星盘式电子束溅射真空镀膜机招标公告（北方夜视科技(南京)研究院有限公司2024）
基本信息
发布单位:北方夜视科技（南京）研究院有限公司
最终单位:北方夜视科技（南京）研究院有限公司
参与方式:公开询价
出价方式:一次性出价
付款方式:
保证金:500.0元
联系人:陈
联系方式:15005289995
镀膜机.pdf
采购明细
序号
商品名称
品类
采购数量
最少响应量
1
行星盘式电子束溅射真空镀膜机
固定资产投资项目>货物类
1.0台
1.0台
可报价时间
开始时间 2024-04-05 15:37:49
结束时间 2024-04-08 15:37:00
备注：
行星盘式电子束溅射真空镀膜机技术要求1.基本性能要求1.1对超净工房环境条件无特殊要求和限制。1.2配置符合中国相关标准要求的电源插头1.3设备需操作简单，维修方便，安全性高。1.4用于玻璃、金属基底上蒸镀金属及氧化物膜层。1.5可蒸镀镍铬合金、铜、银、梯等常用镀膜材料。1.6使用电子束蒸发系统。1.7控制方式包含手动模式和自动模式。1.8具备石英晶体膜厚监控系统。1.9烘烤温度及升温速率可调可控。2．设备组成和配置2.1主体：尺寸710mm，箱式结构，真空腔门上有观察窗，可以确认工装运行与甜蜗熔料状态。真空腔外壁采用循环水冷却，以防止设备外壁过热。2.2真空系统：主泵+前级泵的方式。主泵为冷泵，前级泵为罗茨泵与旋片式机械泵组合，并配备防漏流装置。2.2.1低温泵：真空接口为400ISO-K。一用一备。2.2.2氨气压缩机：氨气压力17mbar，工作电压380V~400V，功率6.5~7.5KW2.2.3旋片式真空泵：抽速优于78m/h（cfm），真空度可达2×10mbar2.2.4罗茨真空泵：抽速优于210m/h（cfm），真空度可达8×10mbar2.3烘烤系统：采用加热器与调功器的控制方式。2.4蒸发系统：e形电子枪，圆形光斑且尺寸可调，配三穴或以上坩蜗两套。2.5膜厚监控系统：配石英晶体测厚仪一套，单探头，频率6MHz。用膜厚控制系统对整个蒸镀过程进行自动控制，实现蒸发速率控制、膜厚控制、蒸发源挡板联动等操作。2.6电气控制系统2.6.1提供配方设置、真空系统、蒸发系统、电子枪系统、工艺系统、冷却系统等人机操作界面，实现系统的自动和手动控制。2.6.2在工控机上可通过配方式参数设置方式实现对程序工艺过程和设备参数的设置。2.6.3提供全面的系统自动保护功能，对各重要部分、关键操作实现互锁保护，包括真空系统、蒸发系统、电子枪系统、冷却系统、工件加热、工件旋转等。2.6.4供完善的手/自动操作方式，在工控机上实现设备所有手动操作和全自动控制操作。2.65提供全面的报警显示和事件记录功能以及报警历史和历史事件的查阅功能。2.6.6提供全面的报警、故障提示信息。2.6.7提供完善的系统工艺数据保存和历史曲线显示功能，数据永久保存，并节省硬燃空间。2.6.8配备一台性能相当于INFICON氢质谱（参照型号：LX218）的检漏仪。2.6.9软件部分：软件编程开发厂家必须经甲方确认，PLC采用德国西门子产品。2.7配辉光放电系统2.8配百级工房用吸尘器，吸尘器固定在设备后端框架上，吸尘管道从前端面板引出，并在面板上留有控制开关。2.9卖方有一定的镀膜工装设计经验，工装设计图纸终稿需得到买方确认。3.设备技术性能要求3.1工作真空度：优于1*10pa。3.2膜厚精度：13.3膜层生长速度精度：1/s3.4抽速：大气抽至1×10mbar时间小于8min。3.5极限真空度达到8×10mbar；3.6由1×10mbar继续抽至4×10mbar时间小于20min。3.7温度稳定性；单点温度稳定性在保温30min后为设定值的±1℃。3.8漏率：≤5×10mbar*l/s。3.9工件架旋转速度：实际转速0.4转/分钟至4转/分钟可调。3.10烘烤温度：最高可达400℃。3.11电子枪光斑尺寸：圆形光斑，尺寸可调，最小直径6mm。3.12甘蜗尺寸：①40×15mm。4工艺验收标准镀膜均匀性测试将采用中25mm圆形玻璃板进行测试。圆形玻璃板放满工装盘，蒸镀薄膜材料。每片玻璃板上靠近边缘、中心与中心边缘连线中点三个位置，该板上镀膜均匀性满足下表要求，每组测试片数不少于两片。不均匀性及对应蒸镀速率（nm/s）不均匀性及对应蒸镀速率（nm/s）不均匀性及对应蒸镀速率（nm/s）不均匀性及对应蒸镀速率（nm/s）不均匀性及对应蒸镀速率（nm/s）不均匀性及对应蒸镀速率（nm/s）单片速率范围同批不同片速率范围不同批次间速率范围≤±5%0.5~4≤±5%0.5~4≤±5%0.5~45.其他要求5.1卖方提供设备调试，试运行和客户培训。5.2卖方的调试工程师负责验收样品的制备。5.3卖方负责联系有资质的测试单位，完成工艺验收标准要求的样品测试。测试费用由卖方承担。5.4验收试验成功后，双方需签署验收证明。6．技术文件6.1设备到达用户所在地后，卖方在接受到用户通知后1周内安排调试工程师执行设备的安装与调试。6.2设备的安装调试，验收和培训：在用户具备安装条件后，设备安装调试和验收时间不多于1.5个月，用户或第三方样品测试原因引起的延误除外。设备调试期间，用户现场的培训时间不少于5个工作日。培训时间按照客户学会的时间为准。6.3在用户所在地对用户进行免费培训。培训内容包括设备的技术原理、操作及基本维护等。6.4设备质量担保期：保修期自验收签字之日起12个月。6.5维修响应时间：卖方应在24小时内对用户的服务要求做出响应。一般问题需一周内解决，重大问题或其他无法迅速解决的问题应在2周内提出明确的解决方案并尽快解决。保修期内，若设备出现任何问题，维修及更换配件，使设备达到可以正常使用的状态，产生的所有费用均由卖方承担。保修期外，产生的所有费用均由买方承担。7.技术服务7.1合同生效后一个月内，卖方须提供详细的设备公共配套设施技术要求和设备布局尺寸图给最终用户。7.2设备交付时，卖方须提供超净室使用的设备安装指导文件、设备操作说明、设备维护及故障排除说明等文件。7.3以上文件需分别提供纸质文件一份和电子版文件一份。
投标 / 标书制作要点（原创）
本星盘式电子束溅射真空镀膜机涉及「招标公告」，投标方需重点关注：① 营业执照经营范围须含招标公告或对应服务类目；② 提供同类项目业绩证明；③ 报价方案与售后响应须明确；④ 紧盯投标截止与开标节点，建议提前完成标书制作与盖章。当地项目常要求本地化服务能力与快速响应，务必在投标文件中凸显。
标书制作联系冯经理：17551026086
