终点探测质谱仪 电子倍增脉冲计数探测器招标公告（2024）
专业领域：制导与控制技术
终点探测质谱仪采购需求
1、产品具有半导体行业设备应用经验；
2、具体需求见附件13；
3、联系人：杨先生，电话13875811295。
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附件13 终点探测质谱仪技术要求.pdf
终点探测质谱仪技术要求一.仪器概述：IMP-EPD等离子体蚀刻终点检测仪（IonMillingProbe），自带分子泵，坚固的二次离子质谱仪，适于分析离子蚀刻过程中的二次离子和中性粒子。独有的专业终点检测（EndPointDetection）仪器，用于离子蚀刻控制以及过程质量最优化监测。二.仪器技术指标：MassRange质量数范围1-300amuMassFilter质量分析器Triple-stagemassfilter，Polediameter6.35mm.三级过滤四极杆，杆径6.35mmOperatingPressureRange操作压力范围（无真空系统）UHVto5x10-6Torrwithoutdifferentialpumping.Operationto1x10-3Torrmaybeachievedbydifferentialpumping.MassResolution质量分辨率M=Mat5%peakheightwhereΔMDetector检测器Electronmultiplierpulsecountingdetector电子倍增脉冲计数探测器EnergyFilter能量过滤器Energyrange100eV.能量范围100eVEnergypassband0.5eV.IonSource离子源Electronimpact,radiallysymmetricwithtwinfilaments.EI离子源，径向对称的双灯丝BakeoutTemperature烘烤温度＜250℃StandardComms标准通讯RS232,USB2.0,andEthernet10/100Base-TLANProcessI/O程序输入/输出8digitalinputscompatiblewith5Vand24Vlogiclevels.5configurableI/Olines,2triprelayoutputsPowerRequirements电源要求100-240VAC,50-60Hz,250VA，Maximumvoltagefluctuation-10%to7%.Probemounting探针接口DN-63-CF–114mmODConflattypeflangeOperatingModes操作模式BARmodeforsequentialmassscanningofuserselectablemasswindow.MIDmodeforscanningofuser-selectedmasschannels.TRIP/EventmodewithprogrammablesetpointswithintegralrelaysanddigitalI/Oforautomatedendpointprocesscontrol.可检测元素可检测元素Cr,Pt,Au,Ti,ZnS.信号强度受相对的离子产率影响。1
投标 / 标书制作要点（原创）
本终点探测质谱仪 电子倍增脉冲计数探测器涉及「招标公告」，投标方需重点关注：① 营业执照经营范围须含招标公告或对应服务类目；② 提供同类项目业绩证明；③ 报价方案与售后响应须明确；④ 紧盯投标截止与开标节点，建议提前完成标书制作与盖章。当地项目常要求本地化服务能力与快速响应，务必在投标文件中凸显。
标书制作联系冯经理：17551026086
