微波等离子体化学气相沉积 微波等离子体化学气相沉积系统中标结果公示（信息科学与工程学院2025）

微波等离子体化学气相沉积系统(GY202500067)自购结果公示

发布时间：2025-01-13 11:06:06

该项目经自行采购程序，允许自购：

供应商：
郑州势垒科技有限公司

中标金额：
350000

公示开始日期
2025-01-13 11:06:06
公示截止日期
2025-01-14 11:06:06

采购单位
信息科学与工程学院
付款方式
预付30%，安装调试完成两周内付清剩余70%。

签约时间要求

到货时间要求

收货地址
山东大学青岛校区N5楼105

采购清单
1

采购物品
采购数量
计量单位

微波等离子体化学气相沉积系统
1
台

品牌
豫兴势垒
规格型号
SL-06021A 8KW

技术参数
1）微波系统 1.1工作频率：2450±15 MHz 1.2输出功率：1～8 kW、连续可调 1.3功率稳定度：优于±1%（@额定功率电平） 1.3微波泄漏：＜2 mw/cm2 2）真空放电腔 2.1工作模式：TM012+TM021 多模式 2.2腔体类型：不锈钢圆柱腔，可承载功率：≥8 kW，带水冷夹层 2.3进气方式：顶部进气 2.4物料进出口：升降设置 3）样品支架系统 3.1样品台直径：≥66 mm，水冷结构 4）真空系统 4.1极限真空度：＜810-1 Pa 4.2漏率：＜510-10 Pa·m3/s 4.3在工作模式下，压力浮动：≤0.02 kPa（在等离子体烘烤腔体后，计时测试5min之内≤1.5 Pa） 5）气路系统 5.1配备气体质量流量计数量：≥4路、包括：1000 Sccm H2、100 Sccm CH4、10 Sccm CO2、5 Sccm H2/N2等 5.2控制范围：2～100% F.S. 5.3配备高纯气体过滤器、过滤精度：0.0025 m 6）系统冷却 6.1水冷却数量：≥5 路，其中实时监控冷却水：≥3路。 7）测温方式 7.1外置红外测温仪，温度量程：300～1400 ℃ 8）软件及控制系统 8.1采用PLC控制，触摸屏显示操作； 8.2系统自带多种程序，可通过控制压力和功率来实现生长温度自动控温，能精准控制生长气压，具备自动升温、自动降温、漏率自检、自动启辉、一键启动生长等功能。 8.3能监控水流、温度、压力等多种参数，并监控实现设备的稳定运行及对设备的全面保护，通过功能联锁保障操作的可靠性与安全性，至少包含：氢气与皮拉尼真空计的联锁保护，气体流量计与抽气阀、破空阀的联锁，微波输出与开启腔体之间的联锁等。保障用户安全使用设备。

售后服务
质保期限:1年;

资产与实验室管理部

2025-01-13

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投标 / 标书制作要点（原创）

本微波等离子体化学气相沉积 微波等离子体化学气相沉积系统涉及「中标结果公示」，投标方需重点关注：① 营业执照经营范围须含中标结果公示或对应服务类目；② 提供同类项目业绩证明；③ 报价方案与售后响应须明确；④ 紧盯投标截止与开标节点，建议提前完成标书制作与盖章。当地项目常要求本地化服务能力与快速响应，务必在投标文件中凸显。

标书制作联系冯经理：17551026086