磁控溅射中标结果公示（微电子学院2023）

[GY202302814]磁控溅射

磁控溅射(GY202302814)自购结果公示

该项目经自行采购程序，允许自购：

供应商：
北京微纳真空技术有限公司

中标金额：
300000

公示开始日期
2023-06-26
公示截止日期
2023-06-27 17:46:59

采购单位
微电子学院
付款方式
预付50%，验收合格后付50%

签约时间要求

到货时间要求

收货地址
山东大学

采购清单
1

采购物品
采购数量
计量单位

多靶磁控溅射镀膜设备
1
台

品牌
北京微纳真空技术有限公司
规格型号
VJC-400

技术参数
1) 真空腔室：Φ400×H450mm； 2) ★真空极限：优于5.0×10-5Pa； 3) ★抽速：抽至10-4Pa≤15min； 4) 基片台：最大可镀4英寸（Φ100mm）1片或者均布其它规格小片；基片台配挡板、旋转，加热（预留水冷）； 5) 磁控靶及电源：3只3inch圆形平面靶，3台电源，直流1台/射频2台； 6) 辅助溅射：可选配负偏压电源（预留）； 7) 气路系统：三路气体（Ar/O2/N2）MFC控制，量程范围为0～50SCCM\0～20SCCM \0～20SCCM； 8) 控制方式：PLC手自动控制，触摸屏操作； 9) ★特别定制：掩膜板一块。

售后服务
服务网点:外地;质保期限:3年;响应期限:报修后2小时;

资产与实验室管理部

2023-06-26

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投标 / 标书制作要点（原创）

本磁控溅射涉及「中标结果公示」，投标方需重点关注：① 营业执照经营范围须含中标结果公示或对应服务类目；② 提供同类项目业绩证明；③ 报价方案与售后响应须明确；④ 紧盯投标截止与开标节点，建议提前完成标书制作与盖章。当地项目常要求本地化服务能力与快速响应，务必在投标文件中凸显。

标书制作联系冯经理：17551026086