真空电动调节台系统 真空系统招标公告（中国科学院西安光学精密机械研究所2025）
中国科学院西安光学精密机械研究所基于晶体衍射的高准直、大光斑X射线地面标定系统公开招标公告
项目概况
基于晶体衍射的高准直、大光斑X射线地面标定系统 招标项目的潜在投标人应在陕西省西安市高新区锦业路2号境商未来中心12111号获取招标文件，并于2026年01月05日 09点00分（北京时间）前递交投标文件。
一、项目基本情况
项目编号：MY-25JS055
项目名称：基于晶体衍射的高准直、大光斑X射线地面标定系统
预算金额：223.000000 万元（人民币）
最高限价（如有）：223.000000 万元（人民币）
采购需求：
包号
项目编号
标的名称
采购包预算金额 （万元）
数量
简要技术需求或服务要求
是否允许采购进口产品
01
MY-25JS055/01
真空电动调节台系统
48
1台
真空电动调节台系统包括对称切割晶体高精密位移台、对称切割晶体高精度旋转台和非对称切割晶体高精密调节台，通过组合使用，使系统满足指标要求。（具体技术需求详见第五章采购需求）
否
02
MY-25JS055/02
真空系统
119
1台
真空系统包括真空获得泵组、光源端真空腔体、测试端真空腔体和真空测量系统。（具体技术需求详见第五章采购需求）
否
03
MY-25JS055/03
X射线产生与准直系统
56
1套
X射线产生与准直系统包括微焦斑X射线光源、高分辨抛物面准直反射镜、CCC对称切割晶体对和非对称切割晶体。（具体技术需求详见第五章采购需求）
否
合同履行期限：自合同签订之日起，至各项权利义务履行完毕止。标包1交货期：签订合同后5个月内交货。标包2交货期：签订合同后5个月内交货。标包3交货期：签订合同后6个月内交货。
本项目(不接受 )联合体投标。
二、申请人的资格要求：
1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；
2.落实政府采购政策需满足的资格要求：
2.1 中小企业政策
本项目不专门面向中小企业预留采购份额。
2.2 其它落实政府采购政策的资格要求：
/
3.本项目的特定资格要求：3.1应具有独立承担民事责任能力的在中华人民共和国境内注册的法人或其他组织，具备有效的营业执照（或事业法人登记证等相关证明），具备履行本项目的合同能力3.2供应商不得为“信用中国”网站（www.creditchina.gov.cn）中列入失信被执行人和重大税收违法失信主体的供应商，不得为中国政府采购网（www.ccgp.gov.cn）政府采购严重违法失信行为记录名单中被财政部门禁止参加政府采购活动的供应商；（以现场查询为准）3.3单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得参加同一合同包下的政府采购活动；3.4本项目不接受联合体投标。3.5法律规定的其他要求
三、获取招标文件
时间：2025年12月10日 至2025年12月17日，每天上午9:00至14:00，下午14:00至18:00。（北京时间，法定节假日除外）
地点：陕西省西安市高新区锦业路2号境商未来中心12111号
方式：（1）现场购买：有兴趣的供应商可于2025年12月10日至 2025年12月17日每天上午9：00-12:00，下午14:00-18:00(北京时间)在陕西铭源项目管理有限公司（陕西省西安市高新区锦业路2号境商未来中心12111号）查询和购买招标文件。如现场购买请与我公司工作人员提前联系时间。 （2）邮件获取：凡有意本项目的供应商，请于2025年12月10日18时00分至2025年12月17日18时00分，将投标人名称、项目标的名称、联系人、联系方式、转账凭证及开票信息发送至libing@mingyuan.email，同时将标书费转至以下账户： 公司名称：陕西铭源项目管理有限公司 开户银行：恒丰银行西安友谊东路支行 账 号：61050101160100000160 开户行代码：315791016013 用途或摘要栏填写：（项目标的名称或项目包号）标书款。 （3）招标文件每套售价800元，售后不退（注：每标包文件800元）。
售价：￥800.0 元，本公告包含的招标文件售价总和
四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点
提交投标文件截止时间：2026年01月05日 09点00分（北京时间）
开标时间：2026年01月05日 09点00分（北京时间）
地点：陕西省西安市雁塔区锦业路2号境商未来中心八楼会客厅02
五、公告期限
自本公告发布之日起5个工作日。
六、其他补充事宜
1.本项目需要落实的政府采购政策：
（1）《关于调整优化节能产品、环境标志产品政府采购执行机制的通知》（财库〔2019〕9号）；
（2）《关于开展政府采购信用担保试点工作的通知》（财库【2011】124号）；
（3）关于印发《政府采购促进中小企业发展管理办法》的通知（财库【2020】46号）；
（4）《财政部、司法部关于政府采购支持监狱企业发展有关问题的通知》（财库【2014】68号）；
（5）《财政部、民政部、中国残疾人联合会关于促进残疾人就业政府采购政策的通知》（财库〔2017〕141号）。
七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。
1.采购人信息
名 称：中国科学院西安光学精密机械研究所
地址：陕西省西安市高新区新型工业园信息大道17号
联系方式：029-88880958
2.采购代理机构信息
名 称：陕西铭源项目管理有限公司
地 址：陕西省西安市高新区锦业路2号境商未来中心12111号
联系方式：李冰 029-85723384
3.项目联系方式
项目联系人：李冰
电 话： 029-85723384
公告概要：
公告信息：
采购项目名称
基于晶体衍射的高准直、大光斑X射线地面标定系统
品目
货物/设备/信息化设备/其他信息化设备
采购单位
中国科学院西安光学精密机械研究所
行政区域
西安市
公告时间
2025年12月10日 15:38
获取招标文件时间
2025年12月10日至2025年12月17日每日上午:9:00 至 14:00下午:14:00 至 18:00（北京时间，法定节假日除外）
招标文件售价
￥800
获取招标文件的地点
陕西省西安市高新区锦业路2号境商未来中心12111号
开标时间
2026年01月05日 09:00
开标地点
陕西省西安市雁塔区锦业路2号境商未来中心八楼会客厅02
预算金额
￥223.000000万元（人民币）
联系人及联系方式：
项目联系人
李冰
项目联系电话
029-85723384
采购单位
中国科学院西安光学精密机械研究所
采购单位地址
陕西省西安市高新区新型工业园信息大道17号
采购单位联系方式
029-88880958
代理机构名称
陕西铭源项目管理有限公司
代理机构地址
陕西省西安市高新区锦业路2号境商未来中心12111号
代理机构联系方式
李冰 029-85723384
附件：
附件1
标包1附件-抛物面镜尺寸、晶体尺寸及工装高度.zip
附件2
采购需求-标包1-真空电动调节台系统.docx
附件3
采购需求-标包2-真空系统.docx
附件4
采购需求-标包3-X射线产生与准直系统.docx
第五章采购需求一、功能用途真空系统包括真空获得泵组、光源端真空腔体、测试端真空腔体和真空测量系统。真空获得泵组用于为X射线传输、检测等提供真空环境。光源端真空腔体用于为X射线产生、传输等提供测试空间。测试端真空腔体用于为X射线传输、检测等提供真空环境。真空测量系统用于对整个真空系统进行分段测量控制。真空系统几何尺寸应满足不遮挡X射线传输路径，真空度应满足不会对X射线造成吸收和衰减。二、配置及组成（硬件、软件、配件、备件、工具等要求）（1）真空获得泵组配备涡旋泵、分子泵、螺杆泵及罗茨泵。（2）光源端真空腔体内部尺寸为1540mm（长）×840mm（宽）×980mm（高），壁厚为10mm，容积>300L。材质采用304L不锈钢，表面电解抛光加工工艺，内表面粗糙度Ra优于1.6μm（目标0.8μm）。（3）测试端真空腔体内部尺寸为Φ1.5m（直径）×1.5m（高），壁厚为10mm，容积>500L。材质采用304L不锈钢，表面电解抛光加工工艺，内表面粗糙度Ra优于1.6μm（目标0.8μm）。（4）真空测量系统包括电容式真空计和残余气体分析仪（RGA）。三、技术指标（包括总体指标、各部分的指标要求）真空获得泵组：1、★涡旋泵：抽速≥10L/s；2、★分子泵：抽速≥1500L/s；3、★螺杆泵：抽速≥90m3/h；4、★罗茨泵：抽速≥2160m3/h；5、★整个真空系统（包括腔体和管道）的抽气时间小于或等于4小时，即在4小时内达到1.3×10-3Pa及以下；6、真空机组距离真空腔体3m及以上，通过波纹管连接，并进行隔振处理。光源端真空腔体：1、★腔体内部尺寸：1540mm（长）×840mm（宽）×980mm（高），壁厚：10mm，容积>300L；2、★内表面粗糙度Ra：优于1.6μm（目标0.8μm）；3、1）内部包含1500mm（长）×800mm（宽）×50mm（高）不锈钢面包板；1）腔体左侧面预留Φ400mmCF法兰接口，圆心距离腔体底部540mm、距离腔体背面420mm；2）腔体背面预留Φ300mmCF法兰接口，圆心距离腔体底部740mm、距离腔体左侧面300mm；3）腔体右侧面预留Φ400mmCF法兰接口，圆心距离腔体底部740mm、距离腔体背面420mm；4）包含内径Φ400mm、长度4599mm管道，管道左端安装插板阀，与腔体右侧面预留Φ400mmCF法兰接口相接，管道右端预留Φ400mmCF法兰接口；5）腔体顶部预留Φ300mmCF法兰接口，圆心距离腔体左侧面300mm、距离腔体背面420mm；6）包含内径Φ300mm、长度500mm管道，管道下端安装插板阀，与腔体顶部预留Φ300mmCF法兰接口相接；7）★腔体顶部预留Φ250mmISO-KF法兰接口，圆心距离腔体左侧面700mm、距离腔体背面225mm，法兰盘上预留10个DB15真空连接器；（本条只有法兰接口为星号项）8）★腔体顶部预留Φ250mmISO-KF法兰接口，圆心距离腔体左侧面1000mm、距离腔体背面225mm，法兰盘上预留10个DB15真空连接器；（本条只有法兰接口为星号项）9）腔体正面留门可整面打开，左开门，水平方向预留2个Φ200mm铅玻璃观察窗，厚度为10mm，圆心距离为500mm；10）腔体底部距离地面300mm；11）所有尺寸误差≤±1mm；13）真空腔体及管道支撑结构采用不锈钢材料，承重需大于50kg（不算自身重量），满足真空腔体及管道不振动；14）对腔体及管道进行无损检测，并出具无损检测测试报告；15）具体结构如下图：腔体内部光学器件测试端真空腔体：1、★腔体内部尺寸：Φ1.5m（直径）×1.5m（高），壁厚：10mm，容积>500L；2、★内表面粗糙度Ra：优于1.6μm（目标0.8μm）；3、1）内部包含800mm（长）×600mm（宽）×50mm（高）不锈钢面包板、800mm（长）×200mm（宽）×50mm（高）不锈钢面包板；2）腔体底部预留Φ300mmCF法兰接口，圆心距离腔体底部中心170mm，与内径Φ300mm、长度500mm管道相接；3）腔体顶部预留Φ400mmCF法兰接口，圆心距离腔体顶部中心70mm（该圆心与第2）点中法兰接口圆心位于腔体同一半径上）；4）包含内径Φ400mm、长度1600mm管道，管道下端安装插板阀，与腔体顶部预留Φ400mmCF法兰接口相接，管道上端预留Φ400mmCF法兰接口；5）★腔体右侧预留Φ200mmISO-KF法兰接口，圆心距离腔体底部200mm，法兰盘上预留4个DB15真空连接器；（本条只有法兰接口为星号项）6）腔体正面留门尺寸为1300mm×1300mm，左开门，中心预留1个Φ200mm铅玻璃观察窗，厚度为10mm；7）所有尺寸误差≤±1mm；8）真空腔体及管道支撑结构采用不锈钢材料，承重需大于300kg（不算自身重量），满足真空腔体及管道不振动；9）腔体正面留2m（长）×2m（宽）×4m（高）空间用于向腔体内放置样品，不与支撑结构干涉；10）★腔体内部配备六轴精密机械位移台；11）六轴精密机械位移台需满足：沿X轴位移行程≥±30mm、沿Y轴位移行程≥±30mm、沿Z轴位移行程≥±15mm、最小位移≤1μm、位移单项重复精度≤0.5μm，绕X轴旋转行程≥±10°、绕Y轴旋转行程≥±10°、绕Z轴旋转行程≥±20°、旋转单项重复精度≤3μrad，水平负载≥10kg，带控制器及控制软件；12）对腔体及管道进行无损检测，并出具无损检测测试报告；13）具体结构如下图：腔体内部光学器件真空测量系统：1、★电容式真空计：测试光源端真空腔体及测试端真空腔体内部真空度，量程为10-6-1000mbar，精度为±1%；2、★残余气体分析仪（RGA）：监控气体成分（H2O、CO2分压3、真空测量系统与真空控制系统集成，方便远端观察与控制。四、环境要求1.安装场地：洁净间；2.安装时对温度、湿度、洁净、电源、水源、气源等的要求：温度范围为20~30℃，湿度范围为40%-60%，洁净度要求优于十万级，电源380VAC、电源负荷20kW。五、质量要求（质量控制要求、质量标准要求）设备设计、制造、检测应符合最新ISO国际标准或相关国家及企业标准，质量要求满足技术指标。六、文件要求（研制过程文件、随机文件资料等要求）详细设计、研制过程文件、使用说明书、合格证、出厂检测报告、装箱单、测量设备须提供第三方检测报告等。七、服务要求1.运输、安装、调试的要求：乙方提供设备从原厂到甲方指定地点的所有运保费，确保运输过程中设备的完好性。到货后，乙方负责安装、调试并就设备的日常运行和维护进行详细讲解。2.培训的要求：乙方负责对甲方使用人员就仪器的安装、调试、使用、维护等做现场培训，至少免费培训2名操作维护人员。3.售后服务的要求：在质保期内设备损坏，乙方应在接到通知后24小时内响应，48小时内人员到位，并负责免费维修(非人为因素、非不可抗拒因素引起的损坏)至正常；同时，如果属于一般故障，投标人保证在到达招标人现场之后的24小时内恢复设备正常运行；如果需要更换笨重设备或部件，则在4日内完成。交付验收后，质保期2年，质保期内定期对设备进行关键重要部件的工作性能检查（质保期内免费服务）；质保期内每年至少提供一次全面的设备清洁和检查，按照零部件使用情况进行保养或更换，质保期后继续提供有偿售后服务。八、交货期、交货地点签订合同后5个月内交货，交货地点：中国科学院西安光学精密机械研究所指定地点。九、验收（如何验收、验收标准、程序验收等）采用标准流量计和真空计测试真空获得泵组的抽速，涡旋泵：抽速≥10L/s，分子泵：抽速≥1500L/s，螺杆泵：抽速≥90m3/h，罗茨泵：抽速≥2160m3/h。采用卷尺测量光源端真空腔体的尺寸：1540mm（长）×840mm（宽）×980mm（高）。采用卷尺测量测试端真空腔体的尺寸：Φ1.5m（直径）×1.5m（高）。采用轮廓仪测试腔体的内表面粗糙度Ra：优于1.6μm（目标0.8μm）。采用标准真空计在不同真空度下对比测试真空测量系统中电容式真空计的量程：10-6-1000mbar，精度±1%。采用已知浓度混合气体测试残余气体分析仪（RGA）可监控气体成分及气体分压检测能力。测试整个真空系统（包括腔体和管道）的抽气时间：小于或等于4小时，即在4小时内达到1.3×10-3Pa及以下。备注：以上供货要求中所涉及到的品牌均为参考品牌，非指定性要求，投标人可自主选用质量相当的其他品牌产品进行投标。第五章采购需求一、功能用途真空电动调节台系统包括对称切割晶体高精密位移台、对称切割晶体高精度旋转台和非对称切割晶体高精密调节台，通过组合使用，可分别调节CCC对称切割晶体对、非对称切割晶体和探测器等核心部件的位置和旋转角度，使X射线源发射X射线经过多个光学器件后到达探测器。通过位置和旋转角度扫描优化，使系统X射线束的发散度和光子流量满足指标要求。二、配置及组成（硬件、软件、配件、备件、工具等要求）真空电动调节台系统包括：1）对称切割晶体高精密位移台、2）对称切割晶体高精度旋转台-第一调节台、3）对称切割晶体高精度旋转台-第二调节台、4）非对称切割晶体高精密调节台-第一调节台、5）非对称切割晶体高精密调节台-第二调节台及配套机械结构、控制器、真空线缆、控制软件。1）对称切割晶体高精密位移台外包络尺寸小于550mm（X轴方向）×120mm（Y轴方向）×300mm（Z轴方向）。2）对称切割晶体高精度旋转台-第一调节台外包络尺寸小于200mm（X轴方向）×400mm（Y轴方向）×300mm（Z轴方向）。3）对称切割晶体高精度旋转台-第二调节台外包络尺寸小于200mm（X轴方向）×400mm（Y轴方向）×300mm（Z轴方向）。4）非对称切割晶体高精密调节台-第一调节台外包络尺寸小于200mm（X轴方向）×250mm（Y轴方向）×300mm（Z轴方向）。5）非对称切割晶体高精密调节台-第二调节台外包络尺寸小于200mm（X轴方向）×400mm（Y轴方向）×300mm（Z轴方向）。三、技术指标（包括总体指标、各部分的指标要求）总体指标需满足：1）系统满足平移、升降、角度调节功能，且互不干涉。2）系统为电控，上位机软件控制。3）需在真空度≤1.3×10-3Pa下正常工作，无卡顿。分项指标要求：1）对称切割晶体高精密位移台：2个自由度（沿X轴、沿Z轴）位移调节，沿X轴方向行程≥200mm，沿Z轴方向行程≥100mm，定位精度≤0.01mm，重复定位精度≤0.001mm，★分辨率≤1μm。承重≥5kg。（本条只有分辨率为星号项）2）对称切割晶体高精度旋转台-第一调节台：2个自由度（沿X轴、沿Z轴）位移调节，行程≥50mm，定位精度≤0.01mm，重复定位精度≤0.001mm，★分辨率≤1μm；1个自由度（绕X轴）旋转角度调节，行程≥±10°，★调节精度≤0.001°，重复定位精度≤0.001°（在行程范围内），★分辨率≤5arcsec。承重≥2kg。（本条只有分辨率、调节精度为星号项）3）对称切割晶体高精度旋转台-第二调节台：2个自由度（沿X轴、沿Z轴）位移调节，行程≥50mm，定位精度≤0.01mm，重复定位精度≤0.001mm，★分辨率≤1μm；1个自由度（绕X轴）旋转角度调节，行程≥±10°，★调节精度≤0.001°，重复定位精度≤0.001°（在行程范围内），★分辨率≤5arcsec。承重≥2kg。（本条只有分辨率、调节精度为星号项）4）非对称切割晶体高精密调节台-第一调节台：3个自由度（沿X轴、沿Y轴、沿Z轴）位移调节，行程≥50mm，定位精度≤0.01mm，重复定位精度≤0.001mm，★分辨率≤1μm；2个自由度（绕X轴、绕Z轴）旋转角度调节，行程≥±10°，★调节精度≤0.001°，重复定位精度≤0.001°（在行程范围内），★分辨率≤5arcsec。承重≥5kg。（本条只有分辨率和调节精度为星号项）5）非对称切割晶体高精密调节台-第二调节台：2个自由度（沿X轴、沿Z轴）位移调节，行程≥50mm，定位精度≤0.01mm，重复定位精度≤0.001mm，★分辨率≤1μm；1个自由度（绕X轴）旋转角度调节，行程≥±10°，★调节精度≤0.001°，重复定位精度≤0.001°（在行程范围内），★分辨率≤5arcsec。承重≥4kg。（本条只有分辨率和调节精度为星号项）6）★根据抛物面镜尺寸、晶体尺寸及工装高度，确定相应调节台高度，确保抛物面镜表面中心、晶体表面中心高度相同，为433mm，误差不超过5mm（抛物面镜尺寸、晶体尺寸及工装高度见附件）。7）★根据抛物面镜尺寸、晶体尺寸及工装高度，确定相应调节台旋转半径及旋转中心位置，确保镜片表面中心、晶体表面中心与系统角度旋转中心重合，误差不超过1mm（抛物面镜尺寸、晶体尺寸及工装高度见附件）。8）根据三维图加工相应的抛物面镜工装及晶体工装，材料为铝合金，表面真空处理（抛物面镜工装及晶体工装尺寸见附件）；9）采用伺服电机，含闭环反馈，断电自动锁死，上电不移动，工作过程中抖动不超过调节精度。10）需满足位移及旋转调节台坐标系：X轴和Y轴方向为水平面方向，Z轴方向为竖直向上。11）真空线缆为标准15针，匹配DB15真空连接器。真空腔室内部线缆长度为2m，真空腔室外部线缆长度为5m。12）真空电动调节台材料为铝合金，表面真空处理。13）真空电动调节台顶部预留3×3个M6螺纹孔，间距为25mm，深度为10mm。14）控制软件可实现调节台按指定步长、时间间隔进行扫描运动，且兼容win10、win11电脑操作系统。四、环境要求1.安装场地：真空腔室，真空度≤1.3×10-3Pa；2.安装时对温度、湿度、洁净、电源、水源、气源等的要求：温度范围为20~30℃，湿度范围为40%-60%，洁净度要求优于十万级，电源220VAC、电源负荷2kW。五、质量要求（质量控制要求、质量标准要求）设备设计、制造、检测应符合最新ISO国际标准或相关国家及企业标准，质量要求满足技术指标。六、文件要求（研制过程文件、随机文件资料等要求）详细设计、研制过程文件、使用说明书、合格证、出厂检测报告、装箱单、测量设备须提供第三方检测报告等。七、服务要求1.运输、安装、调试的要求：乙方提供设备从原厂到甲方指定地点的所有运保费，确保运输过程中设备的完好性。到货后，乙方负责安装、调试并就设备的日常运行和维护进行详细讲解。2.培训的要求：乙方负责对甲方使用人员就仪器的安装、调试、使用、维护等做现场培训，至少免费培训2名操作维护人员。3.售后服务的要求：在质保期内设备损坏,乙方应在接到通知后2小时内电话响应，24小时内人员到位，并负责免费维修(非人为因素、非不可抗拒因素引起的损坏)至正常。质保期2年，质保期后继续提供有偿售后服务。八、交货期、交货地点签订合同后5个月内交货，交货地点：中国科学院西安光学精密机械研究所指定地点。九、验收（如何验收、验收标准、程序验收等）采用游标卡尺测试调节台的位移行程：50mm、100mm、200mm。采用激光干涉仪测试调节台的位移定位精度：≤0.01mm，重复定位精度：≤0.001mm，分辨率≤1μm。采用激光干涉仪测试调节台的角度调节精度：≤0.001°，重复定位精度：≤0.001°，分辨率≤5arcsec。在真空度≤1.3×10-3Pa环境中可正常工作，包括位移、旋转，多自由度同时调节。十、其他要求无。备注：以上供货要求中所涉及到的品牌均为参考品牌，非指定性要求，投标人可自主选用质量相当的其他品牌产品进行投标。
投标 / 标书制作要点（原创）
本真空电动调节台系统 真空系统涉及「招标公告」，投标方需重点关注：① 营业执照经营范围须含招标公告或对应服务类目；② 提供同类项目业绩证明；③ 报价方案与售后响应须明确；④ 紧盯投标截止与开标节点，建议提前完成标书制作与盖章。当地项目常要求本地化服务能力与快速响应，务必在投标文件中凸显。
标书制作联系冯经理：17551026086
