高精度电镀系统招标公告（清华大学2024）

采购项目名称
高精度电镀系统
采购项目编号
清设比选20240188号

公告开始时间
2024-02-29 17:13:14
公告截止时间
2024-03-03 18:00:00

采购单位
清华大学
付款方式
合同签订后70%，验收合格后30%

对外联系人
本项目不接受咨询
联系电话
本项目不接受咨询

签约时间要求
成交后5个工作日内 (如不按时签订合同，采购单位有权取消或变更采购结果)
交货时间要求
签订合同后10个工作日内

最高限价
499000.0

交货地址
北京市清华大学罗姆楼

物资名称
采购数量
计量单位

高精度电镀系统
1
台

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技术参数及配置要求
1、水槽 精密溢流镀槽；容量：≤4.5L；耐热温度：65°C 2、夹具 耐热温度：65°C 适用于晶圆尺寸 2inch 原片，20*20mm切片及定制不规则尺寸、电镀膜厚 30μm 以下 3、超精密晶圆用电镀用电源 最小分辨率：1mV/10μA；输出电流：0-3A ；可编程波形；时间电流累计 实验数据电脑集成 4、带均匀搅拌仪，速度可调 5、带温控 6、带过滤器，1 微米滤芯，最大流量：4.8L/min 7、需提供镀膜均匀性测试报告，膜厚不低于 3 微米，晶圆尺寸不小于 4inch，金属膜厚度偏差不高于 0.2 微米

质保期
12个月

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投标 / 标书制作要点（原创）

本高精度电镀系统涉及「招标公告」，投标方需重点关注：① 营业执照经营范围须含招标公告或对应服务类目；② 提供同类项目业绩证明；③ 报价方案与售后响应须明确；④ 紧盯投标截止与开标节点，建议提前完成标书制作与盖章。当地项目常要求本地化服务能力与快速响应，务必在投标文件中凸显。

标书制作联系冯经理：17551026086