旋转冲洗甩干设备 安装调试费招标公告（华东光电集成器件研究所2024）
基本信息
发布单位:华东光电集成器件研究所
最终单位:华东光电集成器件研究所
参与方式:公开询价
出价方式:一次性出价
付款方式:
保证金:0.0元
联系人:任工
联系方式:15556190325
旋转冲洗甩干设备 标书.doc
招标文件模板.docx
采购明细
序号
商品名称
品类
采购数量
最少响应量
1
旋转冲洗甩干设备
固定资产投资项目>货物类
1.0台
1.0台
可报价时间
开始时间 2024-11-25 09:00:00
结束时间 2024-11-27 09:00:00
1.旋转冲洗甩干设备标书一、投标要求1投标人须仔细阅读招标文件的全部条款，并作为明确响应。2招标文件中带“★”号的条款及要求，投标方必须满足，若有一项不满足将导致废标。3投标方递交投标文件同时，需提供与投标文件内容一致的光盘一张。4投标报价4.1对设备进行报价填写《投标货物数量、价格表》；4.2投标报价为设备到需方价（应含运保费）。5资质要求：投标人可以是设备制造厂家，也可以是设备授权代理商，代理商需有设备原厂家的有效授权书，并且具有设备技术支持和服务能力。要求提供主流的、且为业界公认成熟的品牌和型号。★6付款方式：设备到货后支付30%，验收合格后凭全额增值税发票支付60%，自验收合格之日起一年后支付10%。二、设备名称、数量及用途1设备名称：旋转冲洗甩干设备2数量：1台3设备原理及用途：用于标准硅晶圆清洗后的甩干工艺三、主要技术指标1功能要求用于标准8寸硅晶圆清洗后的甩干工艺。2设备配置该设备主要由机架、工艺腔体、电控单元、水路系统和气路系统等部分组成，采用双工位层叠，每个工位可独立运行互不干扰。2.1设备主体系统（1）设备机架：不锈钢方管；（2）设备外壳：进口PP板材；（3）定位方式：底部附防腐蚀万向转轮与防腐蚀活动式调整脚座，便于运输定位调整；（4）甩干腔室数量：2个；（5）甩干片盒数量：4个。2.2设备硬件指标要求（1）工艺腔及载体材质：SUS316L，表面电化学抛光处理；（2）甩干片盒材质：PTFE；（3）无刷伺服电机转速：300RPM—2400RPM；（4）转速误差：±5%；（5）氮气加热温度：25℃-80℃；（6）温控精度：±5℃；（7）腔体加热功能：具有；（8）静电消除功能：具有；（9）水电阻值监控功能：具有；（10）电阻率监控范围：0.00MΩ·cm-18.00MΩ·cm；（11）电阻率测量精度：0.01MΩ·cm；（12）氮气过滤器：进口品牌，0.003μm；（13）旋转载体定位功能：保证旋转停止时片盒开口朝上；（14）阀件模块：进口Innodis/PILLAR/SwagelokPFA气动隔膜阀；（15）管路模块：进口Innodis/PILLAR/SwagelokPFA/PVDF管路。2.3设备控制系统（1）控制方式：PLC控制器+触摸屏控制，可选择设置多种用户工艺菜单；（2）具有权限设置，分权管理，故障显示及报警功能，设备出现故障时，系统会停止工作并显示错误信息、报警以提示更改和维修；（3）设备待机时，可进行自清洗工艺，以保证工艺腔的洁净。3技术指标要求（1）晶圆尺寸：8寸；（2）晶圆厚度：300μm-1400μm；（3）颗粒度增量：≤50个/片（>0.2µm）；（4）振动值：使用专业的振动测试仪测试，≤300μm/s；（5）设备可动率UPT：≥98%；（6）平均故障修复时间（MTTR）：≤4小时；（7）平均故障间隔时间（MTBF）：≥2160小时；（8）总碎片率：≤1/10000。4.零配件要求4.1配件品牌优选，配件品牌优选指定品牌；4.2备品备件，随设备附带必要消耗品及易损件的备品备件和甩干腔室门密封圈8个。5.安全要求具有安全认证；有系统各部分运行状态监控模块和安全指示灯；配有电源安全保护装置；机器将包括紧急停止开关，紧急停止开关一定位于机器的正面并且容易由操作者使用，且按下后不会造成设备的损坏及故障。四、培训、验收方法1备件附件及备用件投标方应免费提供整套设备不少于一年的质保,质保期内所有的备件和易损易耗品由投标方免费提供，其中主要部件终身维修，国内有技术服务工程师；有备品、备件仓库并提供终身备品备件；能够及时提供设备故障、维护及应用的技术支持。2.技术资料2.1投标方需提供3套完整的纸质技术文件（最少一套为无尘纸）及相应电子版资料给招标方，包括技术规格书、Layout、设备说明书、安装基础图、机械结构及零部件图纸、电气图纸、维护保养指南、测试数据。2.2投标方应提供主要设备的出厂质检合格证和主要外购件的质检合格证。2.3必须提供软件备份，免费升级至最新版本，并提供一套系统备份硬盘。3.人员培训在招标方现场进行培训，培训人员食宿自理，招标方提供方便，培训效果应使相关人员熟练掌握设备的操作、编程和维护保养。培训时间根据情况灵活掌握。4.验收方法4.1预验收：招标方保留设备预验收权利，在设备发货前，招标方可指派人员赴设备所在地开展设备预验收工作，预验收合格后方可发货，费用由招标方承担。4.2安装调试4.2.1设备的安装调试由投标方负责，并遵守招标方的现场规章制度，招标方提供方便。4.2.2设备投标方（厂商）人员到用户现场完成安装、调试、培训与验收的城际（国际）交通及食宿费用由投标方承担，招标方（用户）为其提供市内交通便利。4.2.3投标方应在中标后两周内提供设备调试计划，并严格按照设备调试计划控制调试进度。如果出现设备调试超期的情况，招标方保留追责赔偿的权利，设备调试出现严重超期的情况，招标方保留追责赔偿和退回设备的权利。4.2.4投标方应提供设备二次配需求表和基座需求，并提供设备的钢板脚垫。所有设备主机和辅机之间连接的二次配费用由投标方承担。4.3最终验收4.3.1最终验收地点在用户现场。4.3.2按照双方签署的技术协议进行验收。五、运输、包装、交货期及交货地点1.交货期：合同签订后90天★2.卖方负责设备的包装并安全运到用户指定现场，叉车、吊车、运输、搬运入场、隔墙安装、保险等费用由卖方承担，由于包装、运输、吊装、搬运不当等造成的货物损坏、锈蚀、丢失等损失由卖方承担。3.交货地点：安徽省蚌埠市汤和路2016号华东光电集成器件研究所。（项目名称）招标项目投标文件招标编号：XX标的名称：XX投标人：（盖单位章）年月日目录一、投标函………………………………………………………………………………………………页码二、法定代表人(单位负责人)身份证明(用于投标函由法定代表人签字，即无委托代理人情况)页码三、授权委托书（用于投标函由委托代理人签字，即有委托代理人的情况）……………………页码四、投标保证金…………………………………………………………………………………………页码五、商务和技术偏差表…………………………………………………………………………………页码六、分项报价表…………………………………………………………………………………………页码七、资格审查资料………………………………………………………………………………………页码八、投标设备技术性能指标的详细描述………………………………………………………………页码九、技术支持资料………………………………………………………………………………………页码十、技术服务和质保期服务计划………………………………………………………………………页码十一、其他资料…………………………………………………………………………………………页码一、投标函致（招标人名称）1.我方已仔细研究了（项目名称）设备采购招标项目招标文件的全部内容，愿意以中国兵器电子招标投标交易平台在线解密公布的投标报价提供所投产品及技术服务和质保期服务，并按合同约定履行义务。2.我方的投标文件包括下列内容：（1）投标函；（2）法定代表人（单位负责人）身份证明或授权委托书；（3）联合体协议书（如不适用，可不填写）；（4）投标保证金（如不适用，可不填写）；（5）商务和技术偏差表；（6）分项报价表；（7）资格审查资料；（8）投标设备技术性能指标的详细描述；（9）技术支持资料；（10）技术服务和质保期服务计划；……投标文件的上述组成部分如存在内容不一致的，以投标函为准。3．我方承诺除商务和技术偏差表列出的偏差外，我方响应招标文件的全部要求。4．我方承诺在招标文件规定的投标有效期内不撤销投标文件。5．如我方中标，我方承诺：（1）在收到中标通知书后，在中标通知书规定的期限内与你方签订合同；（2）在签订合同时不向你方提出附加条件；（3）按照招标文件要求提交履约保证金；（4）在合同约定的期限内完成合同规定的全部义务。6．我方在此声明，所递交的投标文件及有关资料内容完整、真实和准确。7．/（其他补充说明）。投标人：（盖单位章）法定代表人（单位负责人）或其委托代理人：（签字）地址：电话：年月日二、法定代表人（单位负责人）身份证明投标人名称：姓名：性别：年龄：职务：系（投标人名称）的法定代表人（单位负责人）。特此证明。注：适用于投标函由法定代表人（单位负责人）签字情况附法定代表人（单位负责人）身份证扫描件正反面投标人：（盖单位章）年月日三、授权委托书本人（姓名）系我方的法定代表人（单位负责人），现委托（姓名）为我方代理人。代理人根据授权，以我方名义签署、澄清确认、递交、撤回、修改采购招标项目投标文件、签订合同和处理有关事宜，其法律后果由我方承担。委托期限：自本授权委托书签署之日起至“投标有效期”结束为止。代理人无转委托权。注：适用于投标函由委托代理人（授权代表）签字情况。附法定代表人（单位负责人）身份证扫描件正反面附委托代理人身份证扫描件正反面投标人：（盖单位章）法定代表人（单位负责人）：（签字）委托代理人：（签字）年月四、投标保证金投标人若采用电汇，在此提供以下内容1投标人基本账户开户许可证或《基本存款账户信息》或基本账户备案信息等证明材料2银行的汇款凭证电子版（以各银行出具格式为准）若采用银行保函，在此提供银行保函扫描件（以下为参考格式）投标保函（招标人名称）：鉴于（投标人名称）（以下称“投标人”）于年月日参加（项目名称）采购招标的投标，（担保人名称，以下简称“我方”）无条件地、不可撤销地保证：若投标人在投标有效期内撤销投标文件，中标后无正当理由不与招标人订立合同，在签订合同时向招标人提出附加条件，不按照招标文件要求提交履约保证金，或者发生招标文件明确规定可以不予退还投标保证金的其他情形，我方承担保证责任。收到你方书面通知后，我方在7日内向你方无条件支付人民币（大写）。本保函在投标有效期内保持有效。要求我方承担保证责任的通知应在投标有效期内送达我方。担保人名称：（盖单位章）法定代表人（单位负责人）或委托代理人：（签字）地址：邮政编码：电话：年月日五、商务和技术偏差表序号招标文件章节及条款号投标文件章节及条款号偏差说明商务部分一合同价款的支付（付款方式）（见第四章第二节专用合同条款）二交货时间（见招标公告或变更（如有））三交货地点（见招标公告或变更（如有））技术部分一技术性能指标（见第五章供货要求第三条）二检验考核要求（见第五章供货要求第四条）三技术服务和质保期服务要求（见第五章供货要求第五条）投标人保证：除商务和技术偏差表列出的偏差外，投标人响应招标文件的全部要求。注：为方便评委高效准确地评审，建议投标人在商务部分填写具体内容；在技术部分逐条列出招标文件章节及条款号，同时对应列出响应内容在投标文件中的章节及条款号；偏差说明根据实际情况填写“无偏差”或“负偏差”或“正偏差”。六、分项报价表1.分项报价表说明1.1分项报价包括货物组成部分价格、运保费、安装调试费、培训费、技术服务费以及税金等下表内容。1.2请投标人核查单价金额、总价金额，分项报价之和（合计金额），投标函报价之间的一致性。1.3投标总价有优惠声明的，请说明清楚。1.4每个包单独填写分项报价表。2.分项报价表（参考格式，投标人也可自行编制）币种：人民币序号分项名称单位数量单价（元）总价（元）备注1货物价格2运保费3安装调试费4培训费5技术服务费6税金（费）合计报价注：表中投标货物如不包含或不涉及以上所列内容，填“/”；如涉及但已包含在总价中填“0”，未明示的，视同投标总价中已含上述内容。3.投标标的主要部件配置表（参考格式，投标人也可自行编制）币种：人民币序号名称型号/规格制造厂家/国别数量单价(元)注：为方便评委高效准确地评审，建议投标人根据所投产品适用性填写，并对填写不清晰造成的落标负责。七、资格审查资料（一）基本情况表投标人名称注册资金成立时间注册地址邮政编码员工总数联系方式联系人电话联系方式网址传真法定代表人（单位负责人）姓名电话投标人须知要求投标人需具有的各类资质证书类型： 等级： 证书号：基本账户开户银行基本账户银行账号近三年营业额投标人关联企业情况（包括但不限于与投标人法定代表人（单位负责人）为同一人或者存在控股、管理关系的不同单位）投标设备制造商名称投标人须知要求投标设备制造商需具有的资质证书备注（二）近年财务状况表1.投标人应附上近两年其中一年的审计报告作为证明材料。（三）近年完成的类似项目情况表设备名称规格和型号项目名称买方名称买方联系人及电话合同价格项目概况及投标人履约情况备注（四）正在供货和新承接的项目情况表设备名称规格和型号项目名称买方名称买方联系人及电话签约合同价项目概况及投标人履约情况备注（五）近年发生的诉讼及仲裁情况投标人应附相关证明材料。（若没有，可填写“无”）（六）制造商授权书（如不适用，可不填写）制造商授权书（参考格式，也可自拟）致：（招标人名称）我单位（制造商名称）是按（国家/地区名称）法律成立的一家制造商，主要营业地点设在（制造商地址）。兹授权按（国家/地区名称）的法律正式成立的，主要营业地点设在（投标人的单位地址）的（投标人名称）在投标有效期内以我单位制造的（设备名称）进行（项目名称）投标活动。我单位同意按照中标合同供货，并对产品质量承担责任。制造商名称：（盖单位章）日期：年月日八、投标设备技术性能指标的详细描述九、技术支持资料十、技术服务和质保期服务计划十一、其他资料
投标 / 标书制作要点（原创）
本旋转冲洗甩干设备 安装调试费涉及「招标公告」，投标方需重点关注：① 营业执照经营范围须含招标公告或对应服务类目；② 提供同类项目业绩证明；③ 报价方案与售后响应须明确；④ 紧盯投标截止与开标节点，建议提前完成标书制作与盖章。当地项目常要求本地化服务能力与快速响应，务必在投标文件中凸显。
标书制作联系冯经理：17551026086
