北京晶圆键合机招标变更公告（北京大学2025）
北京大学晶圆键合机采购更正公告
一、项目基本情况
原公告的采购项目编号：BMCC-ZC24-1168
原公告的采购项目名称：北京大学晶圆键合机采购
首次公告日期：2024年12月18日
二、更正信息
更正事项：采购文件
更正内容：
更正内容1：招标文件“第六章 货物需求一览表及技术需求”中“三、技术需求”中“（二） 技术指标”
更正为：详见“附件1”。
更正内容2：招标文件“第八章 评标标准”中“2.技术部分”和“3.相关业绩”
更正为：
序号
评分因素
评分说明
分值
2
技术部分
投标文件对招标文件“第六章 货物需求一览表及技术需求”中“三、技术需求（二）技术指标”的响应程度； 标“★”指标为实质性响应指标，对于标“★”指标负偏离的投标无效。 每有一项标注“#”指标漏报或负偏离扣5分，响应满足但无数据支撑的每项扣2.5分，正偏离不加分，35分扣完为止；（数据支撑指：提供现场测试数据、曲线、软件截屏、设备设计图纸或照片） 每有一项无任何符号标记的技术指标漏报或负偏离扣1分，正偏离不加分，3分扣完为止。 注：投标人需对标注“★”、“#”的指标提供证明材料，如产品彩页或官网截图或厂家技术白皮书或第三方出具的检测报告等，否则视为负偏离。
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3
相关业绩
需提供与本项目所投产品同型号或同系列产品的合同；对于进口产品，可提供投标人或其境外关联公司或制造商的合同，需提供货物合同复印件（包括但不限于合同关键页，即合同首页、货物清单页（需体现产品品牌、型号）、金额页及双方签字盖章页，否则视为无效案例）。 每提供一个有效业绩得2分，最多得10分。
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更正内容3：获取招标文件
（1）时间：
更正为：2024年12月18日至 2025年02月21日，每天上午9:00至11:30，下午13:00至17:00（北京时间，法定节假日除外）
（2）详细报名方式请完整阅读以下全部内容：
供应商请登录“北京明德致信咨询有限公司”官网（www.zbbmcc.com），右上角点击“我的项目”，注册登录后点击左侧“项目报名”，找到对应项目按提示完善信息、上传报名费转账凭证，点击提交即可。工作日17点（含）前提交的申请，将于当日审核；17点后提交的申请，将于下一个工作日审核。审核结果将以邮件形式通知,或在“我的投标”中查看报名状态。有关报名过程的问题，请拨打010-82370045进行咨询。有关报名信息的疑问反馈，请按报名页面最下方的提示，发送邮件反馈。
更正内容4：投标截止时间和开标时间
更正为：2025年03月07日上午09：00（北京时间）。
更正内容5：投标文件递交地点及开标地点
更正为: 北京市海淀区学院路30号科大天工大厦B座1706室第二会议室，如有变化，另行通知。（提示：楼层较高，请供应商预留递交文件时间提前到场）
更正日期：2025年02月14日
三、其他补充事宜
其他事宜不变。
具体内容详见附件下载
四、凡对本次公告内容提出询问，请按以下方式联系。
1.采购人信息
名 称：北京大学
地址：北京市海淀区颐和园路5号
联系方式：吴老师，010-62758587
2.采购代理机构信息
名 称：北京明德致信咨询有限公司
地 址：北京市海淀区学院路30号科大天工大厦B座17层1709室（邮编：100083）
联系方式：孙恺宁、刘亚运、吕家乐、王爽、吕绍山,010-61196355、15801412428
3.项目联系方式
项目联系人：孙恺宁、刘亚运、吕家乐、王爽、吕绍山
电 话： 010-61196355、15801412428
公告概要：
公告信息：
采购项目名称
北京大学晶圆键合机采购
品目
货物/设备/电工、电子生产设备/电子工业生产设备
采购单位
北京大学
行政区域
北京市
公告时间
2025年02月14日 09:16
首次公告日期
2024年12月18日
更正日期
2025年02月14日
更正事项
采购文件
联系人及联系方式：
项目联系人
孙恺宁、刘亚运、吕家乐、王爽、吕绍山
项目联系电话
010-61196355、15801412428
采购单位
北京大学
采购单位地址
北京市海淀区颐和园路5号
采购单位联系方式
吴老师，010-62758587
代理机构名称
北京明德致信咨询有限公司
代理机构地址
北京市海淀区学院路30号科大天工大厦B座17层1709室（邮编：100083）
代理机构联系方式
孙恺宁、刘亚运、吕家乐、王爽、吕绍山,010-61196355、15801412428
附件：
附件1
更正公告2-ZC24-1168-2北京大学晶圆键合机采购项目（发布稿）.docx
更正公告2一、项目基本情况原公告的采购项目编号：BMCC-ZC24-1168/2原公告的采购项目名称：北京大学晶圆键合机采购首次公告日期：2024年12月18日二、更正信息更正事项：采购文件更正内容1：招标文件“第六章货物需求一览表及技术需求”中“三、技术需求”中“（二）技术指标”更正为：详见“附件1”。更正内容2：招标文件“第八章评标标准”中“2.技术部分”和“3.相关业绩”更正为：序号评分因素评分说明分值2技术部分投标文件对招标文件“第六章 货物需求一览表及技术需求”中“三、技术需求（二）技术指标”的响应程度； 标“★”指标为实质性响应指标，对于标“★”指标负偏离的投标无效。每有一项标注“#”指标漏报或负偏离扣5分，响应满足但无数据支撑的每项扣2.5分，正偏离不加分，35分扣完为止；（数据支撑指：提供现场测试数据、曲线、软件截屏、设备设计图纸或照片）每有一项无任何符号标记的技术指标漏报或负偏离扣1分，正偏离不加分，3分扣完为止。注：投标人需对标注“★”、“#”的指标提供证明材料，如产品彩页或官网截图或厂家技术白皮书或第三方出具的检测报告等，否则视为负偏离。0-383相关业绩需提供与本项目所投产品同型号或同系列产品的合同；对于进口产品，可提供投标人或其境外关联公司或制造商的合同，需提供货物合同复印件（包括但不限于合同关键页，即合同首页、货物清单页（需体现产品品牌、型号）、金额页及双方签字盖章页，否则视为无效案例）。每提供一个有效业绩得2分，最多得10分。0-10更正内容3：获取招标文件（1）时间：更正为：2024年12月18日至2025年02月21日，每天上午9:00至11:30，下午13:00至17:00（北京时间，法定节假日除外）（2）详细报名方式请完整阅读以下全部内容：供应商请登录“北京明德致信咨询有限公司”官网（www.zbbmcc.com），右上角点击“我的项目”，注册登录后点击左侧“项目报名”，找到对应项目按提示完善信息、上传报名费转账凭证，点击提交即可。工作日17点（含）前提交的申请，将于当日审核；17点后提交的申请，将于下一个工作日审核。审核结果将以邮件形式通知,或在“我的投标”中查看报名状态。有关报名过程的问题，请拨打010-82370045进行咨询。有关报名信息的疑问反馈，请按报名页面最下方的提示，发送邮件反馈。更正内容4：投标截止时间和开标时间更正为：2025年03月07日上午09：00（北京时间）。更正内容5：投标文件递交地点及开标地点更正为:北京市海淀区学院路30号科大天工大厦B座1706室第二会议室，如有变化，另行通知。（提示：楼层较高，请供应商预留递交文件时间提前到场）更正日期：2025年02月14日三、其他补充事宜其他事宜不变。四、凡对本次公告内容提出询问，请按以下方式联系。1.采购人信息名称：北京大学地址：北京市海淀区颐和园路5号联系方式：吴老师，010-627585872.采购代理机构信息名称：北京明德致信咨询有限公司地址：北京市海淀区学院路30号科大天工大厦B座1709室联系方式：孙恺宁、刘亚运、吕家乐、王爽、吕绍山010-61196355、158014124283.项目联系方式项目联系人：孙恺宁、刘亚运、吕家乐、王爽、吕绍山电话：010-61196355、15801412428附件1（二）技术指标注：以下标“★”指标为实质性响应指标，对于标“★”指标负偏离的投标无效。投标人需对以下标“★”和标“#”的指标提供证明材料，如产品彩页或官网截图或厂家技术白皮书或第三方出具的检测报告等。1.★设备用途：用于进行4寸Si、SiO2、InP、SiC、GaAs、GaN晶圆的高真空室温键合。2.★设备配套组成：设备主体由加载腔、传输腔、溅射腔和工艺腔构成。3.★传输系统：手动上料，晶圆在腔体内由机械手完成加载腔、传输腔、溅射腔、工艺腔之间的自动传送搬运。4.真空系统：#4.1上料腔室真空度：≤1E-3Pa。#4.2传输腔室真空度：≤1E-4Pa。#4.3溅射腔室真空度：≤1E-4Pa。#4.4工艺腔室真空度：≤7E-6Pa。5.加压系统：★5.1最大加压压力：50KN。★5.2压力均匀性：≤±5%。6.键合系统：★6.1光学边缘对准；★6.2键合后精度≤±50um；★6.3键合后强度≥1.8J/m2@Si-Si键合；7.活化模块：★7.1配备4套FABGUN活化；#7.2活化电压：≥1500V，活化电流：≥100mA；★7.3氧化硅刻蚀速率：≥1.0nm/min；#7.4工艺气体：氩气；#7.5工艺气体流量：≤100sccm。8.溅射系统：★8.1配2个磁控头，配备1件靶材；★8.2溅射腔室成膜速率＞1nm/min。9.操作系统：9.1Windows图形用户界面，可以使用自动模式一键执行，也使用手动模式单步执行。9.2操作控制系统能够通过显示屏实时显示系统真空、工艺气体流量、键合压力等工艺参数及工艺过程。9.3设备软件自动记录设备运行日志和工艺运行记录曲线，实时更新设备自动运行状态。
投标 / 标书制作要点（原创）
本晶圆键合机涉及「招标变更公告」，投标方需重点关注：① 营业执照经营范围须含招标变更公告或对应服务类目；② 提供同类项目业绩证明；③ 报价方案与售后响应须明确；④ 紧盯投标截止与开标节点，建议提前完成标书制作与盖章。北京项目常要求本地化服务能力与快速响应，务必在投标文件中凸显。
标书制作联系冯经理：17551026086
