TSV硅孔刻蚀系统中标结果公示（中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所2024）
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所TSV硅孔刻蚀系统采购项目中标公告
一、项目编号：OITC-G240661180（招标文件编号：OITC-G240661180）
二、项目名称：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所TSV硅孔刻蚀系统采购项目
三、中标（成交）信息
供应商名称：北京爱立特微电子科技有限公司
供应商地址：北京市房山区良乡凯旋大街建设路18号-D2916
中标（成交）金额：1634.2200000（万元）
四、主要标的信息
序号
供应商名称
货物名称
货物品牌
货物型号
货物数量
货物单价(元)
1
北京爱立特微电子科技有限公司
TSV硅孔刻蚀系统
SPTS Technologies Ltd.
SIGMA Omega
1套
US$2,250,000.00
五、评审专家（单一来源采购人员）名单：
凌永兴、阚小妹、刘红云、李淑新、莫清华、程伟、张学敏
六、代理服务收费标准及金额：
本项目代理费收费标准：（2002）1980
本项目代理费总金额：10.456800 万元（人民币）
七、公告期限
自本公告发布之日起1个工作日。
八、其它补充事宜
本项目采用综合评标价法，中标人最终得分为：92.00
九、凡对本次公告内容提出询问，请按以下方式联系。
1.采购人信息
名 称：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
地址：苏州工业园区若水路398号
联系方式：俞老师、赵老师；0512-62872525
2.采购代理机构信息
名 称：东方国际招标有限责任公司
地 址：北京市海淀区丹棱街1号互联网金融中心20层
联系方式：郭宇涵、王军、李雯、余睿； 010-68290599， 010-68290530
3.项目联系方式
项目联系人：郭宇涵、王军、李雯、余睿
电 话： 010-68290599
公告概要：
公告信息：
采购项目名称
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所TSV硅孔刻蚀系统采购项目
品目
货物/设备/仪器仪表/其他仪器仪表
采购单位
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
行政区域
江苏省
公告时间
2024年08月07日 14:18
评审专家名单
凌永兴、阚小妹、刘红云、李淑新、莫清华、程伟、张学敏
总中标金额
￥1634.220000 万元（人民币）
联系人及联系方式：
项目联系人
郭宇涵、王军、李雯、余睿
项目联系电话
010-68290599
采购单位
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
采购单位地址
苏州工业园区若水路398号
采购单位联系方式
俞老师、赵老师；0512-62872525
代理机构名称
东方国际招标有限责任公司
代理机构地址
北京市海淀区丹棱街1号互联网金融中心20层
代理机构联系方式
郭宇涵、王军、李雯、余睿； 010-68290599， 010-68290530
附件：
附件1
发布-1180-TSV刻蚀.pdf
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所TSV硅孔刻蚀系统采购项目招标文件第二册（专用册）招标编号：OITC-G240661180东方国际招标有限责任公司中国·北京2024年7月第五部分投标邀请第五部分投标邀请日期：2024年7月12日项目概况TSV硅孔刻蚀系统采购项目的潜在投标人应在www.oitccas.com；北京市海淀区丹棱街1号互联网金融中心20层获取招标文件，并于2024年8月2日9点30分（北京时间）前递交投标文件。一、项目基本情况项目编号：OITC-G240661180项目名称：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所TSV硅孔刻蚀系统采购项目预算金额：1700万元（人民币）最高限价（如有）：1700万元（人民币）采购需求：1、采购项目的名称、数量：包号货物名称数量（套）是否允许采购进口产品采购预算1TSV硅孔刻蚀系统1是1700万元投标人可对其中一个包或多个包进行投标，须以包为单位对包中全部内容进行投标，不得转包、分包，评标、授标以包为单位。2、技术要求详见公告附件。合同履行期限：合同签订后14个月内。本项目不接受联合体投标。二、申请人的资格要求：1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；2.落实政府采购政策需满足的资格要求：本项目不属于专门面向中小微企业、监狱企业、残疾人福利性单位采购的项目。3.本项目的特定资格要求：1）投标人须符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条的规定；(具体为供应商参加政府采购活动应当具备下列条件：（一）具有独立承担民事责任的能力；（二）具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度；（三）具有履行合同所必需的设备和专业技术能力；（四）有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录；（五）参加政府采购活动前三年内，在经营活动中没有重大违法记录；（六）法律、行政法规规定的其他条件。)；2）投标人须在中华人民共和国境内合法注册、有法人资格并符合工商局或相关行业主管部门核准的经营范围或经营许可(进口产品投标必须委托国内代理商投标)；3）代理商投标必须有制造厂家授权（仅针对允许采购进口产品并且是进口产品投标的产品）；4）投标人按照招标公告要求购买了招标文件；5）投标人不得为列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单的供应商；6）为本项目提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商，不得参加本项目投标；7）投标单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得参加同一合同项下的政府采购活动；8）本项目不接受联合体投标。三、获取招标文件时间：2024年7月12日至2024年7月19日，每天上午9:00至17:00。（北京时间，法定节假日除外）地点：www.oitccas.com；北京市海淀区丹棱街1号互联网金融中心20层方式：登录“东方招标”平台（http://www.oitccas.com/）注册并购买。售价：￥600元/包，本公告包含的招标文件售价总和四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点：2024年8月2日9点30分（北京时间）地点：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所A415会议室五、公告期限自本公告发布之日起5个工作日。六、其它补充事宜1、投标文件递交地点：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所A415会议室2、招标文件采用网上电子发售购买方式：1）登陆“东方招标”平台（http://www.oitccas.com/），点击“获取采购文件”链接图标，或直接输入访问地址（http://www.oitccas.com/pages/sign_in.html?page=mine）完成投标人注册手续（免费），然后登陆系统寻找有意向参与的项目，已注册的投标人无需重新注册。招标文件售价：每包人民币600元。如决定购买招标文件，请完成标书款缴费及标书下载手续。2）投标人可以电汇的形式支付标书款和投标保证金（应以公司名义汇款至下述指定账号）。开户名称：东方国际招标有限责任公司开户行：招商银行北京西三环支行账号：8620816577100013）投标人应在平台上填写开票信息。在投标人足额缴纳标书款后，标书款电子发票将发送至投标人在平台上登记的电子邮箱，投标人自行下载打印。4）以电汇方式购买招标文件和递交投标保证金的，须在电汇凭据附言栏中写明招标编号、包号及用途（如未标明招标编号，有可能导致投标无效）。3、采购项目需要落实的政府采购政策：（1）政府采购促进中小企业发展（2）政府采购支持监狱企业发展（3）政府采购促进残疾人就业（4）政府采购鼓励采购节能环保产品七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。1.采购人信息采购单位：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所地址：苏州工业园区若水路398号联系方式：俞老师、赵老师；0512-628725252.采购代理机构信息名称：东方国际招标有限责任公司地址：北京市海淀区丹棱街1号互联网金融中心20层联系方式：郭宇涵、王军、李雯、余睿；010-68290599，010-682905303.项目联系方式项目联系人：郭宇涵、王军、李雯、余睿电话：010-68290599；电子邮箱：yhguo@oitc.com.cn第六部分投标人须知资料表第六部分投标人须知资料表本表是对招标文件第一册“投标人须知”的具体补充和修改，如与招标文件各部分内容有差异，应以本资料表为准。条款号内容1.1采购人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所采购代理机构：东方国际招标有限责任公司★1.3合格的投标人资格：1）投标人须符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条的规定；(具体为供应商参加政府采购活动应当具备下列条件：（一）具有独立承担民事责任的能力；（二）具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度；（三）具有履行合同所必需的设备和专业技术能力；（四）有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录；（五）参加政府采购活动前三年内，在经营活动中没有重大违法记录；（六）法律、行政法规规定的其他条件。)；2）投标人须在中华人民共和国境内合法注册、有法人资格并符合工商局或相关行业主管部门核准的经营范围或经营许可(进口产品投标必须委托国内代理商投标)；3）代理商投标必须有制造厂家授权（仅针对允许采购进口产品并且是进口产品投标的产品）；4）投标人按照招标公告要求购买了招标文件；5）投标人不得为列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单的供应商；6）为本项目提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商，不得参加本项目投标；7）投标单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得参加同一合同项下的政府采购活动；8）本项目不接受联合体投标。7.1投标人须以包为单位对包中全部内容进行投标，不得转包、分包，否则其投标将被拒绝。评标、授标以包为单位。9.5投标人须以“技术需求逐条应答表（格式见附件5）”逐条说明所提供货物和相关服务已对招标文件的技术规格做出了实质性的响应或申明与技术规格条文的正负偏条款号内容9.5离。★10.610.6.1本项目允许采购进口产品，进口产品与服务报DAP用户指定到货地点美元、欧元、英镑、日元或人民币价（不含关税、增值税）。10.6.2国产产品与服务报项目现场交货人民币价。报价中需包括制造、装配和发运货物所使用的材料、部件及货物本身已支付或将支付的产品税、销售税和其它税费。10.6.3上述价格的构成须按在分项报价表中格式要求详细列出。11.1投标保证金金额：各包采购预算金额的1.5%。投标保证金形式：电汇、银行保函或中国投资担保有限公司出具的担保函。(1)投标保函有效期应同投标有效期；如投标保证金采用银行保函形式，则必须采用本章所附的“投标保证金的银行保函格式”中的条款及格式，否则投标被拒绝（“投标保证金的银行保函格式”详见附件9）；投标人应承担投标保函开具、递交、退还、通知及核印等产生的一切相关银行费用。(2)使用电汇形式的，投标保证金必须从境内银行账户转出，且在投标截止时间前汇到招标代理机构账户，否则投标被拒绝：投标人应于投标截止期前将全额投标保证金转入下述指定账号,并应将“投标保证金电汇凭证/投标保函”单独密封，在投标时与“投标一览表”同时递交。开户名（全称）：东方国际招标有限责任公司开户银行：招商银行北京西三环支行帐号：862081657710001注：须在电汇凭据附言栏中写明招标编号、包号及用途（如未标明招标编号，有可能导致投标无效）12.1投标有效期：150天★13.1投标文件：正本：1份副本：7份电子版：1份。（盖章签字后的正本投标文件的扫描件，PDF格式，与纸质版一致；U盘或光盘，单独密封提交）条款号内容★19.4投标无效的情形：（1）投标人未提交投标保证金或形式不符或金额不足的；（2）投标有效期不足的；（3）未按照招标文件规定要求密封、签署、盖章的；（4）未提供法定代表人授权书的；（5）投标人有违法违纪行为，被列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单的，或在过去三年中有重大的质量、信誉等问题；（6）投标文件中提供虚假或失实资料的；（7）投标报价超过采购预算的；（8）投标人报价明显低于其他通过符合性审查投标人报价的，有可能影响产品质量或者不能诚信履约的，评标委员会可以要求其在规定的时间内提供书面说明，必要时提交相关证明材料；投标人不能证明其报价合理性的，评标委员会有权将其作为无效投标处理；（9）未提供制造商授权书的(进口货物适用)；（10）不符合法律、法规和招标文件中★号条款及实质性要求的。★19.519.5.1在任何时候，如果发现投标人以低于成本价的价格恶意竞争时，将导致废标。19.5.2投标人需就整个包进行响应，不完整的投标将被拒绝。19.5.3投标报价不得超出采购预算（设置最高限价的，以最高限价为准），否则投标将被拒绝。投标报价如为外币，按以下公式换算为人民币，换算后的人民币价格若高于采购预算（设置最高限价的，以最高限价为准），投标将被拒绝：换算后人民币价格=投标报价（外币）×汇率说明：汇率为开标当日中国银行总行首次发布的外币对人民币的现汇卖出价21.3评标方法：综合评价打分法具体评分标准详见附表。第七部分合同特殊条款合同专用条款是合同一般条款的补充和修改。如果两者之间有抵触，应以专用条款为准。1.2买方：本合同买方系指：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所卖方：本合同卖方系指：中标人1.5项目现场：本合同项下的货物安装和运行地点位于：甲方指定项目现场13.3交货时间要求:详见“第八章货物需求一览表及技术规格”交货地点要求：甲方指定项目现场18.4质量保证期：详见“第八章货物需求一览表及技术规格”★20.1付款方式：对于国产产品：50%凭用户代表签字并加盖单位公章后的验收报告支付，剩余50％，在设备质保期结束后支付；对于进口产品：合同金额的30%以电汇方式，在合同签订后30天内支付给卖方；外贸合同签订后，由买方代理开出以卖方为受益人的合同总金额的70%的即期不可撤销可转让的信用证，该信用证仅可转让给制造商。其中60%发货款，卖方提供相关货物单据给银行议付。剩余10%凭验收报告给银行议付或不超过发货后90天支付（先到为准）第八部分采购需求，一、货物需求一览表包号货物名称数量（套）是否允许采购进口产品采购预算1TSV硅孔刻蚀系统1是1700万元注：投标人须对上述投标内容中完整的一包或几包进行投标，不完整的投标将视为非响应性投标予以拒绝。二、技术规格一）总则1、投标要求1.1投标人在准备投标书时，务必在所提供的商品的技术规格文件中，标明型号、商标名称、目录号。1.2投标人提供的货物须是成熟的全新的产品，其技术规格应符合招标文件的要求。如与招标文件的技术规格有偏差，应提供技术规格偏差的量值或说明（偏离表）。如投标人有意隐瞒对规格要求的偏差或在开标后提出新的偏差，买方有权扣留其投标保证金或/并拒绝其投标。1.3投标人提供的产品样本，必须是“原件”而非复印件，图表、简图、电路图以及印刷电路板图等都应清晰易读。买方有权不付任何附加费用复制这些资料以供参考。1.4投标人的投标产品应符合国家有关部门规定的相应技术、计量、节能、安全和环保法规及标准；如国家有关部门对投标人的投标产品有强制性规定或要求的，则投标人的投标产品必须符合相应规定或要求，投标人须提供相关证明文件的复印件。2、评标标准2.1除招标文件中指定的附件和专用工具外，投标人应提供仪器设备的正常运行和常规保养所需的全套标准附件、专用工具和消耗品。投标人在投标书中需列出这些附件和工具的数量和单价的清单，这些附件和工具的报价的总值需计入投标价中。2.2对于标书技术规范中已列出的作为查询选件的附件、零配件、专用工具和消耗品，投标书中应列明其数量、单价、总价供买方参考。投标人也可推荐买方没有要求的附件或专用工具作为选件，并列明其数量、单价、总价供买方参考。选件价格不计入评标价中。2.3为便于用户进行接收仪器的准备工作，卖方应在合同生效后60天内向用户提供一套完整的使用说明书、操作手册、维修及安装说明等文件。另一套完整上述资料应在交货时随货包装提供给用户，这些费用应计入投标价中。2.4关于设备的安装调试，如果有必要的安装准备条件，卖方应在合同生效后一个月内向买方提出详细的要求或计划。安装调试的费用应计入投标价中，并应单独列出，供评标使用。2.5制造厂家提供的培训指的是涉及货物的基本原理、操作使用和保养维修等有关内容的培训。培训教员的培训费、旅费、食宿费等费用和培训场地费及培训资料费均应由卖方支付。3、工作条件除非在技术规格中另有说明，所有仪器、设备和系统都应符合下列要求：3.1适于在气温为摄氏-40℃～＋50℃和相对湿度为90％的环境条件下运输和贮存。3.2适于在电源220V（10％）/50Hz、气温摄氏+15℃～＋30℃和相对湿度小于80％的环境条件下运行。能够连续正常工作。3.3配置符合中国有关标准要求的插头，如果没有这样的插头，则需提供适当的转换插座。3.4如产品达不到上述要求，投标人应注明其偏差。如仪器设备需要特殊工作条件（如水、电源、磁场强度、温度、湿度、动强度等）投标人应在投标书中加以说明。4、验收标准除非在技术规格中另有说明，所有仪器、设备和系统按下列要求进行验收：4.1仪器设备运抵安装现场后，买方将与卖方共同开箱验收,如卖方届时不派人来,则验收结果应以买方的验收报告为最终验收结果。验收时发现短缺、破损,买方有权要求卖方负责更换。4.2验收标准以中标人提供的投标文件中所列的指标为准（该指标应不低于招标文件所要求的指标）。任何虚假指标响应一经发现即作废标，卖方必须承担由此给买方带来的一切经济损失和其它相关责任。4.3验收由采购人、中标人及相关人员依国家有关标准、合同及有关附件要求进行，验收完毕由采购人及中标人在验收报告上签名。5、本技术规格书中标注“★”号的为关键技术参数，对这些关键技术参数的任何负偏离将导致废标。6、如在具体技术规格中有本总则不一致之处，以具体技术规格中的要求为准。二）具体技术指标要求第一包TSV硅孔刻蚀系统（一）技术要求：1.工作条件：1.1设备及附件能正常工作于电源三相400VAC（±10％）/50Hz、温度+15℃-＋25℃和相对湿度30-50％的环境中；2.设备用途：（本条在投标文件中不用提供彩页等证明资料）★2.1该设备主要用于8inch硅材料的高深宽比（大于15:1）干法刻蚀工艺。广泛应用于半导体微纳米结构的TSV先进封装高深宽比通孔刻蚀，以及MEMS器件结构的研发。设备主要组成：项目数量设备主机1前端模块1传片模块1刻蚀工艺模块23.技术规格：3.1前端模块#3.1.1设备应配有25片SEMI标准卡片盒（Cassette）装置，适用于8inch样品；3.1.2LoadLock配置真空系统，干泵抽速≥100m3/h；#3.1.3极限压力≤2E-2Torr，漏率≤0.5mTorr/min；3.1.4带有样品检测识别功能；3.2样品传输模块3.2.1通过闸板阀与LoadLock和工艺模块连接；★3.2.2全自动真空传输机械手臂，实现样品的全自动传送；3.2.3配置真空系统；#3.2.4为多边平台设计，可以配置至少3个工艺模块；（需提供事物图片或设计图纸）3.2.5带有样品定位Aligner功能；3.3工艺模块#3.3.1配置2个工艺腔模块；#3.3.2腔室本底真空＜1.5mTorr，腔室漏率＜2mTorr/min；3.3.3兼容博世（Bosch）工艺和非Bosch工艺；★3.3.4设备2个工艺腔均配有8inch（200mm）静电卡盘ESC，后续可增加6inch（150mm）样品尺寸的更换套件；★3.3.5静电吸附电压最高可达±6千伏（可变），可以吸附硅片、SOI片、SOG和石英片等；#3.3.6工艺腔配置冷水机（Chiller），实现下电极至少-20℃到50℃的温度控制，控温精度±1℃；★3.3.7上电极有两套ICP等离子体系统，功率分别可达3kW和6kW，下电极频率不低于400kHz，功率不低于400W；#3.3.8提供Ar、O2、SF6和C4F8等至少8路工艺气体，每路气体独立的MFC和控制阀门；#3.3.9主要工艺气体SF6和C4F8采用中心和边缘双进气形式，提高8inch工艺的均匀性；3.3.10配置大抽速干泵，抽速≥550m3/h，配置大抽速分子泵，抽速≥2300L/s；3.3.11快速气体切换PLC阀门，切换时间可以控制小于300毫秒；3.3.12具有腔体自清洁功能，并可按需求在程序中设定清洗周期和时间；3.4软件控制系统Software3.4.1用户可便捷的对工艺配方进行创建、编辑和删除等操作；3.4.2系统自动记录工艺过程中的重要参数，方便用户查询，并且可以Excel等文件导出；3.4.3设备报警自动记录，并可随时查询；3.5安全性能3.5.1设备具备完善的报警和安全互锁功能，确保人员和设备使用安全；3.5.2互锁被触发时，系统发出报警提示声音，并将报警内容在操作屏上显示，任何威胁人身和设备安全的动作会被终止；（二）工艺能力及技术指标Processspec：（需提供设备宣传彩页作为证明材料，并加盖公章进行确认）1．工艺能力（单向非工艺验收指标）#1.1最大深宽比Maxiaspectratio≥90:11.2极限刻蚀深度EtchDepth≥400μm#1.3同PR选择比SelectivitytoPR≥200:1；#1.4同SiO2选择比SelectivitytoSiO2≥200:1；#1.5最大刻蚀速率MaxEtchRate≥25μm/min；1.6最小刻蚀速率MinEtchRate≤0.5μm/min；#1.7Bosch工艺侧壁粗糙度Scallop≤20nm；#1.88inch范围不均匀性Non-U%WIW≤±3％；1.9最小线宽MinCD≤500nm；线宽损失CDLoss≤200nm2.主要工艺技术和验收指标：8inch样品【均匀性按(max-min)/2mean公式计算，去边5mmEE）】★2.1TSV工艺刻蚀（CD10μm）ViaEtch（开口率≤10％）(工艺验收项)刻蚀深度≥200μm；刻蚀速率≥1.5μm/min；选择比toPR≥20:1；选择比toSiO2≥25:1；ProfileAngle89°±1°Scallop＜200nm(peredge)；MaskUndercut（peredge）＜500nm；8inch片内不均匀性Non-U%WIW≤±3％；5mm去边8inch片间不均匀性型Non-U%WTW≤±3％；5mm去边★2.21μmTrenchArrayEtch（开口率≤20％）(工艺验收项)刻蚀深度≥40μm；刻蚀速率≥2μm/min；选择比toPR≥20:1；选择比toSiO2≥30:1；ProfileAngle90°±1°；Scallop＜50nm(peredge)；MaskUndercut（peredge）＜100nm；8inch片内不均匀性Non-U%WIW≤±3％；5mm去边8inch片间不均匀性型Non-U%WTW≤±3％；5mm去边2.31mm×1mm方孔刻蚀Squareholeetching（开口率OA%≤10％）刻蚀深度Etchdepth≥150μm刻蚀速率EtchRate≥25μm/min；选择比SelectivitytoPR≥200:1；刻蚀角度ProfileAngle94°±1°；侧壁粗糙度度Scallop＜1μm；掩膜损失MaskUndercut（peredge）＜2μm；8inch片内不均匀性≤±6％；5mm去边8inch片间不均匀性≤±3％。5mm去边2.410μmTrenchEtch（开口率OA%≤5％）刻蚀深度EtchDepth≥100μm；刻蚀速率EtchRate≥4μm/min；选择比SelectivitytoPR≥50:1；ProfileAngle90°±1°；MaskUndercut（peredge）＜400nm；8inch片内不均匀性≤±3％；5mm去边8inch片间不均匀性型≤±3％；5mm去边（三）设备耗品、备品备件、维修校正测试工具及相关技术资料1．卖方免费提供备品备件；由于非人为原因引起的设备故障而损坏的非耗材，在质保期内依据质保条款，免费更换或维修；2.免费配送耗品及备品备件清单序号No.名称Name数量Qty备注1耗材包1套满足1次PM更换3.配送随机维修工具序号No.名称Name数量Qty1通用工具1套4.技术相关资料4.1卖方向最终用户提供详细的设备资料，内容包括：完整的设备电气、结构、英文操作说明书、原理、安全操作规程、设置编程、维修维护等序号No.资料名称数量1设备手册(电子版)1套4.2卖方提供的技术资料应完整、合理、有效，最终用户能据此技术资料对设备、配件及附件进行操作、维修和保养。若最终用户发现卖方提供的技术资料不完整而无法完成上述工作，在任何时候都有权向卖方索取免费的技术资料(仅限卖方向用户开放资料)，卖方在接到最终用户通知后的5日内，免费向最终用户补寄完整的资料4.3设备资料应包括主机资料和所有辅机资料，资料必须与设备实际连线相符合；设备资料应包括设备操作手册、设备维护维修手册、设备线路图手册和设备备件手册等（四）售后服务及培训等1.售后服务1.1卖方需提供至少一次设备现场安装及调试服务，并承担相应的全部费用。卖方需派遣称职的技术人员到买方现场负责设备安装调试工作，并有责任解答买方技术人员提出的问题；1.2卖方应对安装和调试工作进行详细记录，安装和调试工作结束后，由卖方人员在记录文件上签字并交买方备案；★1.3运输、安装、调试、检验、培训及质保费用计入投标总价；2.技术培训：安装、调试后，卖方负责免费培训3名使用方人员，技术培训内容包括设备操作、维修等，培训须保证每个人具备独立操作的能力，培训期不少于3个工作日。★3.保修期：12个月，从设备完成安装且最终验收测试合格后开始计算，且不超过发货后15个月；4.维修响应时间：卖方正常应在接到买方通知后7个工作日内完成维修服务；（五）订货数量：1套★（六）交货地点：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所★（七）交货日期：合同签订后14个月内
投标 / 标书制作要点（原创）
本TSV硅孔刻蚀系统涉及「中标结果公示」，投标方需重点关注：① 营业执照经营范围须含中标结果公示或对应服务类目；② 提供同类项目业绩证明；③ 报价方案与售后响应须明确；④ 紧盯投标截止与开标节点，建议提前完成标书制作与盖章。当地项目常要求本地化服务能力与快速响应，务必在投标文件中凸显。
标书制作联系冯经理：17551026086
