低压电子束曝光招标公告（2025）
zycgr24041501低压电子束曝光采购项目公开招标公告
项目概况
zycgr24041501低压电子束曝光采购项目 招标项目的潜在投标人应在http://www.oitccas.com/；北京市海淀区丹棱街1号互联网金融中心20层获取招标文件，并于2025年09月25日 09点30分（北京时间）前递交投标文件。
一、项目基本情况
项目编号：OITC-G250611212
项目名称：zycgr24041501低压电子束曝光采购项目
预算金额：1370.000000 万元（人民币）
最高限价（如有）：1370.000000 万元（人民币）
采购需求：
1、采购项目的名称、数量：
包号
货物名称
数量
用途
是否允许采购进口产品
采购 预算 (万元)
1
低压电子束曝光
1套
系统能够对各种材质的导电和不导电样品、磁性样品、不同尺寸和形状的样品表面微观结构进行高分辨观察。配置图形发生器附件可以实现在样品表面曝光纳米复杂图形和微观结构的功能。
是
1370
注：投标人可对其中一个包或多个包进行投标，须以包为单位对包中全部内容进行投标，不得拆分、转包、分包，评标、授标以包为单位。具体技术要求详见招标公告所附附件（即，本招标文件第五章）。
2、技术要求详见公告附件。
合同履行期限：签订合同后12个月内
本项目(不接受 )联合体投标。
二、申请人的资格要求：
1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；
2.落实政府采购政策需满足的资格要求：
本项目不属于专门面向中小微企业、监狱企业、残疾人福利性单位采购的项目。
3.本项目的特定资格要求：1） 投标人须符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条的规定；(具体为供应商参加政府采购活动应当具备下列条件：（一）具有独立承担民事责任的能力；（二）具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度；（三）具有履行合同所必需的设备和专业技术能力；（四）有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录；（五）参加政府采购活动前三年内，在经营活动中没有重大违法记录；（六）法律、行政法规规定的其他条件。)2） 投标人须在中华人民共和国境内合法注册、有法人资格并符合工商局或相关行业主管部门核准的经营范围或经营许可(进口产品投标必须委托国内代理商投标)；3） 代理商投标必须有制造厂家授权（仅针对允许采购进口产品并且是进口产品投标的产品）；4） 投标人按照招标公告要求购买了招标文件；5） 投标人不得为招标人或招标代理机构的附属或相关机构；6） 投标人不得为列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单的供应商。7） 为本项目提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商，不得参加本项目投标；8） 投标单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得参加同一合同项下的政府采购活动；9） 本项目不接受联合体投标。
三、获取招标文件
时间：2025年09月04日 至2025年09月11日，每天上午9:00至11:00，下午13:00至17:00。（北京时间，法定节假日除外）
地点：http://www.oitccas.com/；北京市海淀区丹棱街1号互联网金融中心20层
方式：登录“东方招标”平台http://www.oitccas.com/注册并购买。
售价：￥600.0 元，本公告包含的招标文件售价总和
四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点
提交投标文件截止时间：2025年09月25日 09点30分（北京时间）
开标时间：2025年09月25日 09点30分（北京时间）
地点：全季苏州独墅湖生态公园酒店一层会议室（江苏省苏州市吴中经济开发区郭巷街道独墅湾雅苑149幢）（本项目不接受邮寄）
五、公告期限
自本公告发布之日起5个工作日。
六、其他补充事宜
1、投标文件递交地点：全季苏州独墅湖生态公园酒店一层会议室（江苏省苏州市吴中经济开发区郭巷街道独墅湾雅苑149幢）（本项目不接受邮寄）
2、招标文件采用网上电子发售购买方式：
1）登陆“东方招标”平台（http://www.oitccas.com/），点击“获取采购文件”链接图标，或直接输入访问地址（http://www.oitccas.com/pages/sign_in.html?page=mine）完成投标人注册手续（免费），然后登陆系统寻找有意向参与的项目，已注册的投标人无需重新注册。招标文件售价：每包人民币600 元。如决定购买招标文件，请完成标书款缴费及标书下载手续。
2）投标人可以电汇的形式支付款、保证金（应以公司名义汇款至下述指定账号）。
开户名称：东方国际招标有限责任公司
开户行：招商银行北京西三环支行
账 号：862081657710001
3）投标人应在“东方招标平台”上填写开票信息。在投标人足额缴纳标书款后，标书款电子发票将发送至投标人在“东方招标平台”上登记的电子邮箱，投标人自行下载打印。
3、以电汇方式购买招标文件和递交投标保证金的，须在电汇凭据附言栏中写明招标编号、包号及用途（如未标明招标编号，有可能导致投标无效）。
4、采购项目需要落实的政府采购政策：
（1）政府采购促进中小企业发展
（2）政府采购支持监狱企业发展
（3）政府采购促进残疾人就业
（4）政府采购鼓励采购节能环保产品
七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。
1.采购人信息
名 称：zycgr24041501
地址：江苏省苏州市
联系方式：杨工；0512-65187783
2.采购代理机构信息
名 称：东方国际招标有限责任公司
地 址：北京市海淀区丹棱街1号互联网金融中心20层
联系方式：李雯、王军、郭宇涵、余睿； 010-68290530；010-68290508
3.项目联系方式
项目联系人：李雯、王军、郭宇涵、余睿
电 话： 010-68290530；010-68290508
公告概要：
公告信息：
采购项目名称
zycgr24041501低压电子束曝光采购项目
品目
货物/设备/仪器仪表/其他仪器仪表
采购单位
zycgr24041501
行政区域
苏州市
公告时间
2025年09月04日 13:23
获取招标文件时间
2025年09月04日至2025年09月11日每日上午:9:00 至 11:00下午:13:00 至 17:00（北京时间，法定节假日除外）
招标文件售价
￥600
获取招标文件的地点
http://www.oitccas.com/；北京市海淀区丹棱街1号互联网金融中心20层
开标时间
2025年09月25日 09:30
开标地点
全季苏州独墅湖生态公园酒店一层会议室（江苏省苏州市吴中经济开发区郭巷街道独墅湾雅苑149幢）（本项目不接受邮寄）
预算金额
￥1370.000000万元（人民币）
联系人及联系方式：
项目联系人
李雯、王军、郭宇涵、余睿
项目联系电话
010-68290530；010-68290508
采购单位
zycgr24041501
采购单位地址
江苏省苏州市
采购单位联系方式
杨工；0512-65187783
代理机构名称
东方国际招标有限责任公司
代理机构地址
北京市海淀区丹棱街1号互联网金融中心20层
代理机构联系方式
李雯、王军、郭宇涵、余睿； 010-68290530；010-68290508
附件：
附件1
采购需求-低压电子束曝光.pdf
技术要求一.货物需求一览表包号货物名称数量用途是否允许采购进口产品采购预算(万元)1低压电子束曝光1套系统能够对各种材质的导电和不导电样品、磁性样品、不同尺寸和形状的样品表面微观结构进行高分辨观察。配置图形发生器附件可以实现在样品表面曝光纳米复杂图形和微观结构的功能。是1370注：投标人可对其中一个包或多个包进行投标，须以包为单位对包中全部内容进行投标，不得拆分、转包、分包，评标、授标以包为单位。具体技术要求详见招标公告所附附件（即，本招标文件第五章）。二、具体要求：1.1投标人在准备投标书时，务必在所提供的商品的技术规格文件中，标明型号、商标名称、目录号。1.2投标人提供的货物须是成熟的全新的产品，其技术规格应符合采购文件的要求。如与采购文件的技术规格有偏差，应提供技术规格偏差的量值或说明（偏离表）。如投标人有意隐瞒对规格要求的偏差或在开标后提出新的偏差，买方有权扣留其投标保证金或/并拒绝其投标。1.3投标人提供的产品样本，必须是“原件”而非复印件，图表、简图、电路图以及印刷电路板图等都应清晰易读。买方有权不付任何附加费用复制这些资料以供参考。2、本技术规格书中标注“★”号的为关键技术参数，对这些关键技术参数的任何负偏离将导致废标。3、如在具体技术规格中有本总则不一致之处，以具体技术规格中的要求为准。三、采购需求一）硬件指标1.▲采用肖特基热场发射电子束源，加速电压不低于50kV。2.束电流范围为~300pA到40nA。3.▲图像发生器扫描频率为50MHz，不低于20bit分辨率。4.设备最大写场不小于500µm。5.设备可实现自动聚焦、象散、写场畸变等校准功能；实现自动套刻对准操作。6.配备激光干涉工作台，XY方向运动行程不小于150mm×150mm。激光干涉仪测量分辨率不大于1nm。7.通过精密控制样品台连续运动，实现无写场拼接曝光模式，适合于长线条及周期性结构的曝光8.设备配备自动高度传感器，实现样品表面高度的自动探测和聚焦。9.设备配备二次电子探测器，可实现对准标记识别、电子束成像的功能。10.配备一个通用样品架，可承载散片或4英寸及以下的样片。11.▲配备温度屏蔽罩，实验室温度波动小于±2℃（短时间波动小于±0.5℃/h）的情况下设备可长时间稳定运行二）软件指标1.▲系统软件基于Windows操作系统，采用界面友好界面，多用户管理的模式，设计人性化，操作简单。无需格式转换，系统即可接受GDSII格式。2.电子束扫描方式多种多样，如矢量扫描模式、单像素点/线扫描模式、无需对圆或环进行分割的圆形扫描模式等，用户可根据实际需要灵活选择。3.配备专业的邻近效应修正软件,用于修正电子束曝光过程中的邻近效应。三）曝光性能指标1.设备稳定性束流稳定性:束位置稳定性:<250nm/8h。2.分辨率验收指标:最小线宽验收≤50nm;3.光栅高速曝光1cm2光栅，200nm线宽，400nm周期，曝光速度≤120min3.▲拼接精度:500μm写场WF下，≤50nm(mean+3sigma)4.▲套刻精度:500μm写场WF下，≤40nm(mean+3sigma)5.自动高度探测：高度探测重复性≤1um四)★产品配置要求（需提供应答承诺）投标产品应配置必要的硬、软件。投标产品不低于以下配置：1.热场发射电子束源1套；2.二次电子探测器1套3.图形发生器1套；4.激光干涉工作台1套5.电子束曝光机1套6.不间断稳压电源1套，整机运行续航时间≥20分钟；五)★采购标的需执行的国家相关标准、行业标准、地方标准或者其他标准、规范：《SEMIS2半导体制程设备安全准则》（本条在投标文件中应提供应答承诺，不用提供彩页等证明资料）六）质保及售后服务：★1、设备安装调试的时间：供应商须确保在到货后120天时间内，保质保量完成所提供全部设备的安装、调试及投入运行。卖方负责设备在买方现场的安装、调试、检验等工作，在设备到达安装现场前卖方需提供详细的安装、调试、培训计划；卖方自带专用工/量具等；供方到设备安装地点负责设备的安装、调试工作。需方负责提供叉车、吊车等必要的装卸工具。（本条在投标文件中应提供应答承诺，不用提供彩页等证明资料）2、技术培训：中标供应商须安排工程师对用户现场培训，培训地点为用户指定地点，内容包括仪器的技术原理、操作、数据处理、基本维护等，培训时间不小于5天，以用户熟练操作为准，涉及其他费用由中标供应商承担。★3、质保期：提供原厂质保，不低于设备主机验收合格后三年（自仪器验收合格，双方签字之日起计算，但不超过到货后39个月（除非卖方对延迟验收负责），质保期内由于设备质量或安装调试等原因造成的维修所产生的全部费用（包括但不限于：零部件更换、人工费用、软件升级服务等）由中标供应商承担，质保期过后，能终身提供广泛优惠的技术支持和配件供应。（本条在投标文件中应提供原厂盖章应答承诺，不用提供彩页等证明资料）4、售后服务、维修响应要求：制定售后服务方案，包括不限于厂商在中国国内设有办事处，直接提供5x8小时的技术支持服务，技术支持和售后服务。接到用户通知后48小时内响应，远程给出诊断和指导维护方案，若未解决5个工作日内到达现场进行服务。一般问题应在2周内解决，重大问题或其他无法迅速解决的问题应在4周内提出解决方案。5、要求卖方提供的其它技术服务内容（如软、硬件升级要求等）无。（五）★目的港：苏州客户指定地点。（六）★交货日期：签订合同后12个月内；（七）产品需执行的相关标准产品应满足相关国家标准及行业标准。除非技术规格中另有规定，计量单位均采用中华人民共和国法定计量单位。（八）供应商特殊资质要求无（九）包装和运输要求必须使用崭新的坚固的木箱或纸箱包装货物，以便适于长距离的海运或空运、内陆运输和气候的变化，该包装应当能够保护货物耐粗暴搬运、防湿、防潮、防震、防锈、防冻。由于包装不良所发生的损失及由于采用不充分或不妥善的保护措施而造成的任何货损，卖方应负担由此产生的一切费用和损坏。★（十）付款方式（特殊需求请在招标采购要求文件第二条第十款：其他特殊要求中单列）进口货物：合同签订后电汇预付款不超过30%合同金额（供应商提供有效期不低于货期的等额预付款保函正本后支付）；剩余合同金额发货前3个月开立不可撤销即期信用证，余10%见验收合格证明议付，其他凭发货单据议付。国产货物：设备完成后，由买方负责预验收（到厂家现场），预验收后支付30%，买方在卖方将全部货物发到项目现场后，双方开箱核对设备数量、型号无误并加电开机正常后，同时收到卖方提供的等额增值税专用发票后，支付合同总金额的60%给卖方。在整个采购货物包验收合格后并收到卖方提供的等额增值税专用发票后，买方支付合同总金额的10%给卖方。（十一）验收标准、保险要求等（本条投标文件中应提供承诺，不用提供彩页证明资料）1.验收标准。供应商须确保所提供的产品为全新的产品，仪器设备运抵安装现场后，双方共同开箱验收,如卖方届时不派人来，则验收结果应以买方或买方授权的外贸代理机构的验收报告为最终验收结果。验收时发现短缺、破损等,买方有权要求卖方负责在1个月内完成更换。验收标准以中标人提供的投标文件中所列的指标为准（该指标应不低于招标文件所要求的指标）。任何虚假指标响应一经发现即作废标，卖方必须承担由此给买方带来的一切经济损失和其它相关责任。部分无法现场验收的指标中标人需提供出厂测试报告或者证明文件。2.保险要求卖方对本合同下提供的货物应对其在制造、购置、运输、存放及交货过程中的丢失或损坏进行全面保险,还应对其在项目现场进行技术服务的人员进行必要的保险。★（十二）如果发生出口禁运导致采购人不能正常获得中标产品，中标方将在接到采购人书面要求后无条件返还采购人已经支付的全部款项。
投标 / 标书制作要点（原创）
本低压电子束曝光涉及「招标公告」，投标方需重点关注：① 营业执照经营范围须含招标公告或对应服务类目；② 提供同类项目业绩证明；③ 报价方案与售后响应须明确；④ 紧盯投标截止与开标节点，建议提前完成标书制作与盖章。当地项目常要求本地化服务能力与快速响应，务必在投标文件中凸显。
标书制作联系冯经理：17551026086
