高定位精度激光加工系统研制招标公告（中国科学院光电技术研究所2024）
中国科学院光电技术研究所高定位精度激光加工系统研制采购项目公开招标公告
项目概况
中国科学院光电技术研究所高定位精度激光加工系统研制采购项目 招标项目的潜在投标人应在www.oitccas.com获取招标文件，并于2024年08月19日 14点30分（北京时间）前递交投标文件。
一、项目基本情况
项目编号：OITC-G240171536
项目名称：中国科学院光电技术研究所高定位精度激光加工系统研制采购项目
预算金额：1000.000000 万元（人民币）
最高限价（如有）：1000.000000 万元（人民币）
采购需求：
1、采购项目的名称、数量：
包号
服务名称
服务期限
是否允许采购进口产品及服务
采购预算(人民币)
最高限价(人民币)
1
高定位精度激光加工系统研制
合同生效后6个月内交货
否
1000万元
1000万元
投标人须以包为单位对包中全部内容进行投标，不得拆分，评标、授标以包为单位。
2、技术要求详见公告附件。
合同履行期限：详见项目需求
本项目(不接受 )联合体投标。
二、申请人的资格要求：
1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；
2.落实政府采购政策需满足的资格要求：
本项目不属于专门面向中小微企业、监狱企业、残疾人福利性单位采购的项目。
3.本项目的特定资格要求：1）在中华人民共和国境内依法注册的，具有独立承担民事责任能力，遵守国家法律法规，具有良好信誉，具有履行合同能力和良好的履行合同的记录，具有良好资金、财务状况的企事业法人、其他组织或者自然人；2）除单一来源采购项目外，为采购项目提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商，不得再参加该采购项目的其他采购活动。同一供应商可以同时承担项目的整体设计、规范编制和项目管理、监理、检测等服务；3）投标单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同投标人，不得参加同一合同项下的政府采购活动；4）按本投标邀请的规定获取招标文件；5）投标人不得为列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单的投标人。
三、获取招标文件
时间：2024年07月25日 至2024年08月01日，每天上午9:00至11:00，下午13:00至17:00。（北京时间，法定节假日除外）
地点：www.oitccas.com
方式：登录东方在线www.oitccas.com注册并购买
售价：￥600.0 元，本公告包含的招标文件售价总和
四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点
提交投标文件截止时间：2024年08月19日 14点30分（北京时间）
开标时间：2024年08月19日 14点30分（北京时间）
地点：北京市海淀区丹棱街1号互联网金融中心20层东方厅（一）
五、公告期限
自本公告发布之日起5个工作日。
六、其他补充事宜
1、投标文件递交地点：北京市海淀区丹棱街1号互联网金融中心20层东方厅（一）
2、招标文件采用网上电子发售购买方式：
1）登陆“东方招标”平台（http://www.oitccas.com/），点击“获取采购文件”链接图标，或直接输入访问地（http://www.oitccas.com/pages/sign_in.html?page=mine）完成投标人注册手续（免费），然后登陆系统寻找有意向参与的项目，已注册的投标人无需重新注册。招标文件售价：每包人民币600 元。如决定购买招标文件，请完成标书款缴费及标书下载手续。
2）投标人可以电汇的形式支付标书款（应以公司名义汇款至下述指定账号）。
开户名称：东方国际招标有限责任公司
开户行：招商银行北京西三环支行
账 号：862081657710001
3）投标人应在平台上填写开票信息。在投标人足额缴纳标书款后，标书款电子发票将发送至投标人在平台上登记的电子邮箱，投标人自行下载打印。
3、以电汇方式购买招标文件和递交投标保证金的，须在电汇凭据附言栏中写明招标编号(如未标明招标编号OITC-G240171536，有可能导致投标无效)。
4、采购项目需要落实的政府采购政策：
(1)政府采购促进中小企业发展
(2)政府采购支持监狱企业发展
(3)政府采购促进残疾人就业
(4)政府采购鼓励采购节能环保产品
七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。
1.采购人信息
名 称：中国科学院光电技术研究所
地址：成都市双流区西航港街道光电大道1号
联系方式：范老师 028-85100858
2.采购代理机构信息
名 称：东方国际招标有限责任公司
地 址：北京市海淀区丹棱街1号互联网金融中心20层
联系方式：迟兆洋、荀笑尘、芮虎峥 020-87001523、010-68290583/0589 ytlin@oitc.com.cn 、cjwang@oitc.com.cn、sli@oitc.com.cn
3.项目联系方式
项目联系人：迟兆洋、荀笑尘、芮虎峥
电 话： 020-87001523、010-68290583/0589
公告概要：
公告信息：
采购项目名称
中国科学院光电技术研究所高定位精度激光加工系统研制采购项目
品目
服务/其他服务
采购单位
中国科学院光电技术研究所
行政区域
成都市
公告时间
2024年07月25日 19:58
获取招标文件时间
2024年07月25日至2024年08月01日每日上午:9:00 至 11:00下午:13:00 至 17:00（北京时间，法定节假日除外）
招标文件售价
￥600
获取招标文件的地点
www.oitccas.com
开标时间
2024年08月19日 14:30
开标地点
北京市海淀区丹棱街1号互联网金融中心20层东方厅（一）
预算金额
￥1000.000000万元（人民币）
联系人及联系方式：
项目联系人
迟兆洋、荀笑尘、芮虎峥
项目联系电话
020-87001523、010-68290583/0589
采购单位
中国科学院光电技术研究所
采购单位地址
成都市双流区西航港街道光电大道1号
采购单位联系方式
范老师 028-85100858
代理机构名称
东方国际招标有限责任公司
代理机构地址
北京市海淀区丹棱街1号互联网金融中心20层
代理机构联系方式
迟兆洋、荀笑尘、芮虎峥 020-87001523、010-68290583/0589 ytlin@oitc.com.cn 、cjwang@oitc.com.cn、sli@oitc.com.cn
附件：
附件1
1536项目需求.docx
项目需求高定位精度激光加工系统研制一、研制系统名称、数量及用途：1.1研制系统名称：高定位精度激光加工系统研制1.2数量：1台/套1.3研制系统用途：主要用于大面积微米及亚微米标记的高定位直写曝光。二、技术要求：1、系统配置清单序号部件名称及说明数量1.1传输单元11.2高定位精度工件台11.3Kr离子激光器（波长413纳米连续脉冲激光）11.4曝光光学系统（包含分光学元件（DOE）、声光调制器（AOM）、声光偏转器（AOD）等）11.5激光干涉仪11.6环控单元11.7软件以及电子模块11.8操作手册厂务动力手册曝光数据准备手册12、研制系统技术指标要求：2.1传输单元包括上料平台、位置对准平台和机械手。其中上料平台包含5英寸、6英寸、7英寸、9英寸兼容式的上料晶舟，位置对准平台用于掩模上料位置预对准装置，机械手用于掩模的自动化传输。2.2工件台采用天然大理石气浮基座。X/Y/Z悬浮在由压缩空气驱动的空气轴承上，该系统确保了平稳的运动，并防止任何外部振动影响曝光过程。X和Y运动是分别由X方向和Y方向上的线性电机执行。Z向采用步进电机调整高度，适应不同的基板厚度。2.3微晶玻璃支撑的X方向配备了三点支撑，应适应不同的基板尺寸。该系统设计有集成的压缩空气和真空，用于基板装载和吸附。三点支撑最大限度地减少吸附力对基板的影响。利用He-Ne激光干涉仪在X方向和Y方向上测量基板位置，反射光束被发送到光学头上的反射镜并进行测量。He-Ne激光波长632nm，激光光束直径6mm，连续激光，最大输出功率1mW，干涉仪光源使用寿命≥2年。2.4曝光光源采用Kr离子激光，波长413nm连续脉冲激光，电流45A情况下功率≥250mW，曝光激光器正常使用寿命≥2500小时。曝光光路包含三个主要的光学元件，分别是分光学元件（DOE）、声光调制器（AOM）、声光偏转器（AOD）。单光束扫描长度（sweep）为228.28μm，光束扫描宽度（strip）为221μm。2.5环控单元，曝光室内的空气不断地循环，由于中间层的特殊设计，空气流动保持严格的层流。曝光室内的温度是连续监测的。产生的任何热量如激光器和风扇的功耗通过冷却水系统从循环空气中去除。为了保持内部没有颗粒，空气通过位于曝光室内的过滤器进行过滤。曝光单元腔体温度控制在设定值附近±0.05℃以内波动，湿度控制范围40%±5%，腔体气压大于无尘室气压，隔绝腔体外部颗粒污染。2.5配置UNIX操作系统服务器以及数据处理软件，支持多片掩膜连续曝光，支持曝光过程监控以及曝光记录追溯。曝光控制软件，运行在OS-9操作系统上，执行曝光的动作和基本功能。曝光服务器软件，基于SUN服务器的Solaris系统上运行，将模式数据传输到曝光系统并控制写入器控制软件。特定掩模设计的图案数据存储在由图案准备软件准备的模式文件中，由系统电子设备解压并用于曝光激光的调制。2.6曝光机能够接收整个线体急停信号，并进行整机急停。设备出现曝光异常、无料、上下料失败及其它影响设备正常运行故障时，应具有报警提示功能，显示故障信息。能自动记录生产过程中的相关信息并在事后可查询，记录可导出，可长期保存。★2.7曝光模式：支持单PASS和双PASS两种曝光模式。支持图形单次扫描以及双重双描两种曝光模式。曝光图形质量控制区域132mm×132mm范围内。★2.8数据输入网格：≤1nm；直写网格：≤5nm。★2.9直写最小线宽：≤800nm；边缘粗糙度：≤20nm（3σ）。★2.10直写线宽均匀性：≤35nm（3σ）；直写线宽线性度：≤40nm；直写线宽平均值与设计值偏差：≤35nm；X-Y方向直写线宽偏差：≤20nm。★2.11图形位置放置误差：≤40nm（3σ）；套刻精度：≤30nm（3σ）；场拼接误差：≤20nm（mean+3σ）；图形居中度：≤±0.15mm。（二）商务要求：1.运输、安装、验收1.1货物到达采购人指点地点前的包装、运输等均由中标人负责。针对特殊设备应使用崭新坚固的木质包装（标准包装，必要时为木质烟熏包装），适合于空运、或陆运等长途运输方式；适合气候变化；中标人应对任何由于不当包装或防护措施不利而导致的商品损坏、损失、费用增长等后果负责。1.2买方负责厂务二次配及准备设备存储或安装位置。1.3设备搬入安装期间，卖方的装机人员必须遵守买方的各项规范和要求（如洁净室规范、标准作业规范、安全作业规范等），违反者将受到处罚。1.4卖方提供技术文件：设备说明书/维修保养说明书/备品备件清单。★1.5设备验收：设备验收一次验收，验收的内容将遵照招标人和投标中标方双方签订的技术协议和验收大纲执行。1.5.1.终验收要求：（1）合同签订后投标中标方严格按照合同技术指标条款制造设备，投标中标方应编制检测大纲（含检验项目、技术指标要求、检验方法及检验设备等），检验大纲应经招标人会签。（2）现场安装调试后的验收按双方商定的《验收大纲》进行验收，并出具相应检测报告。设备验收时所需的各项耗材及相关测试实验等费用由投标中标方承担，并计入投标总价。（3）现场性能检验：投标中标方所提供设备应满足双方在技术协议中所签订的各项性能参数，设备性能测试安排在设备安装调试结束后72小时内完成；在性能测试期间，由投标中标方设备自身的原因造成未能达到性能指标要求的，经过投标中标方技术人员及维修人员处理后，仍不能达到规定性能要求的，投标中标方须保证在30天内进行免费更换。如经投标中标方更换处理后仍未能达到招标人的使用要求及约定的设备性能的，招标人有权退货，投标中标方除承担违约责任外，还应承担退货产生的所有费用并退还招标人已付货款。2.售后服务2.1设备保质期：验收后1年。保修期内，由于厂商设计（包括软件bug）导致的故障、异常等由厂商免费进行处理。2.2设备发生异常后，厂商需要在12h内响应并解决，若无法解决，需在24h内到达现场处理；3.培训设备安装后，卖方将对买方操作员、技工和工程师提供系统操作、安装指导及事前预防、维保等相关培训。4.关于违约4.1由于中标人的原因未能按时供货的，每迟一周罚款合同总额的1%，违约金总额不超过合同总金额的5%。如超过所要求的供货期30天，采购人有权视情况终止采购合同并通过法律程序对供应商进行索赔。4.2中标人所提供的服务及所交付的产品品种、型号、规格、质量不符合同规定标准的，采购人有权拒绝收货且无需承担任何责任，同时采购人有权要求中标人限期重新供货或解除采购合同，由此造成的一切损失由中标人承担。4.3其他由违法导致违约的行为按相关法律法规执行。5.关于质量及知识产权要求：5.1中标人提供完好、全新的原包装产品（包括零配件），随机技术资料齐全。产品符合国家质量检测标准，必须具有生产日期、厂名、厂址、产品合格证等。5.2中标人应当保证其交付给采购人的货物或服务不侵犯任何第三人的合法权益。如发生第三人指控采购人实施的技术侵权的，中标人应当承担全部责任。采购人在使用该货物或服务的任何一部分时，免受第三方提出的侵犯其专利权、商标权或工业设计权等知识产权的起诉或司法干预。如果发生上述起诉或干预，则其法律责任均由中标人负责。5.3定制开发的货物或服务，所产生的研究开发成果及其相关知识产权权利归属采购人，采购人享有知识产权，知识产权取得后的使用和有关利益分配归采购人所有。中标人保证所提供的货物或服务为中标人通过合法来源依法取得，如应采购人要求，中标人有义务向采购人提供相关证明材料。★6.报价要求：6.1本项目不允许进口产品投标；6.2投标报价：国产产品与服务报项目现场含税价（中国科学院光电技术研究所），含目的地至项目安装现场的装卸及搬运，报价应包括：（1）设备出厂费用：EXW（出厂价）、增值税和其它所有税费。（2）相关费用：须包括运抵中国科学院光电技术研究所的内陆运输费、保险费和伴随货物交运的有关费用。（3）其他伴随服务费用：安装、安装指导、调试、验收、培训等其他所有费用。（4）采购人不再另行支付其他任何费用。★7、付款条件和比例：（1）合同签订生效后30日内，在收到中标人开具合同金额10%的履约保证金（供应商自主选择以支票、汇票、本票、保函等非现金形式缴纳或提交。履约保证金在中标人履行完成合同约定权利义务事项在终验收合格后一年按原方式退还，不计利息。）后，支付40%的货款。（2）现场安装终验收合格后，卖方向采购人开具合同全额增值税发票，采购人支付60%的货款。尾款支付并不免除中标人履行合同中约定质保服务的义务。★8、交货期以及交货地点：交货期：合同生效后6个月内交货地点：中国科学院光电技术研究所
投标 / 标书制作要点（原创）
本高定位精度激光加工系统研制涉及「招标公告」，投标方需重点关注：① 营业执照经营范围须含招标公告或对应服务类目；② 提供同类项目业绩证明；③ 报价方案与售后响应须明确；④ 紧盯投标截止与开标节点，建议提前完成标书制作与盖章。当地项目常要求本地化服务能力与快速响应，务必在投标文件中凸显。
标书制作联系冯经理：17551026086
