薄膜沉积系统招标公告（东南大学2024）

东南大学-竞价公告(CB102862024000517)
发布时间：2024-04-29 15:15:53
截止时间：2024-05-06 09:00:00
申购单号：CB102862024000517 签约时间：发布竞价结果后7天内签约合同
申购主题：薄膜沉积系统 送货时间：发布竞价结果后15天内送达
采购单位：东南大学 安装要求：免费上门安装（含材料费）
报价要求：国产含税 收货地址：江苏省/南京市/江宁区/****
发票类型：增值税专用发票
币种：人民币
预算：******
付款方式：货到验收合格后付款
备注说明：
申购明细：
序号：1
采购内容：薄膜沉积系统
数量：1
预算单价：台
品牌：*
型号：*
规格参数：1、 镀膜室内净尺寸: L440×W400×H450；方箱式，前门旋转往右打开式，304优质不锈钢制造； 2、 真空系统：采用采用 “分子泵+机械泵”真空系统；机械泵抽速：不小于9L/S；分子泵抽速：不下小于：1300L/S； 3、 真空极限：8.0×10-5Pa（空载，经烘烤除气后）； 4、 圆形基片台结构，可承载最大120×120mm 基片；；基片旋转：0～30转/分钟；加热:室温～500±1℃，可控可调，日本岛电PID智能温控闭环控温； 5、 磁控溅射靶源：3只3英寸圆形平面靶； 6、 基片台配有偏压清洗功能，并配有直流脉冲偏压电源； 7、 3台磁控溅射电源； 8、 配有质量流量控制器三路，供Ar、N2、O2气体使用； 9、 配备有循环水冷机和空气压缩机； 10、 PLC+触摸屏人机界面半自动控制系统； 11、 报警及保护：对泵、电极等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施；完善的逻辑程序互锁保护系统。 12、设备配备有独立机架及电控柜；
质保及售后服务：按行业标准提供服务

---

投标 / 标书制作要点（原创）

本薄膜沉积系统涉及「招标公告」，投标方需重点关注：① 营业执照经营范围须含招标公告或对应服务类目；② 提供同类项目业绩证明；③ 报价方案与售后响应须明确；④ 紧盯投标截止与开标节点，建议提前完成标书制作与盖章。当地项目常要求本地化服务能力与快速响应，务必在投标文件中凸显。

标书制作联系冯经理：17551026086