建项目气生产过程中项目环氧树则上盘、固内负压收集G1组装工需使用环氧脂胶挥发分化、粘贴工后由沸石吸序废气产排树脂胶,其含量为5%~序非甲烷总烃附+催化燃情况一览表生产过程会挥20%,生产生量详见烧处理后排放(kg/a发一定产过程按全下表。。)序号生产工段上盘、固化、粘贴合计计算过程/产生位置G1F1G1F2G1F3G1F4//①原料量643.5148.5280.53241396.5/②VOCs挥发比例20%20%20%20%//③VOCs挥发量128.729.756.164.8279.3①×②④VOCs无组织排放量12.93.05.66.527.9③×(1-⑧)⑤VOCs有组织产生量115.826.750.558.3251.4③×⑧⑥VOCs削减量104.224.145.452.5226.2⑤×⑨⑦VOCs有组织排放量11.62.75.05.825.1⑤×(1-⑨)⑧VOCs收集率90%90%90%90%//⑨VOCs处理率90%90%90%90%//⑸有机废气汇总项目拟在厂区新增2套沸石吸附+催化燃烧装置,共用一根排气筒处理和排放项目产生的有机废气。企业按照环境监测管理规定和技术规范的要求,设置采样口和监测平台;安装非甲烷总烃自动监测设备并与生态环境主管部门联网。表4.2-8拟建项目G1有组织有机废气源强核算表废气名称污染物名称废气量(m³/h)污染物产生情况浓度速率(mg/m³)(kg/h)处理效率污染物排放情况排放时间浓度(mg/m³)速率(kg/h)有机废气非甲烷总烃99.312.9090%9.931.29099.34800h表4.2-9拟建项目G1无组织有机废气源强核算表废气名称位置污染物名称产生量(kg/h)车间面源参数(m)长度宽度高度有机废气G1非甲烷总烃1.259120110104、喷砂粉尘项目需定期将镀膜机内防污板表面的膜材沉积物去除,主要是通过喷砂机将白刚玉砂高速喷射至模板表面,从而将模板表面的沉积物去除。根据工艺要求⅓采用干式喷砂,⅔采用湿式喷砂。其中,干式喷砂过程会产生少量的粉尘,主要成分为氧化钽、二氧化硅、氧化钛、氧化铝、氟化镁等。项目干式喷砂年使用白刚玉砂量均为10t/a、膜材总用量235.14kg;其中,白刚玉硬度较大,不易磨损,粉尘产生量按原料用量的5%计;膜材中约30%镀在坩埚内,喷砂后全部为粉尘;则喷砂粉尘产生量为各570.1kg/a。喷砂机自带集尘系统,设备密闭运行过程中产生的粉尘经出气口连接除尘器进行收集处理;喷砂房密闭运行,粉尘经集尘系统收集后由布袋除尘器处理后汇入20m高排气筒排放。项目喷砂粉尘产排情况见下表。表4.2-10拟建项目喷砂粉尘源强核算表废气名称工序污染物名称废气量(m³/h)污染物产生情况处理效率污染物排放情况排放时间浓度(mg/m³)速率(kg/h)浓度(mg/m³)速率(kg/h)喷砂粉尘喷砂粉尘1500211.30.31798%4.20.0061800h注:喷砂工序为间断性生产,总生产时间约1800h。4.2.1.2源强核算结果详见下表。表4.2-11拟建项目有组织废气污染源源强核算结果及相关参数一览表产污环节污染因子产生源强治理设施处理能力m³/h收集效率治理工艺去除率%是否可行技术排放源强浓度(mg/m³)速率(kg/h)产生量(t/a)浓度(mg/m³)速率(kg/h)排放量(t/a)蚀刻废气工况一氟化物62.10.12430.6215等离子体+碱洗塔2000100%93.1是4.38.57×10⁻³0.0429非甲烷总烃72.00.14390.71942000100%95.0是3.67.20×10⁻³0.0360工况二氟化物46.60.09320.02802000100%97.0是1.42.77×10⁻³0.0008非甲烷总烃57.30.11450.03432000100%99.0是0.61.15×10⁻³0.0003工况三氟化物124.30.24850.09942000100%97.0是3.77.40×10⁻³0.003非甲烷总烃163.50.3270.1312000100%99.0是1.63.27×10⁻³0.0013工况四氟化物93.20.18640.05592000100%94.1是5.511.03×10⁻³0.0033二氧化硫52.90.10580.03172000100%98.0是1.12.12×10⁻³0.0006工况五氟化物46.60.09320.02802000100%97.0是1.42.77×10⁻³0.0008合计氟化物//0.8327//////0.051非甲烷总烃//0.8847//////0.038二氧化硫//0.0317//////0.0006显影废气氨微量微量微量酸洗塔100090%90是微量微量微量有机废气非甲烷总烃99.312.9061.943沸石吸附+催化燃烧13000090%90是9.931.2906.194喷砂废气颗粒物211.30.3170.570布袋除尘1500100%98%是4.20.0060.011续表4.2-11拟建项目有组织废气污染源源强核算结果及相关参数一览表产污环节污染因子排气筒概况排放标准是否达标监测要求编号及名称高度(m)内径(m)温度(℃)类型地理坐标浓度(mg/m³)速率(kg/h)监测频次监测点位蚀刻废气氟化物DA002200.120一般排放口119°21′35.05″,26°04′58.9″90.085*是1次/年出口非甲烷总烃803.61次/年出口二氧化硫5502.15*1次/年出口显影废气氨DA003200.120一般排放口119°21′34.98″,26°04′57.22″4.9/是1次/年出口有机废气非甲烷总烃DA001200.520一般排放口119°21′38.14″,26°04′59.34″803.6是1次/年出口喷砂废气颗粒物DA004200.120一般排放口119°21′35.697″,26°04′58.499″1201.75是1次/年出口注:*项目蚀刻废气、喷砂排气筒高度不能达到“高出周围200m半径范围的建筑5m以上”的要求,排放速率标准值严格50%执行。表4.2-12拟建项目无组织废气污染源源强核算结果及相关参数一览表产污环节污染因子产生源强治理设施处理能力m³/h收集效率治理工艺去除率是否可行技术排放源强浓度(mg/m³)速率(kg/h)产生量(t/a)浓度(mg/m³)速率(kg/h)排放量(t/a)G1非甲烷总烃/1.2595.995封闭、废气收集处理设施///是/1.3256.359续表4.2-12拟建项目无组织废气污染源源强核算结果及相关参数一览表产污环节污染因子车间面源参数(m)排放标准是否达标监测要求长度宽度高度地理坐标浓度(mg/m³)速率(kg/h)监测频次监测点位G1非甲烷总烃12011010119°21′36.66″,26°04′57.64″2.0/是1次/年上风向1个监控点、下风向3个监控点4.2.1.3措施可行性分析⑴蚀刻废气项目光刻工序需使用四氟化碳、三氟甲烷、八氟环丁烷、六氟化硫、三氟化氮等全氟化合物,根据建设单位提供资料,经蚀刻后生成少量四氟化硅气体,其余仍以四氟化碳、三氟甲烷、八氟环丁烷、六氟化硫、三氟化氮气体状态排出。项目蚀刻废气主要含四氟化碳、三氟甲烷、八氟环丁烷、六氟化硫、三氟化氮、二氧化硫等污染物;其中CF₄、C₄F₈化学稳定性极强、GWP(全球变暖潜能值)极高,常规水洗/碱洗几乎无法去除。SiF₄易水解、二氧化硫易被碱吸收,常规喷淋即可有效去除。因此,该废气处理的难点在于四氟化碳、三氟甲烷、八氟环丁烷、六氟化硫、三氟化氮的高效降解,常规处理措施对比情况详见下表。表4.2-13蚀刻废气处理措施对比表处理技术适用对象原理简述去除率优点缺点本项目适用性等离子体低流量PFCs高能电子/自由基断裂C–F键、S–F键N–F键95%–99.9%降解彻底,产物HF易碱洗能耗高;对粉尘敏感高(推荐)高温焚烧(≥1100℃)高浓度PFCs高温热解+氧化,生成HF/CO₂95%–99%降解效率高;技术成熟能耗高,产生NOₓ/二噁英;低(二次污染)催化水解(高温)PFCs催化剂(Al₂O₃等)+高温(800℃)水解为HF20%–40%能耗低效率低;催化剂易失活;低(效率不足)吸附法(活性炭/沸石)低浓度VOCs物理吸附浓缩成本低不降解PFCs;易饱和;极低(效率低)膜分离/低温精馏高浓度PFCs选择性渗透/低温分馏30%–60%可回收不适用于低浓度废气低(效率低)常规碱洗/水洗HF、SiF₄、酸性气体酸碱中和/水解吸收成本低对CF₄/C₄F₈完全无效极低(效率低)根据上表比对,项目拟采用等离子体净化设备处理全氟化合物,将其转化为氟化氢,再通过喷淋塔碱洗,吸收氟化氢和二氧化硫。项目拟建的等离子体分解设备采用大气压热等离子体炬(电弧放电),局部产生10000℃超高温等离子体区,外围温度保持在1300℃以上,高能电子(5–10eV)直接轰击断裂全氟化合物的C–F键将其分解为HF、CO₂、氮气、二氧化硫等小分子。宜兴中车时代半导体有限公司蚀刻过程采用NF3、CF₄等全氟化合物,处理措施采取高温等离子体炬(电弧放电)+喷淋塔,与本项目工艺、规模等均一致。根据上海市计量测试技术研究院对宜兴中车时代半导体有限公司对刻蚀废气的监测可知,高温等离子体炬(电弧放电)对全氟化合物处理效率可达到99%以上(详见下表),采用该措施处理本项目产生的蚀刻废气,措施可行。表4.2-14蚀刻废气处理效率一览表污染物名称高温等离子体炬工艺流量进口浓度出口浓度去除率NF3500sccm8333ppm94ppm99.99%CF₄100sccm2320ppm16ppm99.31%项目采用NaOH湿式洗涤塔,HF、SiF₄等酸性气体被吸收,生成NaF,进入含氟废水,排入含氟废水处理设施进一步处理。项目拟采用的等离子体+碱洗塔为《电子工业废气处理工程设计标准》(GB51401-2019)、《排污许可证申请与核发技术规范-电子工业》(HJ1031-2019)中推荐的可行技术,措施可行。项目拟采用的等离子体为直流电弧等离子炬,输出功率应不小于10kW,等离子炬芯瞬时温度应不低于7000℃,反应腔平均气相温度不低于1200℃。蚀刻机运行前等离子运柜预热时间应不少于5分钟,等离子炬升温至7000℃并稳定后接入蚀刻废气。建设单位营期应将等离子体设备的运行功率、温度等关键参数纳入日常运行记录,并作为环境监管的环境检查要点。保⑵显影废气护措项目显影过程使用的显影液主要成分为四甲基氢氧化铵,年使用量约482.8kg,该物施质属于强碱,在常温下具有一定的挥发性,会缓慢释放氨味。为减少该显影废气对操作人员和环境的影响,建设单位拟将显影机设置在通风橱内,显影废气采取负压收集后经酸洗塔酸洗后由20m高排气筒排放。项目拟采用的酸洗塔为《排污许可证申请与核发技术规范-电子工业》(HJ1031-2019)中可行技术,措施可行。⑶有机废气项目产生的有机废气主要来源于清洗、擦拭、上盘、胶合、固化等工序等。项目有机废气经沸石吸附+催化燃烧装置处理后由排放筒排放。①收集系统项目沸石吸附+催化燃烧装置总处理风量为130000m³/h,其中:A.清洗工艺废气:项目清洗工序均设置在通风橱内,负压收集至处理单元处理。项目清洗线设通风橱50个,尺寸为2m高、1m宽、0.8m高,该通风橱除物料添加和取出时段外均为关窗状态,清洗机除物料添加和取出时段也为加盖状态;同时,项目各通风橱采用变频风机,通风橱窗户打开时加大风量,关闭时调小风量,清洗线收集总废气量约50000m³/h,收集率不低于95%。B.其他废气:项目擦拭、固化、上盘、光刻等工序均在无尘室内进行。无尘室除风淋门和消防门外均为密闭墙体,无尘室内空气由空调系统和新风系统两部分组成,形成无尘室的正压状态,其中:无尘室内空调系统为内循环,空调系统由回风墙抽取空气后,经调节温度和过滤粉尘后重新输送至无尘室,气流与外界空气无交流。新风系统为外循环,起到补风作用,室外新鲜空气经温度调节、除尘后进入无尘室,气流由回风墙内墙百叶窗压入回风墙,并由泄压阀排出。因此,项目采用负压对无尘室排气泄压阀处安装负压收集管道进行收集。根据《洁净厂房设计规范》(GB50073-2013)和建设单位提供资料,项目涉及挥发性有机物的无尘室最大员工数量为1850人,新风按50m³/h·人计算,则新风补充量约92500m³/h;项目于无尘室回风墙外泄压阀处收集废气,收集量为90000m³/h,约为新风量的97.3%,为保守估计,本报告收集率按90%计算。项目无尘室除泄压阀外仅极少量空气可从传递窗和门泄漏,该部分泄漏量约为2.7%,本报告以10%运营计算,该部分废气以无组织形式排放。另外,项目各产生挥发性有机物的无尘室均为独期环立隔间,废气均可单独收集至废气处理设施。境C.收集范围保护项目有机废气收集范围包括涉及清洗、擦拭、上盘、胶合、固化工序的车间。措施②治理工艺采用干式过滤器+沸石吸附+催化燃烧对废气中的有机成分进行吸附净化,达到处理的效果后达标排放。工艺说明:经过有效收集后的有机废气在引风机作用下,进入干式过滤器去除空气中的水分,然后再导入沸石吸附塔吸附废气中的VOC后达标排放;沸石吸附塔被分为2个区域,即一个箱体吸附,一个箱体脱附,有机废气经鼓风机引入吸附区,其中的有机污染物被吸附,气体得到净化排出。随后,饱和后的固定床切换到脱附再生模式,在与高温空气接触的过程中,VOCs被脱附下来并随再生空气流出,同时沸石获得再生。再生后的沸石先经过降温,然后待另一个箱体饱和后切换到吸附模式重新进行吸附。随着分子筛进出阀门的切换,沸石周期性地进行吸附、脱附和冷却,实现对有机废气的净化。依据《催化燃烧法工业有机废气治理工程技术规范》(HJ2027-2013),项目催化燃烧装置设计反应温度300~320℃,催化床入口预热温度控制60~280℃,该温度区间下,各类VOCs可实现完全深度氧化,化学键彻底断裂,基本无一氧化碳、NOₓ等二次污染风险。③可行性分析项目拟采用的沸石吸附工艺+催化燃烧为《排污许可证申请与核发技术规范-电子工业》(HJ1031-2019)中可行技术,措施可行。⑷喷砂废气项目干式喷砂在喷砂机内进行,喷砂废气采取负压收集后经布袋除尘器处理后由20m高排气筒排放。项目拟采用的布袋除尘器为《排污许可证申请与核发技术规范-电子工业》(HJ1031-2019)中可行技术,措施可行。⑸小结项目环评要求的废气治理措施见下表。表4.2-15环保投资估算一览表要素污染源类型环保措施环保投资(万元)废气蚀刻废气蚀刻废气采用等离子+碱洗塔处理后通过20m高排气筒排放。200显影废气显影废气经喷淋塔处理后由20m高排气筒排放10有机废气经2套沸石吸附+催化燃烧后由20m高排放筒排放850喷砂废气喷砂废气经布袋除尘器处理后由20m高排气筒排放10废气收集项目擦拭、组装工艺均在无尘室内进行,无尘室为正压设计,项目采用负压对无尘室泄压阀排气口处的废气进行收集。150合计1235施4.2.1.4大气环境影响分析项目产生的废气主要为蚀刻废气、显影废气、喷砂废气和有机废气等。其中有机废气中非甲烷总烃有组织排放可达到《工业企业挥发性有机物排放标准》(DB35/1782-2018)表1限值要求,无组织排放均可达到《工业企业挥发性有机物排放标准》(DB35/1782-2018)表2、表3标准限值及《挥发性有机物无组织排放控制标准》(GB37822-2019)中附录A表A.1标准限值;蚀刻废气、喷砂废气中氟化物、颗粒物可达到《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)表2中二级排放限值。显影废气中氨、臭气浓度可达到《恶臭污染物排放标准》(GB14554-93)表1二级标准限值。为估算项目排放废气对项目所在区域环境空气影响,采用《环境影响评价技术导则-大气环境》(HJ2.2-2018)中推荐的估算模式对项目污染物排放影响进行预测。⑴估算模型本次评价采用估算筛选模式,计算软件采用六五软件工作室提供的EIAProA2018大气环评专业辅助系统,版本号2.7.577。⑵地形数据参数地形数据采用USGS90M分辨率数据,陆面和植被数据也是采用USGS的LULC资料。⑶地面特征参数根据周边3km地表特征,AERSCREEN地表参数为1个区(城市),地表粗糙度等取值详见下表。表4.2-16地表参数取值表序号扇区时段正午反照率BOWEN粗糙度10-360冬季(12,1,2月)0.350.5120-360春季(3,4,5月)0.140.5130-360夏季(6,7,8月)0.161140-360秋季(9,10,11月)0.1811⑷估算模型参数根据项目所在区域特征及区域气象资料,确定估算模型参数详见下表。表4.2-17项目评价等级判定估算模型参数一览表参数取值城市/农村选项城市/农村城市人口数(城市选项时)300万最高环境温度(℃)41.9最低环境温度(℃)-1.5土地利用类型城市区域湿度条件潮湿气候是否考虑地形考虑地形否地形数据分辨率(m)90m是否考虑岸线熏烟考虑岸线熏烟否岸线距离(km)/岸线方向(°)/⑸估算结果见下表。表4.2-18筛选计算结果一览表编号排放源名称污染CiC0PiD10%物名称(μg/m³)(μg/m³)(%)(m)1G1有机废气非甲烷总烃31.5820001.5802蚀刻废气工况一氟化物0.33201.650非甲烷总烃0.2720000.010工况二氟化物0.11200.530非甲烷总烃0.0420000.010工况三氟化物0.28201.420非甲烷总烃0.130.140.010工况四氟化物0.42202.120二氧化硫0.085000.010工况五氟化物0.11200.5303喷砂废气TSP4.399000.4904G1无组织废气非甲烷总烃223.96200011.2100估算模式预测结果表明,项目排放污染物中非甲烷总烃的最大地面浓度占标率运营Pmax=11.2%,项目废气排放对项目区大气环境影响较小。期项目周围最近的敏感目标华伦中学晋安校区,与本项目紧邻。经估算,在最不利气环境象条件下,该敏感点处非甲烷总烃贡献值为275.1μg/m³,占标率为13.75%,低于非甲烷保护总烃参照执行的《大气污染物综合排放标准详解》中一次值(2000μg/m³)。氟化物和措施颗粒物占标率小于0.01%,远低于氟化物和颗粒物执行的《环境空气质量标准》(GB3095-2026)表A.1中浓度限值。项目排放的污染物非甲烷总烃、氟化物、颗粒物等排放量小,各污染物排放对项目区大气环境影响较小,对周围的居民、学校等敏感点不会产生影响。4.2.1.5监测计划项目在运营期间,建设单位应根据《排污单位自行监测技术指南-总则》(HJ819-2017)和《排污单位自行监测技术指南电子工业》(HJ1253-2022)相关要求,制定自行监测计划如下。
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