原子层沉积系统招标公告（中国科学院微电子研究所2024）
中国科学院微电子研究所原子层沉积系统采购项目公开招标公告
项目概况
中国科学院微电子研究所原子层沉积系统采购项目 招标项目的潜在投标人应在www.oitccas.com。获取招标文件，并于2024年10月17日 09点30分（北京时间）前递交投标文件。
一、项目基本情况
项目编号：OITC-G240391629
项目名称：中国科学院微电子研究所原子层沉积系统采购项目
预算金额：150.000000 万元（人民币）
最高限价（如有）：150.000000 万元（人民币）
采购需求：
包号
货物名称
数量
是否允许采购进口产品
采购预算 （人民币）
最高限价 （人民币）
1
原子层沉积系统
1套
否
150万元
150万元
合同履行期限：详见项目需求
本项目(不接受 )联合体投标。
二、申请人的资格要求：
1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；
2.落实政府采购政策需满足的资格要求：
本项目不属于 专门面向中小微企业、监狱企业、残疾人福利性单位采购的项目。
3.本项目的特定资格要求：1）在中华人民共和国境内依法注册的，具有独立承担民事责任能力，遵守国家法律法规，具有良好信誉，具有履行合同能力和良好的履行合同的记录，具有良好资金、财务状况的企事业法人、其他组织或者自然人；2）为本项目提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的投标人，不得参加本项目投标；3）投标单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同投标人，不得参加同一合同项下的政府采购活动；4）按本投标邀请的规定获取招标文件；5）投标人不得为列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单的投标人。
三、获取招标文件
时间：2024年09月24日 至2024年09月30日，每天上午9:00至11:00，下午13:00至17:00。（北京时间，法定节假日除外）
地点：www.oitccas.com。
方式：登录东方招标www.oitccas.com注册并购买
售价：￥600.0 元，本公告包含的招标文件售价总和
四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点
提交投标文件截止时间：2024年10月17日 09点30分（北京时间）
开标时间：2024年10月17日 09点30分（北京时间）
地点：北京市朝阳区北土城西路三号中国科学院微电子研究所D502会议室
五、公告期限
自本公告发布之日起5个工作日。
六、其他补充事宜
1、投标文件递交地点：北京市朝阳区北土城西路三号中国科学院微电子研究所D502会议室
2、招标文件采用网上电子版本发售和纸质招标文件同时发售方式：
1）登陆“东方招标”平台（http://www.oitccas.com/），点击“获取采购文件”链接图标，或直接输入访问地（http://www.oitccas.com/pages/sign_in.html?page=mine）完成投标人注册手续（免费），然后登陆系统寻找有意向参与的项目，已注册的投标人无需重新注册。招标文件售价：每包人民币600 元。如决定购买招标文件，请完成标书款缴费及标书下载手续，纸质文件可联系采购代理机构联系人通过快递或现场领取获取。电子版招标文件与纸质招标文件具有同等的法律效力。
2）投标人可以电汇的形式支付标书款（应以公司名义汇款至下述指定账号）。
开户名称：东方国际招标有限责任公司
开户行：招商银行北京西三环支行
账 号：862081657710001
3）投标人应在平台上填写开票信息。在投标人足额缴纳标书款后，标书款电子发票将发送至投标人在平台上登记的电子邮箱，投标人自行下载打印。
3、以电汇方式购买招标文件和递交投标保证金的，须在电汇凭据附言栏中写明招标编号(如未标明招标编号OITC-G240391629，有可能导致投标无效)。
4、采购项目需要落实的政府采购政策：
(1)政府采购促进中小企业发展
(2)政府采购支持监狱企业发展
(3)政府采购促进残疾人就业
(4)政府采购鼓励采购节能环保产品
七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。
1.采购人信息
名 称：中国科学院微电子研究所
地址：北京市朝阳区北土城西路3号
联系方式：王老师 010-82995516
2.采购代理机构信息
名 称：东方国际招标有限责任公司
地 址：北京市海淀区丹棱街1号互联网金融中心20层
联系方式：迟兆洋、芮虎峥、荀笑尘 010-68290589/0548 hzrui@oitc.com.cn、xcxun@oitc.com.cn
3.项目联系方式
项目联系人：迟兆洋、芮虎峥、荀笑尘
电 话： 010-68290589/0548
公告概要：
公告信息：
采购项目名称
中国科学院微电子研究所原子层沉积系统采购项目
品目
货物/设备/仪器仪表/分析仪器/多种原理分析仪
采购单位
中国科学院微电子研究所
行政区域
北京市
公告时间
2024年09月24日 18:06
获取招标文件时间
2024年09月24日至2024年09月30日每日上午:9:00 至 11:00下午:13:00 至 17:00（北京时间，法定节假日除外）
招标文件售价
￥600
获取招标文件的地点
www.oitccas.com。
开标时间
2024年10月17日 09:30
开标地点
北京市朝阳区北土城西路三号中国科学院微电子研究所D502会议室
预算金额
￥150.000000万元（人民币）
联系人及联系方式：
项目联系人
迟兆洋、芮虎峥、荀笑尘
项目联系电话
010-68290589/0548
采购单位
中国科学院微电子研究所
采购单位地址
北京市朝阳区北土城西路3号
采购单位联系方式
王老师 010-82995516
代理机构名称
东方国际招标有限责任公司
代理机构地址
北京市海淀区丹棱街1号互联网金融中心20层
代理机构联系方式
迟兆洋、芮虎峥、荀笑尘 010-68290589/0548 hzrui@oitc.com.cn、xcxun@oitc.com.cn
附件：
附件1
1629项目需求.docx
项目需求一、货物需求一览表包号货物名称数量交货期交付地点1原子层沉积系统1套2025年1月31日前交货中国科学院微电子研究所用户指定地点注：投标人须对上述投标内容中完整的一包进行响应，不完整的投标将视为非响应性投标予以拒绝。二、总则1、投标要求1.1供应商在准备投标文件时，务必在所提供的商品的技术规格文件中，标明型号、商标名称、目录号。1.2供应商提供的货物须是成熟的全新的产品，其技术规格应符合采购文件的要求。如与采购文件的技术规格有偏差，应提供技术规格偏差的量值或说明（偏离表）。如供应商有意隐瞒对规格要求的偏差或在开标后提出新的偏差，采购人有权拒绝其投标。1.3供应商提供的产品样本，必须是“原件”而非复印件，图表、简图、电路图以及印刷电路板图等都应清晰易读。采购人有权不付任何附加费用复制这些资料以供参考。1.4供应商的投标产品应符合国家有关部门规定的相应技术、节能、安全和环保标准；如国家有关部门对供应商的投标产品有强制性规定或要求的，则供应商的投标产品必须符合相应规定或要求。2、评标标准2.1除采购文件中指定的附件和专用工具外，供应商应提供仪器设备的正常运行和常规保养所需的全套标准附件、专用工具和消耗品。供应商在投标书中需列出这些附件和工具的数量和单价的清单，这些附件和工具的报价的总值需计入投标价中。2.2对于标书技术规范中已列出的作为查询选件的附件、零配件、专用工具和消耗品，投标文件中应列明其数量、单价、总价供采购人参考。供应商也可推荐采购人没有要求的附件或专用工具作为选件，并列明其数量、单价、总价供采购人参考。选件价格不计入评标价中。选件一旦为采购人用户接受，其费用将加入合同价中。2.3为便于用户进行接收仪器的准备工作，供应商应在合同生效后60天内向用户提供一套完整的使用说明书、操作手册、维修及安装说明等文件。另一套完整上述资料应在交货时随货包装提供给用户，这些费用应计入投标价中。2.4关于设备的安装调试，如果有必要的安装准备条件，供应商应在合同生效后一个月内向采购人提出详细的要求或计划。安装调试的费用应计入投标价中，并应单独列出，供评标使用。2.5制造厂家提供的培训指的是涉及货物的基本原理、操作使用和保养维修等有关内容的培训。培训教员的培训费、旅费、食宿费等费用和培训场地费及培训资料费均应由供应商支付。3、工作条件除非在技术规格中另有说明，所有仪器、设备和系统都应符合下列要求：3.1适于在气温为摄氏-40℃～＋50℃和相对湿度为90％的环境条件下运输和贮存。3.2适于在电源220V（10％）/50Hz、气温摄氏+15℃～＋30℃和相对湿度小于80％的环境条件下运行。能够连续正常工作。3.3配置符合中国有关标准要求的插头，如果没有这样的插头，则需提供适当的转换插座。3.4如产品达不到上述要求，供应商应注明其偏差。如仪器设备需要特殊工作条件（如水、电源、磁场强度、温度、湿度、动强度等）供应商应在投标书中加以说明。4、验收标准除非在具体要求中另有说明，所有仪器、设备和系统按下列要求进行验收：4.1仪器设备运抵安装现场后，采购人将与供应商共同开箱验收,如供应商届时不派人来,则验收结果应以采购人的验收报告为最终验收结果。验收时发现短缺、破损,采购人有权要求供应商负责更换。4.2验收标准以中标人提供的投标文件中所列的指标为准（该指标应不低于采购文件所要求的指标）。任何虚假指标响应一经发现即作废标，供应商必须承担由此给采购人带来的一切经济损失和其它相关责任。4.3验收由采购人、中标人及相关人员依国家有关标准、合同及有关附件要求进行，验收完毕由采购人及中标人在验收报告上签名。5、本具体要求中标注“★”号的为实质性要求，不满足其投标将被拒绝。6、如在具体要求中有本总则不一致之处，以具体要求中的要求内容为准。三、具体要求设备名称：原子层沉积系统（1）技术要求：1、工作条件：1.1使用环境：1000级以上无尘室，湿度45±10%，温度23±2℃；1.2电源：220V(±5%)50Hz；1.3冷却水：进水压力0.3-0.6MPa；压差＞0.1MPa；1.4压缩空气：流量需求50SLM；压力0.55MPa；1.5氮气：流量2SLM，压力0.2MPa。2、设备用途说明：主要用来进行高质量介质层制备，以单原子层分辨率沉积氧化物与氮化物，成键牢固、成膜均匀。3、技术要求及参数：3.1总体要求3.1.1设备具有良好的操作性，方便的维修性，可靠的安全性。3.1.2设备的控制系统采用单独的PLC控制柜，配置PLC控制系统。电气控制系统应安全可靠。3.1.3设备的操作和工艺菜单由一台PC处理，设备包含操作用PC并安装所需的操作软件。能够在沉积过程中监测显示每个源管路的脉冲压强，显示脉冲压强与时间关系图，用于监测脉冲稳定性。界面友好，具备程序储存，读取功能，能够导出实验数据。控制系统包含安全互锁功能。3.2设备技术规格3.2.1设备腔体★3.2.1.1反应腔满足直径200mm及以下尺寸衬底的使用要求。★3.2.1.2腔体结构采用双腔体结构，即真空腔+反应腔结构。反应腔安装于真空腔内部。所有加热元件均安装于反应腔外部。3.2.1.3反应腔为全热壁，加热方式采用外部环绕对称式辐射加热模式，确保反应腔内部在任何位置上温度的一致性。▲3.2.1.4真空腔外壁为全冷壁，腔体漏率≤10E-7Pa.m3/S。无隔热材料，保证操作的安全性，并避免因隔热材料中的纤维或粉尘的扩散对实验室净化间造成影响。3.2.1.5在正常工艺操作过程中，真空腔压力始终大于反应腔压力，防止前驱体向外泄漏，腔体本底真空≤20mTorr。▲3.2.1.6工艺腔体采用钛合金腔体，可实现温度范围：100~450℃，精度≤±1℃。▲3.2.1.7设备采用自动传输方案，可以支持多菜单同时运行。3.2.2气体管路3.2.2.1前驱源气体管路满足有毒性气体或易燃性工艺气体的适用要求。管路包括但不限于ALD阀、压力传感器、不锈钢管路和VCR连接器等配置。3.2.2.2所有工艺气体管路均采用电抛光不锈钢材料。所有联接接头均采用金属密封。工艺气体管路满足易燃以及有毒性前驱气体的使用要求。软硬件须配置相应的安全互锁功能，满足非兼容性气体的使用要求。3.2.2.3为确保在ALD阀切断后，ALD阀和反应腔之间的管路内没有前躯体残留，设备的前驱体管路系统中须具有在线自动惰性气体净化功能。投标人须提供在线自动惰性气体净化功能的工作原理图并说明其工作原理。▲3.2.2.4ALD常温脉冲阀，响应时间≤10ms。3.2.3加热前驱源及管路3.2.3.1加热源位≥1个，加热前驱体料源系统均配置加热、保温和温度控制系统，保证前驱源不在管路中冷凝。▲3.2.3.2加热料源装置及与之相联接管路的最高加热温度≥200℃，配备（包括但不限于）温控管路、高温ALD阀门等必要部件，加热温度可设定和控制，温度控制精度：≤±2℃。3.2.3.3加热源料瓶采用AISI316不锈钢材料。3.2.3.4在更换料瓶前后，管路及与之相联接管路、阀门系统具有在线净化功能，方便料瓶更换。3.2.4常温液态前驱源及管路▲3.2.4.1常温液态源位不低于2个，且常温液态源料瓶采用AISI316不锈钢材料。3.2.4.2在更换料瓶前后，管路及与之相联接管路、阀门系统须具有在线净化功能，方便料瓶更换。3.2.4.3每路源管道安装压力计用于管路状况监控。3.2.4.4源瓶安装液位传感器，电脑端可适时监控源液位情况。3.2.5真空泵系统▲3.2.5.1腔体配置干式真空泵，最大抽速：≥600m3/h，配置消音器。▲3.2.5.2极限压力：≤1.5x10-2torr。3.2.5.3真空泵与主机控制系统集成。3.2.6真空泵前端尾气过滤系统3.2.6.1配置真空泵前端尾气过滤系统，安装在真空泵和原子层沉积设备之间，保持真空泵免受尾气和尾气颗粒物污染。3.2.6.2包含（但不限于）固体废物收集容器，过滤器元件、气动阀和液位指示等装置。3.2.6.3尾气过滤系统可通过持续供给水蒸汽以降解和灭活所有尾气中与水反应的残余前驱体物质。3.3工艺指标3.3.1设备验收▲3.3.1.1腔体可实现温度范围：100~450℃，精度≤±1℃。3.3.1.2腔体本底真空：≤2.6Pa。▲3.3.1.3腔体漏率：≤1E-8Pa.m3/s。3.3.1.4传片1000片无故障。（测试方法：设备连续传片，晶圆从cassette传输进入腔体，通氮气10s后再传回cassette计算为1片。若不满足1000片无故障，则从恢复设备的那一刻起，重新计算）。3.3.1.5机械颗粒≥0.2um：≤30个（8英寸)。3.3.1.6膜内颗粒≥0.2um：≤30个（HfO2）（8英寸)。3.3.1.7设备故障间隔时间（MTBF）：大于150小时；测试方法：设备连续工作150个小时以上，去除外部因素影响，设备本身无故障时间大于150小时，若不满足，则从恢复设备的那一刻起，重新计算。3.3.2设备可拓展性▲3.3.2.1不进行硬件改造的情况下设备可以便捷升级支持AlN、TiN、Cu等工艺的制作。（提供本机型其他膜层制样报告）▲3.3.3热沉积工艺薄膜材料HfO2验收使用的衬底及尺寸8寸单面抛光无掺杂硅片（供应商提供）验收使用的薄膜厚度12nm薄膜厚度不均匀性要求≤±3%（49点, 1sigma） 边缘5mm去边。4、软件控制系统4.1界面友好，软件能实时监控设备状态。并有日志记录（日志记录最小间隔≤1s）报警等功能，日志记录可保留≥1年。4.2软件界面可实现快速、方便的工艺开发和recipe生成。系统可以处于Auto和Manual模式，Manual模式下所有部件可直接操作和设置，在Auto模式下，通过Recipe自动执行预先设置的顺序步骤。4.3使用电脑自带操作系统平台对温度、流量、阀门、压力等进行自动控制，并管理全部工艺时序。4.4可保存工艺菜单≥1000条。5、配置清单及零配件（包括专用工具）：序号名称单位数量1ALD设备主机个12真空反应腔个13Ti工艺腔个14常温液态前驱源管路套25加热前驱源管路套16干式真空泵个17真空泵前端尾气过滤系统套18热源瓶个19液源瓶（能实现液位指示）个210备品备件（投标人须提供备品备件清单）套1（二）商务要求：1.技术资料要求：供应商应提供1套完整的技术资料，包括所有方案中提到的设备和控制软件的相关技术资料，主要有操作手册、使用手册、维护手册、安装手册等，全套手册必须可在设备操作界面上实时方便查阅，并可以使用关键字检索。2.安装、调试及验收要求：2.1出厂检验报告：供应商在设备发货前提供到用户，或随设备发货提供到用户。2.2设备检查和清点：设备到达现场后，双方一起根据合同清单对设备进行开箱检查和清点，并形成经双方认可的记录。如供应商届时不派人来,则验收结果应以用户的清点记录为最终结果。发现短缺、破损,用户有权要求供应商立即补发和负责更换。2.3设备现场安装：现场安装应在设备检查、清点合格后开始。设备安装前，设备供应商应根据用户现场条件设计安装方案，并经用户认可。供应商免费提供设备的安装、调试、试运行。用户方派相关人员给与配合，并负责提供设备安装过程所需的配套条件；设备安装、调试时间由设备供应商和用户方协商确定。设备安装、调试开始后，应在4周内完成；如遇不可抗力原因需延长设备安装、调试时间，应由设备供应商和用户协商确定。2.4双方在设备安装调试后进行验收,时间由设备供应商和用户协商确定；验收标准以供应商提供的投标文件中所列的指标为准（该指标应不低于采购文件所要求的指标）。任何虚假指标响应一经发现即作废标，供应商必须承担由此给采购人带来的一切经济损失和其它相关责任。供应商应提出验收测试方案给用户确认,供应商有责任对用户的技术人员提出的问题做出解答。仪器设备验收测试应进行详细记录,测试结束后,由供应商技术人员签字后交给用户验收。2.5在用户现场完成验收后，由用户、供应商及相关人员依国家有关标准、合同及有关附件要求签署最终验收合格报告。2.6由于用户的原因，供应商不能在规定的时间内完成安装和调试，则系统安装及培训顺延，时间由用户通知和确定。2.7在整个验收过程中，如遇到产品本身质量问题或供应商安装操作不当引起的设备损坏，供应商应免费及时解决并承担损坏赔偿。3.培训要求：供应商在到货安装调试完成后，应派出专业工程师免费在采购方现场提供一次系统的使用培训服务，直至采购方相关人员熟练掌握为止。质保期结束前，由供应商的专业工程师免费提供一次上门设备检查服务以及设备操作与维护培训。具体时间由用户决定。4.售后及技术服务要求：4.1保修期：质量保证期从签署最终验收报告之日起计算，保修期不少于1年。4.1.1保修期内，一切服务费用（包括零配件的费用及运费）由供应商承担；4.1.2保修期内，供应商负责设备的所有相关软件在最新版本发布后免费升级；4.1.3供应商应承诺，在保修期过后，供应商继续向用户以最优惠费率提供及时有效的售后服务和零备件供应，供应商应承诺保证零备件供应期不少于10年；所更换的部件可享受顺延保修期优惠。4.1.4保修期内,如果仪器设备发生故障，供应商要调查故障原因并修复直至满足最终验收指标和性能的要求。4.2售后服务要求：4.2.1维修响应时间：供应商接到故障报告后4小时予以电话响应并给出方案，如无法通过电话解决故障，将在24小时内派专业工程师到现场解决问题，如有需要将在7日内派原厂工程师到现场解决问题；4.2.2供应商免费提供7*24小时的技术支持热线电话；4.2.3要求供应商提供的其它技术服务内容：4.2.3.1供应商须保证本合同系统硬件均系原装新品；4.2.3.2供应商须保证所提供的控制软件为正版软件，并能免费得到原产厂家技术支持及升级服务。5.包装及运输要求：5.1供应商负责设备运输到交货地点。5.2无论在何种运输方式下，供应商应保证货物包装完好无锈蚀，安全运抵目的地。应使用崭新坚固的包装（标准包装），适合于空运、海运或陆运等长途运输方式和标准；包装箱应防潮、防锈、防震、防粗暴装卸、适合气候变化；供应商应对任何由于不当包装或防护措施不利而导致的商品损坏、损失、费用增长等后果负责。6、交货日期：2025年1月31日前交货。7、到货口岸及交货地点：交货地点：中国科学院微电子研究所。8、执行的相关标准无9、其它9.1对仪器设备生产厂家要求：厂家应具备一定规模的科研、生产、技术支持及售后服务能力。厂家在国内设有技术支持中心及维修中心。★9.2供应商同意并保证尊重任何他方的知识产权及其它合法权益，承诺其所提供的产品或服务均不得侵犯第三方知识产权及其它合法权益，否则所引起的全部责任均应当由供应商承担。10、付款方式：合同签订后凭大型银行等额预付款保函预付90%，验收后凭签字的验收合格报告支付10%。★11、投标报价要求：（1）本项目不允许采购进口产品。（2）国产产品与服务报项目现场交货人民币含税价。报价中需包括制造、装配和发运货物所使用的材料、部件及货物本身已支付或将支付的产品税、销售税和其它税费。采购人不再另行支付其他任何费用。关境内供货的国外产品与服务报项目现场交货人民币含税价（报价中需包括制造、装配和发运货物所使用的材料、部件及货物本身已支付或将支付的产品税、销售税和其它税费）。采购人不再另行支付其他任何费用。（3）如投标产品中既有进口产品又有国产产品或者国内供货的国外货物应采用人民币免税价加人民币含税价的报价方式。（4）上述价格的构成须按在分项报价表中格式要求详细列出。12、是否允许采购进口产品：否13、预算金额：人民币150万元最高限价（如有）：人民币150万元★14、供应商同意并保证尊重任何他方的知识产权及其它合法权益，承诺其所提供的产品或服务均不得侵犯第三方知识产权及其它合法权益，否则所引起的全部责任均应当由供应商承担。
投标 / 标书制作要点（原创）
本原子层沉积系统涉及「招标公告」，投标方需重点关注：① 营业执照经营范围须含招标公告或对应服务类目；② 提供同类项目业绩证明；③ 报价方案与售后响应须明确；④ 紧盯投标截止与开标节点，建议提前完成标书制作与盖章。当地项目常要求本地化服务能力与快速响应，务必在投标文件中凸显。
标书制作联系冯经理：17551026086
