吉林高真空蒸发镀膜系统、磁控溅射镀膜系统和热型原子层沉积系统 高真空蒸发镀膜系统招标公告（吉林大学2025）
项目名称
高真空蒸发镀膜系统、磁控溅射镀膜系统 和 热型原子层沉积系统
项目编号
JLU-KC25055
公示开始日期
2025-07-09 15:33:22
公示截止日期
2025-07-14 16:00:00
采购单位
吉林大学
付款方式
货到验收合格办理相关手续后100%付款。
联系人
中标后在我参与的项目中查看
联系电话
中标后在我参与的项目中查看
签约时间要求
成交后7日内
到货时间要求
国内合同签订后60个日历日内
预算
￥898,000.00
最高限价
发票要求
增值税发票（一般纳税人须开具增值税专用发票）
供应商资质要求
符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件
收货地址
吉林大学
采购清单
1
采购物品
采购数量
计量单位
所属分类
高真空蒸发镀膜系统
1
套
电子工业生产设备
品牌
普迪真空
规格型号
PD-400S
技术参数
高真空蒸发镀膜系统PD-400S1. 腔体结构：不锈钢腔室，方箱腔体，前后开门，可对接手套箱；2. 真空系统：进口分子泵+直联旋片泵准无油真空系统；3. 极限真空：优于5.0×10-5Pa，真空漏率≤10-8Pa.l/s；4. 基片台尺寸：不变小于150mm*150mm；5. 抽气时间：真空室从大气到抽到≤5.0×10-4Pa，小于25min（手套箱环境）；6. 6组蒸发源；7. 膜厚检测：进口膜厚仪自动镀膜，膜厚检测精度0.1埃
售后服务
服务网点:当地;电话支持:7x24小时;服务年限:一年;服务时限:报修后2小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品;质保期:一年;
采购清单
2
采购物品
采购数量
计量单位
所属分类
磁控溅射镀膜系统
1
套
电子工业生产设备
品牌
普迪真空
规格型号
PD-400C
技术参数
真空室、真空系统、气体控制、溅射靶枪、溅射电源、加热工件台、控制系统组成。1.真空室1.1采用304 不锈钢真空室，尺寸约为 400mm（宽）× 400mm（深）× 380mm（高），内部抛光；1.2真空室前开门，门上带有一个 100mm 观察窗，观察窗带挡板，防辐射；1.3底部 3 个法兰，用于安装靶枪及挡板转轴；2.真空系统2.1采用“分子泵+机械泵”真空系统；气动阀门；分子泵抽速：1300L/S，机械泵抽速：9L/S；2.2真空阀门：型号：DN40mm 挡板阀 2 套；气动主阀 DN200 1 套；可调限流阀 1套；2.3真空测量：2低1高数显复合真空计一套，含真空规管；3.气体控制3.1 3 路进气，流量计最大流量分别为 200/100/20sccm；4.溅射靶枪4.1 3个3英寸圆形靶枪，杆状安装，共焦向上溅射；4.2 靶枪和工件距离 60-120mm 电动可调节；4.3 每个靶枪带一个独立的电控气动挡板；5.溅射电源5.1直流电源500W*1台，射频电源600W*2台；6.加热工件台6.1直径 6 英寸工件台；6.2转速 0-30RPM 可调节；6.3可放 100*100mm 样品；6.4样品台加热温度 500℃；导电温控仪控温；6.5配备气动样品台挡板。7.控制系统7.1西门子 PLC+触摸屏手自动控制系统；7.2控制内容：机械泵，分子泵，气动、电磁阀门、流量计等等；自动抽真空，自动镀膜（选配）、自动停泵等等；7.3完整的互锁保护（硬件、软件互锁），在手动和自动模式下，设备处于完整互锁保护下。
售后服务
服务网点:当地;电话支持:7x24小时;服务年限:一年;服务时限:报修后2小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品;质保期:一年;
采购清单
3
采购物品
采购数量
计量单位
所属分类
热型原子层沉积系统
1
套
电子工业生产设备
品牌
普迪真空
规格型号
PDALD-T100B
技术参数
简规：100*100mm，150℃样品台，2路加热源，1路去离子水前驱体源，预留一路待升级1、100*100mm样品反应腔；2、反应腔上、下独立加热控温，样品温度可加热到150℃，温度控制精度±0.5℃；3、沉积腔室内无死区，沉积薄膜颗粒少，0.5um以上颗粒值增加少于50颗；4、配置2路加热金属前驱体源和1路水前驱体；驱体源配置流量可控的独立载气气路，源和管道前驱体管道可加热到200℃，温度控制精度±0.5℃；Swagelok 快速ALD阀门，响应时间10ms；5、Inficon薄膜真空计和大气压监测双真空计，实现ALD工艺过程中脉冲压力变化的实时监测；6、真空泵前配置有残余前驱体源处理热阱，加热温度可达600℃，控制精度±0.5℃；7、全自动PLC自动控制软件，触摸屏人机操作界面；带有Recipe菜单，日志与数据记录，CDA欠压报警等异常报警与处理，登录权限管理；8、设备维护简单、方便，一次大保养仅需2小时可完成。
售后服务
服务网点:当地;电话支持:7x24小时;服务年限:一年;服务时限:报修后2小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品;质保期:一年;
吉林大学
2025-07-09 15:33:22
投标 / 标书制作要点（原创）
本高真空蒸发镀膜系统、磁控溅射镀膜系统和热型原子层沉积系统 高真空蒸发镀膜系统涉及「招标公告」，投标方需重点关注：① 营业执照经营范围须含招标公告或对应服务类目；② 提供同类项目业绩证明；③ 报价方案与售后响应须明确；④ 紧盯投标截止与开标节点，建议提前完成标书制作与盖章。吉林项目常要求本地化服务能力与快速响应，务必在投标文件中凸显。
标书制作联系冯经理：17551026086
