紫外光刻机招标公告（深圳大学2024）
深圳大学-竞价公告(CB105902024000875)
发布时间：2024-07-03 15:38:28
截止时间：2024-07-11 12:00:00
申购单号：CB105902024000875 签约时间：
申购主题：紫外光刻机 送货时间：签订合同后 10 天内到货。
采购单位：深圳大学 安装要求：免费上门安装（含材料费）
报价要求：国产含税 收货地址：广东省/深圳市/南山区/****
发票类型：增值税专用发票
币种：人民币
预算：198000.0
付款方式：货到验收合格后付款
备注说明：签订合同后 10 天内到货。
申购明细：
序号：1
采购内容：紫外光刻机
数量：1
预算单价：
品牌：中国科学院光电技术研究所
型号：URE-2000/35D
规格参数：1．技术参数 ？ 曝光面积：4英寸 ？ 曝光波长：365nm ？ 分辨力：0.8mm-1mm ？ 对准精度：±1mm ？ 掩模样片整体工件台运动范围：X：15mm;Y:15mm ？ 掩模尺寸： 5英寸,向下兼容 ？ 样片尺寸：4英寸，向下兼容，支持碎片 ？ 厚度可适应0.1mm--2mm(最大可扩展为15mm) ？ 曝光方式：定时（倒计时方式） ？ 具备真空接触曝光、硬接触曝光、压力接触曝光，以及接近式曝光四种功能 ？ 双目双视场对准显微镜：可通过目镜目视对准，也可通过CCD+显示器对准，光学合像，光学最大倍数400倍，光学+电子放大800倍，物镜三对：4倍、10倍、20倍，目镜三对：10倍、16倍、20倍 ？ 调平接触压力通过传感器保证重复 ？ 数字设定对准间隙和曝光间隙 ？ 掩模相对于样片运动行程： X: ±5mm; Y: ±5mm; q: ±6o ？ 最大焦厚：400mm（SU8胶，用户提供检测条件） ？ 光源平行性：2.5 o ？ 曝光能量密度：>35mW/cm2 ？ 单层曝光一键完成 ？ 采用球气浮自动找平 ？ 照明不均匀性： ￡2.5%（ f100mm范围）； ？ 具备压印模块接口，也具备接近模块接口 ？ 曝光光源：350W汞灯； 2．外形尺寸：约1100mm（长）？700mm(宽) ？1600mm（高） 3．配置 设备主要由均匀照明曝光系统、对准工件台系统、电控系统、气动控制系统及辅助配套设备构成。 3.1 曝光系统 ？ 冷光椭球镜 ？ 350W进口直流高压汞灯(进口) ？ XYZ汞灯调节台 ？ 冷却风扇 光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜1、准直镜镜2、蝇眼透镜组（79个透镜）、i线滤光片、场镜1、冷光反射镜1、反射镜2 3.2 对准工件台系统 ？ 掩模样片整体运动台 ？ 掩模样片相对运动台 ？ 转动台 ？ 样片调平机构,自动完成 ？ 基片抽拉式上下机构 ？ 样片调焦机构，电机自动调 ？ 承片台4个：f15mm 、2英寸、3英寸、4英寸 掩模夹4个：2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸 3.3 电控系统 ？ 光源、 电源 ？ 双目双视场对准显微镜主体 ？ 目镜3对（10倍、16倍、20倍，共6个） ？ 物镜3对（4倍、10倍、20倍，共6个） CCD对准系统，22寸液晶显示器 3.4 气动控制系统及辅助配套设备 3.41 电控系统 ？ 单片机控制系统； ？ 紫外LED电源模块； ？ 控制柜桌 3.42 气动系统 ？ 气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等 ？ 电磁阀驱动 ？ 气动仪表 3.43 真空泵 *1 空压机*1
质保及售后服务：1、验收合格之日起，免费质保1年，终身维护。 2、质保期内2小时响应，24小时到达现场维修，质保期外48小时响应，终身维护。 3、售后服务7个工作日发现质量问题包换新或者退货。 4、原厂技术人员送货上门安装培训，当面验收，拒绝快递。
投标 / 标书制作要点（原创）
本紫外光刻机涉及「招标公告」，投标方需重点关注：① 营业执照经营范围须含招标公告或对应服务类目；② 提供同类项目业绩证明；③ 报价方案与售后响应须明确；④ 紧盯投标截止与开标节点，建议提前完成标书制作与盖章。当地项目常要求本地化服务能力与快速响应，务必在投标文件中凸显。
标书制作联系冯经理：17551026086
