反应离子束刻蚀机招标公告（2025）
zycgr24041501反应离子束刻蚀机采购项目（第二次）公开招标公告
项目概况
zycgr24041501反应离子束刻蚀机采购项目（第二次） 招标项目的潜在投标人应在登陆“东方招标”平台（http://www.oitccas.com/），点击“获取采购文件”链接图标，或直接输入访问地址（http://www.oitccas.com/pages/sign_in.html?page=mine）完成投标人注册手续（免费），然后登陆系统寻找有意向参与的项目，已注册的投标人无需重新注册。招标文件售价：每包人民币600 元。如决定购买招标文件，请完成标书款缴费及标书下载手续获取招标文件，并于2025年09月04日 09点30分（北京时间）前递交投标文件。
一、项目基本情况
项目编号：OITC-G250611213
项目名称：zycgr24041501反应离子束刻蚀机采购项目（第二次）
预算金额：630.000000 万元（人民币）
最高限价（如有）：630.000000 万元（人民币）
采购需求：
1、采购项目的名称、数量：
包号
货物名称
数量
简要技术规格
是否允许采购进口产品
最高限价
1
反应离子束刻蚀机
1套
反应离子束刻蚀机，采用RF型离子源系统，通过射频电源控制工艺气体激发，形成等离子体。反应离子束刻蚀机标配气体满足不同的材料刻蚀需求，如介介质材料 (至少包含Si02，SiNx，SiC），非挥发材料 (至少包含Pt，Au，Ag，I，NiRe )，铁电材料(至少包含PZT，LiNbO3，BTO（BaTiO3），SBT)， ，适用于闪耀光栅、斜齿光栅等工艺需求，适用于科研等领域
否
630 万元
注：投标人须对上述投标内容中完整的一包进行投标，不完整的投标将视为非响应性投标予以拒绝。
2、技术要求详见公告附件。
合同履行期限：合同签订后4个月内交货。
本项目(不接受 )联合体投标。
二、申请人的资格要求：
1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；
2.落实政府采购政策需满足的资格要求：
本项目不属于专门面向中小微企业、监狱企业、残疾人福利性单位采购的项目。
3.本项目的特定资格要求：1） 投标人须符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条的规定；(具体为供应商参加政府采购活动应当具备下列条件：（一）具有独立承担民事责任的能力；（二）具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度；（三）具有履行合同所必需的设备和专业技术能力；（四）有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录；（五）参加政府采购活动前三年内，在经营活动中没有重大违法记录；（六）法律、行政法规规定的其他条件。)2） 在中华人民共和国境内依法注册的，具有独立承担民事责任能力，遵守国家法律法规，具有良好信誉，具有履行合同能力和良好的履行合同的记录，具有良好资金、财务状况的企事业法人、其他组织或者自然人；3） 投标人按照招标公告要求购买了招标文件；4） 投标人不得为招标人或招标代理机构的附属或相关机构；5） 投标人不得为列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单的供应商。6） 为本项目提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商，不得参加本项目投标；7） 投标单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得参加同一合同项下的政府采购活动；8） 本项目不接受联合体投标
三、获取招标文件
时间：2025年08月14日 至2025年08月21日，每天上午9:00至11:00，下午13:00至17:00。（北京时间，法定节假日除外）
地点：登陆“东方招标”平台（http://www.oitccas.com/），点击“获取采购文件”链接图标，或直接输入访问地址（http://www.oitccas.com/pages/sign_in.html?page=mine）完成投标人注册手续（免费），然后登陆系统寻找有意向参与的项目，已注册的投标人无需重新注册。招标文件售价：每包人民币600 元。如决定购买招标文件，请完成标书款缴费及标书下载手续
方式：登录东方招标平台http://www.oitccas.com/注册并购买
售价：￥600.0 元，本公告包含的招标文件售价总和
四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点
提交投标文件截止时间：2025年09月04日 09点30分（北京时间）
开标时间：2025年09月04日 09点30分（北京时间）
地点：全季苏州独墅湖生态公园酒店一层会议室（江苏省苏州市吴中经济开发区郭巷街道独墅湾雅苑149幢）（本项目不接受邮寄）
五、公告期限
自本公告发布之日起5个工作日。
六、其他补充事宜
1、投标文件递交地点：全季苏州独墅湖生态公园酒店一层会议室（江苏省苏州市吴中经济开发区郭巷街道独墅湾雅苑149幢）（本项目不接受邮寄）
2、招标文件采用网上电子发售购买方式：
1）登陆“东方招标”平台（http://www.oitccas.com/），点击“获取采购文件”链接图标，或直接输入访问地址（http://www.oitccas.com/pages/sign_in.html?page=mine）完成投标人注册手续（免费），然后登陆系统寻找有意向参与的项目，已注册的投标人无需重新注册。招标文件售价：每包人民币600元。如决定购买招标文件，请完成标书款缴费及标书下载手续。
2）投标人可以电汇的形式支付款、保证金（应以公司名义汇款至下述指定账号）。
开户名称：东方国际招标有限责任公司
开户行：招商银行北京西三环支行
账 号：862081657710001
3）投标人应在“东方招标平台”上填写开票信息。在投标人足额缴纳标书款后，标书款电子发票将发送至投标人在“东方招标平台”上登记的电子邮箱，投标人自行下载打印。
3、以电汇方式购买招标文件和递交投标保证金的，须在电汇凭据附言栏中写明招标编号、包号及用途（如未标明招标编号，有可能导致投标无效）。
4、采购项目需要落实的政府采购政策：
（1）政府采购促进中小企业发展
（2）政府采购支持监狱企业发展
（3）政府采购促进残疾人就业
（4）政府采购鼓励采购节能环保产品
七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。
1.采购人信息
名 称：zycgr24041501
地址：江苏省苏州市
联系方式：0512-65187783
2.采购代理机构信息
名 称：东方国际招标有限责任公司
地 址：北京市海淀区丹棱街1号互联网金融中心20层
联系方式：010-68290530；010-68290508；010-68290599；wli@oitc.com.cn
3.项目联系方式
项目联系人：李雯、王军、郭宇涵；余睿
电 话： 010-68290530；010-68290508；010-68290599；wli@oitc.com.cn
公告概要：
公告信息：
采购项目名称
zycgr24041501反应离子束刻蚀机采购项目（第二次）
品目
货物/设备/仪器仪表/其他仪器仪表
采购单位
zycgr24041501
行政区域
苏州市
公告时间
2025年08月14日 18:22
获取招标文件时间
2025年08月14日至2025年08月21日每日上午:9:00 至 11:00下午:13:00 至 17:00（北京时间，法定节假日除外）
招标文件售价
￥600
获取招标文件的地点
登陆“东方招标”平台（http://www.oitccas.com/），点击“获取采购文件”链接图标，或直接输入访问地址（http://www.oitccas.com/pages/sign_in.html?page=mine）完成投标人注册手续（免费），然后登陆系统寻找有意向参与的项目，已注册的投标人无需重新注册。招标文件售价：每包人民币600 元。如决定购买招标文件，请完成标书款缴费及标书下载手续
开标时间
2025年09月04日 09:30
开标地点
全季苏州独墅湖生态公园酒店一层会议室（江苏省苏州市吴中经济开发区郭巷街道独墅湾雅苑149幢）（本项目不接受邮寄）
预算金额
￥630.000000万元（人民币）
联系人及联系方式：
项目联系人
李雯、王军、郭宇涵；余睿
项目联系电话
010-68290530；010-68290508；010-68290599；wli@oitc.com.cn
采购单位
zycgr24041501
采购单位地址
江苏省苏州市
采购单位联系方式
0512-65187783
代理机构名称
东方国际招标有限责任公司
代理机构地址
北京市海淀区丹棱街1号互联网金融中心20层
代理机构联系方式
010-68290530；010-68290508；010-68290599；wli@oitc.com.cn
附件：
附件1
采购需求-反应离子束刻蚀机.pdf
采购需求一.货物需求一览表包号货物名称数量简要技术规格是否允许采购进口产品最高限价1反应离子束刻蚀机1套反应离子束刻蚀机，采用RF型离子源系统，通过射频电源控制工艺气体激发，形成等离子体。反应离子束刻蚀机标配气体满足不同的材料刻蚀需求，如介介质材料(至少包含Si02，SiNx，SiC），非挥发材料(至少包含Pt，Au，Ag，I，NiRe)，铁电材料(至少包含PZT，LiNbO3，BTO（BaTiO3），SBT)，，适用于闪耀光栅、斜齿光栅等工艺需求，适用于科研等领域。否630万元注：投标人须对上述投标内容中完整的一包进行投标，不完整的投标将视为非响应性投标予以拒绝。二、具体要求：一）主要用途反应离子束刻蚀机，采用RF型离子源系统，通过射频电源控制工艺气体激发，形成等离子体。反应离子束刻蚀机标配气体满足不同的材料刻蚀需求，如介介质材料(至少包含Si02，SiNx，SiC），非挥发材料(至少包含Pt，Au，Ag，I，NiRe)，铁电材料(至少包含PZT，LiNbO3，BTO（BaTiO3），SBT)，，适用于闪耀光栅、斜齿光栅等工艺需求，适用于科研等领域。二）技术要求：▲1.反应腔室：腔室极限真空：＜7×10-7Torr，反应腔室材质为全不锈钢材质制造，内部安装有易拆卸替换的专用衬板；2.腔室漏气率：≤1mTorr/min；3.典型工艺真空范围：0.2～1mTor；真空系统配置涡轮分子泵（最大抽速≥2100L/s，）和干式机械泵（最大抽速600m3/h，）两级真空泵组；▲4.下电极可自转，转速范围：0～20rpm可调；★5.样品台与离子束角度可调节，下电极转动角度范围：-90°～+80°，精度±0.1°；样品台可实现单片200mm基片装载；▲6.载片台由专用的冷水机冷却，载片台和基片之间设有背He气体冷却装置。冷水机：控温范围0—90°C；★7.离子源：配有不小于220mm口径的RF型射频离子源，离子束电流范围：0～1000mA；包含中和器；★8.离子束能量范围：100～1000eV；★9.射频电源：不低于1000W；▲10.加速电压范围：0～1000V；▲11.中和器电流范围：0～1500mA；12.中和器形式：灯丝中和；★13.气路配置：标配7路：Ar(工艺)、O2、N2、CHF3、CF4、SF6、Ar（中和），预留2路扩展；▲14.装载方式:采用Loadlock传输腔装载，进样室能够一次完成一片最大直径8英寸晶圆的自动传输；配置有进样室专用的干式机械泵（最大抽速≥110m3/h，）。配置氮气气路，用于进样室充气；15.工艺能力：15.1刻蚀材料:介质材料(至少包含Si02，SiNx，SiC），非挥发材料(至少包含Pt，Au，Ag，I，NiRe)，铁电材料(至少包含PZT，LiNbO3，BTO（BaTiO3），SBT)，斜齿光栅，闪耀光栅；★15.2刻蚀线宽:机台的微纳加工能力，可以加工最小CD（关键尺寸：刻蚀图形如果为槽，则为槽的宽度，如果为孔则为孔的直径，）50nm及以下；提供SEM证明★15.3.图形化能力；斜光栅和闪耀光栅，根据典型值提供SEM图片证明MaterialItemSpecSiO2（blanket），8英寸SiO2etchrate/刻蚀速率>200A/min（此项仅需提供盖章证明）SiO2NU/不均匀性(49点极差法，去边8mm,带自转的基础菜单)≤5%（WIW，1σ法，EE8mm）≤3%（WTW，1σ法，EE8mm）≤3%（RTR，1σ法，EE8mm）SiO2闪耀光栅Pitch/光栅周期与光刻前值偏差≤±5%(典型值取385nm)Blazeangle/闪耀角25°~45°，典型值可取30°±3°Anti-Blazeangle/反闪耀角60°~80°直角闪耀光栅90°±5°Height光栅高度典型值需≥200nm±5%SiO2倾斜光栅Slantangle/倾斜角(侧壁与底面夹角)45°-90°，典型值可取60°Pitch/光栅周期与光刻前值偏差≤±5%(典型值取285nm，占空比不低于0.5)光栅Height典型值400nm，偏差≤±5%(@倾斜角度偏差60°≤±3,光栅CD100nm，周期285nm)光栅CD典型值100nm，偏差≤±5%（@倾斜角偏差60°≤±3°，高度400nm，周期285nm)光栅转角半径（R值）≤20nm侧壁平行度≤±5°（@倾斜角45°）Footing无SiC倾斜光栅Slantangle/倾斜角(侧壁与底面夹角)45°-90°，典型值可取60°Pitch/光栅周期与光刻前值偏差≤±5%(典型值取250nm，占空比不低于0.5)光栅Height200nm，偏差≤±5%（@倾斜角度偏差60°≤±3°，光栅CD100nm，周期250nm)光栅CD100nm，偏差≤±5%（@倾斜角偏差60°≤±3°，高度200nm，周期250nm）光栅转角半径（R值）≤20nm侧壁平行度≤±5°（@倾斜角60°）Footing≤20%（占比典型光栅高度：100nm，200nm）▲16.控制/软件要求：⚫配置操作系统硬件，版本不低于Win7；⚫软件系统质保期内免费升级；⚫自动工艺：基于编程控制的自动控制系统；⚫手动控制：可通过软件对机台进行临时手动操作；⚫故障响应：具备系统故障远程诊断功能；⚫报警管理：具备安全自检及自我保护功能，通过软件判断；⚫状态监控：重要参数的实时变化监控，辅助用户分析和监测；⚫自动记录：设备工作参数日志自动记录功能；⚫权限管理：用户分级管理功能；⚫配方管理：支持多工艺配方进行创建、删除、修改等操作；⚫参数管理：分级查看、修改工艺参数；⚫设备维护：重要部件的生命周期管理。★17、配置清单及零配件（包括专用工具）：（本条在投标文件中应提供应答承诺，不用提供彩页等证明资料）序号名称单位数量1离子刻蚀机主机套12干泵台13水冷机台14分子泵台15预真空室干泵台16备品备件、耗材及专用工具：Mo栅网、石墨栅网；腔室换洗内衬、离子源换洗部件、观察窗及观察窗挡板、密封圈、铜垫以及专用工具套1三、质保及售后服务：1.★设备安装调试的时间：供应商须确保在到货后15个工作日内，保质保量完成所提供全部设备的安装、调试及投入运行。（本条在投标文件中应提供应答承诺，不用提供彩页等证明资料）2.技术培训：中标供应商须安排工程师对用户现场培训，培训地点为用户指定地点，内容包括仪器的技术原理、操作、数据处理、基本维护等，培训时间不小于5天，厂家在用户所在地提供至少2名用户管理人员的现场操作使用及基本维护的培训，使被培训人员达到能够熟练使用，涉及费用由中标供应商承担。3.★质保期：设备验收合格后不低于一年（自仪器验收合格，双方签字之日起计算），并提供终身维修。（本条在投标文件中应提供应答承诺，不用提供彩页等证明资料）4.售后服务、维修响应要求：（1）厂商在中国国内设有办事处，直接提供7x24小时的技术支持服务，技术支持和售后服务。接到用户通知后24小时内响应，3个工作日内到达现场进行服务。一般问题应在一周内解决，重大问题或其他无法迅速解决的问题应在一周内提出解决方案。（2）供应商具有完善的技术支持与服务体系，专人负责与采购人联系售后服务事宜。（3）供应商提供全国售后服务及全面的维修中心/备件库，以保证此项目的售后完善。（4）保修期内，如在使用过程中出现仪器故障问题由厂家工程师解决，接到采购人产品出现问题的通知后，在报修后即时响应采购人的电话咨询，并在24小时内安排上门服务并解决问题，除不可抗力和采购人责任外。（5）配备培训合格的专业工程师，由工程师负责安装及售后维护等各种服务工作。（6）故障问题解决后24小时内，向采购人提交问题处理报告，说明问题种类、问题原因、问题解决中使用的方法及造成的损失等情况。（7）保修范围：整机保修。保修期限自货物通过采购人组织的验收之日起算。在保修期内，如货物非因采购人故意或重大过失而出现的质量问题应由供应商负责保修、包换或包退，并承担修理、调换或退货的实际费用。供应商不能修复、调换或不能退货的，应向采购人退回相应货款。（8）免费保修期内供应商免费负责设备维修及抢修，同一台设备修理3次仍不能正常使用，供应商负责更换同型号同规格的产品，若同型号同规格的产品停产或因生产缺货，则保证提供不低于采购型号规格功能的产品进行替换，更换产品的免费保修期重新计算。（9）技术升级：免费保修期内，如产品技术升级，采购人享有产品升级的权利。升级工作须获得采购人同意方可实施。设备软件若有升级，中标供应商将提供终身免费升级服务。四、交货地点：苏州市用户指定地点★五、交货日期：合同签订后4个月内交货。（本条在投标文件中应提供应答承诺，不用提供彩页等证明资料）六、产品需执行的相关标准产品应满足相关国家标准及行业标准。除非技术规格中另有规定，计量单位均采用中华人民共和国法定计量单位。七、包装和运输要求1）方式：陆运，必须使用崭新的坚固的木箱或纸箱包装货物，以便适于长距离的海运或空运、内陆运输和气候的变化，该包装应当能够保护货物耐粗暴搬运、防湿、防潮、防震、防锈、防冻。包装中必须随货放置一套完整的操作说明和服务手册。2）设备运输由供方负责并承担相应费用。在运输过程中引起的设备腐蚀、剥落、碰损或由于包装不良所发生的损失及由于采用不充分或不妥善的保护措施而造成的任何货损，卖方应负担由此产生的一切费用和损坏等造成的一切损失将由供方承担责任。八、付款方式（特殊需求请在招标采购要求文件第二条第十款：其他特殊要求中单列）国产货物：★付款方式：签订合同后，买方在卖方场地验收合格（完成所有工艺验收）后，卖方将全部货物发到项目现场并开箱核对无误并加电开机正常完成开箱验收后，同时收到卖方提供的等额增值税专用发票后，支付合同总金额的60%给卖方。在整个采购货物包验收合格且签署验收报告后并收到卖方提供的等额增值税专用发票后，买方支付合同总金额的30%给卖方，余下10%质保期满后支付。★（九）验收标准、保险要求等（本条投标文件中应提供承诺，不用提供彩页证明资料）（1）履约验收方案①验收内容（包括每项技术和商务要求）：1）工厂验收：设备制造完成后，卖方邀请买房到制造所在地对该设备进行硬件和工艺验收，买方提出整改意见并确定发货时间，如卖方确定无法按时交付，买方有权直接终止合同。如有疑义，由招标单位从江苏省专家库随机抽取专家对项目进行评估。2）开箱验收：货到现场组织开箱验收，设备的完好性、型号、数量、质保资料等；3）现场验收：设备安装调试完成，组织进行现场验收，提出整改意见，签署验收报告；②验收标准（包括所有客观、量化指标）：1）规范标准：国家、行业现行的相关验收规范及标准；2）合同内容：合同设备清单的设备名称、数量、性能参数是否一致，约定工艺技术标准。设备硬件验收序号验收内容验收标准1腔室极限真空＜7×10-7Torr2腔室漏气率<2mT/min3典型工艺真空范围0.2～1mTor4分子泵抽速≥2100L/s5工艺腔室干泵抽速600m3/h6下电极下电极可自转，转速范围：0～20rpm可调7样品台与离子束角度可调节，下电极转动角度范围：-90°～+80°，精度±0.1°8样品台可实现单片200mm基片装载，He气冷却设计9冷水机温度控制范围0-90℃10离子源口径≥220mm离子束电流范围0～1000mA离子束能量范围100～1000eV射频电源不低于1000W加速电压范围0～1000V中和器电流范围0～1500mA中和器形式灯丝中和气路配置反应气路不少于6路，气路需配置质量流量计MFC和气动截止阀，独立气柜。装载方式传输腔干泵抽速采用Loadlock传输腔装载≥110m3/h设备工艺验收MaterialItemSpecSiO2（blanket），8英寸SiO2etchrate/刻蚀速率>200A/minSiO2NU/不均匀性(49点极差法，去边8mm,带自转的基础菜单)≤5%（WIW，1σ法，EE8mm）≤3%（WTW，1σ法，EE8mm）≤3%（RTR，1σ法，EE8mm）SiO2闪耀光栅Pitch/光栅周期与光刻前值偏差≤±5%(典型值取385nm)Blazeangle/闪耀角25°~45°，典型值可取30°±3°Anti-Blazeangle/反闪耀角60°~80°直角闪耀光栅90°±5°Height光栅高度典型值需≥200nm±5%SiO2倾斜光栅Slantangle/倾斜角(侧壁与底面夹角)45°-90°，典型值可取60°Pitch/光栅周期与光刻前值偏差≤±5%(典型值取285nm，占空比不低于0.5)光栅Height典型值400nm，偏差≤±5%(@倾斜角度偏差60°≤±3,光栅CD100nm，周期285nm)光栅CD典型值100nm，偏差≤±5%（@倾斜角偏差60°≤±3°，高度400nm，周期285nm)光栅转角半径（R值）≤20nm侧壁平行度≤±5°（@倾斜角45°）Footing无SiC倾斜光栅Slantangle/倾斜角45°-90°，典型值可取60°SiC倾斜光栅(侧壁与底面夹角)45°-90°，典型值可取60°Pitch/光栅周期与光刻前值偏差≤±5%(典型值取250nm，占空比不低于0.5)光栅Height200nm，偏差≤±5%（@倾斜角度偏差60°≤±3°，光栅CD100nm，周期250nm)光栅CD100nm，偏差≤±5%（@倾斜角偏差60°≤±3°，高度200nm，周期250nm）光栅转角半径（R值）≤20nm侧壁平行度≤±5°（@倾斜角60°）Footing≤20%（占比典型光栅高度：100nm，200nm）（2）保险要求卖方对本合同下提供的货物应对其在制造、购置、运输、存放及交货过程中的丢失或损坏进行全面保险,还应对其在项目现场进行技术服务的人员进行必要的保险。十、★要求机台为全新设备，不接受二手翻新机。
投标 / 标书制作要点（原创）
本反应离子束刻蚀机涉及「招标公告」，投标方需重点关注：① 营业执照经营范围须含招标公告或对应服务类目；② 提供同类项目业绩证明；③ 报价方案与售后响应须明确；④ 紧盯投标截止与开标节点，建议提前完成标书制作与盖章。当地项目常要求本地化服务能力与快速响应，务必在投标文件中凸显。
标书制作联系冯经理：17551026086
