材料系射频等离子源 射频等离子源招标公告（南方科技大学2024）

材料系射频等离子源采购采购公告

南方科技大学 SUSTech-JC-2024-00607 竞采采购公告

项目名称
材料系射频等离子源采购

项目编号
SUSTech-JC-2024-00607

项目类型
货物类

成交方式
最低价成交

采购方式
公开竞采

公告开始时间
2024-05-08 14:19:45

公告结束时间
2024-05-14 14:19:45

预算(元)
340000.00

项目预算是否含税
国产含税

备注

采购明细

序号
名称
数量
单位

1
射频等离子源（核心货物）
1
台（套）

是否接受进口
拒绝进口

品牌
无推荐品牌

型号
无推荐型号

技术规格及参数
1.▲ RFPS-200射频等离子源：可适用气体：氮气，氢气，氧气；安装法兰：CF100或CF63；进气法兰：CF16；工作气体流量范围：0.1-10 sccm；主腔工作气压：2.▲ 射频电源：射频驱动功率：不低于500 W，频率：13.56MHz。3.▲ 匹配器：自动和手动切换，功率：不低于1000W。4.▲ 光谱仪：适用波段：380—960nm，狭缝宽度不低于100μm； 光学分辨率1.5nm，积分时间1ms-60s；包含光纤，光纤可固定法兰。5.▲ 气路面板：质量流量计，精密气体流量控制：0.1sccm-10sccm；全金属VCR超高纯气路标准设计；气体纯化器；高纯气路PE管。

质保期
1年

售后要求
1. 质保期：中标人提供制造商免费质保1年，时间自最终验收合格并交付使用之日起计算，在保修期内，一旦发生质量问题，投标人保证在接到通知24小时内赶到现场进行修理或更换，保修期间维修及零件更换费用由厂家负担。由制造商提供质保服务，由制造商提供售后服务。 2. 维修响应时间：提供设备报修电话及联系人，招标人报修后，2小时内响应，24小时内派员上门现场维护，并在48小时内解决问题，如在规定时间内不能解决设备故障，应提供相同档次、功能的设备给招标人代用。 3. 验收标准：根据招标要求及双方所签订的技术协议书逐条验收，设备经过双方检验认可后，签署验收报告，产品保修期自验收合格之日起算，由投标人提供产品保修文件。 以下条件时，采购人才向中标人签发货物验收报告： a、中标人已按照合同规定提供了全部产品及完整的技术资料； b、货物符合招标文件技术规格书的要求，性能满足要求； c、货物具备产品合格证。

付款方式
货到指定地点、安装验收合格并提供全额发票后，经学校确认无质量问题后支付100％的货款。

交货期
合同签订后50天（自然日）内，具体时间根据学校要求提前7天（自然日）通知送货

1. 欢迎有意向的供应商登录系统参与竞采；
2.未注册 的供应商请先注册 成为竞采平台供应商后参与项目竞采；
3. 如对项目有疑问或质疑，请于项目截止前1个工作日登录系统在线提交咨询或质疑，逾期不受理。

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投标 / 标书制作要点（原创）

本材料系射频等离子源 射频等离子源涉及「招标公告」，投标方需重点关注：① 营业执照经营范围须含招标公告或对应服务类目；② 提供同类项目业绩证明；③ 报价方案与售后响应须明确；④ 紧盯投标截止与开标节点，建议提前完成标书制作与盖章。当地项目常要求本地化服务能力与快速响应，务必在投标文件中凸显。

标书制作联系冯经理：17551026086