MEMS力传感器流片 MASK芯片招标公告（华东光电集成器件研究所2024）

基本信息

发布单位:华东光电集成器件研究所
最终单位:华东光电集成器件研究所
参与方式:公开询价
出价方式:一次性出价
付款方式:
保证金:0.0元
联系人:李盼盼
联系方式:15670827905
技术要求-MEMS力传感器流片.doc

采购明细

序号

商品名称

品类

采购数量

最少响应量

1
MASK芯片
外协>其他
9.0层
9.0层

2
Wafer芯片
外协>其他
6.0片
6.0片

可报价时间

开始时间 2024-07-14 17:11:14
结束时间 2024-07-16 17:11:14
备注：

技术要求1、工艺Thespecificationdeclaresthedispositionalpass/failparameterswhichareusedinthePCMtestforwafershipmentTheselectedpiezo-implantmodule（PIMP_S,PIMPACO)willdirectlyaffectthepressuresensorcharacteristics（seeavailableIPdatasheets).BasicMEMSknowledgeandbasicknowledgeofthepiezoresistivesensingprincipleisrequiredThedocumentsarebasefordevelopmentofnewsensorstructuresX-FABoffersfullycharacterizedIPblocksfordiscreterelativepressuresensors（0.1/0.25/0.5/1/3/6/10/15bar).CustomerspecificsensorsforotherpressurerangesareavaiableonrequestThisspeciicationisvalidexcludingaprocessspecificareaaroundthedoublewaferstackedgeofwidth10mm.Intheaffectedarea，thefunction,parametersandreliabilityofthestructuresarenotguaranteedThespeciicationvalueshavebeenobtainedduringthepreproductionphaseoftheprocessesThespecifiedlimitsofthedispositionalpass/failparametersLSLLowerSpecificationLimitUSLUpperSpecificationLimitdescribetheparameterrangesofthedeliveredwaferquality.Theseparameterrangesarebasedonthe6sigmavaluesoftheparameterdistribution.ThespecificationlimitsarethebasisforCpandCpkevaluationsForthefollowingparameters,theLSLandUSLlimitsdonotreflectthestatisticsoftheprocessbutmerelyrepresentthatthevalue(s)passes）theparticularlimit:ParameterswhicharemarkedbyacorrespondingnoteThestatedLSLorUSLlimitsofthoseparametersareselectionlimitsonlyandarenotallowedforCpandCpkevaluations.TheparametersofthePCMAcceptancespecificationrepresentasub-setoftheparametersdescribedintheProcess&DeviceSpecificationandSpecXplorer.PleaserefertothesesourcesformoredetailsoftheseparametersThecompletesetofparametersisonlyavailableforwaferswithupdatedprocesscontrolmonitorteststructures关键参数：深宽比：502、产品名称MEMS力传感器3、流片时间第一次流片时间：2023年12月4、流片方式Wafer数量：6片

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投标 / 标书制作要点（原创）

本MEMS力传感器流片 MASK芯片涉及「招标公告」，投标方需重点关注：① 营业执照经营范围须含招标公告或对应服务类目；② 提供同类项目业绩证明；③ 报价方案与售后响应须明确；④ 紧盯投标截止与开标节点，建议提前完成标书制作与盖章。当地项目常要求本地化服务能力与快速响应，务必在投标文件中凸显。

标书制作联系冯经理：17551026086