上海干泵招标公告（上海工程技术大学2024）
上海工程技术大学-竞价公告(CB108562024000138)
发布时间：2024-09-23 13:27:56
截止时间：2024-09-26 13:37:05
申购单号：CB108562024000138 签约时间：发布竞价结果后15天内签约合同
申购主题：HMDS烘箱 送货时间：合同签订后30天内送达
采购单位：上海工程技术大学 安装要求：免费上门安装（含材料费）
报价要求：国产含税 收货地址：上海市/市辖区/松江区/****
发票类型：增值税专用发票
币种：人民币
预算：120000.0
付款方式：货到验收合格后付款
备注说明：合肥真萍拥有“一种芯片专用HMDS涂胶系统”实用新型专利证书（证书号：ZL 2017 2 1587387.0）
申购明细：
序号：1
采购内容：HMDS烘箱
数量：1
预算单价：台
品牌：真萍科技
型号：MD-40
规格参数：1.1 机外壳采用优质冷轧钢钢板烤漆处理制造，内胆为医用专用不锈钢316L材料制成；加热器均匀分布在内胆外壁四周，内胆内无任何电气配件及易燃易爆装置。钢化、防弹双层玻璃门观察工作室内物体一目了然。 1.2 箱门闭合松紧能调节，整体成型的硅橡胶门封圈，确保箱内高真空度。 1.3 微电脑智能控温仪，具有设定，测定温度双数字显示和PID自整定功能，控温 精确，可靠。 1.4 智能化触摸屏控制系统配套日本三菱PLC模块可供用户根据不同制程条件改变程序，温度，真空度及每一程序时间。 1.5 HMDS气体密闭式自动吸取添加设计，真空箱密封性能佳，确保HMDS气体无外漏顾虑。整个系统采用优质材料制造，无发尘材料，适用100级光刻间净化环境。 1.6 HMDS管路加热功能，使HMDS液体进入箱体的前端管路加热，使转为HMDS气态时更易. 1.7 低液报警装置，采用国际领先的液体感测器，能及时灵敏给出指令（当HMDS 液过低时发出报警及及时切断工作起动功能） 1.8 温度与PLC联动保护功能（当PLC没有启动程序时，加温功能启动不了，相反加温功能启动时，PLC程序不按正常走时也及时切断工作功能，发出警报） 1.9整个箱体及HMDS气体管路采用SUS316医用专用不锈钢材料，整体使用无缝焊接避免拼接导致HMDS液体腐蚀外泄对人体的伤害） 1.10 设备自带温度记录及压力记录（能及时找到异常） 二、整机尺寸、真空腔体尺寸： 2.1 内胆尺寸：450X450X450mm) 外尺寸980*1600*650mm 容积：90L 2.2 载物托架：2块 2.3 室温+10℃-200℃ 控温范围：温度分辨率：0.1℃ 温度波动度：±0.5℃ 2.4 真空泵：干泵（选配）爱德华15i或者鲍斯干泵。真空度：133pa， 2.5 加热方式：四面加热。 2.6 可放2寸晶圆片或4寸晶圆片；6寸晶圆片;8寸晶圆片等。 2.7开箱温度可以由user自行设定来降低process时间（正常工艺在50分钟-120分钟(按产品所需而定烘烤时间),为正常工作周期不含降温时间（因降温时间为常规降温）；
质保及售后服务：按行业标准提供服务，质保2年
附件：
HMDS烘箱关键参数设置.xlsx
HMDS销售情况2023全年-市占率.xlsx
HMDS烘箱泵要求.docx
HMDS参数对比表
HMDS参数对比表
HMDS参数对比表
合肥真萍
备注
泵
干泵
干泵比较洁净，油泵有反渗油污，污染腔体可能
真空度
100帕
腔体真空度底，有利于药液充分挥发至腔室，为作业产品提供充分药液环境
操控
PLC+扫码枪
扫码功能，便于工艺操作、追踪产品记录
液位报警
低液位+高液位
安全防护、报警提示
工作室超温保护; 加热器短路保护；低气压报警，真空超时报警，回压超限报警，工艺超时报警
安全防护保障设备正常生产，报警信息可追溯产品异常原因，以便尽快解决问题
洁净度
100级（0.3um颗粒增长≤100颗）
腔体内部环境颗粒越优，更有利于作业产品减少污染，降低影响产品掉胶、良率风险
市占率
附表格
订货日期
合同号
客户名称
产品名称
产品型号
数量
2023-02-07 00:00:00
ZBCG-LSZB-HFZP-20230207
河北光兴半导体技术有限公司
HMDS烘箱
MD-40
1
2023-03-23 00:00:00
ZP20230227001
广州天极电子科技股份有限公司
电脑式HMDS涂胶机
MD-40
1
2023-03-24 00:00:00
ZP20230324001
合肥领航微系统集成有限公司
电脑式HMD烤箱
MD-15
1
2023-04-13 00:00:00
SLWMJ20230038CH
杭州士兰微电子股份有限公司
HMDS烘箱
MD-40-G
1
2023-04-15 00:00:00
ZP20230425-001
杭州泽达半导体有限公司
电脑式HMDS烤箱
MD-15
1
2023-04-26 00:00:00
ZP20230426001
北京华鸿锐光科技有限公司
电脑式HMDS烤箱
MD-40
1
2023-05-06 00:00:00
GDCG-20230501
三河建华高科有限责任公司
MDS涂胶系统
MD-40
1
2023-06-09 00:00:00
BAQISFOGO20230517
北京量子信息科学研究院
涂胶机
MD-15
1
2023-06-16 00:00:00
23JDJY198-03
无锡光子芯片联合研究中心
电脑式HMDS涂胶机
MD-40
1
2023-07-11 00:00:00
SMTC2023061501
江西兆驰半导体有限公司
电脑式HMDS涂胶机
MD-40
1
2023-07-15 00:00:00
BDQX-ZCHT-2023-0049
宝鼎乾芯集成电路（杭州）有限公司
HMDS 烘箱
MD-40
1
2023-08-08 00:00:00
/
广东中科半导体微纳制造技术研究院
HMDS真空烤箱
MD-40
1
2023-09-11 00:00:00
ZP20230908001
扬州思普尔科技有限公司
电脑式HMDS涂胶机
MD-40
1
2023-09-12 00:00:00
DYFC20230905002
德兴市意发功率半导体有限公司
电脑式增粘剂烘箱
MD-40
1
2023-09-12 00:00:00
ZP20230906002
江南大学
hmds增粘剂
MD-15
1
2023-08-23 00:00:00
ZP20230823001
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
HMDS预处理设备
MD-40
1
2023-09-12 00:00:00
JPPA230912001
湖北九峰山实验室
HMDS烘烤箱
MD-40
1
2023-09-25 00:00:00
SAIS-202310209251
沈阳仪表科学研究院有限公司
HMDS预处理设备
MD-40
1
2023-10-10 00:00:00
HFJBD2023101002C
合肥显耀显示科技有限公司
HMDS预处理烤箱
MD-40
1
2023-11-18 00:00:00
ZP20231102001/01T2023110001
拓易（无锡）科技有限公司
电脑式HMDS涂胶机
MD-40
1
2023-12-06 00:00:00
/
锐石创芯（重庆）科技有限公司
电脑式HMDS涂胶机
MD-40
1
说明：我们所定义的市占率，就是说全年市场有哪些公司或单位有新增、新厂需要HMDS设备计算。我们所联系到的和通过其他渠道找到我们的。10个项目基本可以做到8个。在设备技术端，本设备采取烘烤后直接进行蒸汽涂布，降低了产品从大气中吸收水分子的几率，并且蒸汽涂布具有涂抹更加均匀和更节省药液的优势，同时，设备在软件端设计了多种报警以方便监测，包括 药液位高低、工艺超时超温报警、回压超限、低气压、门位置监测等。设备采用进口/国产干泵，对使用场地污染小，在工艺时保持腔内属于负压状态，因此药液不会因意外从腔体外泄至车间内。
HMDS泵要求：爱德华（Edwards）的XDS35i泵是干式涡旋泵，广泛应用于需要无油、清洁的真空环境的实验室及特定工业应用中。1.**技术特点**-**爱德华XDS35i**：XDS35i采用干式涡旋技术，特点是无需润滑油，能够提供较低的极限压力和较低的噪声级别。其设计支持完全现场维修，保养间隔时间长，从而降低拥有成本。2.**性能参数**-**爱德华XDS35i**：XDS35i的泵送速度为6-20m³/h，与其他泵相比，具有更低的极限压力、功耗和噪声级别。它设计上追求实现完全现场维修，智能控制功能和长达五年的保养间隔时间。3.**应用领域**-**爱德华XDS35i**：XDS35i适用于研究分析仪器实验室，包括分析仪器、低温应用、氦气再循环、冷冻干燥等。这些场景通常要求泵提供静音、洁净和无油的真空环境。4.**维护成本**-**爱德华XDS35i**：XDS35i由于较长的保养间隔和智能控制功能，其拥有成本较低，这是其显著的优势之一。
投标 / 标书制作要点（原创）
本干泵涉及「招标公告」，投标方需重点关注：① 营业执照经营范围须含招标公告或对应服务类目；② 提供同类项目业绩证明；③ 报价方案与售后响应须明确；④ 紧盯投标截止与开标节点，建议提前完成标书制作与盖章。上海项目常要求本地化服务能力与快速响应，务必在投标文件中凸显。
标书制作联系冯经理：17551026086
