等离子清洗机招标公告（西安电子工程研究所2025）
基本信息
发布单位:西安电子工程研究所
最终单位:西安电子工程研究所
参与方式:公开询价
出价方式:一次性出价
付款方式:合同签订后付合同款30%为预付款，验收合格后付合同款60%，
保证金:0.0元
联系人:王健
联系方式:13087561787
等离子清洗机技术要求.docx
采购明细
序号
商品名称
品类
采购数量
最少响应量
1
等离子清洗机
机电设备>其他
1.0个
1.0个
可报价时间
开始时间 2025-04-02 11:00:00
结束时间 2025-04-07 11:00:00
等离子清洗机技术要求编制:审核：会签：批准：一、设备用途说明设备用于裸芯片粘接前等离子清洗，提高芯片粘接附着力；键合前进行等离子清洗，确保键合区域（焊盘）表面污染物被清除干净，提高键合强度、可靠性。二、设备主要技术指标★1、真空室抽真空时间：≤150s；★2、等离子发生器最大功率：1kW；3、等离子激发频率：13.56MHz；4、最大进气量：0～200ml/min；5、工作气体：氮气、氩气、氢气、氧气等；★6、真空腔密封能力：3分钟内最大泄漏量＜80mtorr；★7、真空度20～70Pa，波动≤5%；8、密封机构：独立双密封结构；9、气体进出方式：前进后出；★10、电极：全封闭一体式，柔性可变电极，兼容单个产品和多层料盒使用；★11、ESD标准：点对点1.0×104＜R＜1.0×109Ω；点对地标准：1.0×104＜R＜1.0×109Ω，摩擦电压：8～13V；12、真空工作室：≥25mm厚纯铝板材；13、真空泵：采用干式真空泵并带吹扫气功能，品牌需为Edwards、莱宝、Pfeiffer柏山、飞越、阿法帕等国际、国内一线品牌或具有同等性能的产品，报价时需提供部件厂家、型号信息，供货时需提供合格证；14、真空计为MKS、INFICON、爱发科、玉川、奥松等国际、国内一线品牌高精度真空计或具有同等性能的产品，报价时需提供部件厂家、型号信息，供货时需提供合格证；15、等离子电源为AE、Comet、武汉光谷、沃特塞恩、北方华创等国际、国内一线品牌或具有同等性能的产品，报价时需提供部件厂家、型号信息，供货时需提供合格证；16、气体流量计需为MKS、KOFLOC、Horiba、青岛芯笙、七星华创等国际、国内一线品牌或具有同等性能的产品，报价时需提供部件厂家、型号信息，供货时需提供合格证、第三方检验报告（原件或复印件）；17、工艺参数可设置、修改，储存多组工艺参数随时可调用；18、生产记录报表系统；19、故障报警系统，包含故障报警查询、发生日期时间、异常原因、设备报警时自动保护关机等功能。20、操作权限三级管理管理：含操作员权限、工程师权限、高级权限。三、其他要求1、供应商须提供设备外形尺寸、占地面积、安装条件、噪音等指标和设备安全防护措施等信息。2、供应商须将设备运送至买方指定地点，并负责设备开箱工作。3、设备为成熟设备，同型号设备有不少于5家主流军工单位（兵器、航空航天、电科等）成熟用户，并允许在用户现场做实验（打样）。供应商在报价时，需提供这些用户的信息（工作单位、联系人、联系方式），供采购方核实、考察。四、售后服务及培训要求1、技术服务（1）在国内有原厂家或授权代理商提供售后服务。（2）供应商五年内为买方提供持续、免费的软件升级维护服务。（3）无论是否处于质保期内，设备如出现故障，供应商在接到买方技术资讯或故障信息后，应于2小时内作出响应，如需现场处理应于48小时内赶到现场处理。（4）供应商应在质保期后提供终身、优惠的维修服务以及免费的咨询服务，并能及时提供技术支持、接受咨询及备件的供应，质保期及之后的售后服务必须由供应商专业人员负责，不得以任何借口拒绝提供维修服务。2、技术培训等离子清洗机到货安装调试完成后，供应商提供不少于3个工作日的免费培训，培训内容应包括但不限于设备操作、调试、维护保养和设备维修、事故预防、应急处置等方面，使得买方指定受训人员可自主操作、调试设备，掌握简单的工艺参数，可对设备进行简单检修，并能按照设备维保要求进行日常维保工作。培训完成半年内，对买方人员进行第二次免费培训。五、质保期质量保证期为12个月，以设备到货验收评审合格之日起计算，质保期内设备出现任何异常供应商均应派专业工程师至买方处进行处理，期间产生的一切费用均由供应商负担。说明：带“★”的项为必须满足项。
投标 / 标书制作要点（原创）
本等离子清洗机涉及「招标公告」，投标方需重点关注：① 营业执照经营范围须含招标公告或对应服务类目；② 提供同类项目业绩证明；③ 报价方案与售后响应须明确；④ 紧盯投标截止与开标节点，建议提前完成标书制作与盖章。当地项目常要求本地化服务能力与快速响应，务必在投标文件中凸显。
标书制作联系冯经理：17551026086
