全自动真空镀膜设备招标公告（国家纳米科学中心2024）
国家纳米科学中心全自动真空镀膜设备采购项目公开招标公告
项目概况
国家纳米科学中心全自动真空镀膜设备采购项目 招标项目的潜在投标人应在www.oitccas.com；北京市海淀区丹棱街1号互联网金融中心20层获取招标文件，并于2024年12月03日 09点30分（北京时间）前递交投标文件。
一、项目基本情况
项目编号：OITC-G240882881
项目名称：国家纳米科学中心全自动真空镀膜设备采购项目
预算金额：2000.000000 万元（人民币）
采购需求：
1、采购项目的名称、数量：
包号
货物名称
数量 （台/套）
是否允许采购进口产品
采购预算
1
全自动真空镀膜设备
1
是
2000 万元(人民币)
投标人可对其中一个包或多个包进行投标，须以包为单位对包中全部内容进行投标，不得拆分，评标、授标以包为单位。
2、技术要求详见公告附件。
合同履行期限：合同签订后18个月内
本项目(不接受 )联合体投标。
二、申请人的资格要求：
1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；
2.落实政府采购政策需满足的资格要求：
无
3.本项目的特定资格要求：1）在中华人民共和国境内依法注册的，具有独立承担民事责任能力，遵守国家法律法规，具有良好信誉，具有履行合同能力和良好的履行合同的记录，具有良好资金、财务状况的法人实体；2）为本项目提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商，不得参加本项目投标；3）投标单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得参加同一合同项下的政府采购活动；4）按本投标邀请的规定获取招标文件；5）投标人不得为列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单的供应商。
三、获取招标文件
时间：2024年11月11日 至2024年11月25日，每天上午9:00至11:00，下午13:00至17:00。（北京时间，法定节假日除外）
地点：www.oitccas.com；北京市海淀区丹棱街1号互联网金融中心20层
方式：登陆“东方招标”平台www.oitccas.com注册并购买。
售价：￥600.0 元，本公告包含的招标文件售价总和
四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点
提交投标文件截止时间：2024年12月03日 09点30分（北京时间）
开标时间：2024年12月03日 09点30分（北京时间）
地点：北京市海淀区丹棱街1号互联网金融中心20层东方厅（一）
五、公告期限
自本公告发布之日起5个工作日。
六、其他补充事宜
1、投标文件递交地点：北京市海淀区丹棱街1号互联网金融中心20层东方厅（一）
2、招标文件采用网上电子发售购买方式：
（1）登陆“东方招标”平台（http://www.oitccas.com/），点击“获取采购文件”链接图标，或直接输入访问地址（http://www.oitccas.com/pages/sign_in.html?page=mine）完成投标人注册手续（免费），然后登陆系统寻找有意向参与的项目，已注册的投标人无需重新注册。招标文件售价：每包人民币600元。如决定购买招标文件，请完成标书款缴费及标书下载手续。
（2）投标人可以电汇的形式支付标书款（应以公司名义汇款至下述指定账号）。
开户名称：东方国际招标有限责任公司
开户行：招商银行北京西三环支行
账 号：862081657710001
（3）投标人应在平台上填写开票信息。在投标人足额缴纳标书款后，标书款电子发票将发送至投标人在平台上登记的电子邮箱，投标人自行下载打印。
3、以电汇方式购买招标文件和递交投标保证金的，须在电汇凭据附言栏中写明招标编号、包号及用途（如未标明招标编号，有可能导致投标无效）。
4、采购项目需要落实的政府采购政策：
（1）政府采购促进中小企业发展
（2）政府采购支持监狱企业发展
（3）政府采购促进残疾人就业
（4）政府采购鼓励采购节能环保产品
七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。
1.采购人信息
名 称：国家纳米科学中心
地址：北京市海淀区中关村北一条11号
联系方式：010-82545622
2.采购代理机构信息
名 称：东方国际招标有限责任公司
地 址：北京市海淀区丹棱街1号互联网金融中心20层
联系方式：冯宇图 吴旭 李媛 010-68290550、010-68290524、010-68290510、ytfeng@oitc.com.cn
3.项目联系方式
项目联系人：冯宇图 吴旭 李媛
电 话： 010-68290550、010-68290524、010-68290510、ytfeng@oitc.com.cn
公告概要：
公告信息：
采购项目名称
国家纳米科学中心全自动真空镀膜设备采购项目
品目
货物/设备/仪器仪表/试验仪器及装置/其他试验仪器及装置
采购单位
国家纳米科学中心
行政区域
北京市
公告时间
2024年11月11日 18:01
获取招标文件时间
2024年11月11日至2024年11月25日每日上午:9:00 至 11:00下午:13:00 至 17:00（北京时间，法定节假日除外）
招标文件售价
￥600
获取招标文件的地点
www.oitccas.com；北京市海淀区丹棱街1号互联网金融中心20层
开标时间
2024年12月03日 09:30
开标地点
北京市海淀区丹棱街1号互联网金融中心20层东方厅（一）
预算金额
￥2000.000000万元（人民币）
联系人及联系方式：
项目联系人
冯宇图 吴旭 李媛
项目联系电话
010-68290550、010-68290524、010-68290510、ytfeng@oitc.com.cn
采购单位
国家纳米科学中心
采购单位地址
北京市海淀区中关村北一条11号
采购单位联系方式
010-82545622
代理机构名称
东方国际招标有限责任公司
代理机构地址
北京市海淀区丹棱街1号互联网金融中心20层
代理机构联系方式
冯宇图 吴旭 李媛 010-68290550、010-68290524、010-68290510、ytfeng@oitc.com.cn
附件：
附件1
882881技术部分.docx
1.8.1、货物需求一览表包号货物名称数量交货期指定到货港项目现场（交货地点）1全自动真空镀膜设备1套合同签订后18个月内北京机场国家纳米科学中心注：投标人须对上述投标内容中完整的一包或几包进行投标，不完整的投标将视为非响应性投标予以拒绝。1.8.2、总则1、投标要求1.1投标人在准备投标书时，务必在所提供的商品的技术规格文件中，标明型号、商标名称、目录号。1.2投标人提供的货物须是成熟的产品，其技术规格应符合招标文件的要求。如与招标文件的技术规格有偏差，应提供技术规格偏差的量值或说明（偏离表）。如投标人有意隐瞒对规格要求的偏差或在开标后提出新的偏差，买方有权扣留其投标保证金或/并拒绝其投标。1.3投标人提供的产品样本，必须是“原件”而非复印件，图表、简图、电路图以及印刷电路板图等都应清晰易读。买方有权不付任何附加费用复制这些资料以供参考。1.4投标人的投标产品应符合国家有关部门规定的相应技术、节能、安全和环保标准；如国家有关部门对投标人的投标产品有强制性规定或要求的，则投标人的投标产品必须符合相应规定或要求。2、评标标准2.1除招标文件中指定的附件和专用工具外，投标人应提供仪器设备的正常运行和常规保养所需的全套标准附件、专用工具和消耗品。投标人在投标书中需列出这些附件和工具的数量和单价的清单，这些附件和工具的报价的总值需计入投标价中。2.2对于标书技术规范中已列出的作为查询选件的附件、零配件、专用工具和消耗品，投标书中应列明其数量、单价、总价供买方参考。投标人也可推荐买方没有要求的附件或专用工具作为选件，并列明其数量、单价、总价供买方参考。选件价格不计入评标价中。选件一旦为用户接受，其费用将加入合同价中。2.3为便于用户进行接收仪器的准备工作，卖方应在合同生效后60天内向用户提供一套完整的使用说明书、操作手册、维修及安装说明等文件。另一套完整上述资料应在交货时随货包装提供给用户，这些费用应计入投标价中。2.4关于设备的安装调试，如果有必要的安装准备条件，卖方应在合同生效后一个月内向买方提出详细的要求或计划。安装调试的费用应计入投标价中，并应单独列出，供评标使用。2.5制造厂家提供的培训指的是涉及货物的基本原理、操作使用和保养维修等有关内容的培训。培训教员的培训费、旅费、食宿费等费用和培训场地费及培训资料费均应由卖方支付。2.6在评标过程中，买方有权向投标人索取任何与评标有关的资料，投标人务必在接到此类要求后，在规定时间内予以答复。对于无答复的投标人，买方有权拒绝其投标。3、工作条件除非在技术规格中另有说明，所有仪器、设备和系统都应符合下列要求：3.1适于在气温为摄氏-40℃～＋50℃和相对湿度为90％的环境条件下运输和贮存。3.2适于在电源220V（10％）/50Hz或380V（10％）/50Hz、气温摄氏+15℃～＋30℃和相对湿度≤80%的环境条件下运行。能够连续正常工作。3.3配置符合中国有关标准要求的插头，如果没有这样的插头，则需提供适当的转换插座。3.4如产品达不到上述要求，投标人应注明其偏差。如仪器设备需要特殊工作条件（如水、电源、磁场强度、温度、湿度、动强度等）投标人应在投标书中加以说明。4、验收标准除非在技术规格中另有说明，所有仪器、设备和系统按下列要求进行验收：4.1仪器设备运抵安装现场后，买方将与卖方共同开箱验收,如卖方届时不派人来,则验收结果应以买方的验收报告为最终验收结果。验收时发现短缺、破损,买方有权要求卖方负责更换。4.2验收标准以中标人提供的投标文件中所列的指标为准（该指标应不低于招标文件所要求的指标）。任何虚假指标响应一经发现即作废标，卖方必须承担由此给买方带来的一切经济损失和其它相关责任。4.3验收由采购人、中标人及相关人员依国家有关标准、合同及有关附件要求进行，验收完毕由采购人及中标人在验收报告上签名。5、本技术规格书中标注“*”号的为实质性要求，不满足其投标将被拒绝。6、如在具体技术规格中有本总则不一致之处，以具体技术规格中的要求为准。三、具体技术规格国家纳米科学中心拟通过招标方式购置全自动真空镀膜设备一套。全自动真空镀膜设备可实现金属及介质薄膜的高精度制备，该设备将在国家纳米科学中心的纳米材料与微纳器件等多个领域的研究中成为不可或缺的高质量薄膜制备手段。（1）技术要求：1.工作条件：1.1电源要求1.1.1电源：满足国内电网标准，220VAC±10%/单相或380VAC±10%/三相；50Hz；投标方需提供设备额定功率值。1.2环境要求1.2.1温度：+15～+30℃1.2.2湿度：≤80%1.2.3其他：投标方应在投标书中列出设备所需的详细工作条件，如冷却水、压缩空气、吹扫气体、工艺气体、排气等。2.设备用途：设备应是一个提供在系统内对衬底进行除气，并在保持衬底洁净条件下完成薄膜制备的高真空多腔室物理气相沉积平台。满足前沿基础研究中微纳器件（如场效应晶体管、自旋器件、光伏器件、超表面等）对高均一性薄膜的加工需求。3.技术规格：3.1硬件3.1.1主腔体数：2，分别能够实现溅射和蒸镀薄膜功能，其中蒸镀薄膜需配备辅助离子源。*3.1.2预清洁腔数：≥13.1.3工艺腔数：3*3.1.4工件台尺寸：8英寸及8英寸以下规则与不规则衬底3.2真空与温度控制3.2.1工艺腔极限真空：＜5.0×10-8Torr3.2.2加热最高温度：≥400℃3.3薄膜要求*3.3.1可制备薄膜：金属、氮化物、氧化物等*3.3.2片内不均匀性（Within-WaferNonunif）：3.3.3片间不均匀性（Wafer-to-WaferNonunif）：＜3.0%(1σ)@100nm（8英寸）*3.3.4颗粒（particle）数量：3.3.5VOx电阻温度系数（TCR）：＞2.2%/K@20-25℃3.3.6表面粗糙度:Ra3.4软件控制3.4.1支持全自动控制和手动控制两种方式3.4.2控制样品传送、沉积，实时显示各监测点真空、功率、气体流量等状态3.4.3程序能控制所有硬件设备和记录所有硬件状况，方便售后工程师通过网络进行远程诊断和测量实时监控3.4.4数据存储：系统应带有计算机或者类似装置，可以对数据进行存储4.产品配置要求4.1.1产品主体部分说明4.1.1系统应包含完备的制冷系统。4.1.2系统应包括完备的控制系统。4.2要求的附件、专用工具和消耗品专用工具1套。4.3其它保证仪器设备的正常运行和常规保养所需的附件、专用工具和消耗品。(由投标人提供，请参考总则第2.1条)5.选购附件、备件及消耗品（请参考总则第2.2条）5.1查询项目无6.技术文件：6.1请参考总则第1.2条。6.2请参考总则第2.3条。（二）质保及售后服务：1.1设备安装、调试和验收1.1.1供方应在合同生效后30天内向用户提供详细的安装准备条件及安装计划。设备安装、调试的费用由供方承担。1.1.2设备到达用户所在地后，在接到用户通知后15天内安排技术人员执行仪器安装和调试。1.1.3供方安装人员对现场安装安全负有责任。与需方共同开箱检验，检查仪器设备及随机附件是否全新、完整无损；技术资料与图纸是否与需方的要求相符。如发生破损、缺件等问题，供方应及时地提出解决方案，并尽快地给以解决。1.1.4验收标准以供需双方签订的技术协议为准（参考招标文件指标）。任何虚假指标响应一经发现即作废标，投标者必须承担由此给用户带来的一切经济损失和其它相关责任。1.2技术培训仪器安装验收后，供方应及时派遣有丰富经验的技术人员就设备软硬件操作、仪器维护、故障排除、注意事项等进行免费培训，在用户现场,工程师将对用户进行设备的使用操作，日常的维护保养及简单的故障维修方面的培训，并使用户能够独立使用和获取正确的数据。1.3保修期保修期：免费保修期一年，从设备验收合格，双方签字之日起保修期开始生效。在保修期内，任何由制造商选材和制造不当引起的质量问题，厂家负责免费维修。出现故障后，在收到用户正式通知后24小时之内响应，如果需要到现场，将安排就近的工程师到现场。保修期后，厂家提供终身维修，人工费按照优惠标准收取（优惠标准由投标人提供），并保证零配件的供应，优惠供应备品备件和材料。1.4维修响应时间供方应在24小时内对用户的报修申请做出响应。一般性问题应在48小时内解决；对于在48小时内无法解决的其它较大的问题，应在3天内给以解决；对于在3天内不能解决的问题，应提出明确的解决方案，得到用户的认可后，在预定的期限内解决问题。1.5要求卖方提供的其它技术服务内容设备交付使用后，供方提供软件终身免费更新服务，如遇技术改进，免费进行系统升级。生产厂家在国内具有备件库和技术中心。若需方有硬件升级需求，供方需提供相应保障。（三）订货数量：1套（四）目的港：北京机场（五）交货日期：合同签订后18个月内（六）执行的相关标准无
投标 / 标书制作要点（原创）
本全自动真空镀膜设备涉及「招标公告」，投标方需重点关注：① 营业执照经营范围须含招标公告或对应服务类目；② 提供同类项目业绩证明；③ 报价方案与售后响应须明确；④ 紧盯投标截止与开标节点，建议提前完成标书制作与盖章。当地项目常要求本地化服务能力与快速响应，务必在投标文件中凸显。
标书制作联系冯经理：17551026086
