真空互联电学测量系统 真空泵组 传输阀门 腔体充气过压保护阀招标公告（西安交通大学2025）
西安交通大学真空互联电学测量系统标段二公开招标采购公告（电子招投标）
项目名称：
大型仪器设备共享实验中心真空互联电学测量系统标段二
项目编号：
西交采招（2025）292
项目联系方式：
项目联系人：
曹昆
项目联系电话：
15029095380,caokun.2015@mail.xjtu.edu.cn
采购单位联系方式：
采购单位：
采购与招标管理办公室
联系方式：
tender@xjtu.edu.cn，咨询QQ群：367046737;联系电话：029-82668649/029-82668195
联系地址：
西安市碑林区兴庆南路10号交大出版大厦19层采购办办公室
一、采购项目的名称、数量、简要规格描述或项目基本概况介绍：
详见附件：技术规格指标
下载附件
详细的采购要求及概况介绍，请访问西安交大采购办网站查看。
二、投标人的资格要求：
（一）投标人的资格要求：
1. 符合《政府采购法》及其实施条例对投标人资格的要求；
2. 具有独立法人或合伙企业资格及相关证照，具有良好信誉及合同履行能力，具有良好资金、财务状况。
3. 投标人应为所投标产品的生产企业，或具有所投标生产企业出具的针对本项目的产品授权书。
4. 投标人不得被列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为名单记录，且在西安交大采购办供应商库中无不良记录。
5. 本项目不接受联合体投标。
6. 其他要求：
本项目特殊要求在技术规格指标中列明
（二）供应商报名方式：
重要说明：本项目采用电子招投标，所有供应商必须办理数字证书后方可报名和投标（
证书申请帮助
）。
符合本公告要求的供应商，须按以下流程在西安交大采购办网站注册并完成在线报名：
1. 确认企业公章证书（KEY）办理完成并与公司注册账号绑定，确认证书驱动安装完成，并使用证书方式登陆供应商系统。
2.核对注册信息准确性和证照扫描件的根据 公告及系统要求完善供应商库信息；公告中要求供应商具备的资格条件，相关证照必须扫描上传至“资质”栏目内。
3. 选择要报名的项目点击在线报名，按要求完整、准确填写报名信息，核对无误后保存并提交。
4. 报名信息会使用数字证书签名并提交审核，此过程可能需要输入证书PIN码，注意不是供应商注册的密码。
5. 供应商报名后应及时登陆西安交大采购办供应商库查看审核情况，根据审核要求补充、完善相关信息，复审通过即为报名成功。
6. 采购文件发布后，报名信息审核通过的供应商可登陆系统下载电子版采购文件及有关资料。
三、采购文件的发售时间及地点等：
预算金额：1600000（元）
招标文件发售时间：2025年07月22日 09:37-2025年07月30日 12:00（双休日，法定节假日及周三下午除外）
招标文件获取方式：报名审核通过的供应商登陆西安交大采购办供应商库免费下载
四、投标截止时间：
2025年08月15日 15:00
五、开标时间：
2025年08月15日 15:00
六、评标地点：
西安市碑林区兴庆南路10号交大出版大厦19层南侧开标室
七、其它补充事宜：
（一） 信息发布风险提示
西安交大采购平台可采用短信、微信、邮件等一种或多种方式通知供应商审核进度和结果，但因存在信息未被接收方正确接收的风险，供应商不应依赖相关通知信息。供应商报名信息审核结果以西安交大采购系统审核记录为准，供应商未及时查看审核结果导致的报名失败及其他一切损失由供应商自行承担。
（二） 投标人资格声明
只有按照公告要求报名、通过审核并在线获取采购文件的供应商才有资格参与投标。未通过报名审核的供应商通过任何方式获取采购文件或递交投标文件，采购人都将予以拒绝。
（三） 开标时间地点说明
本采购公告中的开标时间、地点为公告发布时拟定的开标时间、地点，最终以西安交大采购办供应商库中向报名审核合格供应商公告的采购文件为准。采购文件中公告的开标时间地点与本采购公告不一致的，采购人不再另行通知。
如采购文件中公告的开标时间、地点发生变化，采购办将在法定时限内通过供应商库向获取采购文件的供应商发布公告，供应商应及时登陆西安交大供应商库获取最新信息。
（四） 公告发布的媒介
本公告在西安交通大学采购与招标管理办公室网站（cgb.xjtu.edu.cn）发布，政府采购限额标准以上的采购项目同时在中国政府采购网（www.ccgp.gov.cn）发布。
西安交通大学综合信息门户（info.xjtu.edu.cn）“采购信息”栏目合法转载西安交大采购办网站公告信息。
除上述媒介外，西安交大采购办未在其他媒介发布该项目采购公告，其他媒体未经授权转载本采购信息以及因此给供应商造成的一切损失，西安交通大学采购与招标管理办公室不承担任何责任。
（五） 供应商报名及采购文件、资料获取地址
供应商报名、获取采购文件及其他资料的唯一地址为西安交通大学采购与招标管理办公室网站（http://cgb.xjtu.edu.cn），请供应商报名及下载资料前认真核实网站地址。
（六） 其他补充说明。
本项目采取远程开标方式进行。供应商无须到达开标现场，具体要求详见《西安交通大学远程开标及磋商操作说明》。
八、采购项目需要落实的政府采购政策：
政府采购有关政策
真空互联电学测量系统采购需求一、采购标的需实现的功能或者目标，以及为落实政府采购政策需满足的要求：（一）采购标的需实现的功能或者目标本项目拟采购依托于分析测试中心真空互联实验与测试平台的电学测量系统一套。该系统包含真空高低温闭循环探针台系统、频谱分析仪、矢量网络分析仪。能实现样品电学参数的表征与分析，具体包括直流I-V测试、脉冲I-V测试、C-V测试、信号的频域特性测试、器件的传输/反射特性测试等其他电学参数的测试能力。本项目分为两个标段，标段1包含真空高低温闭循环探针台系统，最高限价220万元（人民币）。标段2包含频谱分析仪和矢量网络分析仪，最高限价160万元（人民币）（二）为落实政府采购政策需满足的要求1.根据《政府采购促进中小企业发展管理办法》（财库【2020】46号）规定，本项目采购标的为中小型企业制造、承建或承接的，投标人应提供办法规定的《中小企业声明函》，否则不得享受相关中小企业扶持政策。投标人应对提交的中小企业声明函的真实性负责，提交的中小企业声明函不真实的，应承担相应的法律责任。本项目采购标的对应的《中小企业划型标准规定》所属行业为：工业。2.□本采购项目允许进口产品参加。（说明：请项目单位根据采购实际情况在“□”中打勾（）。未进行勾选的，视为只接受本国产品参加）二、采购标的需执行的国家相关标准、行业标准、地方标准或者其他标准、规范：采购项目中所含的投标产品及制造商应符合国家有关部门规定的相应技术、计量、节能、安全和环保法规及标准，如国家有关部门对投标产品或其制造商有强制性规定或要求的，投标产品或其制造商必须符合相应规定或要求，投标人须提供相关证明文件的复印件。投标产品制造商需通过国际通用ISO质量及环保认证体系，产品制造需符合国际电气、电磁辐射产品使用安全认证。三、采购标的概况（一）采购项目名称：真空互联电学测量系统（二）采购数量及计量单位：1套（三）最高限价：380万元（人民币）。（四）交付时间：合同签订后150天内。（五）交付地点：中国西部科技创新港指定地点。（六）付款进度安排：：合同签订后，厂商需开具见索即付银行保函，保函金额不低于合同总金额的70%，保函期限至采购项目验收结束。学校则在合同签订后向厂商支付合同总金额的100%。四、采购标的需满足的质量、安全、技术规格、物理特性等要求：标注*号指标为重点关注指标，不做废标项处理。标段1真空高低温闭循环探针台系统1、硬件配置表1真空高低温闭循环探针台系统配置清单配置名称参数探针台腔体及真空系统探针台腔体腔体采用316L不锈钢，带3个高红外透射率观察窗，1个CF40真空抽气口，1个快速破真空进气口。并配备7个探针臂接口（接口CF），1个电信接口和2个备用法兰接口。底部连接液氦压缩制冷机冷头。防辐射屏包含高可见光透射防辐射窗和屏蔽帘。真空泵组包含分子泵1台，机械干泵1台；需选用进口品牌。真空计及真空控制器包含全量程真空计1支，真空计控制器1个；需选用进口品牌。传输阀门全金属插板阀、气动挡板阀、角阀按需适配；对定制化产品需选用进口品牌。相关配件腔体充气过压保护阀1套，该项为备选项；不锈钢抽气管道（1套），不锈钢波纹管软管（1套）；垫圈及螺丝等辅助配件足量。样品台带多圈环形槽，可涂真空导热硅脂，便于小样品的固定。弹片式样品压夹3个，用于固定大样品和非规则样品。且含硅二极管温度传感器。探针臂模组真空探针臂探针臂为真空波纹管结构，采用大手柄设计，便于在真空状态下探针的移动。直流测试模组至少包含4组真空型三同轴结构探针夹具，4个材质为钨的低温直流探针，4个材质为铍铜的低温直流探针，4根低温低噪声同轴电缆（三同轴接头），4个SMA转三同轴真空馈通接头。射频测试模组至少包含2组射频探针夹具，2组GSG射频探针及真空射频转接头，2根低温射频线缆，1套微波校准基片，校准类型包含SOLT（短路-开路-负载-导通）、LRL（线-反射-线）、LRM（线-反射-匹配）。光学测试模组至少包含2组光纤夹具，接头，2个真空光纤馈通，2根光纤线缆。显微镜成像系统包含1套视频显微镜和1套CCD成像系统。高低温控制系统温控系统至少包含4路温度计输入，4个独立的控制输出，2路PID控制，2个加热器。支持硅二极管、电阻、热电偶温度传感器。冷头实现样品台最低温度≤8K。压缩机根据主机需求配置，满足相应系统连续满功率运行。冷水机根据主机需求配置，满足相应系统连续满功率运行。探针台减震系统采用气浮式防震机构，上部配光学板。电学测量系统-真空互联中转腔系统包含超高真空中转腔腔体，样品停放台，样品传递装置（传样杆、抓取头），以及独立的真空抽气系统（配分子泵、机械泵及对应电磁控制安全阀、放气阀）和真空测量系统（全量程真空规）。其他配套设施半导体参数分析仪至少包含PC操作系统，图形化测试软件；5槽PXle总线机箱；4个高精度SMU模块；C-V模块；四根SMU电缆。可实现I-V测试（包括直流测试和脉冲测试）、C-V测试以及瞬态时域测试。高温退火炉温度≥1773 K。液氦杜瓦罐直径小于55 cm的可移动液氦杜瓦罐。品牌计算机至少包含1套（Inter i9-9900K及以上，32 G内存及以上，2T固态硬盘+10T HDD，16G独立显卡，DVD-RW，27寸显示器一台，32寸显示器一台。预装多功能控制与测试软件，可以实现温度的自动控制和采集，配合适当的电学仪表，可以实现支持高低温下电学参数测试，软件开放LabView接口，支持用户自主接入其它设备。全套操作手册包括主机及相关配件的操作手册。安装服务需要协调真空互联系统、半导体参数分析仪、频谱分析仪、矢量网络分析仪的厂商完成探针台和上述设备的联合调试，实现真空互联电学测量系统在高低温下的电学、光学的综合测试分析功能。2、主要技术指标：2.1真空高低温闭循环探针台系统*（1）真空腔室真空性能要求：室温（298~303K）下≤5×10-4pa，低温（≤10K）下≤5×10-6pa。系统漏率≤2×10-10Pa·m3/s；*（2）样品台直径≥2英寸，平整度±5μm。样品台温度范围为8~420K，温度稳定性优于±100mK。样品台温度从室温（298~303K）降至10K的时间*（3）配备7路探针臂，其中4路直流信号臂，2路射频臂，1路光纤臂。探针臂可移动距离X方向不小于50mm、Y方向不小于25mm、Z方向不小于25mm。移动精度优于±2μm。4路直流臂频率测量范围：优于DC~50MHz。配备真空型三同轴接口探针夹具，采用热沉设计，漏电流2路射频臂频率测量范围：优于DC~67GHz。配备射频探针夹具，采用热沉设计。GSG低温射频探针频率测量范围：优于DC~67GHz，输入损耗15dB。低温射频线缆频率测量范围优于：DC~67GHz。微波校准基片支持间隙范围：优于75~2540µm；1路光纤臂波长测量范围：优于380nm~2500nm；（4）配备1套视频显微镜，连续变倍比：优于7:1，放大倍率范围：优于0.75~5.25X，配置白色同轴照明光源和环形光源（亮度可以无级调节）。1套CCD成像系统，分辨率：优于1920×1080，内置长度测量软件；（5）控温最低温度≤300mK，温度测量分辨率≤1mK；*（6）探针台三维震动均*（7）探针台既可以单独工作，也可以实现和真空互联系统的双向样品传递，并配有和真空互联系统联通的中转腔系统，保证可以实现探针台和真空互联的接口对接，中转腔系统室温下（298~303K）真空度优于5×10-6pa；*（8）整套设备安装后，需要协调真空互联系统、半导体参数分析仪、频谱分析仪、矢量网络分析仪的厂商完成探针台和上述设备的联合调试，实现真空互联电学测量系统在高低温下的电学、光学的综合测试分析功能。2.2配套设备技术指标（1）高温退火炉：温度≥1773K。（2）液氦杜瓦罐：直径小于55cm的可移动液氦杜瓦罐。*（3）半导体参数分析仪：直流测试：电流测试量程：优于0.1fA~1A，电流测量精度优于30fA。电压测试量程优于±200V，电压测量精度优于30μV；最高输出功率≥20W；脉冲测试：电流测试量程：优于0.1fA~3A，电流测量精度优于5pA。电压测试量程优于±200V，电压测量精度优于30μV；最高输出功率≥480W；最小脉冲宽度≤50μs；C-V测试：直流偏压范围：优于±200V，带宽范围：优于10Hz~10KHz；瞬态时域测试：任意波形输出，最高采样率：优于1.8MS/s。最小步进：优于10μs。标段2频谱分析仪、矢量网络分析仪1、硬件配置1.1频谱分析仪表2频谱分析仪配置清单配置名称参数主机具备时间门测量、场强测试、载噪比标记、调幅深度标记、互调失真检测等功能、SCPI指令自动记录、用户自定义快捷菜单等便捷操作。实时频谱分析功能选件包含频率模版触发，宽带实时频谱分析。400 MHz分析带宽功能选件配备预选器旁路。低噪声前置放大器功能选件配备低噪声前置放大器；模拟解调功能选件实现AM、FM、M信号的调制特性和失真特性分析。矢量信号分析功能选件提供多种单载波数字调制信号的灵活解调功能，可以提供矢量图、星座图、眼图、频谱图等丰富的图谱对调制信号特性进行分析，并可通过解调得到信号的调制误差，帮助对信号误差的产生原因进行判断。1.2矢量网络分析仪表3矢量网络分析仪配置清单配置名称参数主机具备S参数、接收机测量、极限测试、纹波测试、滤波器带宽等测试功能，支持自定义校准件、电子校准、波导校准等校准方式，可输出转换对数幅度、相位、群时延、史密斯圆图、线性幅度、驻波比、实部、虚部极坐标、阻抗等格式。时域分析功能选件用于TDR时域阻抗测试、眼图分析等，具备基于网络参数的虚拟眼图生成及分析功能。其他配套设施配件至少包含50GHz机械校准件1套，50GHz测试线缆2根。品牌计算机至少包含1套（Inter i9-9900K及以上，32 G内存及以上，2T固态硬盘+10T HDD，16G独立显卡，DVD-RW，27寸显示器一台，32寸显示器一台。2、主要技术指标：2.1频谱分析仪*（1）频率范围：优于10Hz~40GHz；*（2）分辨率带宽（RBW）：优于0.1Hz~10MHz；（3）视频带宽（VBW）：优于1Hz~20MHz；（4）最大扫描点数：≥100000；*（5）最大分析带宽：优于10Hz~400MHz；*（6）提供400MHz带宽数字荧光频谱以及无缝瀑布图功能，包括频率模板触发，宽带实时频谱分析；（7）相位噪声（1GHz载波）：≤-122dBc/Hz@10kHz频偏，≤-122dBc/Hz@100kHz频偏；*（8）配备低噪声前置放大器，显示平均噪声电平：≤-160dBm（50MHz＜f≤4GHz）≤-155dBm（4GHz＜f≤18GHz）≤-152dBm（18GHz＜f≤26.5GHz）≤-150dBm（26.5GHz＜f≤40GHz）；*（9）分析软件具备以下功能：模拟解调功能、矢量信号分析功能、时间门测量、场强测试、载噪比标记、调幅深度标记、互调失真检测等功能、SCPI指令自动记录、用户自定义快捷菜单等便捷操作。2.2矢量网络分析仪*（1）频率范围：优于10MHz~44GHz；频率分辨率：≤1Hz；*（2）四端口测量，端口最大输出功率：≥+12dBm（10MHz~40GHz），其中端口1、3谐波抑制：≤-57dBc（5GHz～40GHz）；*（3）动态范围：≥125dB（0.5GHz＜f≤40GHz）*（4）中频带宽：优于1Hz~15MHz；（5）扫描点数：≥200000点；（6）幅度迹线噪声dBrms（1kHz中频带宽）：≤0.0020（1GHz＜f≤26.5GHz）≤0.0030（26.5GHz＜f≤44GHz）；*（7）软件具备高级时域分析功能：用于TDR时域阻抗测试、眼图分析等，具备基于网络参数的虚拟眼图生成及分析功能。五、采购标的需满足的服务标准、期限、效率等要求1.质保期：3年。质保期满后，仍需提供专业维修服务，免人工费维保≥2次/年，投标人在投标文件中需注明维修服务单项报价。2.服务响应时间：接到维修电话后4小时内给予明确答复，48小时内到达现场维修。维修人员到现场后若问题特殊无法现场修复的，供货方需在72小时内给出合理解决方案。3.培训要求：提供培训电子资料及视频；供方免费为用户培训至少2~3名操作人员进行为期至少5天的现场操作培训以及应用培训，保证用户掌握有关设备的使用、维护、管理和应用等工作要求。不定期的免费提供相关设备应用方面的技术咨询等。六、采购标的的履约验收方案现场的检验指标及方法序号功能或指标验收或测试方法项目建设单位验收要求：1货物外包装与外观无损伤现场核查2货物配置、包括备品备件、耗品耗材等提供齐全，货物实物品牌、规格、型号、配置数量与采购结果、合同约定相符。依据《合同》及其附件（包括但不限于《采购需求》《供应商投标（响应）文件》《投标澄清函》《技术协议》等）约定，现场核查。3所有功能和指标参数（包括边界极限值）达到采购结果合同约定要求。依据《合同》及其附件（包括但不限于《采购需求》《供应商投标（响应）文件》《投标澄清函》《技术协议》等）约定，现场测试，供应商应提供《产品出厂检测报告》《产品合格证书》和根据合同约定提供《第三方检测报告》。4提供《培训视频》影像资料现场核查5验证测试设备的运行稳定性试运行验证测试设备运行稳定达标6《供应商货物类项目完工报告》《项目建设单位货物类项目完工自验收报告》《项目建设单位货物类项目完工自验收报告》《第三方检测报告》等与验收相关的材料由项目建设单位妥善保管存档。学校验收复核要求：1项目建设单位填写《学校采购货物类项目验收复核申请表》2提供《供应商货物类项目完工报告》3提供《项目建设单位货物类项目完工自验收报告》4学校组织验收专家组现场复核供应商与项目建设单位货物到货完工验收完成情况验收时是否需要供应商提供样品是否□验收时是否需供应商提供必要的其他设备是□否除现场验收外，需提供的其他验收要求除现场验收外，是□否需提供第三方检测报告对于检测机构的要求：国家正规检测机构，出具的检测报告由验收复核专家认可之后作为验收复核通过的主要依据。对于检测执行标准的要求：各项检测项目标准以检测机构按照行业相关要求最新适用并执行的标准为准。
投标 / 标书制作要点（原创）
本真空互联电学测量系统 真空泵组 传输阀门 腔体充气过压保护阀涉及「招标公告」，投标方需重点关注：① 营业执照经营范围须含招标公告或对应服务类目；② 提供同类项目业绩证明；③ 报价方案与售后响应须明确；④ 紧盯投标截止与开标节点，建议提前完成标书制作与盖章。当地项目常要求本地化服务能力与快速响应，务必在投标文件中凸显。
标书制作联系冯经理：17551026086
