天津高真空磁控溅射电极制备装置等设备 高真空磁 高真空磁控溅射电极制备装置招标公告（天津科技大学2024）
天津科技大学 天津科技大学高真空磁控溅射电极制备装置等设备采购项目 (项目编号:SHGP-2024-A400)公开招标公告
发布日期：2024年09月30日发布来源：天津科技大学
项目概况
天津科技大学高真空磁控溅射电极制备装置等设备采购项目招标项目的潜在投标人应在
天津市红桥区光荣道与保康路交口宝能创业中心A座11楼1109室获取招标文件，并于
2024年10月22日 09点30分（北京时间）前递交投标文件。
一、项目基本情况
项目编号：SHGP-2024-A400
项目名称：天津科技大学高真空磁控溅射电极制备装置等设备采购项目
预算金额：392.0万元
最高限价：392.0万元
采购需求：
包号
是否设置最高限价
预算（万元）
最高限价（万元）
采购目录
采购需求
第1包
否
186
186
教学仪器
高真空磁控溅射电极制备装置等
第2包
否
106
106
教学仪器
工业电解水制氢实训装置
第3包
否
100
100
教学仪器
电化学提锂实训装置等
合同履行期限：第一包、第二包：自合同签订之日起30日内完成安装调试（特殊情况以合同为准）。 第三包：电化学提锂实训装置：自签订合同之日起4个月内完成安装调试（特殊情况以合同为准）；吸附电化学提锂实训装置：自合同签订之日起30日内完成安装调试（特殊情况以合同为准）。
本项目不接受联合体参与 ，本项目不接受进口产品
二、申请人的资格要求：
1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；
2.落实政府采购政策需满足的资格要求：（一）根据财政部《关于进一步加大政府采购支持中小企业力度的通知》 （财库﹝2022﹞19 号）、《市财政局 市发展改革委 市住房城乡建设委 市交通运输委 市水务局 市政务服务办关于进一步贯彻落实政府采购支持中小企业政策的通知》 （津财采〔2022〕11号）规定，本项目专门面向中小企业采购。 （二）根据财政部发布的《关于政府采购支持监狱企业发展有关问题的通知》规定，本项目对监狱企业视同为小微企业。 （三）根据财政部发布的《财政部 民政部 中国残疾人联合会关于促进残疾人就业政府采购政策的通知》规定，本项目对残疾人福利性单位视同为小微企业。 注：小微企业以投标人填写的《中小企业声明函》为判定标准，监狱企业须投标人提供由省级以上监狱管理局、戒毒管理局（含新疆生产建设兵团）出具的属于监狱企业的证明文件，残疾人福利性单位以投标人填写的《残疾人福利性单位声明函》为判定标准，否则不予认定。以上政策不重复享受。 （四）按照《财政部关于在政府采购活动中查询及使用信用记录有关问题的通知》（财库〔2016〕125号）的要求，根据投标当日（查询截止时间为项目评审结束时间）“信用中国”网站（www.creditchina.gov.cn）、中国政府采购网（www.ccgp.gov.cn）的信息，对列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单及其他不符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定条件的投标人，拒绝参与政府采购活动，同时对信用信息查询记录和证据进行打印存档。 （五）涉及商品包装或快递包装的，按照《财政部办公厅、生态环境部办公厅、国家邮政局办公室关于印发〈商品包装政府采购需求标准（试行）〉〈快递包装政府采购需求标准（试行）〉的通知》（财办库〔2020〕123号）要求执行。 （六）按照《关于调整优化节能产品、环境标志产品政府采购执行机制的通知》（财库〔2019〕9号）、《关于印发环境标志产品政府采购品目清单的通知》（财库〔2019〕18号）、《关于印发节能产品政府采购品目清单的通知》（财库〔2019〕19号）、《市场监管总局关于发布参与实施政府采购节能产品、环境标志产品认证机构名录的公告》（2019年第16号）等文件要求，对政府采购节能、环境标志品目清单内的产品实施优先采购和强制采购的评标方法。 本项目专门面向中小企业采购；
3.本项目的特定资格要求：（一）具备《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定的条件，投标文件中提供以下材料： 1．营业执照或事业单位法人证书或民办非企业单位登记证书或社会团体法人登记证书或基金会法人登记证书，投标文件中提供复印件加盖公章。 2．财务状况报告等相关材料 A.提供经第三方会计师事务所出具的2023年度审计报告（含报表），投标文件中提供复印件加盖公章。 B. 具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度的书面声明，投标文件中提供书面声明原件。 注：A、B两项提供任意一项均可。 3．投标人须具备履行合同所必需的设备和专业技术能力，投标文件中提供书面声明原件。 4．提供2024年1月至今任意一个月的依法缴纳税收和社会保障资金的相关证明材料；依法不用缴纳税收和社会保障资金的应提供税务机关出具的依法免税的证明文件或社会保险基金管理部门出具的不需要缴纳社会保障资金的证明文件，投标文件中提供复印件加盖公章。 5．投标人在参加政府采购活动前三年内，在经营活动中没有重大违法记录的书面声明（提交投标文件递交的截止时间成立不足3年的投标人，可提供自成立以来无重大违法记录的书面声明），投标文件中提供书面声明原件。 （二）投标人须由法定代表人或其授权的委托代理人参加投标。投标人代表若为法定代表人需提供法定代表人身份证明书原件和法定代表人身份证原件；投标人代表若为被授权的委托代理人，须提供法定代表人授权书原件（需由法定代表人签字或盖章）和被授权人身份证原件。 （三）本项目不接受联合体投标，投标文件中提供书面声明原件。 （四）本项目专门面向中小企业采购，投标文件中须提供 《中小企业声明函》并加盖公章。
三、获取招标文件
时间：
2024年09月30日到
2024年10月12日，每天上午09:00至12:00，下午14:00至17:00（北京时间，法定节假日除外）
地点：天津市红桥区光荣道与保康路交口宝能创业中心A座11楼1109室
方式：携带投标人营业执照复印件加盖公章、法定代表人授权书。
售价：500元
四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点
2024年10月22日 09点30分（北京时间）。
地点：天津市河东区大直沽八号路与海河东路交口万达中心20层2011
五、公告期限
自本公告发布之日起5个工作日。
六、其他补充事宜
七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。
1.采购人信息
名称：天津科技大学
地址：天津市河西区大沽南路1038号
联系方式：张宁，022-60600550
2.采购代理机构信息
名称：天津盛浩工程咨询有限公司
地址：天津市红桥区光荣道与保康路交口宝能创业中心A座11楼1109室
联系方式：022-86599692
3.项目联系方式
项目联系人：宋媛
电 话：022-86599692-8008/8001
其他附件文件下载
项目需求书.docx
天津盛浩工程咨询有限公司
2024年09月30日
项目需求书本项目标的所属行业：工业第一包：（1）技术要求序号标的名称技术参数数量1高真空磁控溅射电极制备装置★1、真空度：采用分子泵+机械泵组成，设备的极限值真空度：6.6×10-6Pa。★2、抽气速度：大气开始抽气：30分钟可达到6.6×10-4Pa。真空室采用手动前开门形式，采用优质304不锈钢为材质。3、冷却温度范围：-25至45℃，显示分辨率：0.1℃，精度：±2℃，容积：7L4、磁控靶：3套，其中1套为强磁靶，用于溅射铁磁性材料，靶材尺寸2英寸，从下向上溅射。5、500W直流电源2套，500W射频电源和自动匹配器1套。6、兼容基片尺寸：1片4英寸（兼容小尺寸基片），基片可以旋转，转速5~20转/分钟，带偏压功能，样品可实现高温，炉丝温度800℃。7、三路气体控制器系统：氮气、氩气、氧气，通过混气室后进入腔体。★8、样品腔室采用三明治结构，内侧具有蛇形流道。腔室内置1.5mm厚方形4cm2中空层9、采用复合真空计进行真空测量，1×10-7Pa~1×105Pa，采用薄膜规。10、磁控溅射类设备控制系统使用PVD设备智能控制系统。11、采用配方式自动工艺流程，提供开放式工艺编辑、存储与调取执行，可实现真空获得、控制温度、镀膜工艺、真空释放等工艺的组合及一键式全自动运行。12.提供相应保修时间的设备制造商盖章的书面承诺书。1套2▲PECVD纳米材料电极制备系统★1、工作温度1200℃（＜0.5 小时），最高连续工作温度: 1100℃ ±1℃；八个 PID 温度控制器及120段可编程温控系统；★2、制备存储温度：冷阱最低温度≤-56℃，存储面积0.12㎡3、单相208-240V，最大功率：2.5KW；加热区长度: 800mm，恒温区长度: 600mm (±1℃)；可分为四套系统，同时进行；具有过温保护功能；高纯石英管，外径50.8mm，内径43.2mm；4、气体控制方式：防腐型数字式真空显示计，其测量范围为3.8*10-5至1125Torr，管内真空须达到10E-5 mbar；5、8个精密的气体质量流量计 (MCF) ：精度±1.5% F.S，自动可触控操作系统控制。6、双射频电源: 功率输出范围：0-500W，功率稳定度：≤±5W，射频频率：13.56MHz±0.005% ；反射功率: 最大200W；噪音：≤50dB，风冷；7、样品反应池：10cmX10cm,蛇形流道，钛板+钛板（4套）8、双功能电解池：10X10mm，金属钛，双极板（4套）★9、样品检测：4X-1000X ，带成像系统及分析软件。10、高温加热设备，通气装置要求安全性高，要求所有电器元件（>24V）；11、炉体可双向滑动位移≥600mm，方便实现快速升降温；12.提供相应保修时间的设备制造商盖章的书面承诺书。1套3电极超声薄膜喷涂系统★1.全数字超声波控制器：自动追频超声控制，超声功率控制精度0.01W。 提供2套超声波控制器。2.喷涂均匀度1套第二包：（1）技术要求序号标的名称技术参数数量1▲工业电解水制氢实训装置1. 主要技术参数★1）通道数：不低于2个通道，且各通道可独立运行；2）工作模式：恒压、恒流、恒功率；★3）电流测试范围：最大电流不低于30A；电压测试范围：最大电压不低于5V；内阻测试范围：最小值不高于0.1 mΩ，最大值不低于33.00 Ω，温度控制范围：室温～不低于95 °C；具备器件三电极原位测试功能；4）电压精度：不低于±0.05%；电流精度：不低于±0.05%；内阻测试模式：定频（1 kHz）；内阻测试精度：不低于0.5% rdg；★5）电解夹具阴、阳极板材质：钛板（表面有Pt涂层）；膜电极测试面积：1*1 cm2/2*2 cm2 （可切换）；电解夹具性能：电压1.8V时，电流密度不低于2 A/cm2；稳定性：电流密度为2 A/cm2时运行3000小时，电压波动不超过5 μV/h；电解槽寿命：不低于5000 h；★6）各通道液位独立检测，独立控制，自动补水，各通道进水温度波动不超过±0.5 ℃7) 可自由选择自动模式和手动模式，在自动模式下实现一键启停，可根据控制逻辑实现加热、循环泵、补水泵等部件的自动启停；★8）具备进水电导率在线监测系统，电导率检测精度不低于0.1 μs/cm；9）配备数字多用表，至少具备直方图、条形图、趋势图显示、带电容测试功能，读数速率不低于1000次/秒，电压精度不低于0.05%，电阻精度不低于0.01%，具备编程语言及控制接口，电流测试精度不低于0.1 mA，电压测试精度不低于1μV；10）配备电化学工作站，至少具备恒电流/恒电位/交流阻抗测试功能，最大工作电流：不低于±350 mA；电流分辨率：不低于0.03%；电流测试准确度：不低于±20 pA；电位分辨率：不低于0.0015%；最大扫描电压：不低于±10V；电位测试准确度：不低于±1 mV；交流阻抗带宽：不低于3MHz；11）配备氙灯光源，同时至少具备光纤光反馈、常规使用模式、自动模式和程序智能模式，最高输出功率不低于20个太阳光（2 W/cm2）；灯泡寿命不低于1000h；光稳定度：不低于±1%；紫外光区输出功率不低于6.6W；红外光区输出功率不低于26.8W；可见光区输出不低于4500 Lu、16.6W和5050K；发光总输出功率不低于50W；12）配备电源控制器：至少具备刷卡供电、使用记录回溯、电路负载检测与保护和无线通讯功能，通信距离不低于20米，支持校园一卡通、身份证等智能卡，具有OLED液晶显示屏可实时显示使用情况；★13）装置本身具备0-30 A工业级电解水制氢测试功能，经电化学工作站、电解槽和氙灯光源拓展后，可实现高精度电解水/光电分解水制氢性能测试功能（0.1 mA - 10 A）；2.配置要求（以下为单套设备的配置要求）1）双通道电解水制氢实训装置，1套2）膜电极尺寸为2 cm *2 cm的电解槽，6个（其中包含三电极电解槽*2）3）纯化树脂：4支4）电解槽O型圈：4盒5）数字多用表，3套6）电化学工作站，1套7）氙灯光源系统，1套8）电源控制器，3套2套第三包：（1）技术要求序号标的名称技术参数数量1▲电化学提锂实训装置一、功能要求：电化学提锂实训装置可完成电极制备，卤水溶液锂分离富集，过程分析和模拟的功能。二、电化学分离主模块技术要求1.操作方式：连续进出料2.提锂介质：无机盐/水溶液3.膜规格：≥400×200mm，均相阳离子交换膜、均相阴离子交换膜4.隔板规格：≥400×200×0.7mm，无回路5.组装方式：阳膜/阴膜6.膜堆堆积密度：40对，总有效面积20000cm27.电极：阴阳极均为钛涂铱钽8.接口：Φ14-18软管9.环境温度：0~40℃10.工作水温：10~35℃11.极性：可正负换向12.循环流量: 400-600L/h13.进出水压差: ≤0.05MPa三、电场控制模块技术要求★1、输出电压范围：≥±12V★2、施加/测量电位范围：≥±10V★3、施加/测量电流范围：≥±4A4、施加电位精度：≤±0.1%×满量程读数±1mV5、施加电位分辨率：≤±100mV（3μV）、±1V （30μV）、±10V（300μV）6、测量电位精度：≤0.1%×满量程读数±1mV7、测量电位量程：±100mV，±1V，±10V，量程自动切换8、测量电位分辨率：≤测量范围的 0.00038%9、施加电流精度：±0.1%满量程读数10、施加电流分辨率：≤0.0015%11、测量电流精度：≤±0.1%×满量程读数12、电流档：1μA-4A，可扩展50A，12档电流量程自动切换13、恒电位带宽：≥2MHz14、切换速度：10V/μs15、上升时间：≤500ns16、差分静电计带宽：≥10MHz17、参比电极输入偏置电流：≤1pA@25°C18、iR补偿：自动或手动iR补偿★19、阻抗测量频率范围：10μHz-4MHz，交流电压振幅：0.1mV-1V RMS，交流电流振幅：0.03mA-2A p四、电化学界面分析技术要求★1.速度控制：闭环伺服控制，实时显示实际转速2.转速：0-4000 RPM（带电极头旋转）★3.操作系统：≥7英寸TFT触控成像系统，可修改调整转速★4.盘电极、环电极最大电流：±1A★5.采用免维护的旋转连接器，背景噪音更低6.操作温度：10-85℃7.分体控制，可拆式结构，方便置入手套箱8.具有信号输入/输出接口，可通过输入外部信号（来自电化学工作站）控制转速；也可将转速信号输出至测试设备（示波器）或用来控制其它设备 9.采用PG7螺纹连接电极头，接触更好，信号传输稳定10.电极头材质：GC/Pt；5mmGC，采用PEEK更耐温五、提锂实训上位控制系统和多物理场模拟硬件技术要求（不低于此配置要求）处理器*2：单颗处理器32核，基础频率2.8GHz，插槽数8;512GB (16*32GB) DDR4 RECC3200MHz内存， 1.9TB M.2固态*1，ST 8TB SATA企业级机械硬盘*1；显卡：显存4GB，显卡位宽128bit，CUDA核心8962；塔式机箱。六、电化学提锂实训操作软件技术要求1. 电分析模块方法：开路电位、线性扫描伏安法、循环伏安法、阶梯线性扫描伏安法、阶梯循环伏安法、计时电流法、计时电位法、计时库仑法、快速电位脉冲、快速电流脉冲、方波伏安法、差分脉冲伏安法、标准脉冲伏安法、交流伏安法、二次谐波交流伏安法、六次谐波交流伏安法2. 腐蚀模块方法：线性极化法、Tafel极化法、动电位极化、循环极化、恒电位、恒电流、动电流、电偶腐蚀、零电阻安培计、电化学噪声、拆分式LPR3.交流阻抗模块方法：控制电位EIS、控制电流EIS、Mott-Schottky4. 能源模块方法：恒电位、恒电流、恒功率、恒电阻、自定义充放电、恒电流间歇滴定法5.软件具备开放二次开发接口功能，满足labview、C++、C#语言任意一种、需要提供调试代码以及架构图七、电极热压整形工序技术要求1.热压面积：≥200*200mm；2.压力：0-1T；3.控温精度：≤±2℃；4.加热温度：常温～250℃可调；5.两压板平面平行度：0.05以内；6.设备重量：约80Kg；7.外形尺寸：≤L350*W320*H550mm；8.热平压模板材质为铜；9.设备具有安全光幕，电气保护装置，安全防护罩，使各运动部件处在防护罩的内部，保证人身安全。八、电极对辊工序技术要求1.辊子直径：≥Φ96mm，圆柱度：≤±2um2.辊子硬度：HRC62，表面镀硬铬处理，硬度可达HRC62并防锈；3.辊子光洁度：≥0.4；4.轧制厚度：0～2mm间隙可调节；5.压片宽度：0～100mm；6.轧制精度：≤±2.5um；7.轧辊放置：竖直放置；8.压片厚度，速度可调节；9.操作方式：电动；10.进料速度：0～40mm/s；九、提供相应保修时间的设备制造商盖章的书面承诺书。1套2吸附电化学提锂实训装置1. 设备用途及功能：按照吸附段-浓缩段-沉淀段模块化进行提锂工艺，设计原卤锂含量0.1g/L，吸附段产品液锂浓度为0.20g/L，锂回收率为70%左右。经中压反渗透浓缩10倍，纳滤除钙镁，反渗透二次浓缩后，膜段产品液锂浓度接近7g/l。膜段产品液经树脂除硼、除钙镁后，蒸发至锂浓度25g/L，用碳酸钠沉锂可得到碳酸锂主含量99.5%以上的工业级及电池级碳酸锂。主要技术参数：1）模块化设计与控制界面：按照吸附段-浓缩段-沉淀段模块化提锂，各段之间通过标准端口连接且能实现独立控制；带控制平板界面便于教学，支持参数设置、实时监控及数据记录等功能，提供设备工艺图和机械图纸，控制电路图纸。★2）设备卤水处理量≥100L/h，设备整体尺寸：宽≤1.2m，高≤1.8m，总重≤2t，设备能耗≤20kW。3）主体设备要求：过水部件耐盐（耐受2-25g/L盐浓度长期使用条件）、耐酸碱（耐受pH=1-3的酸性环境及pH=10-14的碱性环境长期使用条件）腐蚀塑料或不锈钢材质；配置带液位显示的卤水/回收液储罐可选用HDPE材质。高压泵，离心泵等动力部件均可靠固定于设备台架之上。4）设备辅材材质要求：硅酸铝保温材料，厚度20mm以上；法兰连接螺栓不锈钢316L或者304；管程和壳程均设置排水阀，铜、塑钢等，密封垫片材料硅胶，厚度≥3mm；支撑管架材质为不锈钢304。★5）设备仪表控制单元：温度控制：20-50℃，精度±0.1℃；压力检测：0-1MPa，精度±0.01MPa；酸碱度检测：0-14，精度±0.1，均需满足上述耐盐、耐酸碱的材质要求。6）耗材配置要求：滤芯选用卷式，膜壳为ss316L材质；按耐腐蚀性能要求配齐各类截止阀、球阀、止逆阀、管件、管路。7）控制系统具备数据实时采集存储功能，沉淀段控制系统需满足自动加料，定时排料的功能；设备整体控制位点配备超温，超水位报警、过压保护的安全机制。8）吸附沉淀主体设备易于拆装填料，浓缩段设备便于拆装更换组件耗材。★9）膜段产品液经树脂除硼、除钙镁后，蒸发至锂浓度25g/L，用碳酸钠沉锂可得到碳酸锂主含量≥99.5%的工业级及电池级碳酸锂。九、提供相应保修时间的设备制造商盖章的书面承诺书。1套注：1．加注“▲”号的产品为核心产品（如项目需求书中未明确核心产品，则视为全部产品均为核心产品），任意一种核心产品为同一品牌时，按照第三部分第32.4条款执行。2．加注“★”号条款为实质性条款，不得出现负偏离，发生负偏离即作无效响应处理。
投标 / 标书制作要点（原创）
本高真空磁控溅射电极制备装置等设备 高真空磁 高真空磁控溅射电极制备装置涉及「招标公告」，投标方需重点关注：① 营业执照经营范围须含招标公告或对应服务类目；② 提供同类项目业绩证明；③ 报价方案与售后响应须明确；④ 紧盯投标截止与开标节点，建议提前完成标书制作与盖章。天津项目常要求本地化服务能力与快速响应，务必在投标文件中凸显。
标书制作联系冯经理：17551026086
