浙江科研平台专用高效镀膜设备用晶圆机械手中标结果公示（浙江大学2025）

科研平台专用高效镀膜设备用晶圆机械手（XF-WSBX-2500455）成交结果公告

成交信息
成交供应商：北京锐洁机器人科技有限公司
成交金额：198000
选标理由：符合要求，价格最低

项目名称：科研平台专用高效镀膜设备用晶圆机械手
项目编号：XF-WSBX-2500455
公告开始日期：2025-09-28
公告截止日期：2025-10-12
采购单位：浙江大学
付款方式：货到付款，甲方在到货验收后15日内向乙方一次性支付本项目的总额
联系人：
联系电话：
签约时间要求：成交后2个工作日内
到货时间要求：成交后30个工作日内
预算总价：200000元
收货地址：玉泉校区微电子楼超净实验室108
供应商资质要求：符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件
采购清单1
采购商品：科研平台专用高效镀膜设备用晶圆机械手
采购数量：1
计量单位：台
所属分类：电子工业生产设备
预算单价：200000.0
技术参数及配置要求：1.运动控制精度与稳定性 1）重复定位精度:±0.1mm以内； 2）S曲线加减速控制方式能够高速，高精度地搬运半导体晶圆。 2.材料与环境适应性 1）真空环境：1.33×10-6Pa 2）洁净度要求：ISO CLASS2以上； 3）温度：真空腔体内常温； 3.结构设计与负载能力 1）在下图黑色框区域内手臂回转，机械手指从出料口取片，通过上料口运送至行程840mm的指定位置。手臂伸出距离840mm，干涉范围600mm，旋转范围330°，Z轴行程40mm。 2）负载能力 可搬运质量：1kg，并提供定制手指。

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投标 / 标书制作要点（原创）

本科研平台专用高效镀膜设备用晶圆机械手涉及「中标结果公示」，投标方需重点关注：① 营业执照经营范围须含中标结果公示或对应服务类目；② 提供同类项目业绩证明；③ 报价方案与售后响应须明确；④ 紧盯投标截止与开标节点，建议提前完成标书制作与盖章。浙江项目常要求本地化服务能力与快速响应，务必在投标文件中凸显。

标书制作联系冯经理：17551026086