扫描电子显微镜招标公告（中国科学技术大学2024）
中国科学技术大学扫描电子显微镜采购项目公开招标公告
项目概况
中国科学技术大学扫描电子显微镜采购项目 招标项目的潜在投标人应在www.oitccas.com 获取招标文件，并于2024年12月03日 09点30分（北京时间）前递交投标文件。
一、项目基本情况
项目编号：OITC-G240320181
项目名称：中国科学技术大学扫描电子显微镜采购项目
预算金额：431.000000 万元（人民币）
最高限价（如有）：431.000000 万元（人民币）
采购需求：
1、采购项目的名称、数量：
包号
货物名称
数量 （台/套）
是否允许采购进口产品
1
扫描电子显微镜
1
否
投标人须以包为单位对包中全部内容进行投标，不得拆分，评标、授标以包为单位。
2、技术要求详见公告附件。
合同履行期限：详见采购需求
本项目(不接受 )联合体投标。
二、申请人的资格要求：
1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；
2.落实政府采购政策需满足的资格要求：
本项目不属于专门面向中小企业采购的项目。
3.本项目的特定资格要求：（1）在中华人民共和国境内依法注册的，具有独立承担民事责任能力，遵守国家法律法规，具有良好信誉，具有履行合同能力和良好的履行合同的记录，具有良好资金、财务状况的企事业法人、其他组织或者自然人；（2）为本项目提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商，不得参加本项目投标；（3）投标单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得参加同一合同项下的政府采购活动；（4）按本投标邀请的规定获取招标文件；（5）投标人不得为列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单的供应商。
三、获取招标文件
时间：2024年11月11日 至2024年11月18日，每天上午9:00至11:00，下午13:00至17:00。（北京时间，法定节假日除外）
地点：www.oitccas.com
方式：登录东方招标平台www.oitccas.com注册并购买。
售价：￥600.0 元，本公告包含的招标文件售价总和
四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点
提交投标文件截止时间：2024年12月03日 09点30分（北京时间）
开标时间：2024年12月03日 09点30分（北京时间）
地点：北京市海淀区丹棱街1号互联网金融中心20层科创厅
五、公告期限
自本公告发布之日起5个工作日。
六、其他补充事宜
1、招标文件采用网上电子版本发售和纸质招标文件同时发售方式：登陆“东方招标”平台（http://www.oitccas.com/）完成投标人注册手续（免费），然后登陆系统寻找有意向参与的项目，已注册的投标人无需重新注册。招标文件售价：每包人民币600 元。购买招标文件请完成标书款缴费及标书下载手续，纸质文件可联系采购项目联系人通过快递或现场领取。电子版招标文件与纸质招标文件具有同等的法律效力。
2、投标人可以电汇的形式支付标书款（应以公司名义汇款至下述指定账号）。
开户名称：东方国际招标有限责任公司
开户行：招商银行北京西三环支行
账 号：862081657710001
3、投标人应在平台上填写开票信息。在投标人足额缴纳标书款后，标书款电子发票将发送至投标人在平台上登记的电子邮箱，投标人自行下载打印。
4、以电汇方式购买招标文件和递交投标保证金的，须在电汇凭据附言栏中写明招标编号及用途（如未标明招标编号，有可能导致投标无效）。
5、采购项目需要落实的政府采购政策：
（1）政府采购促进中小企业发展
（2）政府采购支持监狱企业发展
（3）政府采购促进残疾人就业
（4）政府采购鼓励采购节能环保产品
七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。
1.采购人信息
名 称：中国科学技术大学
地址：安徽省合肥市金寨路96号
联系方式：宣老师0551-63602706
2.采购代理机构信息
名 称：东方国际招标有限责任公司
地 址：（北京）：北京市海淀区丹棱街1号互联网金融中心20层；（合肥）：合肥市高新区创新大道2809号置地创新中心28层2815室
联系方式：（北京）：窦志超、曹山010-68290502；（合肥）：李文海、郑文彬0551-66030322
3.项目联系方式
项目联系人：窦志超、曹山、李文海、郑文彬
电 话： 010-68290502/0551-66030322
公告概要：
公告信息：
采购项目名称
中国科学技术大学扫描电子显微镜采购项目
品目
货物/设备/仪器仪表/分析仪器/多种原理分析仪
采购单位
中国科学技术大学
行政区域
安徽省
公告时间
2024年11月11日 17:47
获取招标文件时间
2024年11月11日至2024年11月18日每日上午:9:00 至 11:00下午:13:00 至 17:00（北京时间，法定节假日除外）
招标文件售价
￥600
获取招标文件的地点
www.oitccas.com
开标时间
2024年12月03日 09:30
开标地点
北京市海淀区丹棱街1号互联网金融中心20层科创厅
预算金额
￥431.000000万元（人民币）
联系人及联系方式：
项目联系人
窦志超、曹山、李文海、郑文彬
项目联系电话
010-68290502/0551-66030322
采购单位
中国科学技术大学
采购单位地址
安徽省合肥市金寨路96号
采购单位联系方式
宣老师0551-63602706
代理机构名称
东方国际招标有限责任公司
代理机构地址
（北京）：北京市海淀区丹棱街1号互联网金融中心20层；（合肥）：合肥市高新区创新大道2809号置地创新中心28层2815室
代理机构联系方式
（北京）：窦志超、曹山010-68290502；（合肥）：李文海、郑文彬0551-66030322
附件：
附件1
采购需求-扫描电子显微镜.pdf
采购需求扫描电子显微镜1、工作条件1.1室温：20-25℃，每小时温度变化率＜1℃；1.2湿度：60%以下，恒温空调及除湿机；1.3独立供电，单相交流220V，误差小于10%，50Hz，功率4kW,6mm2供电线缆3根；1.4交流配电盒与电镜距离小于5m(主电缆长度为5m)；。2、设备用途2.1可对微电子相关材料和器件的进行低压高分辨成像。2.2实现对样品的形貌、结构、成分衬度表征。2.3可实现元素定性和半定量分析，以及宽禁带半导体材料阴极荧光检测。3、设备技术性能要求3.1电子光学及探测器系统*3.1.1电子枪：肖特基场发射电子枪；#3.1.2分辨率：≤0.6nm@15kV，SE；≤1.0nm@1kV，SE；（提供承诺函，承诺发货时能够提供原厂盖章的证明材料）3.1.3加速电压范围：20V～30kV；3.1.4束流大小：1pA～20nA；#3.1.5无漏磁物镜，可直接观察磁性样品；#3.1.6采用无交叉电子光路，降低系统像差，提升分辨能力(需提供设计图纸及产品部件实拍图片)#3.1.7放大倍数范围：1x～2,500,000x；（提供承诺函，承诺发货时能够提供原厂盖章的证明材料）3.1.8真空度：电子枪真空度≤9×10-8Pa；#3.1.9镜筒内二次电子探测器，可在20V下成像，在200V下不镀膜对光刻胶清晰成像；（需提供真实拍摄的样品图片）3.1.10插入式背散射电子探测器，通过电机控制自动伸缩，具有成分像、形貌像、阴影像三种常用工作模式，也可以根据需要自行定义每个分割的工作方式；信噪比高，可区分相邻原子序数元素。3.1.11旁侧二次电子探测器,支持SE和BSE两种成像模式；3.2样品仓和样品台3.2.1样品仓真空度≤5×10-4Pa；3.2.2扩展接口≥16个，可安装多种附件；3.2.3样品台：5轴全自动样品台，全真空电机驱动；3.2.4样品台类型：五轴机械优中心样品台；#3.2.5样品台行程：X≥110mm，Y≥110mm，Z≥65mm，T：-10°~+70°，R：360°连续可调；（提供承诺函，承诺发货时能够提供原厂盖章的证明材料）3.2.6样品仓容积：宽≥360mm，高≥317mm，深≥310mm;#3.2.7最大样品尺寸：直径≥260mm，高≥70mm，方便大尺寸样品完整观察（可以完成八英寸样品直接观测）；3.2.8样品台承重：≥3kg；#3.2.9样品交换仓，样品大小直径110mm，高度带燕尾槽H≤40mm；3.2.10原位远腔体等离子清洗仪一套，5-50WRF射频电源，恒功率控制，手动匹配；触摸屏控制；空气作为工作气体，无需额外气源。3.2.11可适配能谱仪、阴极荧光成像探测器，并预留电子背散射衍射探测器、冷冻传输系统、原位力学等拓展接口。#3.2.12提供旋钮控制板和轨迹球，提高工作效率；旋钮控制板和轨迹球采用分体式设计，维修时可减少成本。（提供产品图片作为证明材料）3.3能谱仪*3.3.1探测器：分析型SDD硅漂移电制冷探测器，65mm2有效面积；高分子超薄窗设计，无需液氮冷却，仅消耗电能。3.3.2能量分辨率：MnKa保证优于129eV（@计数率100,000cps）3.3.3元素分析范围：B5～Cf98。3.3.4具备零峰修正功能，可以快速稳定谱峰，开机后无需重新修正峰位。#3.3.5具备元素spectrumLive实时刷新显示功能：可实时观测样品区域变化或者形态转变时，谱图spectrum的动态变化过程。3.3.6具备元素面分布Live实时刷新显示功能：在样品台静止状态、移动及改变放大倍数时，均可实时显示电子图像、不同元素分布以及它们的叠加图。3.3.7线扫描分析每条线可包含高达8192点，可从线扫描结果重建单点谱图。可在水平或垂直方向进行多线依次采集。3.3.8定量分析：采用XPP定量修正技术。具有完备的标样数据库，20kv及5kv高低电压定量数据库。3.3.9电子图像最高分辨率达8192*8192像素；元素面分布图分辨率最高达4096*4096像素；可从面分布图上进行点、线谱图重建。3.3.10采用X1脉冲与图像处理器：可高效进行脉冲处理和图像采集，在1,000,000计数率下进行元素面分布分析，在100,000计数率下进行定量分析。3.4原位扩展功能#3.4.1穿真空电连接器：信号数量大于等于7路，大气侧7路独立同轴连接器；3.4.2原位进样装置：最大样品尺寸：φ50mm，最大样品高度：11mm，纯机械式结构，无需水电气路连接，减少对电镜图像及真空的影响；#3.4.3开大仓原位进样装置：最大样品尺寸：φ50mm，最大样品高度30mm，纯机械式结构，无需水电气路连接，减少对电镜图像及真空的影响；#3.4.4原位加热系统，可实现100℃～1000℃或更大范围不同温度值测试。（需提供不少于3种温度值下测试结果及现场测试视频作为证明材料）3.5阴极荧光探测系统3.5.1可采集点、线、面CL光谱，光谱仪非对称性Czerny-Turner光学设计，全光谱消⾊差，覆盖光谱范围广。*3.5.2配置光谱仪，CL光谱范围：185-1000nm,模块化设计，其中部件可替换可升级，组件自带RFID识别功能，软件系统自动调整和校准,光谱重复性：≤±0.075nm。光谱精确度：≤±0.15nm.谱仪配置针对前照式CCD探测器：1024x255像素.#3.5.3离轴的半抛物面采集镜，表⾯粗糙度小于20nm，高通量的光效率。CL收集效率⾼，总效率不小于78%（Lambertiansource）。收集镜安装在步进电机驱动平台，软件可视化调整,X/Y精准对位，定位精度≤1um。#3.5.4专业CL光谱采集，数据处理开源软件，可获取与分析数据。开源系统，软件使整个CL成像流程轻松简单。软件自带漂移矫正、Quick功能。软件免费更新并免费提供window和Linuxdataviewer软件，用于查看结果。#3.5.5轻量化设计不占用额外空间，短光路设计不经过光纤传导，提高收集效率适合做低剂量发光样品。#3.5.6可由电镜软件实现背散射电子及阴极荧光图像的大图拼接。（提供承诺函，承诺发货时能够提供原厂盖章的背散射电子图像实际测试报告作为证明材料）3.6图像显示系统3.6.1图像显示：768x512或1536x1024；3.6.2图像保存：最大48kx32k；3.6.3可进行多通道成像，分屏上可同时进行不同信号成像；3.5.4MIX模式，各个探测器分别接收纯净的SE或BSE信号，如根据需求将ETD和BSED两种探测器的信号进行自动混合，比例可调；3.6.5标配光学导航功能；3.6.6显示方式：全屏显示、分屏显示；3.6.7图像存储格式：TIFF、JPG、PNG、BMP格式；3.6.8扫描速度：预设四种扫描模式（快扫、中扫、慢扫、选区扫描），扫描速度可自由配置，同时也支持感兴趣区域扫描模式；3.6.9自动调整功能：自动聚焦、自动像散、自动亮度对比度等#3.6.10具备大图拼接功能；（提供承诺函，承诺发货时能够提供原厂盖章的证明材料）#3.6.11颗粒度分析功能；（提供承诺函，承诺发货时能够提供原厂盖章的证明材料）3.6.12配套工作站、显示器；采用纯中文操作界面，方便初学者熟练掌握拍摄技巧。3.7磁控离子溅射仪3.7.1采用平面磁控溅射靶头进行靶材溅射，以确保工作过程样品不会发生热损伤；3.7.2.采用单片机作为处理器，全自主知识产权，扩展性好，可选配膜厚监控组件；3.7.3.五英寸触摸式液晶显示屏，分辨率为800×480，全数字显示。可设定：（1）溅射电流；（2）溅射时间；（3）靶材种类；（4）工作真空度；（5）工作气体；（6）屏幕亮度等参数；可显示：（1）溅射电流；（2）溅射剩余时间；（3）工作真空度；（4）靶材累计使用时间；（5）设备累计使用时间等参数。3.7.4.溅射电流：5-45mA连续可调，最小步长为1mA；3.7.5.溅射时长：1-999s连续可调，最小步长为1s;3.7.6.溅射真空：4-20Pa连续可调，最小步长为0.1Pa;3.7.7.溅射靶材：标配为高纯Pt靶（纯度4N9），规格为φ57×0.12mm；3.7.8.真空室：采用高透光性的高硅硼玻璃，尺寸约为φ125×125mm；3.7.9.真空测量：采用皮拉尼真空规作为真空测量元件；3.7.10.样品杯：可容纳最大样品杯尺寸为φ90mm；3.7.11.系统提供金、铂对于空气和氩气的工作参数，可直接使用。同时提供3种自定义靶材，用户可根据自己需求设定工作参数；3.7.12.设定工作真空度后，系统可自动调整至设定值，无需调节针阀；3.7.13.设定溅射电流后，系统可自动调整至设定值，无需其它操作；3.7.14.具备溅射电流和真空度双重互锁，安全可靠，任一条件触发，系统即可停止工作，防止因为误操作导致设备损坏；3.7.15.极限真空优于1Pa，真空泵抽速为1.1L/s；3.7.16.具备实时曲线显示溅射电流和真空度功能非常方便用户了解系统工作状态；3.7.17.采用独特的靶材更换结构，无需任何工具，即可实现快速更换靶材；3.7.18.操作软件：内置操作向导，便于操作人员快速熟悉设备，在人员更替时无需厂家培训即可熟练操作仪器。3.8耗材3.8.112.5mm样品钉台1盒（20个）；3.8.2钉型样品台存储盒，1盒（5个）；3.8.3导电碳胶带1卷（宽8mm，长20m）；3.7配套系统3.7.1配备不间断电源，断电保护时间≥2小时；3.7.2采用无油真空系统，抽速≥12.2m3/h。4、产品配置要求4.1扫描电子显微镜一套4.1.1场发射电子显微镜主机1台4.1.2插入式背散射探测器1个4.1.34寸样品快速交换仓1个4.1.4旋钮控制板（带对中功能）1个4.1.5轨迹球1个4.1.6能谱仪1个4.1.7大图拼接软件1套4.1.8颗粒度分析软件1套4.1.9穿真空电连接器1个4.1.10开大仓原位进样装置1套4.1.11快换原位进样装置1套4.1.12高性能阴极荧光检测系统1套4.2要求的附件、专用工具和消耗品4.2.1磁控离子溅射仪1台4.2.2不间断电源4.2.3无油真空泵4.2.412.5mm样品钉台1盒（20个）4.2.5钉型样品台存储盒，一盒（5个）4.2.6导电碳胶带一卷（宽8mm，长20m）5、技术文件提供本项目必要的技术资料，如：操作说明书、维修手册等。6、技术服务及售后服务要求6.1设备安装调试6.1.1在中国科学技术大学指定地点安装、调试，调试后验收时达到合同要求的技术指标。*6.1.2安装调试时间：合同签订后15天内（其中能谱仪、高性能阴极荧光检测系统6个月）。6.2技术培训6.2.1设备验收之日1年内，提供原厂所在地培训不低于4次，每次不低于2名用户，业主不承担全部费用。6.2.2设备验收之日1年内，提供用户所在地培训不低于30次，每次不低于6名用户，业主不承担全部费用。6.2.3投标文件中列出详细的技术培训方案。6.3售后服务要求6.3.1保修期：提供至少整机3年的免费保修（其中等能谱仪、高性能阴极荧光检测系统提供1年免费保修），保修期自仪器验收签字之日算起。6.3.2维修响应时间：24小时全天候保持服务响应，技术问题由原厂工程师1小时内应答。在北京时间17：00前收到售后到场要求，于当日24点前到达现场；在北京时间17：00后提出的到场要求，于次日12：00前到达现场。6.3.3投标文件中列出详细的售后服务方案。7、订货数量1套。8、项目现场中国科学技术大学指定地点9、交货期合同生效后15天内（其中能谱仪、高性能阴极荧光检测系统6个月）。
投标 / 标书制作要点（原创）
本扫描电子显微镜涉及「招标公告」，投标方需重点关注：① 营业执照经营范围须含招标公告或对应服务类目；② 提供同类项目业绩证明；③ 报价方案与售后响应须明确；④ 紧盯投标截止与开标节点，建议提前完成标书制作与盖章。当地项目常要求本地化服务能力与快速响应，务必在投标文件中凸显。
标书制作联系冯经理：17551026086
