晶圆级缺陷修复系统中标结果公示（中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所2024）
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所晶圆级缺陷修复系统采购项目中标公告
一、项目编号：OITC-G240660001（招标文件编号：OITC-G240660001）
二、项目名称：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所晶圆级缺陷修复系统采购项目
三、中标（成交）信息
供应商名称：建发（上海）有限公司
供应商地址：中国（上海）自由贸易试验区张杨路620号1201室
中标（成交）金额：988.0000000（万元）
四、主要标的信息
序号
供应商名称
货物名称
货物品牌
货物型号
货物数量
货物单价(元)
1
建发（上海）有限公司
晶圆级缺陷修复系统
ZEISS
CROSSBEAM 550L;QUANTAX 200 WITH XFLASH 760;αL4X-911R1T7
1套
￥9,880,000.00
五、评审专家（单一来源采购人员）名单：
赵宏钧、李淑新、阚小妹、刘红云、莫清华 、程伟、吕伟明
六、代理服务收费标准及金额：
本项目代理费收费标准：（2002）1980
本项目代理费总金额：7.843200 万元（人民币）
七、公告期限
自本公告发布之日起1个工作日。
八、其它补充事宜
本项目采用综合评分法，中标人评审总得分为94.00
九、凡对本次公告内容提出询问，请按以下方式联系。
1.采购人信息
名 称：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
地址：苏州工业园区若水路398号
联系方式：俞老师、赵老师；0512-62872525
2.采购代理机构信息
名 称：东方国际招标有限责任公司
地 址：北京市海淀区丹棱街1号互联网金融中心20层
联系方式：郭宇涵、王军、李雯； 010-68290599， 010-68290530
3.项目联系方式
项目联系人：郭宇涵、王军、李雯
电 话： 010-68290599
公告概要：
公告信息：
采购项目名称
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所晶圆级缺陷修复系统采购项目
品目
货物/设备/仪器仪表/其他仪器仪表
采购单位
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
行政区域
江苏省
公告时间
2024年01月04日 11:42
评审专家名单
赵宏钧、李淑新、阚小妹、刘红云、莫清华 、程伟、吕伟明
总中标金额
￥988.000000 万元（人民币）
联系人及联系方式：
项目联系人
郭宇涵、王军、李雯
项目联系电话
010-68290599
采购单位
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
采购单位地址
苏州工业园区若水路398号
采购单位联系方式
俞老师、赵老师；0512-62872525
代理机构名称
东方国际招标有限责任公司
代理机构地址
北京市海淀区丹棱街1号互联网金融中心20层
代理机构联系方式
郭宇涵、王军、李雯； 010-68290599， 010-68290530
附件：
附件1
发布-0001-晶圆级缺陷修复-.doc
东方招标oiTC中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所晶圆级缺陷修复系统采购项目招标文件第二册（专用册）招标编号：OITC-G240660001东方国际招标有限责任公司中国·北京2023年12月1第五部分投标邀请第五部分投标邀请日期：2023年12月12日项目概况晶圆级缺陷修复系统采购项目招标项目的潜在投标人应在www.oitccas.com；北京市海淀区丹棱街1号互联网金融中心20层获取招标文件，并于2024年1月4日9点30分（北京时间）前递交投标文件。一、项目基本情况项目编号：OITC-G240660001项目名称：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所晶圆级缺陷修复系统采购项目预算金额：1000万元（人民币）最高限价（如有）：1000万元（人民币）采购需求：1、采购项目的名称、数量：投标人可对其中一个包或多个包进行投标，须以包为单位对包中全部内容进行投标，不得拆分，评标、授标以包为单位。包号货物名称数量（套）是否允许采购进口产品采购预算1晶圆级缺陷修复系统1是1000万元包号货物名称数量（套）是否允许采购进口产品采购预算1晶圆级缺陷修复系统1是1000万元2、技术要求详见公告附件。合同履行期限：合同签订后12个月内本项目不接受联合体投标。二、申请人的资格要求：1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；2.落实政府采购政策需满足的资格要求：无3.本项目的特定资格要求：1.投标人须符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条的规定；(具体为供应商参加政府采购活动应当具备下列条件：（一）具有独立承担民事责任的能力；（二）具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度；（三）具有履行合同所必需的设备和专业技术能力；（四）有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录；（五）参加政府采购活动前三年内，在经营活动中没有重大违法记录；（六）法律、行政法规规定的其他条件。)2.投标人须在中华人民共和国境内合法注册、有法人资格并符合工商局或相关行业主管部门核准的经营范围或经营许可(进口产品投标必须委托国内代理商投标)；3.代理商投标必须有授权（仅针对进口产品投标）；4.投标人按照招标公告要求购买了招标文件；5.投标人不得为列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单的供应商。6.为本项目提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商，不得参加本项目投标；7.投标单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得参加同一合同项下的政府采购活动；8）本项目不接受联合体投标三、获取招标文件时间：2023年12月12日至2023年12月19日，每天上午9:00至11:00，下午13:00至17:00。（北京时间，法定节假日除外）地点：www.oitccas.com；北京市海淀区丹棱街1号互联网金融中心20层方式：登录东方在线www.oitccas.com注册并购买。售价：￥600元，本公告包含的招标文件售价总和四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点：2024年1月4日9点30分（北京时间）地点：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所A415会议室五、公告期限自本公告发布之日起5个工作日。六、其它补充事宜1、投标文件递交地点：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所A415会议室2、招标文件采用网上电子发售购买方式：1）登陆“东方招标”平台（http://www.oitccas.com/），点击“获取采购文件”链接图标，或直接输入访问地址（http://www.oitccas.com/pages/sign_in.html?page=mine）完成投标人注册手续（免费），然后登陆系统寻找有意向参与的项目，已注册的投标人无需重新注册。招标文件售价：每包人民币600元。如决定购买招标文件，请完成标书款缴费及标书下载手续。2）投标人可以电汇的形式支付标书款（应以公司名义汇款至下述指定账号）。开户名称：东方国际招标有限责任公司开户行：招商银行北京西三环支行账号：8620816577100013）投标人应在平台上填写开票信息。在投标人足额缴纳标书款后，标书款电子发票将发送至投标人在平台上登记的电子邮箱，投标人自行下载打印。3、以电汇方式购买招标文件和递交投标保证金的，须在电汇凭据附言栏中写明招标编号、包号及用途（如未标明招标编号，有可能导致投标无效）。4、采购项目需要落实的政府采购政策：（1）政府采购促进中小企业发展（2）政府采购支持监狱企业发展（3）政府采购促进残疾人就业（4）政府采购鼓励采购节能环保产品七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。1.采购人信息名称：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所地址：苏州工业园区若水路398号联系方式：俞老师、赵老师；0512-628725252.采购代理机构信息名称：东方国际招标有限责任公司地址：北京市海淀区丹棱街1号互联网金融中心20层联系方式：郭宇涵、王军、李雯；010-68290599，010-682905303.项目联系方式项目联系人：郭宇涵、王军、李雯电话：010-68290599；电子邮箱：yhguo@oitc.com.cn第六部分投标人须知资料表第六部分投标人须知资料表本表是对招标文件第一册“投标人须知”的具体补充和修改，如与招标文件各部分内容有差异，应以本资料表为准。条款号内 容1.1采购人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所采购代理机构：东方国际招标有限责任公司★1.2合格的投标人资格：1.投标人须符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条的规定；(具体为供应商参加政府采购活动应当具备下列条件：（一）具有独立承担民事责任的能力；（二）具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度；（三）具有履行合同所必需的设备和专业技术能力；（四）有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录；（五）参加政府采购活动前三年内，在经营活动中没有重大违法记录；（六）法律、行政法规规定的其他条件。)2.投标人须在中华人民共和国境内合法注册、有法人资格并符合工商局或相关行业主管部门核准的经营范围或经营许可(进口产品投标必须委托国内代理商投标)；3.代理商投标必须有授权（仅针对进口产品投标）；4.投标人按照招标公告要求购买了招标文件；5.投标人不得为列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单的供应商。6.为本项目提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商，不得参加本项目投标；7.投标单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得参加同一合同项下的政府采购活动；8）本项目不接受联合体投标。7.1投标人须以包为单位对包中全部内容进行投标，不得拆分，否则其投标将被拒绝。评标、授标以包为单位。9.5投标人须以“技术需求逐条应答表（格式见附件5）”逐条说明所提供货物和相关服务已对招标文件的技术规格做出了实质性的响应或申明与技术规格条文的正负偏离。★10.610.6.1本项目允许采购进口产品，进口产品与服务报（DAP）用户指定交货地点美元、欧元、英镑、日元或人民币价（不含关税、增值税）；10.6.2 国产产品与服务报项目现场交货人民币价。报价中需包括制造、装配和发运货物所使用的材料、部件及货物本身已支付或将支付的产品税、销售税和其它税费。10.6.3上述价格的构成须按在分项报价表中格式要求详细列出。10.6.4 对原产于美国的产品，进口时在正常科创免税之外，中国政府加征的特殊关税由中标人承担。11.1投标保证金金额：各包采购预算金额的1.5%。投标保证金形式：电汇、银行保函或中国投资担保有限公司出具的担保函。(1) 投标保函有效期应同投标有效期；如投标保证金采用银行保函形式，则必须采用本章所附的“投标保证金的银行保函格式”中的条款及格式，否则投标被拒绝（“投标保证金的银行保函格式”详见附件9）；投标人应承担投标保函开具、递交、退还、通知及核印等产生的一切相关银行费用。(2) 使用电汇形式的，投标保证金必须从境内银行账户转出，且在投标截止时间前汇到招标代理机构账户，否则投标被拒绝：投标人应于投标截止期前将全额投标保证金转入下述指定账号, 并应将“投标保证金电汇凭证/投标保函”单独密封，在投标时与“投标一览表”同时递交。开户名（全称）：东方国际招标有限责任公司开户银行：招商银行北京西三环支行帐号：862081657710001注：须在电汇凭据附言栏中写明招标编号、包号及用途（如未标明招标编号，有可能导致投标无效）12.1投标有效期： 150天★13.1投标文件：正本：1份 副本：7份 电子版：1份。（投标文件正本盖章后的扫描件，PDF格式，与纸质版一致；U盘或光盘，单独密封提交）19.4投标无效的情形：（1） 投标人未提交投标保证金或形式不符或金额不足的；（2） 投标有效期不足的； （3） 未按照招标文件规定要求密封、签署、盖章的；（4） 未提供法定代表人授权书的；（5） 未提供制造商授权书的(进口货物适用)；（6） 投标人有违法违纪行为，被列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单的，或参加政府采购活动前三年内，在经营活动中有重大违法记录的；（7） 投标文件中提供虚假或失实资料的；（8） 投标报价超过采购预算的；（9） 投标人报价明显低于其他通过符合性审查投标人报价的，有可能影响产品质量或者不能诚信履约的，评标委员会可以要求其在规定的时间内提供书面说明，必要时提交相关证明材料；投标人不能证明其报价合理性的，评标委员会有权将其作为无效投标处理；（10）招标文件中明确规定不接受进口产品参加投标的，投标人提供进口产品的；（11） 不符合法律、法规和招标文件中★号条款及实质性要求的。19.519.5.1 投标人需就整个包进行响应，不完整的投标将被拒绝。19.5.2投标报价不得超出采购预算（设置最高限价的，以最高限价为准），否则投标将被拒绝。21.3评标方法：综合评价打分法具体评分标准详见附表。24.1确定中标候选人的原则为：按综合评价得分排名确定28.1如中标产品为国产产品，中标人即为国内合同卖方29.1履约保证金：需要。中标人提供履约担保的形式、金额及期限：收到中标通知书后15日内，中标人向招标人以银行保函、担保公司担保、保险公司保证保险的方式办理履约担保；中标人提供的履约担保金额为中标金额的2%。中标人未按期提供履约担保的，招标人可以视为中标人自行放弃其中标资格，给招标人造成的损失，由中标人予以赔偿。如中标人在合同履行过程中有违约行为，招标人有权根据合同约定从履约保证金中扣除中标人应付的违约金或要求担保人承担相应金额的担保责任，若保证金不足赔偿违约金，不足部分招标人有权在合同款中直接扣除。如果招标人在合同履行过程中根据本合同的有关条款提取完履约担保，中标人应在招标人提取完后的10日内，将履约担保的数额恢复到本合同约定的数额（即中标总价的2%），且应向招标人提供履约担保已足额恢复的证据。否则，招标人有权解除本合同，中标人必须在收到合同解除通知书后10天内无条件退场，由此造成的一切损失均由中标人承担。履约保证金甲方验收合格后无息退还。30.1中标商在收到中标通知书后5日内，须向采购人代理支付中标服务费：1、中标服务费支付给采购人的招标采购代理，即东方国际招标有限责任公司，收取标准为国家计委招标代理服务费暂行标准[2002]1980号文件中规定的货物采购收费比率下浮20%，原始比率为：每包中标金额 （人民币万元）标准比率100以下部分1.5%100-500部分1.1%500-1000部分0.8%注：中标服务费按差额定率累进法计算。34.7接收质疑函的方式、联系部门、联系电话和通讯地址：接收方式：传真或电子邮件或邮寄联系部门：招标部联系电话：010-68290599；010-68290508传真：010-88517351电子邮箱：jwang@oitc.com.cn，yhguo@oitc.com.cn通讯地址：北京市海淀区丹棱街1号互联网金融中心20层中小企业划分标准所属行业本项目采购标的对应的中小企业划分标准所属行业：工业从业人员1000人以下且营业收入20亿元以下的为中小微型企业。其中：从业人员20人以下且营业收入2000万元以下的为微型企业；从业人员300人以下且营业收入2亿元以下的为小型企业废标条款1.符合专业条件的供应商或者对招标文件作出实质性响应的供应商不足三家的；2.出现影响采购公正的违法、违规行为的；3.投标人的报价均超过了采购预算，采购人不能支付的；4、因重大变故，采购任务取消的。注1：1）信用信息查询渠道：“信用中国”网站（www.creditchina.gov.cn）、中国政府采购网（www.ccgp.gov.cn）等。2）信用信息查询截止时点：同投标截止期，即查询投标人截止到投标截止期的信用信息记录。3）信用信息查询记录和证据留存的具体方式：信用信息查询记录将以网站截图打印稿形式与其他采购文件一并保存。4）信用信息的使用规则：如投标人为“信用中国”网站（www.creditchina.gov.cn）中列入失信被执行人或重大税收违法案件当事人名单的供应商，或为中国政府采购网（www.ccgp.gov.cn）政府采购严重违法失信行为记录名单中被财政部门禁止参加政府采购活动的供应商，则其投标将被拒绝。附表：评分标准评分具体标准本次评标采用综合评价打分法，即在投标文件满足招标文件全部实质性要求前提下，根据招标文件中规定的各项因素及权重（分值），评标委员会每位成员分别对每个通过初审的投标人进行综合评审后，评审得分最高的投标人为中标候选人的评标方法。1投标文件的初审：1.1资格性检查序号评审内容1具备《政府采购法》第二十二条供应商资格条件具有独立承担民事责任的能力；1具备《政府采购法》第二十二条供应商资格条件具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度；1具备《政府采购法》第二十二条供应商资格条件具有履行合同所必需的设备和专业技术能力；1具备《政府采购法》第二十二条供应商资格条件有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录；1具备《政府采购法》第二十二条供应商资格条件参加招标投标活动前三年内，在经营活动中没有重大违法记录；1具备《政府采购法》第二十二条供应商资格条件法律、行政法规规定的其他条件2在中华人民共和国境内依法注册的，具有独立承担民事责任能力，遵守国家法律法规，具有良好信誉，具有履行合同能力和良好的履行合同的记录，具有良好资金、财务状况的法人实体3为采购项目提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商，不得参加本项目投标4投标单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得参加同一合同项下的政府采购活动5银行出具的资信证明文件（近三个月内）或公司上一年度经审计的审计报告（投标人必须提供，但由专业担保机构已出具投标担保函的除外）6依法缴纳税收的记录（提供投标截止日期之前12个月内任何一期纳税记录复印件并加盖公章，个人所得税除外）（自行编写无效）（依法免税的供应商，须提供相应文件证明其依法免税）7依法缴纳社会保障资金的记录（提供投标截止日期之前12个月内任何一期缴费记录复印件并加盖公章）（自行编写无效）（依法不需要缴纳社会保障资金的供应商，须提供相应文件证明其依法不需要缴纳社会保障资金）8参加政府采购活动前三年内，在经营活动中没有重大违法记录声明。（格式自拟，加盖公章）9具有良好商业信誉和健全财务会计制度的财务状况的承诺（格式自拟，加盖公章）10具有履行合同所必需的设备和专业技术能力的承诺（格式自拟，加盖公章）11按本投标邀请的规定获取招标文件12本项目不接受联合体投标13投标人未被列入“信用中国”网站(www.creditchina.gov.cn)“记录失信被执行人或重大税收违法案件当事人名单或政府采购严重违法失信行为”记录名单；不处于中国政府采购网(www.ccgp.gov.cn)“政府采购严重违法失信行为信息记录”中的禁止参加政府采购活动期间。（以采购代理机构于投标截止日当天在“信用中国”网站（www.creditchina.gov.cn）及中国政府采购网（http://www.ccgp.gov.cn/）查询结果为准，如相关失信记录已失效，投标人需提供相关证明资料）。结论注：结论栏中填写“合格”表示该投标人投标文件符合招标文件的资格性要求，“不合格”表示该投标人投标文件不符合招标文件的资格性要求。1.2符合性检查序号评审内容1是否由法人代表或授权代表有效签署2是否按招标文件规定提供法人代表授权书（如适用）3是否按招标文件规定要求密封、签署、盖章4投标有效期是否满足招标文件5是否按招标文件规定提交足额投标保证金6投标保证金的有效期是否满足招标文件（同投标有效期）7投标报价是否固定唯一，投标报价是否超过采购预算（设置最高限价的，以最高限价为准）8是否提供制造商授权书(进口货物适用)9如评标委员会发现投标人的报价明显低于其他通过符合性审查投标人的投标报价，有可能影响产品质量或者不能诚信履约的，投标人是否按要求作书面说明并提供相关证明材料。投标人不能合理说明或不能提供相关证明材料的，评标委员会将其作为无效投标处理10是否符合招标文件规定的其它实质性要求（须满足带★条款）11投标文件是否有招标文件中规定的其它无效投标条款结论注：结论栏中填写“合格”表示该投标人投标文件满足招标文件的符合性要求，“不合格”表示该投标人投标文件不满足招标文件的符合性要求。资格性检查和符合性检查均“合格”的，通过投标文件的初审，进入下一步具体评分环节；否则，其投标无效。2具体评分标准（满分为100分）评分项目评分细则分值价格部分（30分）根据《财政部关于加强政府采购货物和服务 项目价格评审管理的通知》的规定，本次价格评分统一采用低价优先法计算，即满足招标文件要求且投标价格最低的投标报价为评标基准价，其价格分为满分。其他投标人的价格评分统一按照下列公式计算：价格评分 =（评标基准价/投标报价）×3030商务部分（8分）1、商务条款应答响应情况商务条款应答有负偏离得0分，商务条款应答无偏离或正偏离得3分8商务部分（8分）2、合同业绩：投标人所投产品的相关业绩（每提供一个在投标截止日起近5年内投标产品同类型合同案例加1分，最高不超过5分，案例以提供的合同为准，要求必须提供与最终用户签订的合同首页、合同金额所在页、签字盖章页复印件作为证明）8技术部分（60分）1、技术指标条款响应情况（针对三、具体技术规格中一、技术要求）（1）技术偏离表须依据招标文件技术指标逐条响应，否则视为未实质性响应招标文件, 其投标予以拒绝；（2）技术指标评审基准分为53分，评委根据技术指标的偏离情况按以下标准进行评审：a．标记为“★”的指标是关键技术条款，正偏离不加分，如不满足其投标予以拒绝；b．标记为“#”的指标是重要技术条款，满分36分，正偏离不加分，负偏离每条减6分，扣完为止；c．无标记的指标是一般技术条款，满分17分，正偏离不加分，负偏离每条减0.4分，扣完为止。（3）凡标有最低一级序号的指标项即为一项技术条款，无论是否隶属于上一级编号。投标人对标记为 “★”或者“＃”的关键技术条款必须在投标文件中提供技术支持资料。技术支持资料以制造商原产国官网截图或者制造商公开发行的带制造商原产国官网网址的产品彩页或检测机构出具的检测报告为准，凡不提供技术支持资料的，视为不满足招标文件要求，其投标予以拒绝。53技术部分（60分）2、售后服务不满足招标文件要求的得0分；基本满足招标文件要求的得2分；完全满足和优于招标文件要求的4分。4技术部分（60分）3、技术培训不满足招标文件要求的得0分；基本满足招标文件要求的得1分；完全满足和优于招标文件要求的3分。3其他(2分)投标人所投产品获得相关节能、环保产品认证情况：（1）节能产品：投标产品属于财政部和国家发改委最新公布的节能产品政府采购品目清单的，需提供市场监管总局发布参与实施政府采购节能产品、环境标志产品认证机构出具的认证证书复印件并加盖公章，且在有效截止日期内，得1分；否则0分。（2）环境标志产品：投标产品属于财政部和生态环境部最新公布的环境标志产品政府采购品目清单的，投标人需提供市场监管总局发布参与实施政府采购节能产品、环境标志产品认证机构出具的认证证书复印件并加盖公章，且在有效截止日期内，得1分；否则0分。2注：（1）根据财政部、工业和信息化部发布的《政府采购促进中小企业发展暂行办法》、财政部、司法部发布的《关于政府采购支持监狱企业发展有关问题的通知》及财政部、民政部、中国残疾人联合会发布的《三部门联合发布关于促进残疾人就业政府采购政策的通知》的规定，如投标产品被认定为小微型企业或监狱企业或残疾人福利性单位制造的产品（须提供相关证明文件，小微企业提供《中小企业声明函》，监狱企业提供由省级以上监狱管理局、戒毒管理局(含新疆生产建设兵团)出具的属于监狱企业的证明文件，残疾人福利性单位提供《残疾人福利性单位声明函》），可在上述第1项价格评分中，对该产品的价格给予10%的扣除，并用扣除后的价格计算价格评分。（2）提供相同品牌产品且通过资格审查、符合性审查的不同投标人参加同一合同项下同一项目包投标的，按一家投标人计算，评审后得分最高的同品牌投标人获得中标人推荐资格；评审得分相同的，按投标报价排列，报价最低的投标人获得中标人推荐资格；得分与投标报价均相同的，按技术指标优劣排列，技术得分最高的投标人获得中标人推荐资格。（3）对非单一产品采购的项目包，在各包中确定核心产品，多家投标人提供的核心产品品牌相同的，按前款规定处理。（4）评分分值计算保留小数点后两位，第三位四舍五入。第七部分合同特殊条款第七部分合同特殊条款合同专用条款是合同一般条款的补充和修改。如果两者之间有抵触，应以专用条款为准。1.2买方：本合同买方系指：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所卖方：本合同卖方系指：中标人1.5项目现场：本合同项下的货物安装和运行地点位于：项目现场13.3交货时间要求:详见“第八章货物需求一览表及技术规格”交货地点要求：项目现场18.4质量保证期：详见“第八章货物需求一览表及技术规格”★20.1付款方式：对于国产产品，50%凭用户代表签字并加盖单位公章后的验收报告支付，剩余50%待质保到期后支付；对于进口产品，合同金额的30%以电汇方式，在合同签订后30天内支付给卖方；外贸合同签订后，由买方代理开出以卖方为受益人的合同总金额的70%的即期不可撤销不可转让的信用证。其中60%发货款，卖方提供相关货物单据给银行议付。剩余10%凭验收报告给银行议付。第八部分采购需求1.8.1.货物需求一览表包号货物名称数量交货期项目现场（交货地点）1晶圆级缺陷修复系统1套合同签订后12个月内用户指定地点（中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所）注：投标人须对上述投标内容中完整的一包或几包进行投标，不完整的投标将视为非响应性投标予以拒绝。1.8.2.总则1、投标要求1.1投标人在准备投标书时，务必在所提供的商品的技术规格文件中，标明型号、商标名称、目录号。1.2投标人提供的货物须是成熟的全新的产品，其技术规格应符合招标文件的要求。如与招标文件的技术规格有偏差，应提供技术规格偏差的量值或说明（偏离表）。如投标人有意隐瞒对规格要求的偏差或在开标后提出新的偏差，买方有权扣留其投标保证金或/并拒绝其投标。1.3投标人提供的产品样本，必须是“原件”而非复印件，图表、简图、电路图以及印刷电路板图等都应清晰易读。买方有权不付任何附加费用复制这些资料以供参考。1.4投标人的投标产品应符合国家有关部门规定的相应技术、节能、安全和环保标准；如国家有关部门对投标人的投标产品有强制性规定或要求的，则投标人的投标产品必须符合相应规定或要求。2、评标标准2.1除招标文件中指定的附件和专用工具外，投标人应提供仪器设备的正常运行和常规保养所需的全套标准附件、专用工具和消耗品。投标人在投标书中需列出这些附件和工具的数量和单价的清单，这些附件和工具的报价的总值需计入投标价中。2.2对于标书技术规范中已列出的作为查询选件的附件、零配件、专用工具和消耗品，投标书中应列明其数量、单价、总价供买方参考。投标人也可推荐买方没有要求的附件或专用工具作为选件，并列明其数量、单价、总价供买方参考。选件价格不计入评标价中。选件一旦为用户接受，其费用将加入合同价中。2.3为便于用户进行接收仪器的准备工作，卖方应在合同生效后60天内向用户提供一套完整的使用说明书、操作手册、维修及安装说明等文件。另一套完整上述资料应在交货时随货包装提供给用户，这些费用应计入投标价中。2.4关于设备的安装调试，如果有必要的安装准备条件，卖方应在合同生效后一个月内向买方提出详细的要求或计划。安装调试的费用应计入投标价中，并应单独列出，供评标使用。2.5制造厂家提供的培训指的是涉及货物的基本原理、操作使用和保养维修等有关内容的培训。培训教员的培训费、旅费、食宿费等费用和培训场地费及培训资料费均应由卖方支付。2.6在评标过程中，买方有权向投标人索取任何与评标有关的资料，投标人务必在接到此类要求后，在规定时间内予以答复。对于无答复的投标人，买方有权拒绝其投标。3、工作条件除非在技术规格中另有说明，所有仪器、设备和系统都应符合下列要求：3.1适于在气温为摄氏-40℃～＋50℃和相对湿度为90％的环境条件下运输和贮存。3.2适于在电源220V（10％）/50Hz、气温摄氏+15℃～＋30℃和相对湿度小于80％的环境条件下运行。能够连续正常工作。3.3配置符合中国有关标准要求的插头，如果没有这样的插头，则需提供适当的转换插座。3.4如产品达不到上述要求，投标人应注明其偏差。如仪器设备需要特殊工作条件（如水、电源、磁场强度、温度、湿度、动强度等）投标人应在投标书中加以说明。4、验收标准除非在技术规格中另有说明，所有仪器、设备和系统按下列要求进行验收：4.1仪器设备运抵安装现场后，买方将与卖方共同开箱验收,如卖方届时不派人来,则验收结果应以买方的验收报告为最终验收结果。验收时发现短缺、破损,买方有权要求卖方负责更换。4.2验收标准以中标人提供的投标文件中所列的指标为准（该指标应不低于招标文件所要求的指标）。任何虚假指标响应一经发现即作废标，卖方必须承担由此给买方带来的一切经济损失和其它相关责任。4.3验收由采购人、中标人及相关人员依国家有关标准、合同及有关附件要求进行，验收完毕由采购人及中标人在验收报告上签名。5、本技术规格书中标注“★”号的为实质性要求，不满足其投标将被拒绝。6、如在具体技术规格中有本总则不一致之处，以具体技术规格中的要求为准。三、具体技术规格第一包采购项目名称：晶圆级缺陷修复系统1.技术要求：1.工作条件：1.1电源:220V（±10%），50/60Hz1.2运行环境温度:17-25℃1.3运行环境：相对湿度1.4独立接地2.设备用途：本设备主要用于半导体集成电路、分立器件、微机电系统（MEMS）等晶圆及芯片的微观形貌观察、缺陷检查、定位、修复和产品出入库检查等。3.性能指标及配置要求3.1离子束镜筒3.1.1离子源种类：液态Ga离子源；#3.1.2分辨率：≤3.0nm@30kV（多边统计法）3.1.3放大倍率范围不小于：300x～500kx；3.1.4加速电压范围不小于：0.5kV～30KV；#3.1.5离子源束流强度范围不低于：1pA～100nA；3.1.6连续工作时间：Ga离子可至少连续工作72小时；3.1.7样品室内无漏磁，保证电子束离子束可以在任何模式下都能实时工作，实现边切边看；#3.1.8单个离子源寿命：不小于3000μAh（1500小时，发射电流为2μA）；★3.1.9电子束和离子束交叉点工作距离不小于5mm，SEM和FIB镜筒夹角50°~54°。3.2电子束镜筒3.2.1电子枪类型：肖特基场发射灯丝；3.2.2分辨率：≤0.7nm@15KV;≤1.4nm@1KV(非样品台减速模式状态下，多边统计法)3.2.3电子光学系统放大倍率范围不小于：20x-2000kx连续可调（底片放大模式），根据加速电压和工作距离的改变，放大倍数自动校准，低倍率与高倍率无需模式更换；★3.2.4加速电压范围不小于：0.02KV-30KV连续可调，且着陆电压（Electronbeamenergy）范围不小于：20eV-30keV（非样品台减速模式）；3.2.5最大电子束流强度≥40nA，连续可调；3.2.6物镜系统：电磁/静电式物镜系统；3.2.7束流稳定性:优于0.3%/h；3.3探测器3.3.1样品室内配备独立二次电子探测器1个3.3.2配备镜筒内独立二次电子探测器1个，安装在镜筒内正光轴上，使用过程无需任何偏压3.3.3镜筒内配置能量选择背散射探测器1个；#3.3.4镜筒内配置能量过滤系统，可调节能量范围不小于1400V;#3.3.5配备样品室内2个红外和彩色两用CCD相机系统；3.3.6双通道模式，可实现二次电子信号与背散射信号同时成像，实现双通道传输功能；3.4样品室以及样品台★3.4.1、样品室内部尺寸：宽度不小于520mm，深度不小于520mm，高度不小于307mm；3.4.2可容纳最大样品尺寸不小于300mm，最大样品高度不小于50mm，且不使用样品台倾斜和旋转的前提下可直接观察不小于200mm的Wafer；★3.4.3配置六轴高精度超优中心全自动马达样品台（XY方向重复精度≤0.5微米），六轴马达台移动要求：XY≥200mm，Z≥40mm，M≥10mm，Tilt：-15°~70°，R=360°；或者五轴高精度全压电陶瓷台。★3.4.4除主机原配进样系统以外，提供额外具有大样品仓抽屉式开门和样品预交换室的进样系统，交换室可放置最大样品直径不小于200mm；3.4.5至少拥有2支独立的单气体注入系统，可在离子束、电子束诱导下进行Pt、C、W、SiO2等可控沉积；3.4.6配置自动型等离子清洗机，可用程序完全控制，可清洗样品仓或样品表面；3.5真空和冷却系统3.5.1全无油真空系统，包括前级无油机械泵；#3.5.2样品室真空度：高真空模式优于2.7x10-4Pa，电子枪真空度：达到10-7Pa数量级；3.5.3配备UPS电源系统（功率至少6kW），保障临时断电情况下可以至少30min安全工作；3.5.4配备冷却循环水系统。3.6控制系统3.6.1配有图像处理软件：具有大视野拍照功能明确视野范围，图像最高像素优于24kx24k；文件支持TIFF(8,16or24位)，BMP或JPEG格式；3.6.2基于win10操作系统的32位图形用户界面，键盘，鼠标；3.6.3图像显示：配置至少两台24”LCD显示器；3.6.4带有旋钮控制面板键盘、鼠标,控制样品台的双轴遥感操作系统，可自动调节：电子枪对中、亮度与衬度、调焦和象散、动态聚焦、倾斜补偿等。3.6.5具有双通道功能，双屏幕显示不同探测器拍摄的图像。3.6.6预留光电关联接口：升级光电关联之后在光学显微镜下观察的感兴趣区域，可以通过自动重定位功能在电镜中直接找到此感兴趣区域，从而获得更高的分辨率的电镜图像；可一次性同时导入大量的不同光镜视野区域的照片，不需要任何比对，点击光镜图片，可在电子显微镜下自动到对应的光镜观察的区域；3.7能谱仪EDS3.7.1探测器：硅漂移（SDD）电制冷探测器，有效晶体面积不小于60mm2，超薄窗设计，独立真空；3.7.2能量分辨率：在100,000CPS条件下MnKa保证优于127eV，轻元素分辨率：C-K/57eV,F-K/67eV；3.7.3元素分析范围:Be4～Cf98;3.8主动式减震台3.8.1需能够实现全振动频率范围内的衰减，无共振频率，无增幅现象；3.8.2控制自由度：6个自由度，主动式减震范围：1.0Hz-200Hz；3.8.3减振指标：①1Hz：≤-10dB；②2Hz：≤-15dB；③3Hz～10Hz：≤-26dB；④≥10Hz：≤-26dB；3.8.4载荷重量：≥1000kg；3.9配件和耗材3.9.1双面碳导电胶带，8mmWx20mL3卷3.9.2标准小样品座100个3.9.3不间断电源UPS二、质保及售后服务：1.1售后服务1.1.1卖方需提供一次设备现场安装及调试服务，并承担相应的全部费用。卖方需派遣称职的技术人员到买方现场负责设备安装调试工作，并有责任解答买方技术人员提出的问题。1.1.2卖方应对安装和调试工作进行详细记录，安装和调试工作结束后，由卖方人员在记录文件上签字并交买方备案。1.1.3运输、安装、调试、检验、培训及质保费用计入投标总价。1.2技术培训：安装、调试后，卖方负责免费培训不少于3名使用方人员，技术培训内容包括基础培训和进阶培训，内容涉及设备操作、维修等，培训须保证每个人具备独立操作的能力，培训期不少于10个工作日。★1.3保修期：12个月，从设备完成安装且最终验收测试合格后开始计算，且不超过发货后15个月。1.4维修响应时间：卖方正常应在接到买方通知后7个工作日内完成维修服务。三、订货数量：1套★（四）交货地点：用户指定地点（中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所）★（五）交货日期：合同签订后12个月内
投标 / 标书制作要点（原创）
本晶圆级缺陷修复系统涉及「中标结果公示」，投标方需重点关注：① 营业执照经营范围须含中标结果公示或对应服务类目；② 提供同类项目业绩证明；③ 报价方案与售后响应须明确；④ 紧盯投标截止与开标节点，建议提前完成标书制作与盖章。当地项目常要求本地化服务能力与快速响应，务必在投标文件中凸显。
标书制作联系冯经理：17551026086
